JP2007317558A - 有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 - Google Patents
有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007317558A JP2007317558A JP2006147107A JP2006147107A JP2007317558A JP 2007317558 A JP2007317558 A JP 2007317558A JP 2006147107 A JP2006147107 A JP 2006147107A JP 2006147107 A JP2006147107 A JP 2006147107A JP 2007317558 A JP2007317558 A JP 2007317558A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- liquid material
- substrate
- connection
- organic compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims abstract description 69
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims abstract description 38
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 111
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 106
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 85
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 46
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 18
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 116
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 description 30
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 28
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N ethyl benzoate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- VBVAVBCYMYWNOU-UHFFFAOYSA-N coumarin 6 Chemical compound C1=CC=C2SC(C3=CC4=CC=C(C=C4OC3=O)N(CC)CC)=NC2=C1 VBVAVBCYMYWNOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【課題】陰極配線と接続配線との接続不良の発生を低減できる。
【解決手段】第1の蓄積部33が、コンタクトホール32の外周に沿って溝状に形成されている。また、第2の蓄積部34が、隣り合う隔壁6の間であって、コンタクトホール32および画素開口部31の間に凹状に形成されている。第1および第2の蓄積部33、34は、液体材料がコンタクトホール32内に流れ込むのを抑止するように、液体材料8aを蓄積する。このとき、第2の蓄積部34の内側面は隔壁6に沿って形成されている。絶縁層3は、陰極配線5ならびに接続配線4の間および陽極配線2ならびに陰極配線5の間に形成されている。絶縁層3は、陰極配線5と接続配線4を接続する接続部9の位置に配設されたコンタクトホール32と、陽極配線2および陰極配線5の交差部10の位置に配設された画素開口部31とを有している。
【選択図】図1
【解決手段】第1の蓄積部33が、コンタクトホール32の外周に沿って溝状に形成されている。また、第2の蓄積部34が、隣り合う隔壁6の間であって、コンタクトホール32および画素開口部31の間に凹状に形成されている。第1および第2の蓄積部33、34は、液体材料がコンタクトホール32内に流れ込むのを抑止するように、液体材料8aを蓄積する。このとき、第2の蓄積部34の内側面は隔壁6に沿って形成されている。絶縁層3は、陰極配線5ならびに接続配線4の間および陽極配線2ならびに陰極配線5の間に形成されている。絶縁層3は、陰極配線5と接続配線4を接続する接続部9の位置に配設されたコンタクトホール32と、陽極配線2および陰極配線5の交差部10の位置に配設された画素開口部31とを有している。
【選択図】図1
Description
本発明は、有機EL(Electro Luminescence)表示装置および有機EL表示装置の製造方法に関し、例えば、基板上に設けられた複数の陽極配線と複数の陰極配線の各交差部で有機化合物層を挟持し、複数の陰極配線に沿って隔壁が設けられている有機EL表示装置および有機EL表示装置の製造方法に関する。
近年、FPD(Flat Panel Display)として有機EL表示装置が注目されている。有機EL表示装置は自発光表示素子であり、液晶表示装置と比較して視野角が広く、バックライトが不要なため薄型化が可能である。また、応答速度も速く、有機化合物が有する発光特性の多様性から、次世代の表示装置として期待されている。
有機EL表示装置は、画素となる有機EL素子が基板上に複数配置されて構成される。例えば、パッシブ型の有機EL表示装置は、基板上にストライプ状に配列された陽極配線と、この陽極配線上に積層され、開口部を有する絶縁層と、この絶縁層上に積層された有機化合物層と、この有機化合物層上に積層して、絶縁層の開口部の位置で陽極配線に交差するようにストライプ状に配列された陰極配線を備えた構造となっている。絶縁層の開口部内、すなわち陽極配線および陰極配線の交差部に、発光素子としての画素が形成されている。有機EL表示装置は、このような画素がマトリックス状に配列されることにより構成されている。
また、陽極と陰極の間に電圧を印加すると、陽極からは正孔が、陰極からは電子が、それぞれ有機化合物層に注入されて、有機発光層で再結合し、その際に生じるエネルギーにより有機発光層に含まれる有機発光性化合物の分子が励起され、励起子が生成される。このようにして生成された励起子が基底状態に失活する過程で発光現象が生じる。
基板に設けられた陽極電極上に有機化合物を積層する場合、有機化合物を真空蒸着させて有機化合物層を形成する場合がある。しかし、有機化合物を蒸着させる場合、有機化合物層の下地となる電極の表面に異物の付着や突起、窪みがあると、その影響により、有機化合物層を所望の成膜状態にできないことがある。
この問題を解決する方法として、有機化合物層の材料となる有機化合物を液体中に分散または溶解させ、溶液として塗布することで異物、突起、窪み等を被覆し、所望の有機化合物層を形成する技術(湿式塗布方法)が知られている。
例えば、特許文献1には、隣接する陰極配線を分離するための分離構造体(以下、隔壁と称する)を陽極配線上に形成した後に、有機化合物層を湿式塗布法により形成して、更に陰極配線を蒸着法により形成する技術が開示されている。このとき、隔壁は、基板から離れるにつれて、その断面が広がるように、逆テーパ構造に形成されている。
例えば、特許文献1には、隣接する陰極配線を分離するための分離構造体(以下、隔壁と称する)を陽極配線上に形成した後に、有機化合物層を湿式塗布法により形成して、更に陰極配線を蒸着法により形成する技術が開示されている。このとき、隔壁は、基板から離れるにつれて、その断面が広がるように、逆テーパ構造に形成されている。
湿式塗布法は、主に、高分子系有機化合物などを基板上に成膜するのに使用されている。一般的に、湿式塗布法により有機化合物層を形成するには、スピンコート法やインクジェット法やスプレー法などによって、有機化合物の溶液を基板上の陽極配線上に塗布し、次いで、塗布された有機化合物の溶液を加熱乾燥することで硬化させる工程を有する。
一般的な有機化合物の溶液は粘度が低いため、隔壁を形成した後に有機化合物の溶液を基板上の陽極配線上に塗布すると、塗布した溶液が隔壁に沿って広がるという問題が生じる。この際、特に隔壁側面の根元部分に沿って溶液が広がる傾向にある。これは、隔壁側面の根元部分の近傍空間により毛細管現象と同様の現象が生じているためである。陰極配線を確実に分離するために、逆テーパ構造を有するように隔壁を形成すると、隔壁側面の根元部分の近傍空間は狭くなり、溶液がより広がりやすくなる傾向にある。
特許文献2には、有機化合物の溶液を塗布する際に、当該溶液が隔壁側面の根元部分に沿って不必要に広がらないようにするため、隣接する隔壁を隔壁接続部で接続した技術が開示されている。この隔壁接続部によって有機化合物の溶液が表示領域外に多量に流出されるのが抑止され、有機化合物の溶液の流出による有機化合物層の膜厚の減少を抑止でき、表示領域内の有機化合物層の膜厚を均一にすることができる。
ここで、一般的な有機EL表示装置では、陰極配線は陽極配線、絶縁層および有機化合物層の上に積層されているため、この陰極配線を基板上に直接形成された陽極配線と同一面上に引き出すのに、接続配線が用いられる。
特許文献2に記載の技術では、接続配線は、基板の表面上に直接形成された陽極配線と同一面上に形成されており、陽極配線および陰極配線の間に形成された絶縁層内に設けられたコンタクトホールを介して、陰極配線に接続されている。また、コンタクトホールは、非表示領域において、隔壁接続部よりも表示領域側に配置されている。
特開2001−351779号公報(特に、段落0012〜0017、第1図および第2図)
特開2005−174842号公報(特に、段落0031〜0033、0039、図1)
特許文献2に記載の技術では、接続配線は、基板の表面上に直接形成された陽極配線と同一面上に形成されており、陽極配線および陰極配線の間に形成された絶縁層内に設けられたコンタクトホールを介して、陰極配線に接続されている。また、コンタクトホールは、非表示領域において、隔壁接続部よりも表示領域側に配置されている。
しかしながら、特許文献2に記載の技術では、陰極配線と接続配線とを接続するためのコンタクトホールが、隣り合う隔壁および隔壁接続部に囲われた領域の内側に配置されており、有機化合物の溶液を塗布した後に、当該有機化合物の溶液が隣り合う隔壁の間の面上に広がって、そのままコンタクトホール内に流れ込んでしまう場合があった。
また、コンタクトホールの外周に沿って溝を形成し、当該溝に有機化合物の溶液を蓄積することにより、有機化合物の溶液がコンタクトホール内に流れ込むのを抑止する技術も提案されているが、有機化合物の溶液が多量の場合、有機化合物の溶液が溝から溢れてしまい、有機化合物の溶液が溝を乗り越えて、コンタクトホール内に流れ込んでしまう場合があった。
陰極配線は有機化合物層上に積層して形成されるため、有機化合物の溶液がコンタクトホール内に流れ込むと、コンタクトホール内で陰極配線と接続配線とが十分に接続されず、有機EL表示装置の表示性能の劣化を招くという問題があった。
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、陰極配線と接続配線との接続不良の発生を低減できる有機EL表示装置を提供することを目的とする。
本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、陰極配線と接続配線との接続不良の発生を低減できる有機EL表示装置を提供することを目的とする。
本発明に係る有機EL表示装置は、基板上に形成された第1の電極配線と、第1の電極配線と交差するように、基板上に形成された複数の隔壁と、第1の電極配線と交差するように、複数の隔壁の間に形成された第2の電極配線と、第1および第2の電極配線の交差部であって、第1および第2の電極配線の間に、液体材料を塗布して形成された有機化合物層と、第2の電極配線に接続され、基板の一辺側に引き出された接続配線と、複数の隔壁のうち、隣り合う隔壁の間であって、基板の一辺側に設けられ、第2の電極配線と接続配線を接続する接続部と、第2の電極配線ならびに接続配線の間および第1ならびに第2の電極配線の間に形成され、接続部の位置に配設された第1の開口部および交差部の位置に配設された第2の開口部を有する絶縁層と、第1の開口部の外周に沿って溝状に形成され、液体材料が第1の開口部内に流れ込むのを抑止するように、液体材料を蓄積する第1の蓄積部と、複数の隔壁のうち、隣り合う隔壁の間であって、第1および第2の開口部の間に凹状に形成され、液体材料が第1の開口部内に流れ込むのを抑止するように、液体材料を蓄積する第2の蓄積部とを備え、第2の蓄積部の内側面は、上記隔壁に沿って形成されていることを特徴とするものである。
このような構成にしたことにより、液体材料が第1の開口部へ流れ込むのを抑止でき、陰極配線と接続配線との接続不良の発生を低減できる。
このような構成にしたことにより、液体材料が第1の開口部へ流れ込むのを抑止でき、陰極配線と接続配線との接続不良の発生を低減できる。
ここで、第1の開口部および基板の一辺の間であって、接続配線が形成されていない領域に凹状に形成され、液体材料が第1の開口部内に流れ込まないように、液体材料を蓄積する第3の蓄積部とを備えてもよい。このようにしたことにより、液体材料が第1の開口部へ流れ込むのを確実に抑止でき、陰極配線と接続配線との接続不良の発生を確実に低減できる。
また、第2の蓄積部の形成領域には、絶縁層が形成されていないのが好ましい。このようにしたことにより、第2の蓄積部の蓄積容積をより大きくでき、陰極配線と接続配線との接続不良をより効果的に低減できる。
また、第3の蓄積部の形成領域には、絶縁層が形成されていないのが好ましい。このようにしたことにより、第3の蓄積部の蓄積容積をより大きくでき、陰極配線と接続配線との接続不良をより効果的に低減できる。
本発明に係る有機EL表示装置の製造方法は、第1の電極配線を基板上に形成するステップと、第1の電極配線と交差するように、複数の隔壁を基板上に形成するステップと、第1の電極配線と交差するように、第2の電極配線を複数の隔壁の間に形成するステップと、第1および第2の電極配線の交差部であって、第1および第2の電極配線の間に、有機化合物層を液体材料の塗布により形成するステップと、基板の一辺側に引き出し、第2の電極配線に接続されるように、接続配線を形成するステップと、複数の隔壁のうち、隣り合う隔壁の間であって、基板の一辺側で第2の電極配線を接続して、接続部を形成するステップと、第2の電極配線ならびに接続配線の間および第1ならびに第2の電極配線の間に、接続部の位置に配設された第1の開口部および交差部の位置に配設された第2の開口部を有する絶縁層を形成するステップと、液体材料が第1の開口部内に流れ込むのを抑止するように、液体材料を蓄積する第1の蓄積部を、第1の開口部の外周に沿って溝状に形成するステップと、液体材料が第1の開口部内に流れ込むのを抑止するように、液体材料を蓄積する第2の蓄積部を、複数の隔壁のうち、隣り合う隔壁の間であって、第1および第2の開口部の間に凹状に形成するステップとを含み、第2の蓄積部を形成するステップでは、第2の蓄積部の内側面が隔壁に沿って形成されるように、第2の蓄積部を形成することを特徴とするものである。
このような製造方法を採用したことにより、液体材料が第1の開口部へ流れ込むのを抑止でき、陰極配線と接続配線との接続不良の発生を低減できる。
このような製造方法を採用したことにより、液体材料が第1の開口部へ流れ込むのを抑止でき、陰極配線と接続配線との接続不良の発生を低減できる。
ここで、液体材料が第1の開口部内に流れ込むのを抑止するように、液体材料を蓄積する第3の蓄積部を、第1の開口部および基板の一辺の間であって、接続配線が形成されていない領域に凹状に形成するステップを更に含んでもよい。このようにしたことにより、液体材料が第1の開口部へ流れ込むのを確実に抑止でき、陰極配線と接続配線との接続不良の発生を確実に低減できる。
また、第2の蓄積部を形成するステップでは、第2の蓄積部の形成領域に絶縁層が形成されないように、第2の蓄積部を形成するのが好ましい。このようにしたことにより、第2の蓄積部の蓄積容積をより大きくでき、陰極配線と接続配線との接続不良をより効果的に低減できる。
また、第3の蓄積部を形成するステップでは、第3の蓄積部の形成領域に絶縁層が形成されないように、第3の蓄積部を形成するのが好ましい。このようにしたことにより、第3の蓄積部の蓄積容積をより大きくでき、陰極配線と接続配線との接続不良をより効果的に低減できる。
本発明によれば、陰極配線と接続配線との接続不良の発生を低減できる。
本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置について、図に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の構成を示す図であって、電極が形成される側から基板を観察した状況を示す模式図である。なお、図1では封止基板および捕水剤を省略している。図2は図1のX−X切断線における模式断面図である。図3は図1のY−Y切断線における模式断面図である。図4は図1のZ−Z切断線における模式断面図である。図5は図1のW−W切断線における模式断面図である。図6は図1のS−S切断線における模式断面図である。
図1は、本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置の構成を示す図であって、電極が形成される側から基板を観察した状況を示す模式図である。なお、図1では封止基板および捕水剤を省略している。図2は図1のX−X切断線における模式断面図である。図3は図1のY−Y切断線における模式断面図である。図4は図1のZ−Z切断線における模式断面図である。図5は図1のW−W切断線における模式断面図である。図6は図1のS−S切断線における模式断面図である。
図1〜図6に示されるように、有機EL素子基板100は、基板1上に陽極配線2、第1の開口部としてのコンタクトホール32や第2の開口部としての画素開口部31等が形成された絶縁層3、接続配線4、陰極配線5、隔壁6、有機化合物層8、接続部9、陽極配線2および陰極配線5の交差部10、隔壁接続部11、12等が形成されて構成されている。
図1〜図6に示されるように、基板1は矩形板状に形成されている。基板1には例えば透明なガラス基板が用いられる。ここで、図1に示されるように、便宜上、基板1の各頂点をA〜Dとする。複数の陽極配線2が、基板1の辺ABに対して略平行なストライプ状に基板1の表面に接して形成されている。各陽極配線2の材料には、例えばITO(Indium Tin Oxide)が用いられる。
図1〜図6に示されるように、基板1は矩形板状に形成されている。基板1には例えば透明なガラス基板が用いられる。ここで、図1に示されるように、便宜上、基板1の各頂点をA〜Dとする。複数の陽極配線2が、基板1の辺ABに対して略平行なストライプ状に基板1の表面に接して形成されている。各陽極配線2の材料には、例えばITO(Indium Tin Oxide)が用いられる。
図1、図3および図5に示されるように、複数の接続配線4が、陽極配線2に対して略垂直になるように、基板1の表面に接して形成されている。接続配線4は、陰極配線5の本数に対応して形成されている。図3に示されるように、接続配線4は、絶縁層3内に形成されたコンタクトホール32を介して、陰極配線5に接続されている。また、図1に示されるように、複数の接続配線4は、基板1の辺AB側に引き出されている。接続配線4の材料には、例えばITO(Indium Tin Oxide)が用いられる。
図1〜図6に示されるように、陽極配線2および接続配線4が形成された基板上に積層して、第2の開口部としての画素開口部31および第1の開口部としてのコンタクトホール32を有する絶縁層3が形成されている。また、図1および図3に示されるように、第1、第2および第3の蓄積部33、34、35a、35bの形成領域には、絶縁層3は形成されていない。
これら第1、第2および第3の蓄積部33、34、35a、35bの構成については、後で詳細に説明する。
これら第1、第2および第3の蓄積部33、34、35a、35bの構成については、後で詳細に説明する。
画素開口部31は、絶縁層3内であって、陽極配線2と陰極配線5との交差部10の位置に設けられている。図1に示されるように、コンタクトホール32は、絶縁層3内で、隣り合う隔壁6の間であって、接続配線4が引き出されている辺AB側に形成されている。また、図3に示されるように、コンタクトホール32の内側に陰極配線5と接続配線4とを接続する接続部9が設けられている。また、接続部9は、破線で示す表示領域Vの外側に配設されている。
また、図1、図2および図4に示されるように、複数の隔壁6が基板1の辺ABに対して略垂直なストライプ状に絶縁層3上に形成されている。すなわち、隔壁6は陽極配線2と略直交するように形成されている。隔壁6が有機化合物層8や陰極配線5を分離することにより、隔壁6間に有機化合物層8が形成され、ストライプ状に配設された陰極配線5が形成される。
図2および図4に示されるように、隔壁6は逆テーパ形状に形成されている。すなわち、当該隔壁6の延在方向に対して略垂直方向に切断したときの切断面の形状が、基板1から離れるにつれて広がるように形成されている。このように、隔壁6を逆テーパ形状にすることにより、隔壁6の側面および立ち上がり部分が影となり、製造工程において、複数の陰極配線5を空間的に分離することができる。
図1、図2、図3および図6に示されるように、有機化合物層8が絶縁層3上に積層して形成されている。また、有機化合物層8は、陽極配線2および陰極配線5の交差部10であって、陽極配線2および陰極配線5の間に形成されている。詳細は図示しないが、有機化合物層8は、例えば、基板1の表面上に、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層および電子注入層が、順次積層されて形成される。なお、有機化合物層8はこれとは異なる構成を有する場合もある。有機化合物層8の少なくとも1層は、スピンコート法やインクジェット法やスプレー法などの湿式塗布法によって、形成される。
図1、図2、図3および図6に示されるように、陰極配線5は、陽極配線2と略直交するように、複数の隔壁6の間にストライプ状に形成されている。すなわち、陰極配線5は、陽極配線2に対して略垂直に形成されている。図2、図3および図6に示されるように、陰極配線5は、陽極配線2との交差部10で有機化合物層8を挟持するように、有機化合物層8上に積層して形成される。
陰極配線5の材料には、通常はアルミニウムAlまたはアルミニウム合金が用いられており、陰極配線5は蒸着法により有機化合物層8上に形成される。陰極配線5を蒸着法により形成する際、隔壁6が陰極配線5を所望のパターンに分離する。なお、AlやAl合金の他に、Li等のアルカリ金属、Ag、Ca、Mg、Y、Inやこれらを含む合金を陰極配線5の材料に用いてもよい。
図1、図3および図6に示されるように、隔壁接続部11、12が隣り合う隔壁6を接続して、絶縁層3上に形成されている。図1および図6に示されるように、隔壁接続部11は、接続部9が形成されていない辺CD側に設けられている。また、図1および図3に示されるように、隔壁接続部12は、接続部9が形成されている辺AB側に設けられている。
隔壁接続部11、12は、隔壁6に対して略垂直に形成されている。この隔壁接続部11、12によって、有機化合物の溶液等の液体材料が表示領域V外に多量に流出されるのが抑止され、有機化合物の溶液の流出による有機化合物層8の膜厚の減少を抑止でき、表示領域V内の有機化合物層8の膜厚を均一にすることができる。
図3および図6に示されるように、隔壁接続部11、12は、隔壁6と同様に、逆テーパ形状に形成されている。すなわち、隔壁接続部11、12は、当該隔壁接続部11、12の延在方向に対して略垂直方向に切断したときの切断面の形状が、基板1から離れるにつれて広がるように形成されている。隔壁接続部11、12は、隔壁6と同一材料により形成することができる。これにより、隔壁接続部11、12を隔壁6と同時に簡単に絶縁層3上に形成することができる。
また、図1に示されるように、隔壁接続部11、12は、破線で示された表示領域Vの外側に配置されている。すなわち、隔壁接続部11、12は、複数の陽極配線2のうち、両端に配置されている陽極配線2よりも外側に設けられている。仮に、隔壁接続部11、12が表示領域Vの内側に配置された場合、陰極配線5が当該隔壁接続部11、12によって分断されてしまう。従って、隔壁接続部11、12を表示領域V外側に配置することによって、陰極配線5を表示領域V内で途切れることなく形成することができる。
図2、図3、図4および図6に示されるように、有機EL素子基板100の表面、すなわち基板1の有機化合物層8等が配置された面上には、封止基板14が対向するように配置され、基板1上の有機化合物層8等が外気と遮断されるように封止されている。封止基板14の基板1との対向側の中央部には凹部14aが形成されている。この凹部14a内に捕水剤15が塗布されている。
また、図2、図3、図4および図6に示されるように、封止基板14と基板1とは、封止基板14の外周に塗布されたシール材16により貼り合わされる。基板1上の有機化合物層8等は、両基板1、14およびシール材16によって封止されることで、空気中の水分にさらされないように保たれる。また、基板1と封止基板14との間の封止空間には、酸素や窒素等の気体が封入されている。
ここで、図1および図3に示されるように、第1の蓄積部33は、コンタクトホール32の外周に沿って溝状に形成されている。この第1の蓄積部33は、有機化合物層8を形成する際に、当該有機化合物の溶液等の液体材料がコンタクトホール32内に流れ込むのを抑止するように、液体材料を蓄積するために設けられている。図1では、便宜上、第1の蓄積部33の形成領域にハッチングを施している。また、図3では、便宜上、有機化合物の溶液等の液体材料8aが第1の蓄積部33に蓄積されている状態を示している。この有機化合物の溶液等の液体材料8aは、例えば、光硬化性樹脂の場合、光照射後に硬化される。
また、図1、図3および図4に示されるように、第2の蓄積部34は、隣り合う隔壁6の間であって、コンタクトホール32および画素開口部31の間に凹状に形成されている。この第2の蓄積部34は、有機化合物層8を形成する際に、当該有機化合物の溶液等の液体材料がコンタクトホール32内に流れ込むのを抑止するように、液体材料を蓄積するために設けられている。このとき、第2の蓄積部34の内側面は、図1に示されるように、隔壁6に沿って形成されている。図1では、便宜上、第2の蓄積部34の形成領域にハッチングを施している。また、図3および図4では、便宜上、有機化合物の溶液等の液体材料8aが第2の蓄積部34に蓄積されている状態を示している。
このような構成にしたことにより、有機化合物層8を形成する際に、当該有機化合物の溶液等の液体材料を第1および第2の蓄積部33、34内に蓄積することができ、コンタクトホール32周囲の液体材料の水位を低下させることができる。この結果、有機化合物層8を形成する際に、液体材料がコンタクトホール32内へ流れ込むのを抑止でき、陰極配線5と接続配線4との接続不良の発生を低減できる。また、第2の蓄積部34の形成領域には、絶縁層3が形成されていないので、第2の蓄積部34の蓄積容積をより大きくでき、陰極配線5と接続配線4との接続不良をより効果的に低減できる。
また、図1および図5に示されるように、第3の蓄積部35a、35bは、コンタクトホール32および基板1の辺ABの間であって、接続配線4が形成されていない領域に凹状に形成されている。この第3の蓄積部35a、35bは、有機化合物層8を形成する際に、当該有機化合物の溶液等の液体材料がコンタクトホール32内に流れ込まないように、液体材料を蓄積するために設けられている。図1では、便宜上、第3の蓄積部35a、35bの形成領域にハッチングを施している。また、図5では、有機化合物の溶液等の液体材料8aが第3の蓄積部35a、35bに蓄積されている状態を示している。
このような構成にしたことにより、有機化合物層8を形成する際に、当該有機化合物の溶液等の液体材料8aを更に第3の蓄積部35a、35b内に蓄積することができ、コンタクトホール32周囲の液体材料の水位を確実に低下させることができる。この結果、有機化合物層8を形成する際に、液体材料がコンタクトホール32内へ流れ込むのを確実に抑止でき、陰極配線5と接続配線4との接続不良の発生を低減できる。また、第3の蓄積部35a、35bの形成領域には、絶縁層3が形成されていないので、第3の蓄積部35a、35bの蓄積容積をより大きくでき、陰極配線5と接続配線4との接続不良をより効果的に低減できる。
有機化合物の溶液等の液体材料を塗布して有機化合物層8を形成する場合、有機化合物層8は各隔壁6によって分離される。隣り合う隔壁6の間であって、基板1の辺CD側において、液体材料が隔壁6の側面に沿って表示領域Vから離れる方向(図1の矢印a、b方向)に流出しようとしても、隔壁接続部11によって堰き止められる。
すなわち、有機化合物の溶液等の液体材料は、隣り合う隔壁6およびこの間を接続する隔壁接続部11に囲われた領域内に堰き止められる。そして、塗布された有機化合物の溶液等の液体材料を濃縮乾燥して有機化合物層8を形成する。従って、有機化合物の溶液等の液体材料の流出による有機化合物層8の膜厚の減少を防ぎ、表示領域V内の有機化合物層8の膜厚を均一にすることができる。よって、表示ムラの発生を防ぐことができる。
また、隣り合う隔壁6の間であって、基板1の辺AB側においては、第1、第2および第3の蓄積部33、34、35a、35bが形成されている。このため、有機化合物層8を形成する際に、有機化合物の溶液等の液体材料が、隔壁6の側面に沿って、表示領域Vから離れる方向(図1の矢印c、d方向)に流れても、第1および第2の蓄積部33、34が液体材料8aを、図3に示されるように蓄積するので、コンタクトホール32周囲の液体材料の水位を確実に低下させることができる。この結果、有機化合物層8を形成する際に、液体材料がコンタクトホール32内へ流れ込むのを抑止でき、陰極配線5と接続配線4との接続不良の発生を低減できる。
また、有機化合物層8を形成する際に、有機化合物の溶液等の液体材料が、第1および第2の蓄積部33、34を乗り越え、隔壁6の側面に沿って、更に表示領域Vから離れる方向(図1の矢印e、f方向)に流れても、第3の蓄積部35a、35bが液体材料8aを、図5に示されるように蓄積するので、コンタクトホール32周囲の液体材料の水位を確実に低下させることができる。この結果、有機化合物層8を形成する際に、液体材料がコンタクトホール32内へ流れ込むのを確実に抑止でき、陰極配線5と接続配線4との接続不良の発生を低減できる。
そして、有機化合物の溶液等の液体材料は、隔壁6の側面に沿って、隔壁接続部12の方向へ向けて流れ、最終的に隔壁接続部12で堰き止められる。従って、有機化合物の溶液等の液体材料の流出による有機化合物層8の膜厚の減少を防ぎ、表示領域V内の有機化合物層8の膜厚を均一にすることができる。
さらに、図1に示されるように、各隔壁接続部11、12は同一の仮想直線E−E、F−F上に一列に配列されている。このようにすることにより、全ての陰極配線5において、表示領域Vの端部から隔壁接続部11、12までの距離が同じになる。従って、それぞれの隔壁6間における有機化合物の溶液の流出量を略同一にすることができ、表示むらの発生をより低減することができる。
さらに、図1に示されるように、各隔壁接続部11、12は同一の仮想直線E−E、F−F上に一列に配列されている。このようにすることにより、全ての陰極配線5において、表示領域Vの端部から隔壁接続部11、12までの距離が同じになる。従って、それぞれの隔壁6間における有機化合物の溶液の流出量を略同一にすることができ、表示むらの発生をより低減することができる。
次に、本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置を製造する方法について、図に基づいて説明する。図7は、本発明の実施の形態に係る有機EL表示装置を製造する手順を示すフロー図である。
図7に示されるように、まず、矩形板状の基板1を準備する(ステップ(STEP:以下、STと称する)701)。基板1には、例えば、ガラスなどの透明基板を用いる。
図7に示されるように、まず、矩形板状の基板1を準備する(ステップ(STEP:以下、STと称する)701)。基板1には、例えば、ガラスなどの透明基板を用いる。
次に、基板1の表面を洗浄した後に、当該基板1上に、陽極配線2および接続配線4を形成する(ST702)。具体的には、基板1上にITOをスパッタや蒸着により成膜して、成膜されたITO膜に対してエッチィングを施すことによって、陽極配線2および接続配線4をパターニングする。なお、接続配線4の材料には、AlやAl合金などの低抵抗金属材料を用いることができる。この場合、例えば、ITO膜をパターニングして陽極配線2を形成した後に、Alなどをスパッタまたは蒸着により成膜する。そして、Al膜をフォトリソグラフィー法などによりパターニングして、接続配線4を形成する。
次に、陽極配線2および接続配線4が形成された基板1の面上に、絶縁層3を形成する(ST703)。このとき、画素開口部31、コンタクトホール32、第1、第2および第3の蓄積部33、34、35a、35bの形成領域には、絶縁層3を形成しない。具体的には、例えば、感光性のポリイミド樹脂の溶液をスピンコーティングにより塗布して、塗布後のポリイミド樹脂膜をフォトリソグラフィー法によりパターニングして、絶縁層3を形成する。パターニングに際しては、画素開口部31、コンタクトホール32、第1、第2および第3の蓄積部33、34、35a、35bが形成されるようにパターニングを行う。
次に、隔壁6および隔壁接続部11、12を形成する(ST704)。具体的には、例えば、基板1上に形成された絶縁層3上に、ノボラック樹脂、アクリル樹脂などの感光性樹脂をスピンコートにより塗布した後、フォトリソグラフィー法により感光性樹脂膜をパターニングして、光反応させて隔壁6および隔壁接続部11、12を形成する。露光マスクの形状を、隔壁6および隔壁接続部11、12の形状に対応させることにより、これらを同時に形成することができる。
図1に示されるように、複数の陰極配線5が形成される位置の間隙に、陰極配線5と平行になるようにパターニングを行ない、隔壁6を形成する。また、隣り合う隔壁6の間であって、基板1の辺CD側で、隣接する隔壁6が接続されるように、パターニングを行い、隔壁接続部11を形成する。また、隣り合う隔壁6の間であって、基板1の辺AB側で、隣接する隔壁6が接続されるように、パターニングを行い、隔壁接続部12を形成する。なお、ネガ型の感光性樹脂を用いると、露光工程において、隔壁6および隔壁接続部11、12の下層位置ほど光反応が不十分となり、逆テーパ構造を容易に形成できる。
次に、有機化合物層8を形成する(ST705)。有機化合物の溶液を塗布する領域に対応した開口を有するマスクを基板1上に配置して、有機化合物の溶液を湿式塗布法により塗布する。例えば、正孔注入層を形成する場合、0.5%(質量百分率)のポリビニルカルバゾールを溶解した安息香酸エチル溶液を、湿式塗布法により塗布する。そして、塗布後の安息香酸エチル溶液を濃縮乾燥して正孔注入層を形成する。
続いて、正孔注入層の上層にα−NPD(N,N'−ジ(ナフタレン−1−イル)−N,N'−ジフェニル−ベンジジン)を蒸着して正孔輸送層を形成する。さらに、その上層に、発光層のホスト化合物となるAlq(トリス(8−ヒドロキシナト)アルミニウム)と、ゲスト化合物の蛍光性色素となるクマリン6とを同時に蒸着して、有機発光層を形成する。続いて、有機発光層の上層にLiFを蒸着して、電子輸送層を形成する。
上述のように多層構成の有機化合物層のうち少なくとも1層が、有機化合物の溶液の塗布により形成される場合において、第1、第2および第3の蓄積部33、34、35a、35bにより、有機化合物の溶液等の液体材料が、コンタクトホール32内に直接流れ込むのを抑止でき、陰極配線5と接続配線4との接続不良の発生を低減できる。また、隔壁接続部11、12により、有機化合物の溶液等の液体材料が表示領域Vの外側に大量に流出するのを堰き止めることができ、有機化合物層の膜厚を均一にして、表示むらの発生を低減できる。
次に、陰極配線5を形成する(ST706)。具体的には、陽極配線2との間で有機化合物層8が挟持されるように、陰極配線5を有機化合物層8上に積層して形成する。例えば、陰極配線5を形成するための陰極配線材料をマスク蒸着などによって堆積することにより、陰極配線5を形成する。
次に、基板1に対して、封止基板14を貼り合せる(ST707)。具体的には、封止基板14の内面に形成された凹面14a上に捕水剤15を塗布し、封止基板14と基板1とを位置合せをしながら、紫外線硬化樹脂のシール材16により貼り合わせた後、両基板を加圧し、各シール材に紫外線光を照射する。これにより、基板1と封止基板14とが接着され、陽極配線2、陰極配線5および有機化合物層7などが封止される。そして、有機EL表示装置が完成する。
以上の説明は、本発明の実施の形態を説明するものであり、本発明が以上の実施の形態に限定されるものではない。また、当業者であれば、以上の実施の形態の各要素を、本発明の範囲において、容易に変更、追加、変換することが可能である。
上記実施態様では、正孔注入層のみを湿式塗布法により形成すると説明したが、正孔注入層以外の層を湿式塗布法により形成することもできる。
上記実施態様では、正孔注入層のみを湿式塗布法により形成すると説明したが、正孔注入層以外の層を湿式塗布法により形成することもできる。
また、上記実施態様では、陽極および陰極の間で挟持される有機化合物層を複数層からなるものとして説明したが、陽極および陰極の間で挟持される有機化合物層を単層で構成してもよい。
また、上記実施形態では、第1、第2および第3の蓄積部33、34、35a、35bの形成領域には、絶縁層3を形成しないものとして説明したが、第1、第2および第3の蓄積部33、34、35a、35bが有機化合物の溶液等の液体材料がコンタクトホール32内に流れ込まないように液体材料8aを十分に蓄積できれば、第1、第2および第3の蓄積部33、34、35a、35bの形成領域の一部に絶縁層3が残ってもよい。ただし、有機化合物の溶液等の液体材料8aの蓄積容量は、絶縁層3が形成されていない場合と比較して、少なくなる。
また、上記実施態様では、パッシブ型有機EL表示装置として説明したが、アクティブ型有機EL表示装置にも本発明を適用できる。
また、上記実施態様では、有機EL表示装置として説明したが、表示装置以外の有機EL装置にも本発明を適用できる。
また、上記実施態様では、有機EL表示装置として説明したが、表示装置以外の有機EL装置にも本発明を適用できる。
1 基板
2 陽極配線(陽極)
3 絶縁層
31 画素開口部
32 コンタクトホール
33 第1の蓄積部
34 第2の蓄積部
35a、35b 第3の蓄積部
4 接続配線
5 陰極配線(陰極)
6 隔壁
8 有機化合物層
8a 液体材料
9 接続部
10 交差部
11、12 隔壁接続部
14 封止基板
15 捕水剤
16 シール材
100、100a 有機EL素子基板
V 表示領域
2 陽極配線(陽極)
3 絶縁層
31 画素開口部
32 コンタクトホール
33 第1の蓄積部
34 第2の蓄積部
35a、35b 第3の蓄積部
4 接続配線
5 陰極配線(陰極)
6 隔壁
8 有機化合物層
8a 液体材料
9 接続部
10 交差部
11、12 隔壁接続部
14 封止基板
15 捕水剤
16 シール材
100、100a 有機EL素子基板
V 表示領域
Claims (8)
- 基板上に形成された第1の電極配線と、
上記第1の電極配線と交差するように、上記基板上に形成された複数の隔壁と、
上記第1の電極配線と交差するように、上記複数の隔壁の間に形成された第2の電極配線と、
上記第1および第2の電極配線の交差部であって、上記第1および第2の電極配線の間に、液体材料を塗布して形成された有機化合物層と、
上記第2の電極配線に接続され、上記基板の一辺側に引き出された接続配線と、
上記複数の隔壁のうち、隣り合う隔壁の間であって、上記基板の上記一辺側に設けられ、上記第2の電極配線と上記接続配線を接続する接続部と、
上記第2の電極配線ならびに上記接続配線の間および上記第1ならびに第2の電極配線の間に形成され、上記接続部の位置に配設された第1の開口部および上記交差部の位置に配設された第2の開口部を有する絶縁層と、
上記第1の開口部の外周に沿って溝状に形成され、上記液体材料が上記第1の開口部内に流れ込むのを抑止するように、上記液体材料を蓄積する第1の蓄積部と、
上記複数の隔壁のうち、上記隣り合う隔壁の間であって、上記第1および第2の開口部の間に凹状に形成され、上記液体材料が上記第1の開口部内に流れ込むのを抑止するように、上記液体材料を蓄積する第2の蓄積部とを備え、
上記第2の蓄積部の内側面は、上記隔壁に沿って形成されていることを特徴とする有機EL表示装置。 - 上記第1の開口部および上記基板の上記一辺の間であって、上記接続配線が形成されていない領域に凹状に形成され、上記液体材料が上記第1の開口部内に流れ込まないように、上記液体材料を蓄積する第3の蓄積部とを備えた請求項1に記載の有機EL表示装置。
- 上記第2の蓄積部の形成領域には、絶縁層が形成されていない請求項1または2に記載の有機EL表示装置。
- 上記第3の蓄積部の形成領域には、上記絶縁層が形成されていない請求項2に記載の有機EL表示装置。
- 第1の電極配線を基板上に形成するステップと、
上記第1の電極配線と交差するように、複数の隔壁を上記基板上に形成するステップと、
上記第1の電極配線と交差するように、第2の電極配線を上記複数の隔壁の間に形成するステップと、
上記第1および第2の電極配線の交差部であって、上記第1および第2の電極配線の間に、有機化合物層を液体材料の塗布により形成するステップと、
上記基板の一辺側に引き出し、上記第2の電極配線に接続されるように、接続配線を形成するステップと、
上記複数の隔壁のうち、隣り合う隔壁の間であって、上記基板の上記一辺側で上記第2の電極配線を接続して、接続部を形成するステップと、
上記第2の電極配線ならびに上記接続配線の間および上記第1ならびに第2の電極配線の間に、上記接続部の位置に配設された第1の開口部および上記交差部の位置に配設された第2の開口部を有する絶縁層を形成するステップと、
上記液体材料が上記第1の開口部内に流れ込むのを抑止するように、上記液体材料を蓄積する第1の蓄積部を、上記第1の開口部の外周に沿って溝状に形成するステップと、
上記液体材料が上記第1の開口部内に流れ込むのを抑止するように、上記液体材料を蓄積する第2の蓄積部を、複数の隔壁のうち、上記隣り合う隔壁の間であって、上記第1および第2の開口部の間に凹状に形成するステップとを含み、
上記第2の蓄積部を形成するステップでは、上記第2の蓄積部の内側面が上記隔壁に沿って形成されるように、上記第2の蓄積部を形成することを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。 - 上記液体材料が上記第1の開口部内に流れ込むのを抑止するように、上記液体材料を蓄積する第3の蓄積部を、上記第1の開口部および上記基板の上記一辺の間であって、上記接続配線が形成されていない領域に凹状に形成するステップを更に含む請求項5に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 上記第2の蓄積部を形成するステップでは、上記第2の蓄積部の形成領域に上記絶縁層が形成されないように、上記第2の蓄積部を形成する請求項5または6に記載の有機EL表示装置の製造方法。
- 上記第3の蓄積部を形成するステップでは、上記第3の蓄積部の形成領域に上記絶縁層が形成されないように、上記第3の蓄積部を形成する請求項6に記載の有機EL表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006147107A JP2007317558A (ja) | 2006-05-26 | 2006-05-26 | 有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006147107A JP2007317558A (ja) | 2006-05-26 | 2006-05-26 | 有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007317558A true JP2007317558A (ja) | 2007-12-06 |
Family
ID=38851234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006147107A Pending JP2007317558A (ja) | 2006-05-26 | 2006-05-26 | 有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007317558A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009087966A1 (ja) * | 2008-01-07 | 2009-07-16 | Panasonic Corporation | 有機エレクトロルミネッセンス装置およびその製造方法 |
CN104795426A (zh) * | 2015-04-07 | 2015-07-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板、在其上喷墨印刷的方法及相关装置 |
JP2022160518A (ja) * | 2017-08-25 | 2022-10-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示パネル、表示装置 |
-
2006
- 2006-05-26 JP JP2006147107A patent/JP2007317558A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009087966A1 (ja) * | 2008-01-07 | 2009-07-16 | Panasonic Corporation | 有機エレクトロルミネッセンス装置およびその製造方法 |
CN104795426A (zh) * | 2015-04-07 | 2015-07-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板、在其上喷墨印刷的方法及相关装置 |
WO2016161730A1 (zh) * | 2015-04-07 | 2016-10-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板、在其上喷墨印刷的方法及相关装置 |
US20170047518A1 (en) * | 2015-04-07 | 2017-02-16 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Array substrate, method for ink jet printing thereon and related device |
US9780304B2 (en) | 2015-04-07 | 2017-10-03 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Array substrate, method for ink jet printing thereon and related device |
JP2022160518A (ja) * | 2017-08-25 | 2022-10-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示パネル、表示装置 |
JP7314369B2 (ja) | 2017-08-25 | 2023-07-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示パネル、表示装置 |
US11805674B2 (en) | 2017-08-25 | 2023-10-31 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display panel and display device including partition wall |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4255724B2 (ja) | 有機elディスプレイの製造方法および有機elディスプレイ | |
JP4964605B2 (ja) | 有機el表示装置の製造方法 | |
JP2005317476A (ja) | 表示装置 | |
JP2006004942A (ja) | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 | |
JP2005322650A (ja) | 有機電界発光表示素子およびその製造方法 | |
JP4369211B2 (ja) | 有機elディスプレイの製造方法 | |
CN101513121B (zh) | 有机发光显示器 | |
JP2007317558A (ja) | 有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 | |
JP2007317546A (ja) | 有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 | |
JP2007323953A (ja) | 有機led素子 | |
JP2007225966A (ja) | 有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 | |
JP2007227046A (ja) | 有機el表示装置 | |
JP2007005047A (ja) | 有機el表示装置及びその製造方法 | |
JP2007317547A (ja) | 有機el表示装置および有機el表示装置の製造方法 | |
JP2005174842A (ja) | 有機el表示装置及びその製造方法 | |
JP5265018B2 (ja) | 有機elパネル及びその製造方法 | |
JP2005183184A (ja) | 有機el表示装置の製造方法 | |
JP6102419B2 (ja) | トップエミッション型有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、およびトップエミッション型有機エレクトロルミネッセンス表示装置 | |
WO2016208430A1 (ja) | 有機elデバイス、有機el照明パネル、有機el照明装置および有機elディスプレイ | |
JP2008140616A (ja) | 有機el表示装置及びその製造方法 | |
KR101310375B1 (ko) | 유기 이엘 표시 소자 및 그의 제조방법 | |
JP2007323889A (ja) | 有機led素子及びその製造方法 | |
JP4478520B2 (ja) | 有機el表示装置用基板とその製造方法、及び有機el表示装置の製造方法 | |
JP2005158388A (ja) | 有機el表示装置の製造方法 | |
JP2005183078A (ja) | 有機el表示装置及び有機el表示装置の製造方法 |