JPH1082778A - 薄板の割れ検出装置 - Google Patents
薄板の割れ検出装置Info
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- JPH1082778A JPH1082778A JP23888596A JP23888596A JPH1082778A JP H1082778 A JPH1082778 A JP H1082778A JP 23888596 A JP23888596 A JP 23888596A JP 23888596 A JP23888596 A JP 23888596A JP H1082778 A JPH1082778 A JP H1082778A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】汎用性に優れ、作業場所の制約を受けることな
く、作業者の安全性を確保でき、かつ、構造が簡単な薄
板の割れ検出装置を提供する。 【解決手段】送気孔１０と吸気孔２０とを備え、表面に
薄板１を載せるテーブル２と、そのテーブル２の送気孔
１０から薄板１の裏面に向かってエアーを送出するエア
ー送出手段２３と、テーブル２の吸気孔２０内のエアー
を吸気するエアー吸気手段１２と、そのエアー吸気手段
１２と吸気孔２０との間の圧力を測定する圧力測定手段
１５とを有する。エアー送出手段２３と送気孔１０との
間には、エアー圧力調整手段２４とエアー流量調整手段
２５とを有する。テーブル２の送気孔１０は、薄板１の
スクライブ方向に沿って薄板１の両端部に対応する位置
に形成され、かつ、先端に向かって外側方向に傾斜して
形成される。
く、作業者の安全性を確保でき、かつ、構造が簡単な薄
板の割れ検出装置を提供する。 【解決手段】送気孔１０と吸気孔２０とを備え、表面に
薄板１を載せるテーブル２と、そのテーブル２の送気孔
１０から薄板１の裏面に向かってエアーを送出するエア
ー送出手段２３と、テーブル２の吸気孔２０内のエアー
を吸気するエアー吸気手段１２と、そのエアー吸気手段
１２と吸気孔２０との間の圧力を測定する圧力測定手段
１５とを有する。エアー送出手段２３と送気孔１０との
間には、エアー圧力調整手段２４とエアー流量調整手段
２５とを有する。テーブル２の送気孔１０は、薄板１の
スクライブ方向に沿って薄板１の両端部に対応する位置
に形成され、かつ、先端に向かって外側方向に傾斜して
形成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばセラミック
粉末を焼成した薄板に生じた割れを検出する装置に関
し、特に、汎用性に優れ、作業場所の制約を受けること
なく、作業者の安全性を確保でき、かつ、構造が簡単な
薄板の割れ検出装置に関する。
粉末を焼成した薄板に生じた割れを検出する装置に関
し、特に、汎用性に優れ、作業場所の制約を受けること
なく、作業者の安全性を確保でき、かつ、構造が簡単な
薄板の割れ検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】アルミナや炭化珪素などのセラミック材
料は、金属材料に比較して、耐蝕性や耐磨耗性などの特
性が優れており、各種製品の性能向上や寿命延長などを
達成する材料として、広く使用されている。しかし、セ
ラミック材料は金属材料に比較して、塑性加工などの機
械加工が困難であるという欠点を有している。このた
め、セラミック成形品は、その原料である粉末をできる
だけ成形品の形状や寸法に近くなるように成形され、切
削や研磨など機械加工はできるだけ軽度に付加する程度
にされている。
料は、金属材料に比較して、耐蝕性や耐磨耗性などの特
性が優れており、各種製品の性能向上や寿命延長などを
達成する材料として、広く使用されている。しかし、セ
ラミック材料は金属材料に比較して、塑性加工などの機
械加工が困難であるという欠点を有している。このた
め、セラミック成形品は、その原料である粉末をできる
だけ成形品の形状や寸法に近くなるように成形され、切
削や研磨など機械加工はできるだけ軽度に付加する程度
にされている。
【０００３】しかし、その切削や研削などの機械加工の
条件によっては、セラミック成形品に微細な割れである
クラックが生じてしまう。このクラックは、応力集中が
発生する起点となるため、機械的強度が低下するだけで
なく、セラミック製の電子部品においては電気的特性が
劣化する。したがって、クラックの生じたセラミック成
形品は出荷されることがないように検査されている。し
かし、クラックが微細であることから、クラックの存在
を検査することが困難である。
条件によっては、セラミック成形品に微細な割れである
クラックが生じてしまう。このクラックは、応力集中が
発生する起点となるため、機械的強度が低下するだけで
なく、セラミック製の電子部品においては電気的特性が
劣化する。したがって、クラックの生じたセラミック成
形品は出荷されることがないように検査されている。し
かし、クラックが微細であることから、クラックの存在
を検査することが困難である。
【０００４】このような問題点を解消すべく、セラミッ
ク成形品に生じたクラックを容易に検出することができ
るようにした発明が特開昭６０−２０２３３６号公報や
特開昭６２−１１３０４４号公報に開示されている。
ク成形品に生じたクラックを容易に検出することができ
るようにした発明が特開昭６０−２０２３３６号公報や
特開昭６２−１１３０４４号公報に開示されている。
【０００５】特開昭６０−２０２３３６号公報に開示さ
れた発明は、セラミック成形品に着色液が付着され、そ
の後、余分な着色液が除去され、粉末をセラミック成形
品に付着することにより、クラックが検出されるように
した方法である。セラミック成形品にクラックが生じて
いれば、そのクラックに着色液が残存し、セラミック成
形品に付着した粉末がその着色液によって着色されるこ
とにより、クラックが容易に検出される。しかも、セラ
ミック成形品が黒色であっても目視が容易であり、暗室
内で作業しなければならないといった不具合も生じな
い。
れた発明は、セラミック成形品に着色液が付着され、そ
の後、余分な着色液が除去され、粉末をセラミック成形
品に付着することにより、クラックが検出されるように
した方法である。セラミック成形品にクラックが生じて
いれば、そのクラックに着色液が残存し、セラミック成
形品に付着した粉末がその着色液によって着色されるこ
とにより、クラックが容易に検出される。しかも、セラ
ミック成形品が黒色であっても目視が容易であり、暗室
内で作業しなければならないといった不具合も生じな
い。
【０００６】他方、特開昭６２−１１３０４４号公報に
開示された発明は、セラミック成形品の部材中に水素又
はヘリウムガスを拡散、浸透させ、セラミック成形品の
表面より放出されるガス量をガスセンサーによって測定
するクラックの検出方法である。多量のガス量が検出さ
れれば、セラミック成形品にクラックが生じていると判
断することができる。
開示された発明は、セラミック成形品の部材中に水素又
はヘリウムガスを拡散、浸透させ、セラミック成形品の
表面より放出されるガス量をガスセンサーによって測定
するクラックの検出方法である。多量のガス量が検出さ
れれば、セラミック成形品にクラックが生じていると判
断することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】特開昭６０−２０２３
３６号公報に開示された発明は、セラミック成形品に着
色液を塗布することにより、クラックの発生を検出する
ものである。しかし、その薄板上に回路が構成された後
に着色液が塗布されると、着色液が有機溶剤であること
から、薄板上の回路がショートするなどの支障が生じて
しまう。
３６号公報に開示された発明は、セラミック成形品に着
色液を塗布することにより、クラックの発生を検出する
ものである。しかし、その薄板上に回路が構成された後
に着色液が塗布されると、着色液が有機溶剤であること
から、薄板上の回路がショートするなどの支障が生じて
しまう。
【０００８】また、特開昭６２−１１３０４４号公報に
開示された発明は、ガスを使用してセラミック成形品に
クラックが生じていないかどうかを検出するものであ
る。しかし、そのガスとして水素などが使用されるた
め、その検出作業の場所が制約されるだけでなく、オペ
レータの安全性に十分、考慮しなければならないといっ
た不具合が生じる。
開示された発明は、ガスを使用してセラミック成形品に
クラックが生じていないかどうかを検出するものであ
る。しかし、そのガスとして水素などが使用されるた
め、その検出作業の場所が制約されるだけでなく、オペ
レータの安全性に十分、考慮しなければならないといっ
た不具合が生じる。
【０００９】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、汎用性に優れ、作業場所の制約を受けること
なく、作業者の安全性を確保でき、かつ、構造が簡単な
薄板の割れ検出装置を提供することを目的とする。
のであり、汎用性に優れ、作業場所の制約を受けること
なく、作業者の安全性を確保でき、かつ、構造が簡単な
薄板の割れ検出装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の薄板の割れ検出
装置は、送気孔と吸気孔とを備え、表面に薄板を載せる
テーブルと、そのテーブルの送気孔から薄板の裏面に向
かってエアーを送出するエアー送出手段と、テーブルの
吸気孔内のエアーを吸気するエアー吸気手段と、そのエ
アー吸気手段と吸気孔との間の圧力を測定する圧力測定
手段と、を有することを特徴とするものである。
装置は、送気孔と吸気孔とを備え、表面に薄板を載せる
テーブルと、そのテーブルの送気孔から薄板の裏面に向
かってエアーを送出するエアー送出手段と、テーブルの
吸気孔内のエアーを吸気するエアー吸気手段と、そのエ
アー吸気手段と吸気孔との間の圧力を測定する圧力測定
手段と、を有することを特徴とするものである。
【００１１】本発明の薄板の割れ検出装置により薄板の
割れ検出を行う場合には、まず、テーブルの表面に薄板
を載せ、エアー送出手段によって送気孔から薄板の裏面
に向かってエアーを送出する。割れている薄板は複数個
に分離された状態となっており各個の重量は軽いので、
送出されたエアーによって上方に向かって浮上する。
割れ検出を行う場合には、まず、テーブルの表面に薄板
を載せ、エアー送出手段によって送気孔から薄板の裏面
に向かってエアーを送出する。割れている薄板は複数個
に分離された状態となっており各個の重量は軽いので、
送出されたエアーによって上方に向かって浮上する。
【００１２】この状態で、エアー吸気手段によって吸気
孔内のエアーを吸気すると、割れた薄板は分離されてい
る状態のため、吸気孔と大気とが通じることになる。従
って、圧力測定手段によって測定されたエアー吸気手段
と吸気孔との間の真空度が上がらず、その圧力が大気圧
になるので、薄板は割れていると判定できる。エアー吸
気手段と吸気孔との間の圧力が負圧の場合には、薄板が
割れていないと判定できる。
孔内のエアーを吸気すると、割れた薄板は分離されてい
る状態のため、吸気孔と大気とが通じることになる。従
って、圧力測定手段によって測定されたエアー吸気手段
と吸気孔との間の真空度が上がらず、その圧力が大気圧
になるので、薄板は割れていると判定できる。エアー吸
気手段と吸気孔との間の圧力が負圧の場合には、薄板が
割れていないと判定できる。
【００１３】エアー送出手段と送気孔との間には、エア
ー圧力調整手段とエアー流量調整手段とを有する場合に
は、薄板の大きさ、質量等に応じて送気孔から送出され
るエアーを調整することができる。
ー圧力調整手段とエアー流量調整手段とを有する場合に
は、薄板の大きさ、質量等に応じて送気孔から送出され
るエアーを調整することができる。
【００１４】割れた薄板の各個を外側方向に分離させる
ため、テーブルの送気孔は、薄板のスクライブ方向に沿
って薄板の両端部に対応する位置に形成され、かつ、先
端に向かって外側方向に傾斜して形成されるのが好まし
い。
ため、テーブルの送気孔は、薄板のスクライブ方向に沿
って薄板の両端部に対応する位置に形成され、かつ、先
端に向かって外側方向に傾斜して形成されるのが好まし
い。
【００１５】エアー吸気手段は、例えば、中央部分が細
くなるように形成された第１流路と、その第１流路の中
央部分に連通する第２流路とを備え、第１流路にエアー
送出手段からのエアーを送入することにより、吸気孔内
のエアーを第２流路へ吸気するように構成してもよく、
また、真空ポンプであってもよい。
くなるように形成された第１流路と、その第１流路の中
央部分に連通する第２流路とを備え、第１流路にエアー
送出手段からのエアーを送入することにより、吸気孔内
のエアーを第２流路へ吸気するように構成してもよく、
また、真空ポンプであってもよい。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図１
乃至図４を参照しながら説明する。図１は、本発明に係
る薄板の割れ検出装置の平面図、図２は、本発明に係る
薄板の割れ検出装置の一部断面斜視図、図３は、真空発
生装置の内部構造を示す断面図、図４は、本発明に係る
薄板の割れ検出装置を使用したときの薄板の状態を示す
平面図である。
乃至図４を参照しながら説明する。図１は、本発明に係
る薄板の割れ検出装置の平面図、図２は、本発明に係る
薄板の割れ検出装置の一部断面斜視図、図３は、真空発
生装置の内部構造を示す断面図、図４は、本発明に係る
薄板の割れ検出装置を使用したときの薄板の状態を示す
平面図である。
【００１７】本発明に係る割れ検出装置は、例えばセラ
ミック材料を成形した薄板１を載せる方形状のテーブル
２を有する。テーブル２には、送気孔１０と吸気孔２０
とが形成されている。
ミック材料を成形した薄板１を載せる方形状のテーブル
２を有する。テーブル２には、送気孔１０と吸気孔２０
とが形成されている。
【００１８】テーブル２の送気孔１０は、図１に示すよ
うに、薄板１のスクライブ方向（矢印方向）に沿って形
成された複数の小孔からなり、左右に所定間隔を隔てて
対向して配置されている。また、送気孔１０は、図２に
示すように、割れた薄板１の分離された各個を外側方向
に分離させるため、先端に向かって外側方向に傾斜して
形成される。
うに、薄板１のスクライブ方向（矢印方向）に沿って形
成された複数の小孔からなり、左右に所定間隔を隔てて
対向して配置されている。また、送気孔１０は、図２に
示すように、割れた薄板１の分離された各個を外側方向
に分離させるため、先端に向かって外側方向に傾斜して
形成される。
【００１９】テーブル２の内部において、各送気孔１０
は、１本の中心孔２１から分岐して連通している。中心
孔２１にはパイプ２２が接続される。そのパイプ２２に
は上流側からエアーを発生するエアー発生装置２３、エ
アーの圧力を調整する圧力調整器２４及びエアーの流量
を調整するエアー流量調整器２５が接続されている。エ
アー圧力調整器２４及びエアー流量調整器２５によっ
て、薄板１の大きさ、質量等に応じて送気孔１０から送
出されるエアーが調整される。
は、１本の中心孔２１から分岐して連通している。中心
孔２１にはパイプ２２が接続される。そのパイプ２２に
は上流側からエアーを発生するエアー発生装置２３、エ
アーの圧力を調整する圧力調整器２４及びエアーの流量
を調整するエアー流量調整器２５が接続されている。エ
アー圧力調整器２４及びエアー流量調整器２５によっ
て、薄板１の大きさ、質量等に応じて送気孔１０から送
出されるエアーが調整される。
【００２０】吸気孔２０は薄板１の両サイドで塞がれる
長孔に形成され、かつ、上下に所定間隔を隔てて対向し
て配置されている。吸気孔２０には、テーブル２の吸気
孔２０内のエアーを真空引きするための真空発生装置１
２が、パイプ１１を介して接続される。
長孔に形成され、かつ、上下に所定間隔を隔てて対向し
て配置されている。吸気孔２０には、テーブル２の吸気
孔２０内のエアーを真空引きするための真空発生装置１
２が、パイプ１１を介して接続される。
【００２１】真空発生装置１２の内部には、図３に示す
ように、中央部分が細くなるように形成された第１流路
３０ａと、その第１流路３０ａの中央部分に連通する第
２流路３０ｂとが形成されている。そして、エアー発生
装置２３から送出される圧縮エアーは、孔３０ｃから第
１流路３０ａに送入され、孔３０ｄを介してマフラ等の
排気装置３１（図２参照）に排気される。これによっ
て、吸気孔２０内のエアーは、孔３０ｅを介して第２流
路３０ｂに吸気される。
ように、中央部分が細くなるように形成された第１流路
３０ａと、その第１流路３０ａの中央部分に連通する第
２流路３０ｂとが形成されている。そして、エアー発生
装置２３から送出される圧縮エアーは、孔３０ｃから第
１流路３０ａに送入され、孔３０ｄを介してマフラ等の
排気装置３１（図２参照）に排気される。これによっ
て、吸気孔２０内のエアーは、孔３０ｅを介して第２流
路３０ｂに吸気される。
【００２２】真空発生装置１２としては、他に真空ポン
プ等が用いられる。この場合には、エアー発生装置２３
との接続は不要である。
プ等が用いられる。この場合には、エアー発生装置２３
との接続は不要である。
【００２３】パイプ１１には真空発生装置１２と吸気孔
２０との間の圧力を測定するための圧力計１３が接続さ
れる。この圧力計１３によって吸気孔２０内の負圧の大
きさが測定される。
２０との間の圧力を測定するための圧力計１３が接続さ
れる。この圧力計１３によって吸気孔２０内の負圧の大
きさが測定される。
【００２４】吸気孔２０が薄板１によって完全に塞がれ
ていると、吸気孔２０内には負圧が生じ、圧力計１３は
大きな値を示す。しかし、薄板１が割れて、吸気孔２０
が塞がれなくなると、吸気孔２０内は負圧が生じないた
め、圧力計１３は低い値を示す。
ていると、吸気孔２０内には負圧が生じ、圧力計１３は
大きな値を示す。しかし、薄板１が割れて、吸気孔２０
が塞がれなくなると、吸気孔２０内は負圧が生じないた
め、圧力計１３は低い値を示す。
【００２５】次に、本発明に係る薄板の割れ検出装置に
より薄板１の割れを検出する方法について説明する。
より薄板１の割れを検出する方法について説明する。
【００２６】まず、薄板１はその周辺が送気孔１０及び
吸気孔２０を塞ぐようにテーブル２上に載せられる。次
いで、エアー発生装置２３から発生したエアーは、エア
ー圧力調整器２４、エアー流量調整器２５を介して中心
孔２１内に供給され、各送気孔１０から薄板１の裏面に
向かって送出される。スクライブ方向（図１の矢印方
向）に割れている薄板１は、割れていない薄板に比べ、
総重量は同じであるが、複数個に分離された状態になっ
ているため、各個の重量は軽い。従って、薄板１の各個
は、送出されたエアーによって上方に浮上するととも
に、送気孔１０は、先端に向かって外側方向に傾斜して
形成されているので、エアーは外側に向かって送出さ
れ、図４に示すように、薄板１の各個は外側方向に分離
される。
吸気孔２０を塞ぐようにテーブル２上に載せられる。次
いで、エアー発生装置２３から発生したエアーは、エア
ー圧力調整器２４、エアー流量調整器２５を介して中心
孔２１内に供給され、各送気孔１０から薄板１の裏面に
向かって送出される。スクライブ方向（図１の矢印方
向）に割れている薄板１は、割れていない薄板に比べ、
総重量は同じであるが、複数個に分離された状態になっ
ているため、各個の重量は軽い。従って、薄板１の各個
は、送出されたエアーによって上方に浮上するととも
に、送気孔１０は、先端に向かって外側方向に傾斜して
形成されているので、エアーは外側に向かって送出さ
れ、図４に示すように、薄板１の各個は外側方向に分離
される。
【００２７】この状態で、真空発生装置１２によって吸
気孔２０内のエアーを吸気すると、割れた薄板１は分離
されている状態のため、図４のＡ部分で吸気孔２０と大
気とが通じることになる。従って、圧力計１３によって
測定された真空発生装置１２と吸気孔２０との間の真空
度が上がらず、圧力が大気圧になるので、薄板１は割れ
ていると判定できる。真空発生装置１２と吸気孔２０と
の間の圧力が負圧の場合には、薄板が割れていないと判
定できる。
気孔２０内のエアーを吸気すると、割れた薄板１は分離
されている状態のため、図４のＡ部分で吸気孔２０と大
気とが通じることになる。従って、圧力計１３によって
測定された真空発生装置１２と吸気孔２０との間の真空
度が上がらず、圧力が大気圧になるので、薄板１は割れ
ていると判定できる。真空発生装置１２と吸気孔２０と
の間の圧力が負圧の場合には、薄板が割れていないと判
定できる。
【００２８】なお、圧力計１３によって測定された吸気
孔２０内の圧力に応じて薄板１の割れの程度を表示する
表示装置を設けてもよい。また、薄板１の割れが検出さ
れると、警報を発する警報装置を設けてもよい。
孔２０内の圧力に応じて薄板１の割れの程度を表示する
表示装置を設けてもよい。また、薄板１の割れが検出さ
れると、警報を発する警報装置を設けてもよい。
【００２９】本発明に係る薄板の割れ検出装置によれ
ば、圧力計１３によって真空発生装置１２と吸気孔２０
との間の圧力を測定するだけで薄板１の割れを検出でき
るので、薄板１の表面状態を変化させることはなく、汎
用性を向上させることができる。
ば、圧力計１３によって真空発生装置１２と吸気孔２０
との間の圧力を測定するだけで薄板１の割れを検出でき
るので、薄板１の表面状態を変化させることはなく、汎
用性を向上させることができる。
【００３０】また、従来の装置に比べ、作業場所の制約
を受けることがなく、作業者の安全性を確保できる。
を受けることがなく、作業者の安全性を確保できる。
【００３１】さらに、簡単な構造であるので、製造コス
トを低下させることができる。
トを低下させることができる。
【００３２】本発明は、上記実施の形態に限定されるこ
とはなく、特許請求の範囲に記載された技術的事項の範
囲内において、種々の変更が可能である。例えば、薄板
１は矩形でなくても円形であっても実施することが可能
である。また、薄板１はセラミック成形品に限定するも
のではなく、他の薄板にも適用することができる。
とはなく、特許請求の範囲に記載された技術的事項の範
囲内において、種々の変更が可能である。例えば、薄板
１は矩形でなくても円形であっても実施することが可能
である。また、薄板１はセラミック成形品に限定するも
のではなく、他の薄板にも適用することができる。
【００３３】本発明に用いられるエアーは、薄板１に悪
影響を及ぼさなければ、どのような気体であってもよ
い。
影響を及ぼさなければ、どのような気体であってもよ
い。
【００３４】
【発明の効果】本発明に係る薄板の割れ検出装置によれ
ば、圧力測定手段によってエアー吸気手段と吸気孔との
間の圧力を測定するだけで薄板の割れを検出できるの
で、薄板の表面状態を変化させることはなく、汎用性を
向上させることができる。
ば、圧力測定手段によってエアー吸気手段と吸気孔との
間の圧力を測定するだけで薄板の割れを検出できるの
で、薄板の表面状態を変化させることはなく、汎用性を
向上させることができる。
【００３５】また、従来の装置に比べ、作業場所の制約
を受けることがなく、作業者の安全性を確保できる。
を受けることがなく、作業者の安全性を確保できる。
【００３６】さらに、簡単な構造であるので、製造コス
トを低下させることができる。
トを低下させることができる。
【図１】本発明に係る薄板の割れ検出装置の平面図であ
る。
る。
【図２】本発明に係る薄板の割れ検出装置の一部断面斜
視図である。
視図である。
【図３】真空発生装置の内部構造を示す断面図である。
【図４】本発明に係る薄板の割れ検出装置を使用したと
きの薄板の状態を示す平面図である。
きの薄板の状態を示す平面図である。
１：薄板 ２：テーブル １０：吸気孔 １２：真空発生装置（エアー吸気手段） １３：圧力計（圧力測定手段） ２０：吸気孔 ２３：エアー発生装置（エアー送出手段） ２４：圧力調整器（エアー圧力調整手段） ２５：流量調整器（エアー流量調整手段）
Claims (5)
- 【請求項１】送気孔と吸気孔とを備え、表面に薄板を載
せるテーブルと、 そのテーブルの送気孔から前記薄板の裏面に向かってエ
アーを送出するエアー送出手段と、 前記テーブルの吸気孔内のエアーを吸気するエアー吸気
手段と、 そのエアー吸気手段と吸気孔との間の圧力を測定する圧
力測定手段と、 を有することを特徴とする薄板の割れ検出装置。 - 【請求項２】前記エアー送出手段と送気孔との間には、
エアー圧力調整手段とエアー流量調整手段とを有するこ
とを特徴とする請求項１に記載の薄板の割れ検出装置。 - 【請求項３】前記テーブルの送気孔は、前記薄板のスク
ライブ方向に沿って薄板の両端部に対応する位置に形成
され、かつ、先端に向かって外側方向に傾斜して形成さ
れることを特徴とする請求項１又は２に記載の薄板の割
れ検出装置。 - 【請求項４】前記エアー吸気手段は、中央部分が細くな
るように形成された第１流路と、その第１流路の中央部
分に連通する第２流路とを備え、第１流路に前記エアー
送出手段からのエアーを送入することにより、前記吸気
孔内のエアーを第２流路へ吸気することを特徴とする請
求項１乃至３のいずれか１つの項に記載の薄板の割れ検
出装置。 - 【請求項５】前記エアー吸気手段は、真空ポンプである
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つの項に
記載の薄板の割れ検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23888596A JP2803653B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 薄板の割れ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23888596A JP2803653B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 薄板の割れ検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1082778A true JPH1082778A (ja) | 1998-03-31 |
| JP2803653B2 JP2803653B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=17036718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23888596A Expired - Fee Related JP2803653B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | 薄板の割れ検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2803653B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003532105A (ja) * | 2000-05-03 | 2003-10-28 | ストラクチュラル モニターリング システムズ リミテッド | 構成要素又は構造体の欠陥の検出及び進展測定のシステム及び方法 |
| JP2007325985A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Ulvac Japan Ltd | インク塗布装置及びそれを用いたインクの塗布方法 |
| JP2010025577A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Tokiko Techno Kk | 二重殻タンクの漏洩検査装置 |
-
1996
- 1996-09-10 JP JP23888596A patent/JP2803653B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| JP2003532105A (ja) * | 2000-05-03 | 2003-10-28 | ストラクチュラル モニターリング システムズ リミテッド | 構成要素又は構造体の欠陥の検出及び進展測定のシステム及び方法 |
| JP2007325985A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Ulvac Japan Ltd | インク塗布装置及びそれを用いたインクの塗布方法 |
| JP2010025577A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Tokiko Techno Kk | 二重殻タンクの漏洩検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2803653B2 (ja) | 1998-09-24 |
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