JP2007305708A - 半導体発光素子アレイおよびこれを用いた照明用器具 - Google Patents

半導体発光素子アレイおよびこれを用いた照明用器具 Download PDF

Info

Publication number
JP2007305708A
JP2007305708A JP2006131200A JP2006131200A JP2007305708A JP 2007305708 A JP2007305708 A JP 2007305708A JP 2006131200 A JP2006131200 A JP 2006131200A JP 2006131200 A JP2006131200 A JP 2006131200A JP 2007305708 A JP2007305708 A JP 2007305708A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor light
light emitting
layer
emitting element
element array
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006131200A
Other languages
English (en)
Inventor
Masayuki Sonobe
雅之 園部
Yukio Shakuda
幸男 尺田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP2006131200A priority Critical patent/JP2007305708A/ja
Priority to US11/801,258 priority patent/US7501662B2/en
Priority to CNB2007101022898A priority patent/CN100524791C/zh
Publication of JP2007305708A publication Critical patent/JP2007305708A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/15Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission
    • H01L27/153Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission in a repetitive configuration, e.g. LED bars
    • H01L27/156Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission in a repetitive configuration, e.g. LED bars two-dimensional arrays
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21VFUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V3/00Globes; Bowls; Cover glasses
    • F21V3/04Globes; Bowls; Cover glasses characterised by materials, surface treatments or coatings
    • F21V3/06Globes; Bowls; Cover glasses characterised by materials, surface treatments or coatings characterised by the material
    • F21V3/061Globes; Bowls; Cover glasses characterised by materials, surface treatments or coatings characterised by the material the material being glass
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21KNON-ELECTRIC LIGHT SOURCES USING LUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING ELECTROCHEMILUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING CHARGES OF COMBUSTIBLE MATERIAL; LIGHT SOURCES USING SEMICONDUCTOR DEVICES AS LIGHT-GENERATING ELEMENTS; LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21K9/00Light sources using semiconductor devices as light-generating elements, e.g. using light-emitting diodes [LED] or lasers
    • F21K9/20Light sources comprising attachment means
    • F21K9/23Retrofit light sources for lighting devices with a single fitting for each light source, e.g. for substitution of incandescent lamps with bayonet or threaded fittings
    • F21K9/232Retrofit light sources for lighting devices with a single fitting for each light source, e.g. for substitution of incandescent lamps with bayonet or threaded fittings specially adapted for generating an essentially omnidirectional light distribution, e.g. with a glass bulb
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21YINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
    • F21Y2115/00Light-generating elements of semiconductor light sources
    • F21Y2115/10Light-emitting diodes [LED]

Abstract

【課題】高輝度化を図ることが可能な半導体発光素子アレイおよびこれを用いた照明用器具を提供すること。
【解決手段】それぞれがn−GaN層2、活性層3、およびp−GaN層4を有する複数の半導体発光素子Edを備えた半導体発光素子アレイAであって、複数の半導体発光素子Edは、SiCからなる基板1上に形成されており、基板1のうち複数の半導体発光素子Edが搭載された面とは反対側の面が、光出射面1aとされている。
【選択図】 図1

Description

本発明は、LEDなど複数の半導体発光素子を有する半導体発光素子アレイおよびこれを用いた照明用器具に関する。
図4は、従来の半導体発光素子アレイの一例を示している(たとえば、特許文献1参照)。同図に示された半導体発光素子アレイXにおいては、基板91上に複数の半導体発光素子Edが形成されている。半導体発光素子Edは、n−GaN層92、活性層93、およびp−GaN層94が積層された構造を有している。n−GaN層92から注入された電子とp−GaN層94から注入された正孔とが活性層93において再結合することによって青色光が発せられる。活性層93からの青色光は、透明電極とされたp側電極95を透過し、蛍光体層96に入射する。蛍光体層96には、蛍光体微粉末が含有されている。この蛍光体微粉末によって上記青色光の一部が黄色光に変換される。変換された黄色光と残りの青色光とが混色されることにより、蛍光体層96の上面から白色に近い光が出射される。
しかしながら、半導体発光素子アレイの高輝度化を図ろうとすると、以下の問題点があった。
まず、蛍光体層96は一般的に樹脂材料に上述した蛍光体微粉末が混入された構成とされている。この樹脂材料と、青色発光に適したGaNとは、互いの屈折率が大きく異なる。このため、p−GaN層94から蛍光体層96へと青色光が進行する過程において、全反射されてしまう青色光の割合が大きい。このため、活性層93によって発せられた光のうち蛍光体層96から適切に出射される割合である出射効率が十分に高められなかった。
また、半導体発光素子Edから発光させるために電流を流すと、n−GaN層92、活性層93、およびp−GaN層94が発熱する。半導体発光素子Edは、樹脂を主成分とする蛍光体層96によってその大部分を覆われているため、放熱されにくい構成となっている。さらに、蛍光体層96によって青色光が色変換されると、この色変換においても熱が生じる。この熱は、蛍光体層96にこもってしまうこととなる。半導体発光素子アレイXに流す電流が大きくなるほどこれらの発熱量が大きくなる。したがって、半導体発光素子アレイXの高輝度化を目的として大電流化を図るには、半導体発光素子アレイXからの放熱をさらに促進する必要があった。
特開2005−79202号公報
本発明は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、高輝度化を図ることが可能な半導体発光素子アレイおよびこれを用いた照明用器具を提供することをその課題とする。
本発明の第1の側面によって提供される半導体発光素子は、それぞれがn型半導体層、活性層、およびp型半導体層を有する複数の半導体発光素子を備えた半導体発光素子アレイであって、上記複数の半導体発光素子は、SiCからなる基板上に形成されており、上記基板のうち上記複数の半導体発光素子が搭載された面とは反対側の面が、光出射面とされていることを特徴としている。
このような構成によれば、SiCは熱伝導率が高い材質であるため、上記基板を比較的熱伝導性が良好なものとすることができる。これにより、上記半導体発光素子から生じた熱を上記基板を介して放熱することが可能である。また、上記半導体発光素子とは反対側に位置する上記光出射面から光を出射する構成とすることにより、たとえば上記半導体発光素子を覆う樹脂製の色変換層を設ける必要が無い。以上より、上記半導体発光素子アレイは、発光時に生じる熱を適切に放熱させることが可能であり、高輝度化を目的とした大電流化を図ることができる。さらに、SiCは代表的な半導体材料であるGaNと屈折率が大きく異ならない。したがって、上記活性層からの光が上記基板によって全反射される割合を小さくすることができる。
本発明の好ましい実施の形態においては、上記基板と上記複数の半導体発光素子との間には、SiCを含む色変換層が設けられている。このような構成によれば、上記色変換層を介して上記半導体発光素子からの熱を上記基板へと伝達することができる。また、たとえばドナーおよびアクセプタを含むSiCを用いれば、上記半導体発光素子からの青色光を高い変換効率で白色光へと変換することができる。
本発明の好ましい実施の形態においては、上記各半導体発光素子は、上記基板側から順に上記n型半導体層、上記活性層、および上記p型半導体層が積層された構成とされており、上記複数の半導体発光素子のうち隣り合うものどうしは、その底部が上記n型半導体層よりも上記基板側に位置するものとされた溝によって区画されている。このような構成によれば、上記複数の半導体発光素子どうしが不当に導通するおそれがない。したがって、上記半導体発光素子アレイの漏れ電流を抑制可能であり、上記半導体発光素子アレイの大電流化を図るのに適している。
本発明の好ましい実施の形態においては、上記基板と上記n型半導体層との間に追加のp型半導体層が介在している。このような構成によれば、上記n型半導体層と上記追加のp型半導体層との間には、非常に高抵抗な境界面が形成される。これは、上記複数の半導体発光素子間の漏れ電流を抑制するのに有利である。
本発明の好ましい実施の形態においては、上記複数の半導体発光素子どうしを導通させ、かつ上記基板の厚さ方向視において上記活性層の少なくとも一部を覆う金属製の素子間配線をさらに備える。このような構成によれば、上記活性層から向かってきた光を上記素子間配線によって上記基板に向けて適切に反射させることができる。これは、上記半導体発光素子アレイの高輝度化に有利である。
本発明の好ましい実施の形態においては、上記活性層と上記基板との間に位置し、かつSiCを含む層とSiCとは屈折率が異なる層とが接している境界面を有しており、上記活性層と上記境界面との距離tが、上記活性層から発せられる光の波長をλとした場合に、t=a×λ/2n×(1±x)(ただし、aは整数、nはn型半導体層の屈折率、x≦10%)を満たすものとされている。このような構成によれば、上記活性層と上記境界面との間において、上記活性層からの光を増幅させることが可能である。したがって、上記半導体発光素子アレイの高輝度化をさらに促進させることができる。
本発明の好ましい実施の形態においては、上記複数の半導体発光素子に対して電源供給するための1対の端子を備えており、上記複数の半導体発光素子は、いずれもが上記1対の端子間に直列に接続されており、かつ互いの順方向が逆である2組の半導体発光素子群を含んでいる。このような構成によれば、上記半導体発光素子アレイを交流電源によって発光させることができる。
本発明の第2の側面によって提供される照明用器具は、本発明の第1の側面によって提供される半導体発光素子アレイと、上記半導体発光素子アレイの上記基板に接しており、かつ上記半導体発光素子アレイを支持する金属部材と、外部電源から電源供給を受け、かつ機械的に保持されるための接続部と、を備えることを特徴としている。
このような構成によれば、上記金属部材を介して上記半導体発光素子アレイからの熱を適切に放熱することができる。また、上記照明用器具を従来の規格化された照明用器具の代替品として用いるのに適している。
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
以下、本発明の好ましい実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。
図1および図2は、本発明に係る半導体発光素子アレイの一例を示している。本発明に係る半導体発光素子アレイAは、基板1上に複数の半導体発光素子Edが形成された構造とされており、図1に示すように基板1から図中下方に向けて光が出射される構成とされている。本実施形態においては、半導体発光素子アレイAは、その平面視寸法が0.4〜1.5mm角程度とされている。
基板1は、SiCからなる。これにより、基板1は、赤色光、緑色光、青色光、および白色光などの可視光を透過させる一方、紫外線を選択的に吸収するものとされている。本実施形態においては、基板1は、その厚さが200μm程度とされている。基板1の図中下面は、光を出射させる光出射面1aとなっている。光出射面1aは、平滑な面とされている。また、光出射面1aは、光の出射効率を高めるために好適な凹凸面としてもよい。基板1上には、SiC色変換層11、n−SiC層12、バッファ層13、およびp−GaN層14が積層されている。
SiC色変換層11は、半導体発光素子Edからの青色光を白色光に変換させるための層である。SiC色変換層11は、SiCを主成分とし、これにドナーとアクセプタとが含まれている。SiC色変換層11において、ドナーは電子を生じさせるものであり、アクセプタは正孔を生じさせるものである。SiC色変換層11に青色光が照射されると、上記ドナーとアクセプタとの間で輻射再結合が生じる。この再結合によって白色光が発せられる。SiC色変換層11によって青色光を白色光に変換させるためには、上記ドナーとしてNを用い、上記アクセプタとしてB,Alを用いることが好ましい。これらのドナーおよびアクセプタの濃度としては、1.0×1015〜1020atoms/cm3程度が好ましい。本実施形態においては、SiC色変換層11は、その厚さが20〜200μm程度とされている。
n−SiC層12は、SiCにNなどの元素がドープされることによりn型の半導体とされた層である。上述したドナーおよびアクセプタを含むことによってSiC色変換層11の結晶性が悪化するが、SiC色変換層11よりも結晶性が良好であるn−SiC12を設けることにより結晶性の改善が図られる。本実施形態においては、n−SiC層12は、その厚さが2〜4μm程度とされている。
バッファ層13は、たとえばAlGaNからなり、SiCとGaNとの格子歪を緩和するためのものである。バッファ層13を設けることにより、SiCからなるn−SiC層12上に主成分がGaNであるp−GaN層14、n−GaN層2、活性層3、およびp−GaN層4を安定して形成することができる。本実施形態においては、バッファ層13は、その厚さが20〜200nm程度とされている。
バッファ層13を形成するAlGaNの屈折率は2.5程度であり、n−SiC層12を形成するSiCの屈折率は2.6程度である。互いの屈折率が異なるn−SiC層12とAlGaN層13との境界面12aは、同材質からなる層どうしの境界面と比較して光を反射させやすい面となっている。境界面12aと活性層3との距離tは、活性層3から発せられる光の波長をλとした場合に、t=a×λ/2n×(1±x)(ただし、aは整数、nはn−GaN層2の屈折率、x≦10%)を満たすものとされている。本実施形態においては、波長λは460nm程度であり、距離tは0.92〜1.84μm程度である。
p−GaN層14は、GaNにたとえばMgがドープされたp型半導体からなり、本発明で言う追加のp型半導体層の一例である。本実施形態においては、p−GaN層14は、その厚さが300nm程度とされている。p−GaN層14上には、複数の半導体発光素子Edが配置されている。
半導体発光素子Edは、n−GaN層2、活性層3、およびp−GaN層4を具備して構成されている。本実施形態においては、5〜50個程度の半導体発光素子Edがマトリクス状に配置されている。
n−GaN層2は、GaNにたとえばSiがドープされたn型半導体からなり、本発明で言うn型半導体層の一例である。本実施形態においては、n−Gan層2は、その厚さが0.6〜1.34μm程度の厚肉部分と、その厚さが0.3〜0.67μm程度の薄肉部分とを有している。この薄肉部分には、n側電極21が形成されている。n側電極21は、たとえばTiおよびAlが積層されたものである。
活性層3は、たとえばInGaNを含むMQW(重量子井戸:Multiple Quantum Well)構造とされた層であり、電子と正孔とが再結合することにより発せられる光を増幅させるための層である。活性層3は、たとえば複数のInGaN層と複数のGaN層とが交互に積層されている。上記InGaN層は、Inの組成比がたとえば17%程度とされることにより、n−GaN層2よりもバンドギャップが小とされており、活性層3の井戸層を構成している。上記GaN層は、活性層3のバリア層を形成している。本実施形態においては、活性層3は、厚さが1.5〜4.0nm程度のInGaN層と厚さが6〜20nm程度のGaN層とが積層されており、その全体的な厚さが100nm程度とされている。なお、n−GaN層2と活性層3との間には、格子歪を緩和することを目的として、InGaNおよびGaNが一原子毎に交互に積層された超格子層を形成してもよい。
p−GaN層4は、GaNにたとえばMgがドープされたp型半導体からなり、本発明で言うp型半導体層の一例である。本実施形態においては、p−GaN層4は、その厚さが50〜200nm程度とされている。p−GaN層4には、p側電極41が形成されている。p側電極41は、たとえばNiからなり、p−GaN層4の図中上面右側部分を覆っている。なお、活性層3とp−GaN層4との間には、GaN層またはInの組成が0.1%程度のInGaN層を形成してもよい。
p側電極41と、このp側電極41が形成された半導体発光素子Edと隣り合う半導体発光素子Edのn側電極21とは、素子間配線5によって接続されている。素子間配線5は、たとえばAlまたはPtからなり、比較的反射率が高いものとされている。素子間配線5は、半導体発光素子Edの上面右寄りに形成されたp側電極41と、この半導体発光素子Edの左側に位置する半導体発光素子Edのn側電極21との間を跨ぐように形成されている。これにより、p−GaN層4のうちp側電極41によって覆われていない部分は、素子間配線5によって覆われている。図示された3つの半導体発光素子Edは、素子間配線5により互いに直列に接続されている。
隣り合う半導体発光素子Edどうしの間には、溝6が形成されている。溝6は、隣り合う半導体発光素子Edどうしを電気的に区画するためのものである。溝6は、その底部6aがn−GaN層2よりも基板1寄りに位置する深さとされている。本実施形態においては、溝6は、n−GaN層2およびp−GaN層14を貫通しており、底部6aがバッファ層13に達している。このような溝6は、たとえばエッチングを用いて形成することができる。
溝6の内側領域、半導体発光素子Edと素子間配線5との間の領域、および半導体発光素子Edの表面の一部には、絶縁膜71が形成されている。絶縁膜71は、たとえばSiO2からなり、可視光に対して透明とされている。
図2は、半導体発光素子アレイAの概略図である。本図に示されるように、半導体発光素子アレイAに搭載された複数の半導体発光素子Edは、2つの半導体発光素子群Ge1,Ge2に分けられている。半導体発光素子群Ge1,Ge2のそれぞれに含まれる複数の半導体発光素子Edどうしは、上述した素子間配線5によって互いに直列に接続されている。半導体発光素子群Ge1,Ge2は、いずれも基板1に設けられた1対の端子15に接続されている。一対の端子15は、たとえば交流電源Pを半導体発光素子アレイAに接続するためのものである。半導体発光素子群Ge1は、その順方向が図中左側の端子15から図中右側の端子15へと向かうように接続されている。一方、半導体発光素子群Ge2は、その順方向が図中右側の端子15から図中左側の端子15へと向かうように接続されている。このような接続形態とすることにより、交流電源Pから交流電圧が印加されると、半導体発光素子Ge1,Ge2が交互に発光することとなる。
図3は、半導体発光素子アレイAを用いた照明用器具の一例を示している。同図に示された電球Bは、口金81、ガラス球体82、金属部材83、および半導体発光素子アレイAを具備して構成されている。
口金81は、半導体発光素子アレイAに電源供給するとともに、電球Bを支持するための部分であり、本発明で言う接続部の一例である。口金81は、略円筒形状であり、らせん状の凸部が形成されている。このような形状とされることにより、口金81は、たとえばJIS規格に定められるE17口金、E26口金に適合している。
ガラス球体82は、ガラス製の殻体であり、半導体発光素子アレイAからの光を透過させる部分である。必要に応じ、ガラス球体82には、半導体発光素子アレイAからの光の色調を調整するための着色が施されている。
金属部材83は、半導体発光素子アレイAを口金81に対して固定するためのものである。金属部材83は、たとえばCu製である。金属部材83は、半導体発光素子アレイAの基板1に対して接合されている。本実施形態においては、金属部材83は、半導体発光素子アレイAと口金81とを電気的に接続する機能を有する。金属部材83は、図2に示す1対の端子15に対してたとえばワイヤ(図示略)によって接続されている。
電球Bにおいては、半導体発光素子アレイAは、基板1の光出射面1aが口金81とは反対側にあるガラス球体82の頂部を向く姿勢で搭載されている。これにより、光出射面1aから出射された光が、ガラス球体82の球状部分を透過し拡散していく。
次に、半導体発光素子アレイAおよび電球Bの作用について説明する。
本実施形態によれば、半導体発光素子Edからの光は、基板1側に配置されたSiC色変換層11において色変換される。この色変換において発生する熱は、比較的熱伝導性が良好であるSiCからなる基板1へと伝達されやすい。また、半導体発光素子Edは、図4に示した従来技術による例と異なり、比較的厚肉な樹脂からなる蛍光体層によって覆われた構成とはなっていない。このため、半導体発光素子Edからの熱が上記蛍光体層などにこもってしまうおそれがない。したがって、半導体発光素子アレイAは、発光によって生じる熱を適切に放熱することが可能であり、高輝度化を目的とした大電流化を図るのに適している。これに加えて、電球Bにおいては、基板1に金属部材83が接合されている。これにより、半導体発光素子アレイAに生じた熱を、基板1から金属部材83へと伝達させることができる。これは、電球Bの大電流化および長寿命化に適している。
ドナーおよびアクセプタを含むSiC色変換層11を用いて色変換することにより、半導体発光素子Edからの青色光を白色光に近い状態に変換可能である。この色変換は、たとえば従来の蛍光体を用いた色変換に比べてその変換効率が顕著に高い。したがって、半導体発光素子アレイAを白色光を発光可能としつつ、その輝度を高めることができる。また、基板1を形成するSiCは、紫外線を良好に吸収する。これにより、半導体発光素子Edから発せられた光のうち、紫外線を選択的に吸収し、可視光を適切に透過させることができる。したがって、半導体発光素子アレイAは、紫外線が人体に影響を及ぼすことを抑制することが可能であり、たとえば電球Bに用いられるのに適している。
複数の半導体発光素子Edどうしは、溝6によって区画されている。この溝6は、その底部6aがn−GaN層2よりも基板1寄りに配置されたものである。これにより、複数の半導体発光素子Edのn−GaN層2どうしが完全に区画されている。また、n−GaN層2の下方にp−GaN層14が設けられていることにより、n−GaN層2とp−GaN層14との間には、非常に高抵抗な境界面が形成されている。以上より、複数の半導体発光素子Edどうしが互いに不当に導通するおそれがなく、漏れ電流の発生を適切に抑制することができる。これは、半導体発光素子アレイAの大電流化に有利である。
活性層3から図中上方へと向かった光は、透明とされた絶縁膜71を透して素子間配線5によって下方へと反射される。素子間配線5は比較的反射率が高いため、反射による光の減衰を抑制することが可能である。これは、半導体発光素子アレイAの高輝度化に適している。また、Niなどからなるp側電極41は、p−GaN層4と良好なオーミックコンタクトを形成することが可能である反面、p−GaN層4との接合面が黒ずんでしまうことが多い。しかし、本実施形態においては、p側電極41を形成する領域を、p−GaN層4の上面の一部に限定することにより、黒ずんだ接合面において光が吸収されてしまうことを抑制することが可能である。
活性層3と境界面12aとの距離tを上述した関係とすることにより、活性層3から発せられた波長λの光が距離tの区間において反射を繰り返すと、この光の輝度を増幅する効果が得られる。この輝度の増幅効果は、基板1の厚さ方向において得られるものであり、基板1の面内方向に進行する光に対しては、増幅効果は得られない。この結果、基板1の厚さ方向に進行する光が支配的となり、基板1の面内方向に進行する光は相対的に無視できる程度の輝度となる。したがって、光出射面1aからの光を高輝度とするとともに、その他の部分から光が漏れることを抑制することができる。なお、距離tを波長λの1/2nの整数倍の値に対して±10%の範囲内のものとしておけば、輝度増幅効果を適切に発揮させることができる。
複数の半導体発光素子Edを互いの順方向が逆である2つの半導体発光素子群Ge1,Ge2とすることにより、交流電源Pからの交流電流によって半導体発光素子軍Ge1,Ge2を交互に発光させることができる。交流電源Pがたとえば50Hzまたh60Hzの周波数であると、肉眼には2つの半導体発光素子群Ge1,Ge2が同時に発光しているように見える。したがって、半導体発光素子アレイAは、家庭用電源からの電力供給によって広い領域を均一に照明することができる。また、電球Bは、E17口金またはE26口金に適合した口金81を備えている。したがって、電球Bは、従来の白熱電球などの代替品として広く一般的に用いることができる。
本発明に係る半導体発光素子アレイおよび照明用器具は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明に係る半導体発光素子アレイおよび照明器具の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。
本発明で言うn型半導体層、活性層、p型半導体層、および追加のp型半導体層は、GaNを主成分とするものに限定されず、電子と正孔とを再結合させることにより適切に発光可能な材質によって形成すればよい。SiCを含む色変換層は、高い変換効率で白色光へと変換するとともに、紫外線を適切に吸収するのに適しているが、本発明に係る半導体発光素子アレイは、これ以外の色変換層を用いたり、色変換層を用いたりすることなく活性層からの光を直接出射させる構成としてもよい。複数の半導体発光素子を互いの順方向が異なる2つの半導体発光素子群とすれば、交流電流による発光が可能であるが、本発明はこれに限定されず、1つの半導体発光素子群を備えることにより、直流電源によって発光される構成としてよい。
本発明に係る照明用器具は、上述した電球に限定されず、たとえば、一般的な棒状の蛍光灯の代替品として使用可能な形態であってもよい。このような形態は、接続部などの形状を適宜変更することにより実現可能である。また、本発明に係る照明用器具は、従来の規格化された照明用器具の代替品として使用可能なものに限定されず、たとえば照明装置の全面を覆うほどのサイズとされた半導体発光素子アレイを用いた専用の照明用器具であってもよい。
本発明に係る半導体発光素子アレイの一例を示す要部断面図である。 本発明に係る半導体発光素子アレイの一例を示す概略平面図である。 本発明に係る照明用器具の一例を示す断面図である。 従来の半導体発光素子アレイの一例を示す要部断面図である。
符号の説明
A 半導体発光素子アレイ
B 電球(照明用器具)
Ed 半導体発光素子
Ge1,Ge2 半導体発光素子群
t 距離
1 基板
2 n−GaN層(n型半導体層)
3 活性層
4 p−GaN層(p型半導体層)
5 素子間配線
6 溝
6a 底部
1a 光出射面
11 SiC色変換層
12 n−SiC層
13 バッファ層
14 p−GaN層(追加のp型半導体層)
15 端子
21 n側電極
41 p側電極
71 絶縁膜
81 口金(接続部)
82 ガラス球体
83 金属部材

Claims (8)

  1. それぞれがn型半導体層、活性層、およびp型半導体層を有する複数の半導体発光素子を備えた半導体発光素子アレイであって、
    上記複数の半導体発光素子は、SiCからなる基板上に形成されており、
    上記基板のうち上記複数の半導体発光素子が搭載された面とは反対側の面が、光出射面とされていることを特徴とする、半導体発光素子アレイ。
  2. 上記基板と上記複数の半導体発光素子との間には、SiCを含む色変換層が設けられている、請求項1に記載の半導体発光素子アレイ。
  3. 上記各半導体発光素子は、上記基板側から順に上記n型半導体層、上記活性層、および上記p型半導体層が積層された構成とされており、
    上記複数の半導体発光素子のうち隣り合うものどうしは、その底部が上記n型半導体層よりも上記基板側に位置するものとされた溝によって区画されている、請求項1または2に記載の半導体発光素子アレイ。
  4. 上記基板と上記n型半導体層との間に追加のp型半導体層が介在している、請求項3に記載の半導体発光素子アレイ。
  5. 上記複数の半導体発光素子どうしを導通させ、かつ上記基板の厚さ方向視において上記活性層の少なくとも一部を覆う金属製の素子間配線をさらに備える、請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体発光素子アレイ。
  6. 上記活性層と上記基板との間に位置し、かつSiCを含む層とSiCとは屈折率が異なる層とが接している境界面を有しており、
    上記活性層と上記境界面との距離tが、上記活性層から発せられる光の波長をλとした場合に、t=a×λ/2n×(1±x)(ただし、aは整数、nはn型半導体層の屈折率、x≦10%)を満たすものとされている、請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体発光素子アレイ。
  7. 上記複数の半導体発光素子に対して電源供給するための1対の端子を備えており、
    上記複数の半導体発光素子は、いずれもが上記1対の端子間に直列に接続されており、かつ互いの順方向が逆である2組の半導体発光素子群を含んでいる、請求項1ないし6のいずれかに記載の半導体発光素子アレイ。
  8. 請求項1ないし7のいずれかに記載の半導体発光素子アレイと、
    上記半導体発光素子アレイの上記基板に接しており、かつ上記半導体発光素子アレイを支持する金属部材と、
    外部電源から電源供給を受け、かつ機械的に保持されるための接続部と、
    を備えることを特徴とする、照明用器具。
JP2006131200A 2006-05-10 2006-05-10 半導体発光素子アレイおよびこれを用いた照明用器具 Pending JP2007305708A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006131200A JP2007305708A (ja) 2006-05-10 2006-05-10 半導体発光素子アレイおよびこれを用いた照明用器具
US11/801,258 US7501662B2 (en) 2006-05-10 2007-05-09 Semiconductor light emitting element array illuminator using the same
CNB2007101022898A CN100524791C (zh) 2006-05-10 2007-05-10 半导体发光元件阵列及使用它的照明器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006131200A JP2007305708A (ja) 2006-05-10 2006-05-10 半導体発光素子アレイおよびこれを用いた照明用器具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007305708A true JP2007305708A (ja) 2007-11-22

Family

ID=38684288

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006131200A Pending JP2007305708A (ja) 2006-05-10 2006-05-10 半導体発光素子アレイおよびこれを用いた照明用器具

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7501662B2 (ja)
JP (1) JP2007305708A (ja)
CN (1) CN100524791C (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009267164A (ja) * 2008-04-25 2009-11-12 Kyocera Corp 発光デバイスおよび発光デバイスの製造方法
JP2010021268A (ja) * 2008-07-09 2010-01-28 Ushio Inc 発光装置
JP2010021202A (ja) * 2008-07-08 2010-01-28 Ushio Inc 発光装置
JP2010027645A (ja) * 2008-07-15 2010-02-04 Ushio Inc 発光装置及び発光装置の製造方法
KR101138952B1 (ko) * 2010-09-24 2012-04-25 서울옵토디바이스주식회사 복수개의 발광셀들을 갖는 웨이퍼 레벨 발광 다이오드 패키지 및 그것을 제조하는 방법
JP2014099508A (ja) * 2012-11-14 2014-05-29 Stanley Electric Co Ltd 発光装置及びその製造方法
KR20160123316A (ko) * 2014-02-14 2016-10-25 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 광전 반도체 소자를 제조하기 위한 방법 및 광전 반도체 소자
JP2016195234A (ja) * 2015-03-31 2016-11-17 株式会社沖データ 半導体素子アレイ、ledヘッド、及び画像形成装置
US11824141B2 (en) 2018-10-05 2023-11-21 Seoul Viosys Co., Ltd. Light emitting device

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7274083B1 (en) * 2006-05-02 2007-09-25 Semisouth Laboratories, Inc. Semiconductor device with surge current protection and method of making the same
US8716723B2 (en) * 2008-08-18 2014-05-06 Tsmc Solid State Lighting Ltd. Reflective layer between light-emitting diodes
US9293656B2 (en) * 2012-11-02 2016-03-22 Epistar Corporation Light emitting device
JP5123269B2 (ja) 2008-09-30 2013-01-23 ソウル オプト デバイス カンパニー リミテッド 発光素子及びその製造方法
US8304784B2 (en) * 2009-02-24 2012-11-06 Andrew Locke Illumination device
KR101039999B1 (ko) * 2010-02-08 2011-06-09 엘지이노텍 주식회사 반도체 발광소자 및 그 제조방법
EP2367203A1 (en) * 2010-02-26 2011-09-21 Samsung LED Co., Ltd. Semiconductor light emitting device having multi-cell array and method for manufacturing the same
US8084775B2 (en) * 2010-03-16 2011-12-27 Bridgelux, Inc. Light sources with serially connected LED segments including current blocking diodes
TWI485884B (zh) * 2010-03-30 2015-05-21 Advanced Optoelectronic Tech 發光二極體及其製作方法
US8471282B2 (en) 2010-06-07 2013-06-25 Koninklijke Philips Electronics N.V. Passivation for a semiconductor light emitting device
US9070851B2 (en) 2010-09-24 2015-06-30 Seoul Semiconductor Co., Ltd. Wafer-level light emitting diode package and method of fabricating the same
US8536594B2 (en) * 2011-01-28 2013-09-17 Micron Technology, Inc. Solid state lighting devices with reduced dimensions and methods of manufacturing
US8733977B2 (en) * 2012-07-17 2014-05-27 Glocal International Ltd. LED light bulb
US10388690B2 (en) 2012-08-07 2019-08-20 Seoul Viosys Co., Ltd. Wafer level light-emitting diode array
US10804316B2 (en) 2012-08-07 2020-10-13 Seoul Viosys Co., Ltd. Wafer level light-emitting diode array
CN109638032B (zh) * 2012-09-07 2023-10-27 首尔伟傲世有限公司 发光二极管阵列
JP2016081562A (ja) 2014-10-09 2016-05-16 ソニー株式会社 表示装置、表示装置の製造方法および電子機器
US20160254315A1 (en) * 2015-02-27 2016-09-01 Oki Data Corporation Semiconductor device, led head, and image forming apparatus
CN205944139U (zh) 2016-03-30 2017-02-08 首尔伟傲世有限公司 紫外线发光二极管封装件以及包含此的发光二极管模块
CN108105647B (zh) * 2017-12-20 2022-11-04 西安智盛锐芯半导体科技有限公司 智能led射灯
FR3088408B1 (fr) * 2018-11-09 2020-11-13 Valeo Vision Dispositif lumineux pour un vehicule automobile comprenant une source lumineuse matricielle
US11387392B2 (en) * 2018-12-25 2022-07-12 Nichia Corporation Light-emitting device and display device
US11637219B2 (en) * 2019-04-12 2023-04-25 Google Llc Monolithic integration of different light emitting structures on a same substrate

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000323750A (ja) * 1999-05-10 2000-11-24 Hitachi Cable Ltd 発光ダイオードアレイ
JP2001044504A (ja) * 1999-08-04 2001-02-16 Hitachi Cable Ltd 発光ダイオードアレイ及びその製造方法
JP2001291900A (ja) * 2000-04-06 2001-10-19 Denso Corp 半導体発光装置およびその製造方法
JP2002359402A (ja) * 2001-03-29 2002-12-13 Lumileds Lighting Us Llc 高抵抗性基層の上に形成されたモノリシック直列/並列ledアレイ
JP2004056010A (ja) * 2002-07-23 2004-02-19 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 窒化物半導体発光素子
JP2004111355A (ja) * 2002-06-10 2004-04-08 Lumileds Lighting Us Llc 軸線方向led光源
JP2004273746A (ja) * 2003-03-07 2004-09-30 Hitachi Cable Ltd 発光ダイオードアレイ
JP2005064104A (ja) * 2003-08-08 2005-03-10 Hitachi Cable Ltd 発光ダイオードアレイ
JP2005187791A (ja) * 2003-11-28 2005-07-14 Shikusuon:Kk 蛍光体および発光ダイオード
JP2005347640A (ja) * 2004-06-04 2005-12-15 Hitachi Cable Ltd 発光ダイオードアレイ
JP2006080442A (ja) * 2004-09-13 2006-03-23 Rohm Co Ltd 半導体発光装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4296644B2 (ja) 1999-01-29 2009-07-15 豊田合成株式会社 発光ダイオード
US20040008525A1 (en) * 2002-07-09 2004-01-15 Hakuyo Denkyuu Kabushiki Kaisha: Fuso Denki Kougyou Kabushiki Kaisha LED electric bulb
JP4160881B2 (ja) 2003-08-28 2008-10-08 松下電器産業株式会社 半導体発光装置、発光モジュール、照明装置、および半導体発光装置の製造方法
WO2005022654A2 (en) * 2003-08-28 2005-03-10 Matsushita Electric Industrial Co.,Ltd. Semiconductor light emitting device, light emitting module, lighting apparatus, display element and manufacturing method of semiconductor light emitting device
US7221044B2 (en) * 2005-01-21 2007-05-22 Ac Led Lighting, L.L.C. Heterogeneous integrated high voltage DC/AC light emitter
US7535028B2 (en) * 2005-02-03 2009-05-19 Ac Led Lighting, L.Lc. Micro-LED based high voltage AC/DC indicator lamp

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000323750A (ja) * 1999-05-10 2000-11-24 Hitachi Cable Ltd 発光ダイオードアレイ
JP2001044504A (ja) * 1999-08-04 2001-02-16 Hitachi Cable Ltd 発光ダイオードアレイ及びその製造方法
JP2001291900A (ja) * 2000-04-06 2001-10-19 Denso Corp 半導体発光装置およびその製造方法
JP2002359402A (ja) * 2001-03-29 2002-12-13 Lumileds Lighting Us Llc 高抵抗性基層の上に形成されたモノリシック直列/並列ledアレイ
JP2004111355A (ja) * 2002-06-10 2004-04-08 Lumileds Lighting Us Llc 軸線方向led光源
JP2004056010A (ja) * 2002-07-23 2004-02-19 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 窒化物半導体発光素子
JP2004273746A (ja) * 2003-03-07 2004-09-30 Hitachi Cable Ltd 発光ダイオードアレイ
JP2005064104A (ja) * 2003-08-08 2005-03-10 Hitachi Cable Ltd 発光ダイオードアレイ
JP2005187791A (ja) * 2003-11-28 2005-07-14 Shikusuon:Kk 蛍光体および発光ダイオード
JP2005347640A (ja) * 2004-06-04 2005-12-15 Hitachi Cable Ltd 発光ダイオードアレイ
JP2006080442A (ja) * 2004-09-13 2006-03-23 Rohm Co Ltd 半導体発光装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009267164A (ja) * 2008-04-25 2009-11-12 Kyocera Corp 発光デバイスおよび発光デバイスの製造方法
JP2010021202A (ja) * 2008-07-08 2010-01-28 Ushio Inc 発光装置
JP2010021268A (ja) * 2008-07-09 2010-01-28 Ushio Inc 発光装置
JP2010027645A (ja) * 2008-07-15 2010-02-04 Ushio Inc 発光装置及び発光装置の製造方法
KR101138952B1 (ko) * 2010-09-24 2012-04-25 서울옵토디바이스주식회사 복수개의 발광셀들을 갖는 웨이퍼 레벨 발광 다이오드 패키지 및 그것을 제조하는 방법
JP2014099508A (ja) * 2012-11-14 2014-05-29 Stanley Electric Co Ltd 発光装置及びその製造方法
KR20160123316A (ko) * 2014-02-14 2016-10-25 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 광전 반도체 소자를 제조하기 위한 방법 및 광전 반도체 소자
JP2017510980A (ja) * 2014-02-14 2017-04-13 オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングOsram Opto Semiconductors GmbH オプトエレクトロニクス半導体部品を製造するための方法およびオプトエレクトロニクス半導体部品
KR102305162B1 (ko) 2014-02-14 2021-09-28 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 광전 반도체 소자를 제조하기 위한 방법 및 광전 반도체 소자
JP2016195234A (ja) * 2015-03-31 2016-11-17 株式会社沖データ 半導体素子アレイ、ledヘッド、及び画像形成装置
US11824141B2 (en) 2018-10-05 2023-11-21 Seoul Viosys Co., Ltd. Light emitting device

Also Published As

Publication number Publication date
US7501662B2 (en) 2009-03-10
CN101071821A (zh) 2007-11-14
US20070262323A1 (en) 2007-11-15
CN100524791C (zh) 2009-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007305708A (ja) 半導体発光素子アレイおよびこれを用いた照明用器具
JP7118427B2 (ja) 半導体素子
JP3802911B2 (ja) 半導体発光装置
JP4699681B2 (ja) Ledモジュール、および照明装置
US8039846B2 (en) Light emitting diode having a thermal conductive substrate and method of fabricating the same
KR101266226B1 (ko) 발광 장치 및 발광 장치의 제조 방법
US8783911B2 (en) LED packaging structure having improved thermal dissipation and mechanical strength
KR101441168B1 (ko) 복사­방출 반도체 몸체
KR20150092415A (ko) 질화물 반도체 발광소자
US8956011B2 (en) Bulb type semiconductor light-emitting device lamp
TW201411877A (zh) 光學裝置以及發光裝置及其製造方法
JP4263121B2 (ja) 発光素子および照明装置
JP2010027645A (ja) 発光装置及び発光装置の製造方法
KR102227770B1 (ko) 나노구조 반도체 발광소자
TWI559569B (zh) 光學裝置及照明設備
TWI313071B (en) Light-emitting semiconductor device having enhanced brightness
US20080303041A1 (en) Light emitting element, manufacturing method thereof and light emitting module using the same
CN112204760A (zh) 发光装置及发光设备
JP5301904B2 (ja) 発光装置
KR101291153B1 (ko) 발광다이오드 및 그 제조방법
KR20150008576A (ko) 발광 소자 및 발광 소자 패키지
JP2010153761A (ja) Led照明装置
JP2011151059A (ja) 発光装置
TW201519474A (zh) 發光二極體結構
JP7051131B2 (ja) 半導体素子

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090115

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110506

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110517

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110715

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110913