JP2007305276A - 微細パターンの形成方法、光ディスク用スタンパ及び光ディスク用基板並びに光ディスク媒体 - Google Patents
微細パターンの形成方法、光ディスク用スタンパ及び光ディスク用基板並びに光ディスク媒体 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】光吸収層2上に、光吸収層2の融点よりも熱分解温度が低い材料からなる第1パターン形成層3が形成された積層体10に対し、光ビーム38を照射することにより、第1パターン形成層3に貫通するパターンを形成し(図1(b))、光ビーム38照射後の積層体10上に、第2パターン形成層7を堆積させ(図1(c))、第1パターン形成層3を溶解させることにより、第1パターン形成層3上に堆積した第2パターン形成層7aを除去し、光吸収層2上に堆積した微細パターン7bを残留させる(図1(d))。
【選択図】図1
Description
M.Hatzakis著、"Single-Step Optical Lift-Off Process"、IBM J.Res.Develop.(VOL.24、No.4)、1980年7月、p.452−453
本発明の一実施形態について図1および図2に基づいて説明すれば、以下の通りである。
・線速:1.0m/s
・パルス幅:120ns
・光ビームの照射ピッチ:400nm
・トラックピッチ:400nm
・光ビームの照射パワー:2.0mW(図3(a)に対応)
1.8mW(図3(b)に対応)
1.6mW(図3(c)に対応)
また、図2において、集光レンズ5としてNA0.9の集光レンズを用いた。
次に第2の実施の形態として、実施の形態1での微細パターン形成方法で形成された微細パターン7bをマスクとして、光吸収層上に微細パターン12を形成する方法について、図4(a)〜(f)を用い一例を示す。
次に第3の実施の形態として、図4(a)〜(f)を用い、光ディスク用スタンパ及び光ディスク用基板並びに光ディスク媒体の製造方法を示す。
2 光吸収層
3 第1パターン形成層
6 ホールパターン
7a 第2パターン形成層
7b 微細パターン(第2パターン形成層)
10 積層体
11 積層体
12 微細パターン
30 レーザ照射装置
32 レーザ光源
33a、33b 反射ミラー
33c 立ち下げミラー
34 光変調器
35 ビームエキスパンダ
36 ヘッド
37 スピンドル
38 光ビーム
39 集光レンズ
Claims (8)
- 光吸収層上に、該光吸収層の融点よりも熱分解温度が低い材料からなる第1パターン形成層が形成された積層体に対し、光ビームを照射することにより、上記第1パターン形成層を貫通して光吸収層を露出させたパターンを形成する工程と、
上記光ビーム照射後の上記積層体上に、第2パターン形成層を堆積させる工程と、
上記第1パターン形成層を溶解させることにより、上記第1パターン形成層上に堆積した上記第2パターン形成層を除去し、上記光吸収層上に堆積した上記第2パターン形成層を残留させる工程とを含むことを特徴とする微細パターンの形成方法。 - 上記光吸収層上に残留した上記第2パターン形成層をマスクとして、エッチングを施す工程をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の微細パターンの形成方法。
- 上記エッチングを施す工程において、上記第1パターン形成層が単位時間あたりにエッチングされる深さより、上記光吸収層が単位時間あたりにエッチングされる深さの方が深いことを特徴とする請求項2に記載の微細パターンの形成方法。
- 上記第1パターン形成層が樹脂からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の微細パターンの形成方法。
- 上記第1パターン形成層がポリヒドロキシスチレン樹脂を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の微細パターンの形成方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の微細パターンの形成方法により製造されたことを特徴とする光ディスク用スタンパ。
- 請求項6に記載の光ディスク用スタンパから転写形成されることを特徴とする光ディスク用基板。
- 請求項7に記載の光ディスク用基板から製造されたことを特徴とする光ディスク媒体。
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