JP2007304039A - Xyz軸変位測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】計測基準面である2次元回折格子1と、回折光を検出するセンサ・ユニット2を有する。センサ・ユニット2は、2次元回折格子1に対して垂直に配置された2次元回折格子21と、レーザー光源22と、レーザー光を2次元回折格子1および2次元回折格子21に垂直に入射させるとともに、2次元回折格子1および2次元回折格子21からの回折光を対物レンズ26によって干渉させる光学系と、干渉光を検出するフォトダイオード41ないし44等からなるセンサを有する。
【選択図】図1
Description
2 センサ・ユニット
21 2次元正弦波格子
22 レーザーダイオード
23 偏光ビームスプリッタ
24、25 4分の1波長板
26 対物レンズ
27 ビームスプリッタ
28、30、31 4分の1波長板
29、32 偏光ビームスプリッタ
41、42、43 フォトダイオード
44、51、52 フォトダイオード
53、54、61 フォトダイオード
62、63、64 フォトダイオード
40a0 X2Y2平面上における0次のスポット
40a1 X2Y2平面上におけるX方向の1次のスポット
40a2 X2Y2平面上におけるX方向の2次のスポット
40a−1 X2Y2平面上におけるX方向の−1次のスポット
40a−2 X2Y2平面上におけるX方向の−2次のスポット
40b1 X2Y2平面上におけるY方向の1次のスポット
40b2 X2Y2平面上におけるY方向の2次のスポット
40b−1 X2Y2平面上におけるY方向の−1次のスポット
40b−2 X2Y2平面上におけるY方向の−2次のスポット
Claims (3)
- XYZ軸変位測定装置であって、計測基準面である2次元回折格子と、該2次元回折格子からの回折光を検出するセンサ・ユニットを備え、該センサ・ユニットが前記2次元回折格子に対して垂直に配置された参照2次元回折格子と、レーザー光源と、該レーザー光源からのレーザー光を前記計測基準面である2次元回折格子および前記参照2次元回折格子に垂直に入射させるとともに、前記計測基準面である2次元回折格子および前記参照2次元回折格子からの回折光を対物レンズによって干渉させる光学系と、該光学系の干渉光から前記計測基準面のXYZ軸の3方向の移動量を求めるセンサを有することを特徴とするXYZ軸変位測定装置。
- 前記センサが、前記光学系の1次回折光による干渉信号を複数のフォトダイオードによって検出することを特徴とする請求項1に記載のXYZ軸変位測定装置。
- 前記光学系が波長板を有し、該波長板によって回折光に位相差をつけて位相の異なる複数の干渉光を生成するものであって、前記センサが互いに位相の異なる干渉光に基づき90度位相の異なる位置検出信号を算出する演算手段と、それら位置検出信号に基づき移動方向判別情報を出力する方向弁別回路を有するものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のXYZ軸変位測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006134850A JP4779117B2 (ja) | 2006-05-15 | 2006-05-15 | Xyz軸変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006134850A JP4779117B2 (ja) | 2006-05-15 | 2006-05-15 | Xyz軸変位測定装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007304039A true JP2007304039A (ja) | 2007-11-22 |
JP4779117B2 JP4779117B2 (ja) | 2011-09-28 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4779117B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105758435A (zh) * | 2016-04-14 | 2016-07-13 | 清华大学深圳研究生院 | 一种绝对式光栅尺 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6918647B2 (ja) | 2017-08-30 | 2021-08-11 | キヤノン株式会社 | 力センサ、トルクセンサ、力覚センサ、指先力センサ、およびその製造方法 |
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JPH04212002A (ja) * | 1990-03-27 | 1992-08-03 | Canon Inc | 測定方法及び装置 |
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JP2006010645A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Tohoku Univ | 検出装置及びステージ装置 |
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2006
- 2006-05-15 JP JP2006134850A patent/JP4779117B2/ja active Active
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