JP2007316657A - 光走査装置及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、ポリゴンミラー平面度の高精度化を行うことなく、ジターや色ずれの少ない画像を実現できる安価な光走査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 本発明の光走査装置は、走査結像光学系の光路間にレーザビーム透過部材を設け、反射面が回転軸方向に離間して複数段設けられたポリゴンミラーと軸受部材とが焼キバメ固定でのみ一体化され、ポリゴンミラーの平面度形状が、被走査面領域に相当する有効範囲内で、ポリゴンミラーの反射面の平面度形状が複数段の各面とも略凹面又は略凸面からなる同形状からなる。
【選択図】 図４

Description

本発明は光走査装置及び画像形成装置に関し、特にポリゴンミラーを有する光走査装置に関する。

従来、カラー画像形成装置などに用いられるポリゴンスキャナには複数のレーザビームを入射させ偏向させる方式があり、２枚のミラーを軸方向に間隔を空けて配置する方法が行われている。一方、カラー画像形成装置の高速プリント化・高画質化を実現するにあたって、ポリゴンスキャナを30,000rpm以上の高速かつ高精度に回転させる必要が生じている。カラー画像形成装置においては、各色（イエロ、マゼンダ、シアン、ブラック）に応じたレーザビームを各々走査しているが、ポリゴンスキャナの走査ジターが「縦線ゆらぎ」「色ずれ」画像を発生させる。従って、高画質化においては、ポリゴンスキャナのジター低減が求められており、そのためにはポリゴンミラー平面度の各面ばらつきの低減が必要である。

また、高画質化のためには1200dpi以上の画素密度が求められており、そのため感光体面上のレーザビームのスポット径（1/e²、以下同じ）は５０μｍ以下の小径化が必要とされている。ただし、小径のレーザビームを安定維持するためには、ポリゴンミラーの平面度の影響が大きく高精度化する必要があった。たとえば平面度は０．１μｍ以下にしないと主走査方向のビームスポット径が両端と中心部では大きく異なり、特に細線の両端が太るなど画像が乱れる。

このような問題を解決するために、ポリゴンミラー平面度の高精度化（１面内の平面度の低減と各面のばらつきの低減）、（１）ポリゴンミラー加工精度の向上、（２）ポリゴンミラー平面度の高精度維持が各々必要である。（１）は鏡面加工機械の高精度化が必要となり、一方従来の加工方法でも加工工数増加、歩留まり悪化によるコストアップを招き、（２）はポリゴンミラーを上方向から固定する際に板バネやネジによる変形が発生する恐れがある。その防止策として固定力を低減したり、接着剤による固定が考えられるが、いずれもポリゴンミラーが微移動し、回転体のバランスが変化しやすく、振動の原因となる。特にカラー画像形成装置に用いられる30000rpm以上の高速回転する２段ポリゴンミラーの場合、ポリゴンミラーの風損およびモータ発熱により９０℃以上に曝される。回転体を構成している部品（ポリゴンミラー、ロータ磁石が固定されるフランジ、軸）の熱膨張率が異なったり、一致していても部品公差や固定方法などを厳密に管理、検査しないと高温高速回転時に微移動（回転体のバランス変化）が発生し、ひいては振動を増大させる結果となっていた。

そこで、特許文献１によれば、ポリゴンミラーが円板部材と波形板とストッパによって、固定軸に嵌合する回転スリーブのフランジ部に押圧され、一体的に結合されている。回転スリーブと一体であるロータマグネットとポリゴンミラー等を含む回転体の慣性モーメントを増大させてジターを改善するために、ポリゴンミラーより大径な円板部材を追加して、その上面にバランス修正溝を設けている。さらに、固定軸を支持するハウジングと円板部材によってポリゴンミラーを覆い、防塵のためのカバーを構成する。本構成としたことにより、オーバーフィールド型の走査系等において、小径のポリゴンミラーの回転ジッターが悪化するのを防ぐことができる。
特開２０００−２８９５３号公報

しかしながら、上記特許文献１のように、ポリゴンミラーよりも大径な円板部材を追加することにより、イナーシャ増加による起動時間の延長、質量増加による軸受負荷の増大、消費電力の増大を引き起す。また、回転体上端部に円板部材を搭載しているため、回転体の重心が上端部に変位し、回転体バランスの不安定化を招く等問題が多い。

本発明はこれらの問題点を解決するためのものであり、ポリゴンミラー平面度の高精度化を行うことなく、ジターや色ずれの少ない画像を実現できる安価な光走査装置及び画像形成装置を提供することを目的とする。

前記問題点を解決するために、本発明の光走査装置は、走査結像光学系の光路間にレーザビーム透過部材を設け、反射面が回転軸方向に離間して複数段設けられたポリゴンミラーと軸受部材とが焼キバメ固定でのみ一体化され、ポリゴンミラーの平面度形状が、被走査面領域に相当する有効範囲内で、ポリゴンミラーの反射面の平面度形状が複数段の各面とも略凹面又は略凸面からなる同形状からなることに特徴がある。よって、各ビームに対応する各色の画像毎の位置ずれを低減し、主走査方向の色ずれを抑制するが可能な光走査装置を提供できる。

また、レーザビーム透過部材は光源からのレーザビームと前記ポリゴンミラーによる反射後のレーザビームをともに透過することにより、安価なレーザビーム透過部材を用いた光走査装置が提供できる。

更に、別の発明として、潜像担持体に光走査により潜像を形成し、上記潜像を可視化して所望の記録画像を得る画像形成装置に、上記の光走査装置を用いる。よって、ジターや色ずれの少ない画像を実現できる安価な画像形成装置を提供できる。

本発明の光走査装置は、走査結像光学系の光路間にレーザビーム透過部材を設け、反射面が回転軸方向に離間して複数段設けられたポリゴンミラーと軸受部材とが焼キバメ固定でのみ一体化され、ポリゴンミラーの平面度形状が、被走査面領域に相当する有効範囲内で、ポリゴンミラーの反射面の平面度形状が複数段の各面とも略凹面又は略凸面からなる同形状からなる。

図１は本発明の一実施の形態に係る光走査装置の構成を示す斜視図である。同図において、レーザ光源装置から１０１は、複数のレーザビームが放射される。なお、同図では便宜上、光源装置１０１から放射されるレーザビームの１本のみを描き、感光体１０２上では２本描いている。放射された各レーザビーム（実質的な平行ビーム）は、線像結像光学系としてのシリンドリカルレンズ１０３に入射する。シリンドリカルレンズ１０３は副走査方向にのみ正のパワーを有し、入射してくる複数のレーザビームを副走査方向にのみ集束させ、ポリゴンミラー１０４の反射面１０４ａ近傍に、主走査方向に長い線像として結像させる。なお、実際の線像は各レーザビームごとに結像され、各線像は副走査方向に互いに分離している。そして、図示されないモータ部によりポリゴンミラー１０４が矢印方向に等速回転されると、反射面１０４ａで反射された複数のレーザビームは、それぞれ偏向レーザビームとなって等角速度的に偏向される。各偏向レーザビームは、偏向しつつレーザビーム透過部材１０５を透過、走査結像光学系としてのｆθレンズ１０６に入射し、ｆθレンズ１０６を透過すると、長尺平面鏡である折り返しミラー１０７により反射されて光路を屈曲され、被走査面の実体をなす感光体１０２の周面上に、ｆθレンズ１０６の作用によりレーザスポットとして集光する。被走査面上に形成される複数のレーザビームのスポットは、互いに副走査方向に分離しており、図に示す如く、ひとつの反射面による走査で被走査面の複数のラインを同時に走査する。折り返しミラー１０７における長手方向の走査開始側端部の近傍に平面鏡１０８が配置されている。平面鏡１０８の配置されている部位は、偏向レーザビームが被走査面の有効走査領域を走査するに必要な有効偏向領域外である。平面鏡１０８により反射された偏向レーザビームは同期光検出のための受光手段であるフォトセンサ１０９に入射する。即ち、各偏向レーザビームは、偏向しつつ被走査面の走査領域へ向かう途上において、先ず平面鏡１０８に入射して反射され、フォトセンサ１０９に入射して受光される。フォトセンサ１０９の受光面は光学的に被走査面と等価な位置に配置されている。平面鏡１０８に入射する各偏向光ビームはfθレンズ１０６の光学作用を受けているので、各偏向レーザビームは、フォトセンサ１０９の受光面上に被走査面におけると同様の光スポットとして集光する。この実施の形態において、平面鏡１０８とフォトセンサ１０９とはいわゆる同期光検出手段を構成している。ポリゴンミラー反射面１０４ａの平面度形状は図２に示すように各面ともに湾曲形状をしており、全面ともに（図３では６面）凹面または凸面形状としている。なお、ハッチング領域をポリゴンミラー中心側で示した。ポリゴンミラー上視図を示す図２の（ａ）の反射面１０４ａのうちレーザ偏向に寄与する部分（有効範囲：有効範囲外の加工時に発生する角部のバリ等の部分を除く）の平面形状の一例を図２の（ｂ），（ｃ）に示す。実際には微少な凹凸（表面粗さ成分）が存在するが、レーザビームの偏向走査精度に関係する湾曲成分のみを図示している。図２の（ｂ）からわかるように、反射面１０４ａはいわゆる凹面形状をしており、有効範囲の両端Ｘ、Ｙを結んだ線よりも中心側に凹む形状（Ｚ部）としている。同様に、図２の（ｃ）からわかるように、反射面１０４ａはいわゆる凸面形状をしており、両端Ｘ２，Ｙ２を結んだ線よりも外径側に凸状（Ｚ２部）となっている。このように、従来のポリゴンミラーの形状は各面で凹凸が混在したり、一部の面または全面が波型（１面内での凹凸）になっており、その平面度は０．１〜０．１５μｍが一般的である。従来のミラー形状（各面で凹凸が混在、一部の面または全面が波型）では高画質化のため５０μｍ以下の小径ビームスポット（１／ｅ^２、以下同じ）を達成するには０．１μｍ以下の平面度が必要となる。ただし、０．１μｍ以下の平面度を安定して加工することは困難であり、歩留まり悪化による高コスト化が避けられない。

そこで、本発明のようにポリゴンミラーの反射面を全面ともに凹面または凸面形状に揃えることにより、主走査方向のずれを正規な位置に対して同方向とすることができるため、実質的なずれ量を小さくすることができる。反面、ずれ量を同じとすると、平面度の許容範囲を広くすることができる。図中のＤ、Ｄ２は平面度を表しており、ともに０．１６μｍで従来の平面度よりも大きくても良い。ただし、平面度の上限は０．７０μｍとするのが好適である。なぜならば、０．７μｍ以上の平面度になると、各面のばらつきが大きくなり易く走査レンズによる補正の許容範囲を超えてしまい、主走査方向のずれ量が大きくなってしまうからである。なお、上記平面度の数値はレーザ干渉計（Zygo社製）で測定し、ＰＶ（Peak to Valley）値を記載している。

図３は図１のレーザビーム透過部材の主走査断面形状を示す断面図である。従来は両面（ポリゴンミラー側、被走査面側）ともに曲率半径が２００ｍを超える高精度な平面度が必要であったが、ポリゴンミラーが有する主走査方向のパワーを相殺するようにレーザビーム透過部材１０５のパワーが設定されているので、本発明では２００ｍ以下の平面度でも良い。具体的には相殺後のパワーが４×１０^−６[１／ｍｍ]以下となるように設定されている。それは、４×１０^−６[１／ｍｍ]を超えると、走査レンズによる補正の許容範囲を超えるためである。例えば、ポリゴンミラーの平面度が０．１６μｍの凹面（有効範囲２０ｍｍ）のとき、ポリゴンミラーのパワーは６．４×１０^−６[１／ｍｍ]となり、よってレーザ透過部材１０５は２．４×１０^−６[１／ｍｍ]以上のパワーを有するものでポリゴンミラーのパワーを相殺させる。同様にポリゴンミラーの平面度が０．７０μｍの凹面（有効範囲２０ｍｍ）のとき、ポリゴンミラーのパワーは２．８×１０^−５[１／ｍｍ]となり、よってレーザ透過部材１０５は２．４×１０^−５[１／ｍｍ]以上のパワーを有するものを配置させる。理想的にはポリゴンミラーとレーザ透過部材の各々のパワーを完全に相殺し、組み合わせてパワーをキャンセルすることが最も好適である。なお、上記パワーは下記の関係式で算出する。

レーザ透過部材のパワー：Ｐ１＝１/ｎ（１/Ｒ１−１/Ｒ２）[１／ｍｍ]
なお、ｎ：屈折率＝１．５、Ｒ１：ポリゴンミラー側の曲率半径[１／ｍｍ]、Ｒ２：被走査面側の曲率半径[１／ｍｍ]である。
ポリゴンミラー：Ｐ２＝２/Ｒｍ[１／ｍｍ]
なお、Ｒｍ＝｛（Ｌ/２）^２＋Ｄ^２｝／２Ｄ、Ｒｍ：曲率半径[１／ｍｍ]、Ｄ：平面度[ｍｍ]、Ｌ：主走査方向の有効範囲[ｍｍ]である。

よって、上述したように、｜Ｐ１−Ｐ２｜＜４×１０^−６[１／ｍｍ]となるようにポリゴンミラーとレーザ透過部材の平面度を設定すれば良いことになる。ここで、レーザ透過部材１０５の材質としてはフロートガラスや光学樹脂が好適である。フロートガラスは熱膨張が小さく温度変化による光学特性に変化が小さいため、高温・低温環境に曝される場合には特に好適である。一方、光学樹脂は成形可能なため任意に微少な曲率半径を安価に製作可能であり、かつ低コスト化が実現できる。また、図１ではレーザ透過部材はポリゴンミラーで偏向後のレーザビームを透過しているが、ポリゴンミラーを覆うカバーの一部としてポリゴンミラーへ入射するレーザビームともに透過するようにしても良い。つまり、ポリゴンミラーを覆うカバーにレーザビーム透過部材を一体的に固定し、軸受を略密閉構造としたことにより、カバー材質の樹脂成形を容易にし、複雑な形状、例えばカバー部の形状とレーザ透過部分の球面または非球面の組合せ等が安価に可能となるとともに、30000rpmを超える高速ポリゴンスキャナに使用される動圧軸受に粉塵などのゴミの混入を阻止することが可能となり、安価で信頼性の高い光走査装置が提供できる。なお、レーザビーム透過部材１０５の平面度は図１に示すように少なくとも偏向走査されるレーザビームが画像形成に必要な主走査方向範囲１１０に適用される。

図４は本発明の画像形成装置に用いられるポリゴンスキャナの一実施の形態を示す断面図である。同図に示すポリゴンスキャナ４００は、30000rpm以上で回転する動圧空気軸受型のポリゴンスキャナである。円筒形状をしたセラミック製の回転スリーブ４０１の外周にはポリゴンミラー部４０２ａを有するアルミ合金からなるフランジ４０２が焼キバメ固定されている。回転体Ａの上方には磁気軸受を構成する回転ヨーク４０３（磁性体からなる）がアルミ合金からなる閉止部材４０４の中心部に固定されている。閉止部材４０４はフランジ４０２の上部に圧入または焼キバメまたは接着で固定され、回転スリーブ４０１の上端開放部を閉止する機能も有している。フランジ４０２の下部にはロータ磁石４０５が配置され、周方向に対向するステータコア４０６とともにアウターロータ型のブラシレスモータを構成している。フランジ４０２に設けられた円周溝４０２ｂはスリーブ４０１および閉止部材４０４の固定時や温度上昇に伴うポリゴンミラー部への応力歪を防止するためのものである。ラジアル方向の動圧軸受を構成する固定軸４０７は回転スリーブ４０１と同様に円筒形状のセラミック材料からなり、外径表面にはヘリングボーン状の動圧発生溝４０７ａが形成されている。なお、回転スリーブ４０１の内周面とで構成される動圧軸受隙間は数μｍで嵌合されている。また、ポリゴンミラーと回転自在に支持する軸受部材とを焼キバメ固定で一体化したことにより、凹面または凸面に形成されたポリゴンミラーの反射面を変形させることがなくなり、主走査方向のレーザビーム位置ずれが低減可能で、かつ30000rpm以上の高温・高速回転でも回転体バランスの悪化が無くなることにより振動の少ないポリゴンスキャナが提供できる。

また、固定軸４０７の内周部にはアキシャル軸受を構成する磁気軸受用永久磁石組立体(磁石４０８＋上下の磁性板４０９，４１０)が配置されている。磁気軸受用永久磁石組立体は磁性体の回転ヨーク４０３の突起部４０３ａと径方向に磁気ギャップを有し、ギャップ間に働く吸引力を利用してアキシャル方向へ非接触支持している。また、固定軸４０７と回転体Ａとで形成される上部の空気溜り４１１と回転体Ａ外部とを連通させる微細穴が磁性体の回転ヨーク４０３または下部閉止部材または閉止部材４０４など、空気溜り４１１を形成している部材に形成（図示しない）されており、磁気軸受にダンピング特性をもたせている。また、回転体Ａは回転体を覆うようにモータハウジング４１２と上カバー４１３とレーザビーム透過部材１０５で略密閉されている。

更に、高速回転時の振動を低減するために回転体Ａのバランス修正を行っている。40000rpm以上の高速回転で低振動を実現するためには回転体Ａのアンバランス量は１０ｍｇ・ｍｍ以下が必要であり、例えば半径１０ｍｍの箇所で修正量は１ｍｇ以下を達成しなければならないことになる。修正箇所は回転体の上部、下部の軸方向２箇所であり、その上下２箇所は回転体重心を挟んで配置するのが好適である。なお、１ｍｇ以下の微少な修正を実行する際に接着剤等の付着物では管理がしにくく、また量が少ないため接着力が弱く40000rpm以上の高速回転時には剥離、飛散してしまう。その点、回転体の部品の一部を削除する方法（ドリルによる切削やレーザ加工）であれば上記不具合は発生せず、好適である。モータの駆動はロータ磁石４０５の磁界によりモータ基板４１４に実装されているホール素子４１５から出力される信号を位置信号として参照し、駆動回路によりステータ巻線の励磁切り替えを行い回転する。ここで、ロータ磁石４０５は径方向に着磁されており、ステータコア４０６の外周とで回転トルクを発生し回転する。ロータ磁石４０５は内径以外の外径および高さ方向は磁路を開放しており、モータの励磁切り換えのためのホール素子４１５を開放磁路内に配置している。磁性体４１６はロータ磁石４０５からの漏れ磁束をシールドする機能を有し、ハウジング４１２に渦電流が流れることを防止しているポリゴンミラーの反射面は少なくとも回転スリーブ４０１とフランジ４０２が焼キバメ固定されたのちに鏡面加工される。鏡面加工は回転スリーブ４０１の内径または上端面または下端面を基準として高精度に加工される。回転スリーブ４０１の端面が基準の場合は予め内径中心に対する振れを５μｍ以下の高精度に加工しておく必要がある。この振れ精度は鏡面加工時の平面度、面倒れ品質に影響するからである。なお、回転体Ａのポリゴンミラー反射面部以外は内接円径よりも小径となっている。例えば、直径で０．１ｍｍ以上の小径であれば良い。理由は鏡面加工時に切削用バイト（刃物）の先端が回転部材外径部に衝突しないように避けるためである。鏡面加工を本工程としたことにより、ポリゴンミラーを板バネのような別部品による固定の必要がなくなり、固定による高精度に加工されたポリゴンミラーの平面度を悪化させることがない。更に、従来、面倒れ特性を維持するために必要であったポリゴンミラー搭載面の平面度や直角度を部品単位で高精度にする必要がなくなる。

また、ロータ磁石４０５は樹脂をバインダーに使用したボンド磁石であり、ロータ磁石４０５の外径部には高速回転時の遠心力による破壊が発生しないように、フランジ４０２が外径を保持している構造である。ロータ磁石４０５は圧入固定されている。動圧軸受とポリゴンミラーのゴミによる損傷を防止するためと高速回転するポリゴンミラーの風切音を防音するためにモータハウジング４１２と上フタ４１３およびレーザビーム透過部材１０５により略密閉構造を形成している。モータハウジング４１２と上フタ４１３は金属製部材（特に、熱伝導率の高いアルミ合金が好適である）からなり、ポリゴンスキャナ４００の発熱による温度上昇を光学ハウジングへ速やかに伝達することを可能としている。

このような構成を有するポリゴンスキャナ４００はモータハウジング４１２の外壁部に設けられた固定部４１７にネジ止めで光学ハウジングに着脱自在に固定されている。光学ハウジングも放熱性のあるアルミ合金からなり、ポリゴンスキャナ４００から伝達された熱を速やかに外部へ放散することが可能となる。したがって、温度上昇に対して問題となっていたプラスチック製の安価なレンズを使用することができる。ポリゴンスキャナ４００を光学ハウジングに対して着脱自在とすることにより、ポリゴンスキャナ４００が故障した際にもポリゴンスキャナ単位で交換が可能となるほか、30000rpm以下のように回転数が低く温度上昇が問題とならないポリゴンスキャナの場合放熱性を考慮せず樹脂製のモータハウジングを採用することができ光学ハウジング等の共通使用が可能となる光走査装置が提供できる。

図５は本発明の画像形成装置に用いられるポリゴンスキャナの他の実施の形態を示す断面図である。同図に示す実施の形態は、ポリゴンスキャナのミラーを覆うカバー５０１を上記パワーを有するレーザ透過性材質で形成した例である。この場合のカバー材質は複雑な形状（カバー部の形状とレーザ透過部分の球面または非球面の組合せ等）が任意に可能な樹脂が好適である。また、樹脂成形とすることにより安価に製作可能である。

図６は軸方向上下に離間した複数のレーザビームを入射するようなフルカラー画像形成用光走査装置に用いられるポリゴンスキャナの例を示す断面図である。ポリゴンスキャナ６００の軸方向に離間したポリゴンミラー部６０１ａ，６０１ｂ，６０１ｃ，６０１ｄには各々各色に対応した複数のレーザビームＡ、Ｂ，Ｃ、Ｄが軸対象対向した各４面に入射され、高速偏向走査される。この場合には、特に上下の反射面の形状も上記同様に形状を揃えることが好適である。上下に離間した反射面の凹凸形状が異なる場合、各ビームに対応する各色の画像毎にずれが生じてしまい、主走査方向の色ずれが発生してしまうからである。

次に、図７は別の発明の一実施の形態に係る画像形成装置の構成を示す概略断面図である。同図において、潜像担持体としての光導電性の感光体７０１は、円筒状に形成されて矢印方向へ等速回転し、帯電手段７０２により均一帯電され、光走査装置７０３の光走査による書込で静電潜像を形成される。この形成された静電潜像は現像手段７０４により現像され、現像により得られたトナー画像は転写手段７０５によりシート状の記録媒体（転写紙やオーバヘッドプロジェクタ用のプラスチックシート等）７０６に転写される。記録媒体７０６は、転写されたトナー画像を対の定着ローラからなる定着手段７０７により定着されて装置外へ排出される。トナー画像転写後の感光体７０１は、クリーニング装置７０８により、残留トナーや紙粉等を除去される。光走査装置７０３としては、図１に示した光走査装置が用いられる。即ち、図７に示す画像形成装置は、潜像担持体に光走査により潜像を形成し、潜像を可視化して所望の記録画像を得る画像形成装置において、潜像担持体を光走査する光走査装置として、図１の光走査装置を用いたものであり、潜像担持体は光導電性の感光体７０１であり、その均一帯電と光走査とにより静電潜像が形成され、形成された静電潜像がトナー画像として可視化される。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変形や置換可能であることは言うまでもない。

本発明の一実施の形態に係る光走査装置の構成を示す斜視図である。 ポリゴンミラー反射面の平面度形状を示す図である。 図１のレーザビーム透過部材の主走査断面形状を示す断面図である。 本発明の画像形成装置に用いられるポリゴンスキャナの一実施の形態を示す断面図である。 本発明の画像形成装置に用いられるポリゴンスキャナの他の実施の形態を示す断面図である。 本発明の画像形成装置に用いられるポリゴンスキャナの他の実施の形態を示す断面図である。 別の発明の一実施の形態に係る画像形成装置の構成を示す概略断面図である。

符号の説明

１０４；ポリゴンミラー、１０４ａ；ポリゴンミラー反射面、
１０５；レーザビーム透過部材。

Claims (3)

1. 光源から放射されたレーザビームをポリゴンミラーによって偏向走査し、走査結像光学系により被走査面に向かって集光する光走査装置において、
   前記走査結像光学系の光路間にレーザビーム透過部材を設け、
   反射面が回転軸方向に離間して複数段設けられた前記ポリゴンミラーと軸受部材とが焼キバメ固定でのみ一体化され、前記ポリゴンミラーの平面度形状が、被走査面領域に相当する有効範囲内で、前記ポリゴンミラーの反射面の平面度形状が複数段の各面とも略凹面又は略凸面からなる同形状からなることを特徴とする光走査装置。
2. 前記レーザビーム透過部材は、前記光源からのレーザビームと前記ポリゴンミラーによる反射後のレーザビームをともに透過することを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
3. 潜像担持体に光走査により潜像を形成し、上記潜像を可視化して所望の記録画像を得る画像形成装置において、請求項１又は２に記載の光走査装置を用いることを特徴とする画像形成装置。

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