JP2007302543A - 基板分断装置及びそれを用いた表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の分断面を良好に保ち、且つ、分断処理の際に発生するカレットの基板及び装置への付着等を抑制する基板分断装置及びそれを用いた表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板分断装置１０は、基板保持面３９に分断線対向溝１９が設けられた基板保持ステージ１１と、基板保持ステージ１１の基板保持面３９に対向して設けられると共に、基板押圧面４９に分断線対向壁４１が設けられ、且つ、基板保持ステージ１１に保持されたガラス基板４５から離間した待機位置と、基板保持ステージ１１に保持されたガラス基板４５を押圧して分断する基板押圧位置との間で可動に構成された基板押圧部１２と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板分断装置及びそれを用いた表示装置の製造方法に関する。

ＬＣＰ（Liquid Crystal Panel)やＰＤＰ（Plasma Display Panel)等の製造では、一般に、ガラス基板で形成された大型のパネルを所望の大きさの個別パネルに分断する工程を備えている。このようなガラス基板等を切断する装置又は方法として、基板にカッターで刻線を引いた後に圧力を加えてその刻線で分断するものが知られている。

このようなガラス基板等の分断装置又は方法として、例えば、特許文献１には、図１０に示すように、シール材で接合して重ね合わせた２枚のガラス基板を液晶表示素子単位で分断するガラス分断方法において、吸着機構が設けられている定盤上に多孔質の弾性体を置き、その上に前記ガラス基板をあらかじめスクライブカッタでスクライブした面を下側になるように置き吸着して固定した後、前記スクライブした面の反対面上からブレークスキージを押圧することにより前記ガラス基板を分断する技術が開示されている。そして、これによれば、ガラス基板を分断する際のブレーク位置ずれによる分断不良を防ぐことができる、と記載されている。

また、特許文献２には、図１１に示すように、一対のガラス基板を接合してなるガラス基板接合体を、その液晶セル毎の分断線に沿って切り欠き溝が形成されたガラス基板表面を上にして球面の支持ヘッド上に載置し、さらに図１２に示すように、これに充分にフレキシブルな押えシートを被装し、排気管を通じて押えシートと支持ヘッド表面等で囲まれたガラス基板接合体を収容する空間内の空気を排出し、ガラス基板接合体を球面をなす支持ヘッド表面に密着させることにより、ガラス基板を切り欠き溝に沿って分断する技術が開示されている。そして、これによれば、欠けを発生させることなくガラス基板を適正且つ容易に分断でき、液晶素子等のガラス基板からなる製品の歩留まり向上に寄与するガラス基板分断方法とその装置を提供することができる、と記載されている。
特開平10-268275号公報 特開2004-354836号公報

しかしながら、上記特許文献１及び上記特許文献２に示されるような技術では、基板の分断線が分断装置の基板吸着保持面及びフレキシブルシートに接触している。ここで、基板を分断する際にはカレット（基板材料の粉、繊維、又は、小片等）が発生し、基板の表面や装置の分断処理面等に飛散して付着してしまうことがある。従って、基板の分断線が分断装置の基板吸着保持面及びフレキシブルシートに接触していると、これらが原因で基板の分断面が擦れ合って荒れてしまう、という問題がある。

また、分断時に発生したカレットが分断装置の吸着ステージやフレキシブルステージに付着、又は、突き刺さることになり、連続して分断装置を使用する場合に、次回の基板処理時に基板表面に傷が発生してしまう、という問題もある。

本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、基板の分断面を良好に保ち、且つ、分断処理の際に発生するカレットの基板及び装置への付着等を抑制する基板分断装置及びそれを用いた表示装置の製造方法を提供することである。

本発明に係る基板分断装置は、分断線に沿って表面に切り欠きが形成された基板を分断する基板分断装置であって、基板保持面に分断線対向溝が設けられた基板保持ステージと、基板保持ステージの基板保持面に対向して設けられると共に、基板押圧面に分断線対向壁が設けられ、且つ、基板保持ステージに保持された基板から離間した待機位置と、基板保持ステージに保持された基板を押圧して分断する基板押圧位置との間で可動に構成された基板押圧部と、を備えたことを特徴とする。

このような構成によれば、分断線が分断線対向溝に対向するように基板を保持し、基板押圧部を、分断線対向壁が分断線に当接するように基板に押圧し、分断線で基板を分断するため、分断時に発生するカレットは分断線対向壁からの押圧力により基板保持ステージの分断線対向溝へ廃棄される。このため、基板保持ステージの表面等にカレットが付着せず、基板の分断面が擦れ合って荒れてしまうのを抑制することができる。また、分断時に基板の分断線が基板保持ステージの表面に直接接触しないため、分断時に発生したカレットが基板保持ステージの表面に残存しない。このため、連続して分断装置を使用する場合に、次回の基板処理時における基板表面への傷の発生を抑制することができる。

また、本発明に係る基板分断装置は、基板保持ステージの基板保持面が弾性材料で形成されていてもよい。

このような構成によれば、基板保持ステージの基板保持面が弾性材料で形成されているため、分断時に基板に局所的な荷重がかかるのを軽減することができる。このため、分断時において基板を所定の分断線に沿って良好に分断することができる。

さらに、本発明に係る基板分断装置は、基板保持ステージの分断線対向溝が、その両溝壁部に、基板保持面より弾性力の大きい材料で形成された基板保持壁を有していてもよい。

このような構成によれば、基板の分断時に、基板全体を弾性材料で形成された基板保持面でソフトに保持しつつ、分断線対向溝の両溝壁部に弾性力のより大きい材料で形成された基板保持壁が基板に当接することで、分断線からその直交する方向に向けて基板にカットラインが進行するのを抑制することができる。

また、本発明に係る基板分断装置は、基板保持ステージの基板保持面が、分断線対向溝を最深部として両端に向かって傾斜するように形成されていてもよい。

このような構成によれば、基板保持ステージの基板保持面が、分断線対向溝を最深部として両端に向かって傾斜するように形成されているため、基板が基板押圧部により押圧される際、基板保持ステージの基板保持面の傾斜に沿って基板が撓むことができる。このため、基板が分断される際に分断線にかかる荷重を軽減し、分断直前に基板の全体に荷重が行き渡るようにすることができる。従って、分断時において基板の分断面を所定の分断線に沿ってより良好に分断することができる。

さらに、本発明に係る基板分断装置は、基板押圧部の基板押圧面が弾性材料で形成されていてもよい。

このような構成によれば、基板押圧部の基板押圧面が弾性材料で形成されているため、分断時に基板に局所的な荷重がかかるのを軽減することができる。このため、分断時において基板を所定の分断線に沿って良好に分断することができる。

また、本発明に係る基板分断装置は、基板押圧部の分断線対向壁が、基板押圧面より弾性力の大きい材料で形成されていてもよい。

このような構成によれば、基板の分断時に、基板全体を弾性材料で形成された基板押圧面でソフトに押圧しつつ、より弾性力の大きい分断線対向壁を分断線上に当接させることにより、分断線に荷重を集中させることができ、且つ、その荷重が分断面の荒れを引き起こすような強度のものとなることを抑制することができる。このため、分断時において基板を所定の分断線に沿ってより良好に分断することができる。

さらに、本発明に係る基板分断装置は、基板押圧部の基板押圧面が、分断線対向壁を最頂部として両端に向かって傾斜するように形成されていてもよい。

このような構成によれば、基板押圧部の基板押圧面が、分断線対向壁を最頂部として両端に向かって傾斜するように形成されているため、基板が基板押圧部により押圧される際、基板保持ステージの基板押圧面の傾斜に沿って基板が撓むことができる。このため、基板が分断される際に分断線にかかる荷重を軽減し、分断直前に基板の全体に荷重が行き渡るようにすることができる。従って、分断時において基板の分断面を所定の分断線に沿ってより良好に分断することができる。

また、本発明に係る基板分断装置は、基板保持ステージの分断線対向溝と、基板保持ステージに保持された基板と、で囲まれる空間から空気を排出する排気手段をさらに備えていてもよい。

このような構成によれば、基板保持ステージの分断線対向溝と、基板保持ステージに保持された基板と、で囲まれる空間から空気を排出する排気手段をさらに備えているため、分断時に発生して基板保持ステージの分断線対向溝へ落下したカレットが、そのまま排気手段により分断線対向溝から排出される。このため、分断の際に発生するカレットが基板や基板保持ステージ表面に付着するのをより効果的に抑制することができる。

さらに、本発明に係る基板分断装置は、基板保持ステージの基板保持面及び／又は基板押圧部の基板押圧面が、複数の起立した柱状弾性体で構成されていてもよい。

このような構成によれば、基板保持ステージの基板保持面及び／又は基板押圧部の基板押圧面が、複数の起立した柱状弾性体で構成されているため、分断時に基板に局所的な荷重がかかるのを軽減すると共に、基板保持面や基板押圧面の表面積を減少させて、カレットの基板保持面や基板押圧面への付着をより良好に抑制することができる。

また、本発明に係る基板分断装置は、基板保持ステージが、各々、分断線対向溝が並列するように複数が隣接して配置され、基板押圧部が、各々、分断線対向壁が基板保持ステージの分断線対向溝に対向するように複数が隣接して配置されていてもよい。

このような構成によれば、基板保持ステージが、各々、分断線対向溝が並列するように複数が隣接して配置され、基板押圧部が、各々、分断線対向壁が基板保持ステージの分断線対向溝に対向するように複数が隣接して配置されているため、一枚の基板を一度に複数枚の短冊状基板に分断することができる。従って、基板の処理効率が良好となる。

本発明に係る表示装置の製造方法は、分断線に沿って表面に切り欠きが形成された基板を分断する表示装置の製造方法であって、基板保持面に分断線対向溝が設けられている基板保持ステージに、分断線が分断線対向溝に対向するように基板を保持する基板保持ステップと、基板保持ステージに保持された基板に対し、分断線対向壁が設けられている基板押圧部を、分断線対向壁が分断線に当接するように基板に押圧し、分断線で基板を分断する基板分断ステップと、を備えていることを特徴とする。

このような構成によれば、分断線が分断線対向溝に対向するように基板を保持し、基板押圧部を、分断線対向壁が分断線に当接するように基板に押圧し、分断線で基板を分断するため、分断時に発生するカレットは分断線対向壁からの押圧力により基板保持ステージの分断線対向溝へ廃棄される。このため、基板保持ステージの表面等にカレットが付着せず、基板の分断面が擦れ合って荒れてしまうのを抑制することができる。また、分断時に基板の分断線が基板保持ステージの表面に直接接触しないため、分断時に発生したカレットが基板保持ステージの表面に残存しない。このため、連続して分断装置を使用する場合に、次回の基板処理時における基板表面への傷の発生を抑制することができる。

また、本発明に係る表示装置の製造方法は、基板保持ステップでは、各々、分断線対向溝が並列するように複数が隣接して配置された基板保持ステージに基板を保持しており、基板分断ステップでは、各々、分断線対向壁が基板保持ステージの分断線対向溝に対向するように複数が隣接して配置された基板押圧部で基板を分断していてもよい。

このような構成によれば、基板保持ステップでは、各々、分断線対向溝が並列するように複数が隣接して配置された基板保持ステージに基板を保持し、基板分断ステップでは、各々、分断線対向壁が基板保持ステージの分断線対向溝に対向するように複数が隣接して配置された基板押圧部で基板を分断するため、一枚の基板を一度に複数枚の短冊状基板に分断することができる。従って、基板の処理効率が良好となる。

以上説明したように、本発明によれば、基板の分断面を良好に保ち、且つ、分断処理の際に発生するカレットの基板及び装置への付着等を抑制する基板分断装置及びそれを用いた表示装置の製造方法を提供することができる。

以下、本発明の実施形態に係る基板分断装置として、ＬＣＤ製造工程において、ＴＦＴ基板及びＣＦ基板を貼り合わせてなるガラス基板を分断する処理を行うものについて、図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。

（実施形態１）
（基板分断装置１０の構成）
図１は、本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０の模式図を示す。図２は、本発明の実施形態１に係る基板保持ステージ１１及び基板押圧部１２の斜視図である。

基板分断装置１０は、基板保持ステージ１１、基板保持ステージ１１に対向するように設けられた基板押圧部１２、基板押圧部１２の両側方に設けられたアライメントカメラ１３，１４、基板保持ステージ１１の側方に設けられた排気手段１５、並びに、制御手段１６で構成されている。

基板保持ステージ１１は、基板分断装置１０の最下部に水平に設けられている。基板保持ステージ１１は、ステージ本体１７及びステージ本体１７の表面に形成された弾性保持部材１８で構成されている。

ステージ本体１７は、例えば縦７５〜１００ｃｍ、横１００〜１５０ｃｍ及び厚さ２０〜５０ｃｍの直方体に形成されている。ステージ本体１７は、鉄や鋼、又は、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系、析出硬化系等のステンレス等で形成されている。ステージ本体１７は、後述する基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９に対応する位置に、分断線対向溝１９に沿って吸気口２０が形成されており、吸気口２０からステージ本体１７内を通り、その側面へ抜けるように排気経路２１が形成されている。

排気経路２１は、吸気口２０から下方へ延びるように形成されており、ステージ本体１７の厚さ方向の中間部からは、側方へ延びるように形成されている。排気経路２１は、吸気口２０から複数本が延びるように形成されていてもよいし、一本のみが延びるように形成されていてもよい。

弾性保持部材１８は、ステージ本体１７の表面に所定間隔を空けて並設された第１部材３１及び第２部材３２で構成されている。この第１部材３１及び第２部材３２で形成する間隔は、ステージ本体１７の表面中央部に直線状に延びるように形成されており、分断線対向溝１９を構成している。弾性保持部材１８は、その厚さが、例えば２〜５ｃｍに形成されている。

第１部材３１及び第２部材３２は、それぞれフッ素ゴム、シリコーンゴム、ブチルゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、ウレタンゴム、スチレンゴム、ニトリルゴム、又は、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）及びスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）等のジエン系ゴム、さらにはフェノール系やエポキシ系の樹脂材料等の弾性材料で形成されている。

さらに、第１部材３１及び第２部材３２は、分断線対向溝１９を構成する溝壁部に、第１部材３１及び第２部材３２の表面（基板保持面３９）からそれぞれ突出するように基板保持壁３３が形成されている。基板保持面３９は、この基板保持壁３３に接する部分を最深部として端部に向かって傾斜するように形成されている。即ち、基板保持面３９は、分断線対向溝を最深部として端部に向かって傾斜するように形成されている。第１部材３１及び第２部材３２の表面の傾斜角は、例えば、水平面から１〜５度程度に形成されている。

基板保持壁３３は、第１部材３１及び第２部材３２より弾性力の大きい弾性材料で形成されている。例えば、基板保持壁３３は、第１部材３１及び第２部材３２で用いられているものよりゴム硬度の高いゴム等で形成されている。基板保持壁３３は、ステージ本体１７に起立するように、且つ、その頭頂部が丸みを帯びるように形成されている。

尚、基板保持壁３３の形状は、上記に限られない。即ち、基板保持ステージ１１上に起立するような直方体形状に形成されていてもよく、頭頂部のみ円錐状、角錐状、切頭円錐状又は切頭角錐状に形成されているものであってもよい。

また、基板保持壁３３は、基板保持面３９から突出していてもいなくてもよい。さらに、基板保持壁３３の間隔は、分断処理対象の基板の材質や厚みによって任意に変更することができ、その都度最適な条件を設定して分断処理が行われる。

分断線対向溝１９は、その深さが弾性保持部材１８と同一であり、例えば２〜５ｃｍに形成されている。また、分断線対向溝１９の幅は、第１部材３１及び第２部材３２で形成する間隔と同一であり、例えば、１〜３ｃｍに形成されている。

基板押圧部１２は、基板保持ステージ１１に対向するように、その上方において水平に設けられている。基板押圧部１２は、押圧部本体４０及び押圧部本体４０の表面に形成された分断線対向壁４１及び弾性押圧部材４２で構成されている。

押圧部本体４０は、基板保持ステージ１１と同程度の大きさで、例えば、縦７５〜１００ｃｍ、横１００〜１５０ｃｍ及び厚さ２０〜５０ｃｍの直方体に形成されている。押圧部本体４０は、鉄や鋼、又は、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系、析出硬化系等のステンレス等で形成されている。

分断線対向壁４１は、押圧部本体４０の表面中央部に直線状に延びるように形成されている。分断線対向壁４１は、押圧部本体４０上に起立するように、且つ、その頭頂部が丸みを帯びるように形成されている。尚、分断線対向壁４１の形状は、上記に限られない。即ち、押圧部本体４０上に起立するような直方体形状に形成されていてもよく、頭頂部のみ円錐状、角錐状、切頭円錐状又は切頭角錐状に形成されているものであってもよい。分断線対向壁４１は、その高さが、例えば、２〜６ｃｍ程度に形成されている。

弾性押圧部材４２は、押圧部本体４０の表面に、フッ素ゴム、シリコーンゴム、ブチルゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、ウレタンゴム、スチレンゴム、ニトリルゴム、又は、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）及びスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）等のジエン系ゴム、さらにはフェノール系やエポキシ系の樹脂材料等の弾性材料で形成されている。弾性押圧部材４２の表面（基板押圧面４９）は、分断線対向壁４１を最頂部として端部に向かって傾斜するように形成されている。基板押圧面４９の傾斜角は、例えば、水平面から１〜５度程度に形成されている。弾性押圧部材４２は、その厚さが、例えば２〜５ｃｍであり、分断線対向壁４１の先端が、基板押圧面４９から０〜１ｃｍ程度突出するように形成されている。

また、分断線対向壁４１は、弾性押圧部材４２より弾性力の大きい材料で形成されている。例えば、分断線対向壁４１は、弾性押圧部材４２で用いられているものよりゴム硬度の高いゴム等で形成されている。

アライメントカメラ１３，１４は、分断するガラス基板に予め付されたアライメントマークを読み取るように、基板保持ステージ１１に載置されるガラス基板の両端部の上方に一対が設けられている。アライメントカメラ１３，１４は、例えば、ＣＣＤカメラ等で構成されている。アライメントカメラ１３，１４は、基板のＸ軸及びＹ軸方向に移動可能となるように、例えば駆動軸等により保持して配設されている。

排気手段１５は、基板保持ステージ１１の側方に設けられている。排気手段１５は、不図示の排気ファン及びダクト４４で構成されている。ダクト４４は、基板保持ステージ１１の排気経路２１の出口（排気口）に連結されており、排気ファンは、このダクト４４を介して基板保持ステージ１１の排気経路２１と連通している。

制御手段１６は、基板保持ステージ１１、基板押圧部１２、アライメントカメラ１３，１４、アライメントカメラ１３，１４の駆動軸、及び、排気手段１５に電気的に接続されている。

（基板分断装置１０を用いた表示装置の製造方法）
次に、本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０を用いた表示装置の製造方法について説明する。

まず、分断線に沿って切り欠き４６が形成され、且つ、不図示のアライメントマークを端部に付した、ガラス基板４５を準備する。ここで、切り欠き４６は、例えば、ＣＯ２レーザ及びミスト冷却を用いた熱歪応力による切り欠き形成手段により、深さ０．０５〜０．２ｍｍ程度に形成されている。また、ガラス基板４５は、例えば、それぞれ厚さ０．１〜１．０ｍｍ程度の基板を貼り合わせたものを用いる。

次に、ガラス基板４５を基板保持ステージ１１に載置して保持する。このとき、基板保持ステージ１１の基板保持面３９に設けられた分断線対向溝１９と、切り欠き４６とが対向するようにガラス基板４５を載置する。また、ガラス基板４５は、基板保持面３９の両端部と基板保持壁３３とで保持されている。

次に、制御手段１６からの信号により、基板保持ステージ１１を操作して、ガラス基板４５をアライメントマーク読み取り位置まで搬送する。

次に、アライメントカメラ１３，１４で、アライメントマーク読み取り位置まで搬送されたガラス基板４５のアライメントマークの画像を読み取り、制御手段１６へ画像データを送信する。

次に、画像データを受け取った制御手段１６は、基板押圧部１２のガラス基板４５表面に対する傾き等を演算する。

次に、制御手段１６が、その演算結果に基づいて、Ｘ方向、Ｙ方向及びθ方向に傾きを補正するように基板保持ステージ１１を移動することにより、ガラス基板４５のアライメントを実行する。

次に、ガラス基板４５の分断線に沿って形成した切り欠き４６が、基板押圧部１２の分断線対向壁４１の真下において対向するように、基板保持ステージ１１を搬送する。このとき、ガラス基板４５の切り欠き４６が形成されていない面（裏面とする）が、基板押圧部１２の方へ向いている。このときの基板押圧部１２の位置を待機位置と呼ぶ。また、図３に待機位置における基板押圧部１２及び基板保持ステージ１１の断面図を示す。

次に、上方の待機位置にある基板押圧部１２を制御手段１６からの信号により下降させる。このとき、下降した基板押圧部１２は、まず、その分断線対向壁４１を、ガラス基板４５の裏面における切り欠き４６に対応した位置に当接する。ガラス基板４５の裏面に当接した分断線対向壁４１は弾性材料で形成されているため、基板裏面に傷を付けず、自ら縦方向に収縮しながら徐々にガラス基板４５を押圧していく。さらに、ガラス基板４５を保持している基板保持壁３３も、弾性材料で形成されているため、基板押圧部１２の下降に伴って自ら縦方向に徐々に収縮していく。

基板押圧部１２に押圧されるガラス基板４５は、分断線に形成された切り欠き４６付近を中心として両端が反り上がる。このとき、反り上がったガラス基板４５は、その裏面が基板押圧部１２の傾斜した基板押圧面４９に当接し、その表面が基板保持ステージ１１の傾斜した基板保持面３９に当接する。また、基板押圧面４９及び基板保持面３９は、それぞれ弾性材料で形成されているため、ガラス基板４５を傷つけることなく、且つ、ガラス基板４５全体に荷重を掛けている。

続いて、基板押圧部１２をさらに下降させて、分断線に沿って形成された切り欠き４６において、ガラス基板４５を分断する。このように基板保持ステージ１１に保持され、基板押圧部１２で押圧されるガラス基板４５は、分断線に沿って形成された切り欠き４６において、分断面が荒れることなく良好に分断される。このガラス基板４５が分断されるときの基板押圧部１２の位置を、基板押圧位置と呼ぶ。また、図４に、基板押圧位置における基板押圧部１２及び基板保持ステージ１１の断面図を示す。

また、分断の際に発生するガラスカレット等は、ガラス基板４５や基板押圧部１２に付着することなく基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９へ落ちる。分断線対向溝１９へ落ちたガラスカレットは、排気手段１５により吸引されて、基板保持ステージ１１の排気口から廃棄される。尚、排気手段１５の作動のタイミングは、任意に選択することができる。

基板押圧部１２を基板押圧位置まで下降させてガラス基板４５を分断した後、分断されたガラス基板４５を基板分断装置１０から搬出して、次の処理工程に移行し、表示装置の製造を行う。

尚、基板保持ステージ１１及び基板押圧部１２は、上述のようなものに限らず、図５及び図６に示したものであってもよい。

図５は、待機位置における基板保持ステージ５１及び基板押圧部５２の断面図を示す。図６は、基板押圧位置における基板保持ステージ５１及び基板押圧部５２の断面図を示す。

基板保持ステージ５１は、ステージ本体５３及びステージ本体５３の表面に形成された弾性保持部材５４で構成されている。

ステージ本体５３は、例えば縦７５〜１００ｃｍ、横１００〜１５０ｃｍ及び厚さ２０〜５０ｃｍの直方体に形成されている。ステージ本体５３は、鉄や鋼、又は、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系、析出硬化系等のステンレス等で形成されている。ステージ本体５３は、基板保持ステージ５１の分断線対向溝５５に対応する位置に、分断線対向溝５５に沿って吸気口５６が形成されており、吸気口５６からステージ本体５３内を通り、その側面へ抜けるように排気経路５７が形成されている。

排気経路５７は、吸気口５６から下方へ延びるように形成されており、ステージ本体５３の厚さ方向の中間部からは、側方へ延びるように形成されている。排気経路５７は、吸気口５６から複数本が延びるように形成されていてもよいし、一本のみが延びるように形成されていてもよい。

弾性保持部材５４は、ステージ本体５３の表面に所定間隔を空けて並設された第１部材６１及び第２部材３２で構成されている。これらの第１部材６１及び第２部材６２は、図７に示すように、それぞれ複数の起立して形成された柱状弾性体６３で構成されている。この第１部材６１及び第２部材６２で形成する間隔は、ステージ本体５３の表面中央部に直線状に延びるように形成されており、分断線対向溝５５を構成している。弾性保持部材５４は、その厚さが、例えば５〜１０ｃｍに形成されている。

柱状弾性体６３は、フッ素ゴム、シリコーンゴム、ブチルゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、ウレタンゴム、スチレンゴム、ニトリルゴム、又は、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）及びスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）等のジエン系ゴム、さらにはフェノール系やエポキシ系の樹脂材料等の弾性材料で形成されている。柱状弾性体６３は、それぞれ直径が数ｍｍ〜数ｃｍ程度に形成されている。

さらに、第１部材６１及び第２部材６２は、分断線対向溝５５を構成する溝壁部に基板保持壁６４が形成されており、第１部材６１及び第２部材６２の表面は、この基板保持壁６４に接する部分を最深部として端部に向かって傾斜するように形成されている。第１部材６１及び第２部材６２の表面（基板保持面６５）の傾斜角は、例えば、水平面から１〜５度程度に形成されている。

基板保持壁６４は、第１部材６１及び第２部材６２の柱状弾性体６３より弾性力の大きい弾性材料で形成されている。例えば、基板保持壁６４は、第１部材６１及び第２部材６２で用いられているものよりゴム硬度の高いゴム等で形成されている。基板保持壁６４は、ステージ本体５３に起立するように、且つ、その頭頂部が丸みを帯びるように形成されている。

尚、基板保持壁６４の形状は、上記に限られない。即ち、ステージ本体５３上に起立するような直方体形状に形成されていてもよく、頭頂部のみ円錐状、角錐状、切頭円錐状又は切頭角錐状に形成されているものであってもよい。

また、基板保持壁６４は、基板保持面６５から突出していてもいなくてもよい。さらに、基板保持壁６４の間隔は、分断処理対象の基板の材質や厚みによって任意に変更することができ、その都度最適な条件を設定して分断処理が行われる。

分断線対向溝５５は、その深さが弾性保持部材５４と同一であり、例えば２〜５ｃｍに形成されている。また、分断線対向溝５５の幅は、第１部材６１及び第２部材６２で形成する間隔と同一であり、例えば、１〜３ｃｍに形成されている。

基板押圧部５２は、押圧部本体７０及び押圧部本体７０の表面に形成された分断線対向壁７１及び弾性押圧部材７２で構成されている。

押圧部本体７０は、基板保持ステージ５１と同程度の大きさで、例えば、縦７５〜１００ｃｍ、横１００〜１５０ｃｍ及び厚さ２０〜５０ｃｍの直方体に形成されている。押圧部本体７０は、鉄や鋼、又は、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系、析出硬化系等のステンレス等で形成されている。

分断線対向壁７１は、押圧部本体７０の表面中央部に直線状に延びるように形成されている。分断線対向壁７１は、押圧部本体７０上に起立するように、且つ、その頭頂部が丸みを帯びるように形成されている。尚、分断線対向壁７１の形状は、上記に限られない。即ち、押圧部本体７０上に起立するような直方体形状に形成されていてもよく、頭頂部のみ円錐状、角錐状、切頭円錐状又は切頭角錐状に形成されているものであってもよい。分断線対向壁７１は、その高さが、例えば、２〜６ｃｍ程度に形成されている。

弾性押圧部材７２は、複数の起立して形成された柱状弾性体６３で構成されている。柱状弾性体６３は、それぞれ直径が数ｍｍ〜数ｃｍ程度に形成されている。柱状弾性体６３は、押圧部本体７０の表面に、フッ素ゴム、シリコーンゴム、ブチルゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、ウレタンゴム、スチレンゴム、ニトリルゴム、又は、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）及びスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）等のジエン系ゴム、さらにはフェノール系やエポキシ系の樹脂材料等の弾性材料で形成されている。弾性押圧部材７２の表面は、分断線対向壁７１を最頂部として端部に向かって傾斜するように形成されている。弾性押圧部材７２の表面の傾斜角は、例えば、水平面から１〜５度程度に形成されている。弾性押圧部材７２は、その厚さが、例えば５〜１０ｃｍであり、分断線対向壁７１の先端が、弾性押圧部材７２表面から０〜１ｃｍ程度突出するように形成されている。

また、分断線対向壁７１は、弾性押圧部材７２より弾性力の大きい材料で形成されている。例えば、分断線対向壁７１は、弾性押圧部材７２で用いられているものよりゴム硬度の高いゴム等で形成されている。

このように構成された基板保持ステージ５１及び基板押圧部５２を用いて実施形態１と同様に基板分断処理を行うと、ガラス基板の押圧時において基板保持ステージ５１の基板保持面６５及び基板押圧部５２の基板押圧面７５を構成する複数の柱状弾性体６３が、それぞれ縦方向に収縮し、又は、横方向に屈折する。収縮又は屈折した柱状弾性体６３は、ガラス基板４５の表面及び裏面全体に傷を付けず、且つ、ガラス基板４５に掛かる荷重を全体に分散する。従って、基板保持ステージ５１に保持され、基板押圧部５２で押圧されるガラス基板４５は、分断線に沿って形成された切り欠き４６において、分断面が荒れることなく良好に分断される。

（実施形態２）
（基板分断装置８０の構成）
図８は、本発明の実施形態２に係る基板分断装置８０を示す。図９は、本発明の実施形態２に係る並設基板保持ステージ８１及び並設基板押圧部８２の斜視図を示す。

基板分断装置８０は、並設基板保持ステージ８１、並設基板保持ステージ８１に対向するように設けられた並設基板押圧部８２、並設基板押圧部８２の両側方に設けられたアライメントカメラ８３，８４、並設基板保持ステージ８１の側方に設けられた排気手段８５、並びに、制御手段８６で構成されている。

並設基板保持ステージ８１は、実施形態１に係る基板保持ステージ１１が４つ、その分断線対向溝１９が並列するように隣接配置されて構成されており、基板分断装置８０の最下部に水平に設けられている。

並設基板保持ステージ８１は上述のように４つの実施形態１に係る基板保持ステージ１１で構成されているが、その排気経路８７については、新たにステージ本体１７に形成されている。即ち、ステージ本体１７の水平方向に延びるように形成された排気経路２１がそれぞれ一本の排気経路８７となるように形成されており、それぞれの基板保持ステージ１１から排出される空気が同一の排気口から排出されるように構成されている。

尚、実施形態１の基板保持ステージ１１の吸気口２０が基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９が延びる方向のステージ本体１７側端部に形成されていれば、このように新たに排気経路８７を形成しなくてもよい。この場合、それぞれの排気口を別に設けた連結管で連結し、この連結管を排気手段８５に接続して排気処理を行うようにする。

並設基板押圧部８２は、実施形態１に係る基板押圧部１２が４つ、その分断線対向壁４１が基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９に対向するように隣接配置されて構成されている。

アライメントカメラ８３，８４は、分断する基板に予め付されたアライメントマークを読み取るように、並設基板保持ステージ８１に載置される基板の両端部の上方に一対が設けられている。アライメントカメラ８３，８４は、例えば、ＣＣＤカメラ等で構成されている。アライメントカメラ８３，８４は、基板のＸ軸及びＹ軸方向に移動可能となるように、例えば駆動軸等により保持して配設されている。

排気手段８５は、並設基板保持ステージ８１の側方に設けられている。排気手段８５は、排気ファン及びダクト８８で構成されている。ダクト８８は、並設基板保持ステージ８１の排気経路８７の出口（排気口）に連結されており、排気ファンは、このダクト８８を介して並設基板保持ステージ８１の排気経路８７と連通している。

制御手段８６は、並設基板保持ステージ８１、並設基板押圧部８２、アライメントカメラ８３，８４、アライメントカメラ８３，８４の駆動軸、及び、排気手段８５に電気的に接続されている。

（基板分断装置８０を用いた表示装置の製造方法）
次に、本発明の実施形態２に係る基板分断装置８０を用いた表示装置の製造方法について説明する。

まず、分断線に沿って切り欠き９１が４本形成され、且つ、不図示のアライメントマークを端部に付したガラス基板９０を並設基板保持ステージ８１に載置して保持する。このとき、並設基板保持ステージ８１のそれぞれの基板保持ステージ１１の基板保持面３９に設けられた分断線対向溝１９と、切り欠き９１とが対向するようにガラス基板９０を載置する。また、ガラス基板９０は、それぞれの基板保持ステージ１１の基板保持面３９の両端部と基板保持壁３３とで保持されている。

次に、制御手段８６からの信号により、並設基板保持ステージ８１を操作して、ガラス基板９０をアライメントマーク読み取り位置まで搬送する。

次に、アライメントカメラ８３，８４で、アライメントマーク読み取り位置まで搬送されたガラス基板９０のアライメントマークの画像を読み取り、制御手段８６へ画像データを送信する。

次に、画像データを受け取った制御手段８６は、並設基板押圧部８２のガラス基板９０表面に対する傾き等を演算する。

次に、制御手段８６が、その演算結果に基づいて、Ｘ方向、Ｙ方向及びθ方向に傾きを補正するように並設基板保持ステージ８１を移動することにより、ガラス基板９０のアライメントを実行する。

次に、ガラス基板９０の分断線に沿って形成した４本の切り欠き９１が、それぞれ基板押圧部１２の分断線対向壁４１の真下において対向するように、並設基板保持ステージ８１を搬送する。このとき、ガラス基板９０の切り欠き９１が形成されていない面（基板裏面）が、並設基板押圧部８２の方へ向いている。

次に、上方の待機位置にある並設基板押圧部８２を制御手段８６からの信号により下降させる。このとき、下降した並設基板押圧部８２は、まず、その分断線対向壁４１を、ガラス基板９０の裏面における切り欠き９１に対応した位置に当接する。ガラス基板９０の裏面に当接した分断線対向壁４１は弾性材料で形成されているため、基板裏面に傷を付けず、自ら縦方向に収縮しながら徐々にガラス基板９０を押圧していく。さらに、ガラス基板９０を保持している基板保持壁３３も、弾性材料で形成されているため、並設基板押圧部８２の下降に伴って自ら縦方向に徐々に収縮していく。

並設基板押圧部８２に押圧されるガラス基板９０は、分断線に形成された切り欠き９１付近を中心として各分断予定領域の両端が反り上がる。このとき、反り上がったガラス基板９０は、その裏面が並設基板押圧部８２のそれぞれの基板押圧部１２の傾斜した基板押圧面４９に当接し、その表面が対応する基板保持ステージ１１の傾斜した基板保持面３９に当接する。また、基板押圧面４９及び基板保持面３９は、それぞれ弾性材料で形成されているため、ガラス基板９０を傷つけることなく、且つ、ガラス基板９０全体に荷重を掛けている。

続いて、並設基板押圧部８２をさらに下降させて、分断線に沿って形成された切り欠き９１において、ガラス基板９０を分断する。このとき、ガラス基板９０は、４本の切り欠き９１において分断されるため、５つの短冊状ガラス基板に分断される。

また、分断の際に発生するガラスカレット等は、ガラス基板９０や並設基板押圧部８２に付着することなく並設基板保持ステージ８１のそれぞれの基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９へ落ちる。分断線対向溝１９へ落ちたガラスカレットは、排気手段８５により吸引されて、並設基板保持ステージ８１の排気口から廃棄される。尚、排気手段８５の作動のタイミングは、任意に選択することができる。

分断後、ガラス基板９０を基板分断装置８０から搬出して、次の処理工程に移行し、表示装置の製造を行う。

尚、本実施形態では、ＬＣＤ（liquid crystal display；液晶表示ディスプレイ）のガラス基板の分断に係る基板分断装置及びそれを用いた表示装置の製造方法について示したが、ＰＤＰ（plasma display panel；プラズマディスプレイパネル）、有機ＥＬ（organic electroluminescence ）、ＦＥＤ（field emission display；電界放出ディスプレイ）、又は、ＳＥＤ（surface-conduction electron-emitter display；表面電界ディスプレイ）等の製造工程において実施されるガラス基板等の分断に係るものであってもよい。

（作用効果）
次に作用効果について説明する。

本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０は、分断線に沿って表面に切り欠き４６が形成されたガラス基板４５を分断する基板分断装置１０であって、基板保持面３９に分断線対向溝１９が設けられた基板保持ステージ１１と、基板保持ステージ１１の基板保持面３９に対向して設けられると共に、基板押圧面４９に分断線対向壁４１が設けられ、且つ、基板保持ステージ１１に保持されたガラス基板４５から離間した待機位置と、基板保持ステージ１１に保持されたガラス基板４５を押圧して分断する基板押圧位置との間で可動に構成された基板押圧部１２と、を備えたことを特徴とする。

このような構成によれば、分断線が分断線対向溝１９に対向するようにガラス基板４５を保持し、基板押圧部１２を、分断線対向壁４１が分断線に当接するようにガラス基板４５に押圧し、分断線でガラス基板４５を分断するため、分断時に発生するカレットは分断線対向壁４１からの押圧力により基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９へ落下する。このため、基板保持ステージ１１の表面等にカレットが付着せず、ガラス基板４５の分断面が擦れ合って荒れてしまうのを抑制することができる。また、分断時にガラス基板４５の分断線が基板保持ステージ１１の表面に直接接触しないため、分断時に発生したカレットが基板保持ステージ１１の表面に残存しない。このため、連続して基板分断装置１０を使用する場合に、次回のガラス基板４５処理時におけるガラス基板４５表面への傷の発生を抑制することができる。

また、本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０は、基板保持ステージ１１の基板保持面３９が弾性材料で形成されていることを特徴とする。

このような構成によれば、基板保持ステージ１１の基板保持面３９が弾性材料で形成されているため、分断時にガラス基板４５に局所的な荷重がかかるのを軽減することができる。このため、分断時においてガラス基板４５を所定の分断線に沿って良好に分断することができる。

さらに、本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０は、基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９が、その両溝壁部に、基板保持面３９より弾性力の大きい材料で形成された基板保持壁３３を有していることを特徴とする。

このような構成によれば、ガラス基板４５の分断時に、ガラス基板４５全体を弾性材料で形成された基板保持面３９でソフトに保持しつつ、分断線対向溝１９の両溝壁部に弾性力のより大きい材料で形成された基板保持壁３３がガラス基板４５に当接することで、分断線からその直交する方向に向けてガラス基板４５にカットラインが進行するのを抑制することができる。

また、本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０は、基板保持ステージ１１の基板保持面３９が、分断線対向溝１９を最深部として両端に向かって傾斜するように形成されていることを特徴とする。

このような構成によれば、基板保持ステージ１１の基板保持面３９が、分断線対向溝１９を最深部として両端に向かって傾斜するように形成されているため、ガラス基板４５が基板押圧部１２により押圧される際、基板保持ステージ１１の基板保持面３９の傾斜に沿ってガラス基板４５が撓むことができる。このため、ガラス基板４５が分断される際に分断線にかかる荷重を軽減し、分断直前にガラス基板４５の全体に荷重が行き渡るようにすることができる。従って、分断時においてガラス基板４５の分断面を所定の分断線に沿ってより良好に分断することができる。

さらに、本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０は、基板押圧部１２の基板押圧面４９が弾性材料で形成されていることを特徴とする。

このような構成によれば、基板押圧部１２の基板押圧面４９が弾性材料で形成されているため、分断時にガラス基板４５に局所的な荷重がかかるのを軽減することができる。このため、分断時においてガラス基板４５を所定の分断線に沿って良好に分断することができる。

また、本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０は、基板押圧部１２の分断線対向壁４１が、基板押圧面４９より弾性力の大きい材料で形成されていることを特徴とする。

このような構成によれば、ガラス基板４５の分断時に、ガラス基板４５全体を弾性材料で形成された基板押圧面４９でソフトに押圧しつつ、より弾性力の大きい分断線対向壁４１を分断線上に当接させることにより、分断線に荷重を集中させることができ、且つ、その荷重が分断面の荒れを引き起こすような強度のものとなることを抑制することができる。このため、分断時においてガラス基板４５を所定の分断線に沿ってより良好に分断することができる。

さらに、本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０は、基板押圧部１２の基板押圧面４９が、分断線対向壁４１を最頂部として両端に向かって傾斜するように形成されていることを特徴とする。

このような構成によれば、基板押圧部１２の基板押圧面４９が、分断線対向壁４１を最頂部として両端に向かって傾斜するように形成されているため、ガラス基板４５が基板押圧部１２により押圧される際、基板保持ステージ１１の基板押圧面４９の傾斜に沿ってガラス基板４５が撓むことができる。このため、ガラス基板４５が分断される際に分断線にかかる荷重を軽減し、分断直前にガラス基板４５の全体に荷重が行き渡るようにすることができる。従って、分断時においてガラス基板４５の分断面を所定の分断線に沿ってより良好に分断することができる。

また、本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０は、基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９と、基板保持ステージ１１に保持されたガラス基板４５と、で囲まれる空間から空気を排出する排気手段１５をさらに備えていることを特徴とする。

このような構成によれば、基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９と、基板保持ステージ１１に保持されたガラス基板４５と、で囲まれる空間から空気を排出する排気手段１５をさらに備えているため、分断時に発生して基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９へ落下したカレットが、そのまま排気手段１５により分断線対向溝１９から排出される。このため、分断の際に発生するカレットがガラス基板４５や基板保持ステージ１１表面に付着するのをより効果的に抑制することができる。

さらに、本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０は、基板保持ステージ５１の基板保持面６５及び／又は基板押圧部５２の基板押圧面７５が、複数の起立した柱状弾性体６３で構成されていることを特徴とする。

このような構成によれば、基板保持ステージ５１の基板保持面６５及び／又は基板押圧部５２の基板押圧面７５が、複数の起立した柱状弾性体６３で構成されているため、分断時にガラス基板４５に局所的な荷重がかかるのを軽減すると共に、基板保持面６５や基板押圧面７５の表面積を減少させて、カレットの基板保持面６５や基板押圧面７５への付着をより良好に抑制することができる。

また、本発明の実施形態２に係る基板分断装置８０は、基板保持ステージ１１が、各々、分断線対向溝１９が並列するように複数が隣接して配置され、基板押圧部１２が、各々、分断線対向壁４１が基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９に対向するように複数が隣接して配置されていることを特徴とする。

このような構成によれば、基板保持ステージ１１が、各々、分断線対向溝１９が並列するように複数が隣接して配置され、基板押圧部１２が、各々、分断線対向壁４１が基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９に対向するように複数が隣接して配置されているため、一枚のガラス基板４５を一度に複数枚の短冊状基板に分断することができる。従って、ガラス基板４５の処理効率が良好となる。

本発明の実施形態１に係る表示装置の製造方法は、分断線に沿って表面に切り欠き４６が形成されたガラス基板４５を分断する表示装置の製造方法であって、基板保持面３９に分断線対向溝１９が設けられている基板保持ステージ１１に、分断線が分断線対向溝１９に対向するようにガラス基板４５を保持する基板保持ステップと、基板保持ステージ１１に保持されたガラス基板４５に対し、分断線対向壁４１が設けられている基板押圧部１２を、分断線対向壁４１が分断線に当接するようにガラス基板４５に押圧し、分断線でガラス基板４５を分断する基板分断ステップと、を備えていることを特徴とする。

このような構成によれば、分断線が分断線対向溝１９に対向するようにガラス基板４５を保持し、基板押圧部１２を、分断線対向壁４１が分断線に当接するようにガラス基板４５に押圧し、分断線でガラス基板４５を分断するため、分断時に発生するカレットは分断線対向壁４１からの押圧力により基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９へ落下する。このため、基板保持ステージ１１の表面等にカレットが付着せず、ガラス基板４５の分断面が擦れ合って荒れてしまうのを抑制することができる。また、分断時にガラス基板４５の分断線が基板保持ステージ１１の表面に直接接触しないため、分断時に発生したカレットが基板保持ステージ１１の表面に残存しない。このため、連続して分断装置を使用する場合に、次回のガラス基板処理時におけるガラス基板表面への傷の発生を抑制することができる。

また、本発明の実施形態２に係る表示装置の製造方法は、基板保持ステップでは、各々、分断線対向溝１９が並列するように複数が隣接して配置された基板保持ステージ１１に基板を保持しており、基板分断ステップでは、各々、分断線対向壁４１が基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９に対向するように複数が隣接して配置された基板押圧部１２でガラス基板４５を分断することを特徴とする。

このような構成によれば、基板保持ステップでは、各々、分断線対向溝１９が並列するように複数が隣接して配置された基板保持ステージ１１にガラス基板４５を保持し、基板分断ステップでは、各々、分断線対向壁４１が基板保持ステージ１１の分断線対向溝１９に対向するように複数が隣接して配置された基板押圧部１２でガラス基板４５を分断するため、一枚のガラス基板４５を一度に複数枚の短冊状ガラス基板に分断することができる。従って、ガラス基板の処理効率が良好となる。

以上説明したように、本発明は、基板分断装置及びそれを用いた表示装置の製造方法にについて有用である。

本発明の実施形態１に係る基板分断装置１０の模式図である。 本発明の実施形態１に係る基板保持ステージ１１及び基板押圧部１２の斜視図である。 本発明の実施形態１に係る待機位置における基板押圧部１２及び基板保持ステージ１１の断面図である。 本発明の実施形態１に係る基板押圧位置における基板押圧部１２及び基板保持ステージ１１の断面図である。 本発明の実施形態１に係る待機位置における基板保持ステージ５１及び基板押圧部５２の断面図である。 本発明の実施形態１に係る基板押圧位置における基板保持ステージ５１及び基板押圧部５２の断面図である。 本発明の実施形態１に係る柱状弾性体６３の模式図である。 本発明の実施形態２に係る基板分断装置８０の模式図である。 本発明の実施形態２に係る並設基板保持ステージ８１及び並設基板押圧部８２の斜視図である。 特許文献１に開示された基板分断装置の模式図である。 特許文献２に開示された基板分断装置のガラス基板載置時の様子を示す模式図である。 特許文献２に開示された基板分断装置の押さえシート被せ時の様子を示す模式図である。

符号の説明

１０，８０ 基板分断装置
１１，５１ 基板保持ステージ
１２，５２ 基板押圧部
１３，１４，８３，８４ アライメントカメラ
１５，８５ 排気手段
１６，８６ 制御手段
１８，５４ 弾性保持部材
１９，５５ 分断線対向溝
２０，５６ 吸気口
３３，６４ 基板保持壁
３９，６５ 基板保持面
４１，７１ 分断線対向壁
４２，７２ 弾性押圧部材
４９，７５ 基板押圧面
６３ 柱状弾性体
８１ 並設基板保持ステージ
８２ 並設基板押圧部

Claims (12)

1. 分断線に沿って表面に切り欠きが形成された基板を分断する基板分断装置であって、
   基板保持面に分断線対向溝が設けられた基板保持ステージと、
   上記基板保持ステージの基板保持面に対向して設けられると共に、基板押圧面に分断線対向壁が設けられ、且つ、該基板保持ステージに保持された基板から離間した待機位置と、該基板保持ステージに保持された基板を押圧して分断する基板押圧位置との間で可動に構成された基板押圧部と、
   を備えた基板分断装置。
2. 請求項１に記載された基板分断装置において、
   上記基板保持ステージの基板保持面は、弾性材料で形成されている基板分断装置。
3. 請求項２に記載された基板分断装置において、
   上記基板保持ステージの分断線対向溝は、その両溝壁部に、上記基板保持面より弾性力の大きい材料で形成された基板保持壁を有する基板分断装置。
4. 請求項１に記載された基板分断装置において、
   上記基板保持ステージの基板保持面は、上記分断線対向溝を最深部として両端に向かって傾斜するように形成されている基板分断装置。
5. 請求項１に記載された基板分断装置において、
   上記基板押圧部の基板押圧面は、弾性材料で形成されている基板分断装置。
6. 請求項５に記載された基板分断装置において、
   上記基板押圧部の分断線対向壁は、上記基板押圧面より弾性力の大きい材料で形成されている基板分断装置。
7. 請求項１に記載された基板分断装置において、
   上記基板押圧部の基板押圧面は、上記分断線対向壁を最頂部として両端に向かって傾斜するように形成されている基板分断装置。
8. 請求項１に記載された基板分断装置において、
   上記基板保持ステージの分断線対向溝と、該基板保持ステージに保持された基板と、で囲まれる空間から空気を排出する排気手段をさらに備えた基板分断装置。
9. 請求項１に記載された基板分断装置において、
   上記基板保持ステージの基板保持面及び／又は上記基板押圧部の基板押圧面は、複数の起立した柱状弾性体で構成されている基板分断装置。
10. 請求項１に記載された基板分断装置において、
    上記基板保持ステージは、各々、上記分断線対向溝が並列するように複数が隣接して配置され、
    上記基板押圧部は、各々、上記分断線対向壁が上記基板保持ステージの分断線対向溝に対向するように複数が隣接して配置されている基板分断装置。
11. 分断線に沿って表面に切り欠きが形成された基板を分断する表示装置の製造方法であって、
    基板保持面に分断線対向溝が設けられている基板保持ステージに、分断線が該分断線対向溝に対向するように基板を保持する基板保持ステップと、
    上記基板保持ステージに保持された基板に対し、分断線対向壁が設けられている基板押圧部を、該分断線対向壁が分断線に当接するように基板に押圧し、分断線で基板を分断する基板分断ステップと、
    を備えた表示装置の製造方法。
12. 請求項１１に記載された表示装置の製造方法において、
    上記基板保持ステップでは、各々、上記分断線対向溝が並列するように複数が隣接して配置された基板保持ステージに基板を保持し、
    上記基板分断ステップでは、各々、上記分断線対向壁が上記基板保持ステージの分断線対向溝に対向するように複数が隣接して配置された基板押圧部で基板を分断する表示装置の製造方法。

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