JP2007294028A - テスト回路およびテスト方法 - Google Patents

テスト回路およびテスト方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2007294028A
JP2007294028A JP2006121886A JP2006121886A JP2007294028A JP 2007294028 A JP2007294028 A JP 2007294028A JP 2006121886 A JP2006121886 A JP 2006121886A JP 2006121886 A JP2006121886 A JP 2006121886A JP 2007294028 A JP2007294028 A JP 2007294028A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light receiving
current
receiving element
receiving elements
test
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2006121886A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4159582B2 (ja
Inventor
Hirosuke Kuroiwa
洋佑 黒岩
Hideo Fukuda
秀雄 福田
Hiroshi Yamaguchi
博史 山口
Tetsuo Chato
哲夫 茶藤
Yuzo Shimizu
雄三 志水
Masaki Taniguchi
正記 谷口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2006121886A priority Critical patent/JP4159582B2/ja
Priority to US11/677,077 priority patent/US7545156B2/en
Publication of JP2007294028A publication Critical patent/JP2007294028A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4159582B2 publication Critical patent/JP4159582B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F3/00Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
    • H03F3/04Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements with semiconductor devices only
    • H03F3/08Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements with semiconductor devices only controlled by light
    • H03F3/087Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements with semiconductor devices only controlled by light with IC amplifier blocks
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F3/00Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements
    • H03F3/45Differential amplifiers
    • H03F3/45071Differential amplifiers with semiconductor devices only
    • H03F3/45076Differential amplifiers with semiconductor devices only characterised by the way of implementation of the active amplifying circuit in the differential amplifier
    • H03F3/45475Differential amplifiers with semiconductor devices only characterised by the way of implementation of the active amplifying circuit in the differential amplifier using IC blocks as the active amplifying circuit
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/50Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
    • G01R31/52Testing for short-circuits, leakage current or ground faults
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2200/00Indexing scheme relating to amplifiers
    • H03F2200/252Multiple switches coupled in the input circuit of an amplifier are controlled by a circuit, e.g. feedback circuitry being controlling the switch
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03FAMPLIFIERS
    • H03F2203/00Indexing scheme relating to amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements covered by H03F3/00
    • H03F2203/45Indexing scheme relating to differential amplifiers
    • H03F2203/45564Indexing scheme relating to differential amplifiers the IC comprising one or more extra current sources

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Optical Head (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Abstract

【課題】増幅部のテストおよび受光素子間のリーク電流のテストを行う、チップサイズの小さいテスト回路を提供する。
【解決手段】本発明に係るテスト回路は、複数の受光素子101〜104と、受光素子101〜104からの光電流をそれぞれ電圧に変換する増幅部111〜114と、受光素子101〜104および増幅部111〜114に電流を供給する電流供給部121および122とを備え、電流供給部121および122は、複数の受光素子101〜104のうち行および列方向に互いに隣接しない複数の受光素子101および103、および、受光素子101および103に行および列方向に隣接する複数の受光素子102および104に対して選択的に電流を供給する。
【選択図】図1

Description

本発明は、テスト回路およびテスト方法に関し、特に、複数の受光素子からの光電流をそれぞれ電圧に変換する増幅部をテストするテスト回路およびテスト方法に関する。
CDプレーヤまたはDVDプレーヤ等には、CDまたはDVDからの光信号を電気信号に変換するために光ピックアップ用PDIC(Photo Detector IC)が用いられている。光ピックアップ用PDICは、光信号を電気信号に変換する受光素子と、受光素子からの光電流を電圧に変換する増幅部とを備える。従来、製品の出荷時等に行われる光ピックアップ用PDICの増幅部のテスト(電流特性および周波数特性等のテスト)は、光ピックアップ用PDICに光を照射し、光電流を変換した増幅部の出力電圧を測定する方法が用いられている。しかしながら、光を照射するためのテスト装置は、高価である。また、光を照射するテストを行うとテスト時間が長くなり、半導体のコストが高くなるという問題がある。
これに対し、光の照射により発生する受光素子の光電流の代わりに、光ピックアップ用PDICに内蔵されたテスト回路により増幅部に電流を供給し、増幅部のテストを行う方法が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
図5は、特許文献1記載のテスト回路の構成を示す図である。
図5に示すように特許文献1記載のテスト回路500は、電流供給部510と、n−1個の増幅部522〜52nとを備える。
電流供給部510は、バイポーラトランジスタにより形成されるカレントミラー回路である。電流供給部510は、外部から端子511に電圧を印加されることで、印加された電圧に応じた電流を複数の増幅部522〜52nに供給する。また、図示していないが、各増幅部の入力には受光素子が接続されている。
以上の構成により、特許文献1記載のテスト回路500は、外部より電圧を印加することで、複数の増幅部に電流を印加することができる。これにより、増幅部の出力であるVout端子の電圧を測定することで、増幅部の特性を測定することができる。よって、特許文献1記載のテスト回路500は、テスト時に光の照射を行うことなく、複数の増幅部を同時にテストすることができる。
特許3203996号公報
しかしながら、特許文献1記載のテスト回路は、増幅部のテストを行うことはできるが、受光素子間のリーク電流の測定を行うことはできない。従来、リーク電流の測定は、増幅部のテストとは別に、各受光素子単体に対しテストパッドから電流または電圧を印加することで行われる。そのため、従来のリーク電流の測定を行うテスト回路は、各受光素子に対してテストパッドを設ける必要があり、チップサイズが大きくなるという問題がある。
そこで、本発明は、増幅部のテストおよび受光素子間のリーク電流のテストを行う、チップサイズの小さいテスト回路を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係るテスト回路は、複数の受光素子と、前記各受光素子からの光電流をそれぞれ電圧に変換する増幅手段と、前記受光素子および増幅手段に電流を供給する電流供給手段とを備え、前記電流供給手段は、前記複数の受光素子のうち行および列方向に互いに隣接しない複数の受光素子からなる第1受光素子群、および、前記第1受光素子群に含まれる受光素子に行および列方向に隣接する複数の受光素子からなる第2受光素子群に対して選択的に電流を供給する。
この構成によれば、本発明に係るテスト回路は、テスト時において、行および列方向に互いに隣接しない複数の受光素子に電流を供給し、電流を供給する受光素子に行および列方向に隣接する受光素子には電流を供給しない。これにより、隣接する受光素子間にリーク電流が生じる場合には、電流供給手段より受光素子に供給された電流は、該受光素子から該受光素子に隣接する受光素子に流れる。リーク電流により受光素子間に流れた電流は、増幅手段により増幅され、電圧として出力される。よって、増幅手段が変換し出力した電圧を測定することで、隣接する受光素子間のリーク電流を測定することができる。また、電流供給手段が電流を供給している受光素子の光電流を増幅する増幅手段が変換した出力電圧を測定することで、増幅手段の特性をテストすることができる。すなわち、本発明に係るテスト回路は、増幅手段のテストおよび受光素子間のリーク電流のテストを同時に行うことができる。また、本発明に係るテスト回路は、外部端子から電流供給手段を制御することで、複数の増幅手段の特性および受光素子間のリーク電流をテストすることができる。よって、本発明に係るテスト回路は、従来のテスト回路のように、リーク電流をテストするために各受光素子に対しテストパッドを設ける必要がなく、電流供給手段を制御するための外部端子(テストパッド)のみを設ければよい。よって、本発明に係るテスト回路は、小さいチップサイズで、増幅手段のテストおよび受光素子間のリーク電流のテストを行うことができる。
また、前記電流供給手段は、前記第1受光素子群に電流を供給する第1の電流供給部と、前記第2受光素子群に電流を供給する第2の電流供給部とを備え、前記第1の電流供給部は、前記第2の電流供給部が電流を供給している間は、電流を供給せず、前記第2の電流供給部は、前記第1の電流供給部が電流を供給している間は、電流を供給しなくてもよい。
この構成によれば、第1の電流供給部が電流を供給し、第2の電流供給部が電流を供給しない状態で、第2受光素子群に含まれる受光素子の光電流を変換する増幅手段の出力電圧を測定することで、受光素子間のリーク電流を測定することができる。また、同時に、第1の電流供給部が電流を供給している受光素子の光電流を変換する増幅手段の出力電圧を測定することで、該増幅手段の特性をテストすることができる。また、第2の電流供給部が電流を供給し、第1の電流供給部が電流をしない状態で、第1受光素子群に含まれる受光素子の光電流を変換する増幅手段の出力電圧を測定することで、受光素子間のリーク電流を測定することができる。また、同時に、第2の電流供給部が電流を供給している受光素子の光電流を変換する増幅手段の出力電圧を測定することで、該増幅手段の特性をテストすることができる。よって、本発明に係るテスト回路は、増幅部のテストおよび受光素子間のリーク電流のテストを同時に行うことができる。また、本発明に係るテスト回路は、外部端子から第1の電流供給部および第2の電流供給部を制御することで、複数の増幅手段の特性および受光素子間のリーク電流をテストすることができる。よって、本発明に係るテスト回路は、従来のテスト回路のように、リーク電流をテストするために各受光素子に対しテストパッドを設ける必要がなく、第1の電流供給部および第2の電流供給部を制御するための外部端子のみを設ければよい。よって、本発明に係るテスト回路は、小さいチップサイズで、増幅手段のテストおよび受光素子間のリーク電流のテストを行うことができる。
また、前記電流供給手段は、前記第1受光素子群に含まれる第1の受光素子に第1の電流値の電流を供給し、前記第1受光素子群に含まれる第2の受光素子に第2の電流値の電流を供給してもよい。
この構成によれば、各受光素子および増幅手段に異なる電流値の電流を同時に供給することができる。これにより、受光素子のサイズ等が異なり、増幅手段のゲインが異なる場合であっても、増幅手段のゲインに応じた電流を供給することができる。よって、本発明に係るテスト回路は、増幅手段のゲインが異なる場合であっても、複数の増幅手段の特性を同時に、かつ、効率よく測定することができる。
また、前記電流供給手段は、電流を出力する電流供給部と、前記電流供給部の出力と、前記複数の受光素子および前記増幅手段との間にそれぞれ形成されるスイッチとを備えてもよい。
この構成によれば、スイッチのON/OFFにより、選択的に受光素子に電流を供給することができる。これにより、互いに隣接しない複数の受光素子に接続されたスイッチをONし、該受光素子に隣接する受光素子に接続されたスイッチをOFFした状態で、スイッチがOFFされている受光素子の光電流を変換する増幅手段の出力電圧を測定することで、受光素子間のリーク電流を測定することができる。また、同時に、スイッチがONされている受光素子の光電流を変換する増幅手段の出力電圧を測定することで、該増幅手段の特性をテストすることができる。よって、本発明に係るテスト回路は、増幅部のテストおよび受光素子間のリーク電流のテストを同時に行うことができる。また、本発明に係るテスト回路は、外部端子からスイッチを制御することで、複数の増幅手段の特性および受光素子間のリーク電流をテストすることができる。よって、本発明に係るテスト回路は、従来のテスト回路のように、リーク電流をテストするために各受光素子に対しテストパッドを設ける必要がなく、スイッチを制御するための外部端子のみを設ければよい。よって、本発明に係るテスト回路は、小さいチップサイズで、増幅手段のテストおよび受光素子間のリーク電流のテストを行うことができる。
また、前記テスト回路は、さらに、前記第1受光素子群に含まれる受光素子の光電流を変換する増幅手段に第1の基準電圧を供給し、前記第2受光素子群に含まれる受光素子の光電流を変換する増幅手段に第2の基準電圧を供給する電圧供給手段を備えてもよい。
この構成によれば、互いに隣接しない複数の受光素子の光電流を変換する増幅部と、該受光素子に隣接する受光素子の光電流を変換する増幅部とに異なる基準電圧を供給する。これにより、互いに隣接しない複数の受光素子と、該受光素子に隣接する受光素子とに異なる電圧を供給することができる。よって、受光素子間に電圧差が生じ、隣接する受光素子間にリーク電流が存在する場合には、該受光素子間に電流が流れ、対応する増幅手段の出力電圧が変化する。すなわち、互いに隣接しない複数の受光素子の光電流を変換する増幅部と、該受光素子に隣接する受光素子の光電流を変換する増幅部とに異なる基準電圧を供給した状態において、複数の増幅手段の出力電圧を測定することで、受光素子間のリーク電流を測定することができる。また、隣接する受光素子間に電圧差を生じさせることで、電流を供給した場合に検出できるリーク電流とは異なるモードのリーク電流を検出することができる。
また、本発明に係るテスト方法は、複数の受光素子からの光電流をそれぞれ電圧に変換する増幅部をテストするテスト方法であって、前記複数の受光素子のうち行および列方向に互いに隣接しない複数の受光素子からなる第1受光素子群、および、前記第1受光素子群に含まれる受光素子に行および列方向に隣接する複数の受光素子からなる第2受光素子群に対して選択的に電流を供給する電流供給ステップと、前記各増幅手段が変換した電圧を測定する測定ステップと、前記第1受光素子群に含まれる受光素子の光電流を変換する増幅部が変換した電圧に基づき、該増幅部が正常に動作しているか否かを判定する第1の判定ステップと、前記第2受光素子群に含まれる受光素子の光電流を変換する増幅部が変換した電圧に基づき、前記複数の受光素子間のリーク電流を判定する第2の判定ステップとを含む。
これによれば、本発明に係るテスト方法は、テスト時において、互いに隣接しない複数の受光素子に電流を供給し、電流を供給する受光素子に隣接する受光素子には電流を供給しない。これにより、隣接する受光素子間にリーク電流が生じる場合には、受光素子に供給された電流は、該受光素子から該受光素子に隣接する受光素子に流れる。リーク電流により該受光素子に隣接する受光素子に流れた電流は、増幅部により増幅され、電圧として出力される。よって、増幅部が出力した電圧を測定することで、隣接する受光素子間のリーク電流を測定することができる。また、電流を供給している受光素子の光電流を増幅する増幅部の出力電圧を測定することで、増幅部の特性をテストすることができる。すなわち、本発明に係るテスト方法は、増幅部のテストおよび受光素子間のリーク電流のテストを同時に行うことができる。また、本発明に係るテスト方法は、外部端子から受光素子に供給する電流を制御することで、複数の増幅部の特性および受光素子間のリーク電流をテストすることができる。よって、本発明に係るテスト方法は、従来のように、リーク電流をテストするために各受光素子に対しテストパッドを設ける必要がなく、受光素子に供給する電流を制御するための外部端子(テストパッド)のみを設ければよい。よって、本発明に係るテスト方法を用いることで、小さいチップサイズで、増幅部のテストおよび受光素子間のリーク電流のテストを行うことができる。
本発明は、増幅部のテストおよび受光素子間のリーク電流のテストを行う、チップサイズの小さいテスト回路を提供することができる。
以下、本発明に係るテスト回路の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
(実施の形態1)
本実施の形態に係るテスト回路は、2つの電流供給部を用い、互いに隣接しない複数の受光素子に選択的に電流を供給する。これにより、増幅部のテストと受光素子間のリーク電流のテストとを同時に行うことができる。
まず、実施の形態1に係るテスト回路の構成を説明する。
図1は、実施の形態1に係るテスト回路の構成を示す図である。
図1に示すテスト回路100は、受光素子101〜104と、増幅部111〜114と、第1の電流供給部121と、第2の電流供給部122とを備える。テスト回路100は、複数の増幅部111〜114の特性のテスト行う。さらに、テスト回路100は、受光素子101〜104間のリーク電流のテストを行う。
受光素子101〜104は、照射された光を電流に変換するフォトダイオード等である。また、受光素子101〜104は、格子状に配置される。
増幅部111〜114は、例えば、差動増幅回路である。増幅部111〜114には、それぞれ基準電圧Vref1〜Vref4が入力され、それぞれ抵抗R01〜R04を介して負帰還を形成する。増幅部111〜114は、それぞれ受光素子101〜104からの光電流を電圧に変換する。増幅部111は、受光素子101からの光電流を変換および増幅し、電圧Vout1として出力する。増幅部112は、受光素子102からの光電流を変換および増幅し、電圧Vout2として出力する。増幅部113は、受光素子103からの光電流を変換および増幅し、電圧Vout3として出力する。増幅部114は、受光素子104からの光電流を変換および増幅し、電圧Vout4として出力する。
第1の電流供給部121は、行および列方向に互いに隣接しない複数の受光素子に電流を供給する。具体的には、第1の電流供給部121は、受光素子101および受光素子101の光電流を変換する増幅部111と、受光素子101と隣接しない受光素子103および受光素子103の光電流を変換する増幅部113とに電流を供給する。第1の電流供給部121は、抵抗R10〜R14およびNPNバイポーラトランジスタTr10〜Tr12により構成されるカレントミラー回路である。第1の電流供給部121は、外部(半導体テスタ等)からVin1端子に印加された電圧に応じた電流を供給する。
抵抗R10は、Vin1端子とGNDとの間に接続される。トランジスタTr10のコレクタおよびベースは抵抗R11を介してVin1端子に接続され、エミッタは抵抗R12を介してGNDに接続される。トランジスタTr11のベースはトランジスタTr10のコレクタおよびベースと接続され、コレクタは受光素子101および増幅部111の入力と接続され、エミッタは抵抗R13を介してGNDと接続される。トランジスタTr12のベースはトランジスタTr10のコレクタおよびベースと接続され、コレクタは受光素子103および増幅部113の入力と接続され、エミッタは抵抗R14を介してGNDと接続される。例えば、抵抗R12、R13およびR14の抵抗値は等しく、トランジスタTr10、Tr11およびTr12のサイズは等しい。これにより、Vin1端子に印加された電圧に応じた電流値が抵抗R11、トランジスタTr10および抵抗R12に流れ、該電流値と等しい電流がトランジスタTr11およびTr12に流れ、該電流が増幅部111および113に供給される。
第2の電流供給部122は、第1の電流供給部121が電流を供給する受光素子に行および列方向に隣接する受光素子に電流を供給する。具体的には、第2の電流供給部122は、受光素子102および受光素子102の光電流を変換する増幅部112と、受光素子102と隣接しない受光素子104および受光素子104の光電流を変換する増幅部114に電流を供給する。第2の電流供給部122は、抵抗R20〜R24およびNPNバイポーラトランジスタTr20〜Tr22により構成されるカレントミラー回路である。第2の電流供給部122は、Vin2端子に印加された電圧に応じた電流を供給する。なお、第2の電流供給部122の詳細な構成は、第1の電流供給部121と同様であり、詳細な説明は省略する。
次に、本実施の形態に係るテスト回路100の動作を説明する。
まず、Vin1端子に外部より所定の電圧の信号が印加され、Vin2端子はGNDレベルに接続される。ここで、所定の電圧の信号とは、テスト内容に応じた信号であり、例えば、所定の周波数の正弦波形の信号またはDC電圧等である。また、テスト時には、受光素子101〜104に光照射は行われず、受光素子101〜104は光電流を生成しない。
第1の電流供給部121は、Vin1端子に印加された電圧に応じた電流を増幅部111および113に供給する。増幅部111および113は、該電流を増幅および電圧に変換し、Vout1端子およびVout3端子に出力する。よって、Vin1端子に印加された電圧に対するVout1端子およびVout3端子の電圧を測定することで、増幅部111および113の特性(電流電圧特性および周波数特性等)を測定するこができる。すなわち、増幅部111および113が変換した電圧に基づき、増幅部111および113が正常に動作しているか否かを判定することができる。
一方、第2の電流供給部122は、Vin2端子がGNDレベルに接続されているので、受光素子102、受光素子104、増幅部112および増幅部114に電流を供給しない。このとき、受光素子間でリーク電流が発生していると、第1の電流供給部121から供給された電流が、受光素子101または103から、受光素子102または104に流れる。これにより、増幅部112または114は、受光素子102または104に流れ込んだ電流を増幅し、電圧に変換する。よって、Vout2端子およびVout4端子の電圧を測定することで、受光素子間に発生するリーク電流を測定することができる。
次に、Vin2端子に外部より所定の電圧が印加され、Vin1端子はGNDレベルに接続される。
第2の電流供給部122は、Vin2端子に印加された電圧に応じた電流を増幅部112および114に供給する。増幅部112および114は、該電流を増幅および電圧に変換し、Vout2端子およびVout4端子に出力する。よって、Vin2端子に印加された電圧に対するVout2端子およびVout4端子の電圧を測定することで、増幅部112および114の特性を測定するこができる。すなわち、増幅部112および114が変換した電圧に基づき、増幅部112および114が正常に動作しているか否かを判定することができる。
一方、第1の電流供給部121は、Vin1端子がGNDレベルに接続されているので、受光素子101、受光素子101、増幅部111および増幅部113に電流を供給しない。このとき、受光素子間でリーク電流が発生していると、第2の電流供給部122から供給された電流が、受光素子102または104から、受光素子101または103に流れる。これにより、増幅部111または113は、受光素子101または103に流れ込んだ電流を増幅し、電圧に変換する。よって、Vout1端子およびVout3端子の電圧を測定することで、受光素子間に発生するリーク電流を測定することができる。また、この時測定される受光素子間のリーク電流は、Vin1端子に電圧が印加され、Vin2端子はGNDレベルに接続された状態で測定できる受光素子間のリーク電流とは逆方向のリーク電流である。
以上の動作により、増幅部111〜114の特性の測定、および、受光素子101〜104間のリーク電流を測定することができる。従来のテスト回路では、増幅部111〜114の特性の測定と、受光素子101〜104間のリーク電流の測定は、個別に行われていた。これに対し、本実施の形態に係るテスト回路は、増幅部111〜114の特性の測定と、受光素子101〜104間のリーク電流を測定とを同じ回路で、同時に測定することができる。よって、本実施の形態に係るテスト回路は、増幅部111〜114のテストおよび受光素子101〜104間のリーク電流のテストを短時間で効率よく行うことができる。
また、本実施の形態に係るテスト回路100は、外部からVin1端子およびVin2端子の電圧を制御することで、増幅部111〜114の特性の測定、および、受光素子101〜104間のリーク電流を測定することができる。すなわち、本実施の形態に係るテスト回路100は、Vin1端子およびVin2端子に電圧を印加するための2つのテストパッドのみを設ければよい。一方、従来のリーク電流のテストを行うテスト回路は、各受光素子101〜104に対しテストパッドを設ける必要があり、受光素子が4つの場合には4つのテストパッドが必要である。よって、本実施の形態に係るテスト回路100は、従来のテスト回路と比べ、テストパッドの数を減らすことができる。すなわち、チップサイズを小さくすることができる。
なお、上記説明において、受光素子および増幅部の数が4の場合について説明したが、これに限定されるものではない。受光素子および増幅部は複数であればよく、受光素子および増幅部の数が3以下または5以上であっても同様の効果を得ることができる。また、受光素子および増幅部の数が多い場合には、従来のリーク電流のテストを行うテスト回路と比べ、より多くのテストパッドを削減することができる。
また、上記説明において、第1の電流供給部111のカレントミラー回路を構成する抵抗R12、R13およびR14の抵抗値は等しく、トランジスタTr10、Tr11およびTr12のサイズは等しいとしたが、これに限定されるものでなく、任意の抵抗値またはトランジスタサイズであってよい。例えば、トランジスタTr10に流れる電流を整数倍した電流がTr11およびTr12に流れるようにトランジスタTr10、Tr11およびTr12のサイズを設定してもよい。
また、上記説明において、第1の電流増幅部111および第2の電流増幅部112は、NPNバイポーラトランジスタで構成されるとしたが、PNPバイポーラトランジスタで構成してもよい。さらに、第1の電流増幅部111および第2の電流増幅部112を電界効果トランジスタで構成してもよい。
また、上記説明において、第1の電流増幅部111および第2の電流増幅部112は、外部からVin1端子またはVin2端子に電圧を印加されることで動作するとしたが、外部より電流を印加されることで動作してもよい。例えば、抵抗R10およびR11(抵抗R20およびR21)を設けず、トランジスタTr10のコレクタおよびベースに電流を印加する方式としてもよい。
また、上記説明において、Vin1端子およびVin2端子に印加される電圧は、外部から供給されるとしたが、これに限定されるものではない。例えば、テスト回路100と同じ半導体基板上に形成された内部回路が、外部からの信号に基づいてVin1端子およびVin2端子に電圧を印加してもよい。
また、上記説明において、電流供給部の数は2としたが、各電流供給部が互いに隣接しない受光素子に選択的に電流を供給できる構成であれば3以上であってもよい。
(実施の形態2)
実施の形態1では、テスト時において、各受光素子に等しい電流値の電流を供給するテスト回路100について説明したが、実施の形態2では、各受光素子に異なる電流を供給するテスト回路200について説明する。
例えば、CDまたはDVDからの光信号を電気信号変換するための光ピックアップ用PDICにおいては、設計上、各受光素子のサイズを同一にしない場合、または、サイズが同一であっても各受光素子が受光する光の光量が異なる場合がある。この場合、各受光素子が受光した時に生成する光電流の電流値も異なる。また、各増幅部は、対応する受光素子の光電流の電流値に応じゲインが設定される。ゲインが異なる増幅部をテストする場合、テスト時に要求される増幅部に入力される電流値の範囲は異なる。よって、電流供給部が、選択した増幅部の全てに同じ電流値の電流を供給しテストを行った場合、各増幅部のゲインが異なると効率よくテストを行うことができない。
図2は、本発明の実施の形態2に係るテスト回路の構成を示す図である。なお、図1と同様の要素には同一の符号を付しており、詳細な説明は省略する。
図2に示すテスト回路200は、受光素子101、102、203および204と、増幅部111、112、213および214と、第1の電流供給部131と、第2の電流供給部132とを備える。テスト回路200は、複数の増幅部111、112、213および214の特性のテスト行う。さらに、テスト回路200は、受光素子101、102、203および204間のリーク電流のテストを行う。
受光素子203および204は、受光素子101および102の2倍のサイズであり、2倍の電流値の光電流を生成する。
増幅部213および214は、増幅部111および112の半分のゲインである。
第1の電流供給部131は、実施の形態1における第1の電流供給部121に加え、トランジスタTr13と、抵抗R15とを備える。トランジスタTr13のベースはトランジスタTr10のコレクタおよびベースと接続され、コレクタは受光素子203および増幅部213の入力と接続され、エミッタは抵抗R15を介してGNDと接続される。ここで、トランジスタTr10〜Tr13のサイズは同じであり、抵抗R12〜R15の抵抗値は同じとする。以上の構成により、第1の電流供給部131において、Vin1端子に印加された電圧に応じた電流がトランジスタTr10に流れる。トランジスタTr10に流れる電流値と同じ電流値の電流がトランジスタTr11、Tr12およびTr13に流れる。すなわち、受光素子101および増幅部111に供給される電流の電流値の2倍の電流値の電流が受光素子203および増幅部213に供給される。
第2の電流供給部132は、実施の形態1における第2の電流供給部122に加え、トランジスタTr23と、抵抗R25とを備える。トランジスタTr23のベースはトランジスタTr20のコレクタおよびベースと接続され、コレクタは受光素子204および増幅部214の入力と接続され、エミッタは抵抗R25を介してGNDと接続される。ここで、トランジスタTr20〜Tr23のサイズは同じであり、抵抗R22〜R25の抵抗値は同じとする。以上の構成により、第2の電流供給部132において、Vin2端子に印加された電圧に応じた電流がトランジスタTr20に流れる。トランジスタTr20に流れる電流値と同じ電流値の電流がトランジスタTr21、Tr22およびTr23に流れる。すなわち、受光素子102および増幅部112に供給される電流の電流値の2倍の電流値の電流が受光素子204および増幅部214に供給される。
以上の構成により、本実施の形態に係るテスト回路200は、Vin1端子に外部より所定の電圧を印加し、Vin2端子をGNDレベルに接続した状態において、増幅部213に増幅部111に供給される電流の電流値の2倍の電流値が供給される。すなわち、テスト時において、第1の電流供給部131は、受光素子101および203に光が照射された時に発生する光電流の電流値の比率と同じ比率の電流値の電流を、増幅部111および213に供給する。これにより、Vin1端子に印加された電圧に対するVout1端子およびVout3端子の電圧を測定することで、増幅部111と、増幅部111の半分のゲインの増幅部213との特性を、効率よく同時に測定することができる。また、実施の形態1と同様に、Vout2端子およびVout4端子の電圧を測定することで、受光素子間のリーク電流を測定することができる。
また、Vin2端子に外部より所定の電圧を印加し、Vin1端子をGNDレベルに接続した状態において、増幅部214に増幅部112に供給される電流の電流値の2倍の電流値が供給される。これにより、Vin2端子に印加された電圧に対するVout2端子およびVout4端子の電圧を測定することで、増幅部112と、増幅部112の半分のゲインの増幅部214との特性を、効率よく同時に測定することができる。また、実施の形態1と同様に、Vout1端子およびVout3端子の電圧を測定することで、受光素子間のリーク電流を測定することができる。また、実施の形態1と同様に、チップサイズを小さくすることができる。
なお、上記説明において、受光素子203および204の光電流の電流値が受光素子1101および102の光電流の電流値の2倍の場合について説明したが、これに限定されるものではない。各受光素子の光電流の電流値の比率または増幅部のゲインの比率は任意でよく、各受光素子の光電流の電流値の比率または増幅部のゲインの比率に応じ、電流供給部131または132が各受光素子および増幅部に供給する電流の電流値の比率を変更すればよい。
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3に係るテスト回路は、1つの電流供給部から供給される電流をスイッチにより互いに隣接しない受光素子に選択的に供給する。これにより、増幅部のテストと受光素子間のリーク電流のテストとを同時に行うことができる。
まず、実施の形態3に係るテスト回路の構成を説明する。
図3は、本発明の実施の形態3に係るテスト回路の構成を示す図である。なお、図1と同様の要素には同一の符号を付しており、詳細な説明は省略する。
図3に示すテスト回路300は、受光素子101〜104と、増幅部111〜114と、電流供給部141と、スイッチ151〜154とを備える。テスト回路300は、複数の増幅部111〜114の特性のテスト行う。さらに、テスト回路300は、受光素子101〜104間のリーク電流のテストを行う。
電流供給部141は、NPNバイポーラトランジスタTr40〜Tr44と、抵抗R40〜R46とを備えるカレントミラー回路である。電流供給部141は、Vin端子に印加された電圧に応じた電流を出力する。
抵抗R40は、Vin端子とGNDとの間に接続される。トランジスタTr40のコレクタおよびベースは抵抗R41を介してVin端子に接続され、エミッタは抵抗R42を介してGNDに接続される。トランジスタTr41のベースはトランジスタTr40のコレクタおよびベースと接続され、コレクタはスイッチ151と接続され、エミッタは抵抗R43を介してGNDと接続される。トランジスタTr42のベースはトランジスタTr40のコレクタおよびベースと接続され、コレクタはスイッチ152と接続され、エミッタは抵抗R44を介してGNDと接続される。トランジスタTr43のベースはトランジスタTr40のコレクタおよびベースと接続され、コレクタはスイッチ153と接続され、エミッタは抵抗R45を介してGNDと接続される。トランジスタTr44のベースはトランジスタTr40のコレクタおよびベースと接続され、コレクタはスイッチ154と接続され、エミッタは抵抗R46を介してGNDと接続される。例えば、抵抗R42〜R46の抵抗値は等しく、トランジスタTr40〜Tr44のサイズは等しい。これにより、Vin1端子に印加された電圧に応じた電流値がトランジスタTr40に流れ、該電流値と等しい電流がTr41〜Tr44に流れる。
スイッチ151〜154は、電流供給部141と、受光素子101〜104および増幅部111〜114の入力との間にそれぞれ形成される。スイッチ151〜154は、例えば、トランジスタで形成されるアナログスイッチ等である。例えば、スイッチ151〜154のON/OFFは、テスト時に外部から印加される信号により制御される。スイッチ151は、トランジスタTr41と受光素子101および増幅部111の入力との間に形成される。スイッチ152は、トランジスタTr42と受光素子102および増幅部112の入力との間に形成される。スイッチ153は、トランジスタTr43と受光素子103および増幅部113の入力との間に形成される。スイッチ154は、トランジスタTr44と受光素子104および増幅部114の入力との間に形成される。
次に、実施の形態3に係るテスト回路300の動作を説明する。
まず、スイッチ151および153をONし、スイッチ152および154をOFFする。また、Vin端子には所定の電圧が印加される。
スイッチ151および153がONしているので、電流供給部141は、Vin端子に印加された電圧に応じた電流を増幅部111および113に供給する。増幅部111および113は、該電流を増幅および電圧に変換し、Vout1端子およびVout3端子に出力する。よって、Vin端子に印加された電圧に対するVout1端子およびVout3端子の電圧を測定することで、増幅部111および113の特性を測定するこができる。
一方、スイッチ152およびスイッチ154がOFFしているので、受光素子102、受光素子104、増幅部112および増幅部114には電流が供給されていない。このとき、受光素子間でリーク電流が発生していると、電流供給部141から供給された電流が、受光素子101または103から、受光素子102または104に流れる。これにより、増幅部112または114は、受光素子102または104に流れ込んだ電流を増幅し、電圧に変換する。よって、Vout2端子およびVout4端子の電圧を測定することで、受光素子間に発生するリーク電流を測定することができる。
次に、スイッチ152および154をONし、スイッチ151および153をOFFする。また、Vin端子には所定の電圧が印加される。
スイッチ152および154がONしているので、電流供給部141は、Vin端子に印加された電圧に応じた電流を増幅部112および114に供給する。増幅部112および114は、該電流を増幅および電圧に変換し、Vout2端子およびVout4端子に出力する。よって、Vin端子に印加された電圧に対するVout2端子およびVout4端子の電圧を測定することで、増幅部112および114の特性を測定するこができる。
一方、スイッチ151およびスイッチ153がOFFしているので、受光素子101、受光素子103、増幅部111および増幅部113には電流が供給されていない。このとき、受光素子間でリーク電流が発生していると、電流供給部141から供給された電流が、受光素子102または104から、受光素子101または103に流れる。これにより、増幅部111または113は、受光素子101または103に流れ込んだ電流を増幅し、電圧に変換する。よって、Vout1端子およびVout3端子の電圧を測定することで、受光素子間に発生するリーク電流を測定することができる。
以上の動作により、増幅部111〜114の特性の測定、および、受光素子101〜104間のリーク電流を測定することができる。従来のテスト回路では、増幅部111〜114の特性の測定と、受光素子101〜104間のリーク電流の測定は、個別に行われていた。これに対し、本実施の形態に係るテスト回路は、増幅部111〜114の特性の測定と、受光素子101〜104間のリーク電流を測定とを同じ回路で、同時に測定することができる。よって、本実施の形態に係るテスト回路は、増幅部111〜114のテストおよび受光素子101〜104間のリーク電流のテストを短時間で効率よく行うことができる。
また、実施の形態3に係るテスト回路300は、外部からVin端子およびスイッチ151〜154を制御することで、増幅部111〜114の特性の測定、および、受光素子101〜104間のリーク電流を測定することができる。例えば、実施の形態3に係るテスト回路300は、Vin端子に電圧を印加するためのテストパッド、および、スイッチ151〜154を選択的にON/OFFさせる2ビットの制御信号(スイッチ151および153の制御信号と、スイッチ152および154の制御信号)を印加するための2つのテストパッドのみを設ければよい。なお、スイッチ151〜154を制御する制御信号は1ビットであり、制御信号のH/Lにより、スイッチ151および153と、スイッチ152および154の一方がON、他方がOFFしてもよい。一方、従来のリーク電流のテストを行うテスト回路は、各受光素子101〜104に対しテストパッドを設ける必要があり、受光素子が4つの場合には4つのテストパッドが必要である。よって、実施の形態3に係るテスト回路300は、従来のテスト回路と比べ、テストパッドの数を減らすことができる。すなわち、チップサイズを小さくすることができる。
また、実施の形態3に係るテスト回路300は、出荷後の通常動作時(テスト時以外)においてスイッチ151〜154はOFFされる。これにより、通常動作時には、受光素子および増幅部に対する電流供給部の寄生負荷の影響を低減することができる。
なお、上記説明において、電流供給部141は4つの電流出力を有し、スイッチとして4つのSPSTスイッチを用いた構成としたがこれに限定されるものではない。例えば、電流供給部141の電流出力を2とし(例えば、電流供給部141は、トランジスタTr43、Tr44、抵抗R45およびR46を備えない。)、スイッチとして2つのSPDTスイッチを用い、選択的に受光素子および増幅部に電流を供給してもよい。
(実施の形態4)
上述した実施の形態1では、電流供給部が供給した電流の回り込み(例えば、受光素子101に供給した電流が、受光素子101と受光素子102との間のリーク電流により、受光素子102側に回り込むこと)を検出することで、各受光素子間のリーク電流を測定した。実施の形態3では、増幅部の基準電圧を選択的に制御することで、受光素子間に電圧差を生じさせ、電流の回り込みでは検出できないモードのリーク電流を検出するテスト回路について説明する。
まず、本発明の実施の形態4に係るテスト回路の構成を説明する。
図4は、本発明の実施の形態4に係るテスト回路の構成を示す図である。なお、図1と同様の要素には同一の符号を付しており、詳細な説明は省略する。
図4に示すテスト回路400は、図1に示す実施の形態1に係るテスト回路100の構成に加え、電圧供給部160を備える。
電圧供給部160は、増幅部111〜114に基準電圧を供給する。また、電圧供給部160は、テスト時において、増幅部111および113と、増幅部112および114とに異なる基準電圧を供給する。すなわち、電圧供給部160は、複数の受光素子のうち、互いに隣接しない複数の受光素子の光電流を変換する増幅部と、該受光素子と隣接する受光素子の光電流を変換する増幅部とに、異なる基準電圧を供給する。
次に、実施の形態4に係るテスト回路400の動作を説明する。
まず、実施の形態1と同様に、Vin1端子に外部より所定の電圧を印加し、Vin2端子をGNDレベルに接続した状態で、Vout1〜Vout4端子の電圧を測定することで、増幅部111および113の特性、および、受光素子間のリーク電流を測定する。また、Vin2端子に外部より所定の電圧が印加し、Vin1端子をGNDレベルに接続した状態で、Vout1〜Vout4端子の電圧を測定することで、増幅部112および114の特性、および、受光素子間のリーク電流を測定する。なお、上記テスト動作中は、電圧供給部160は、増幅部111〜114に同一の基準電圧を供給する。例えば、電圧供給部160が供給する基準電圧は、通常動作に用いられる基準電圧に基づく電圧(例えば、仕様に基づく増幅部111〜114の特性に対するワースト条件となる基準電圧等)である。
次に、Vin1端子およびVin2端子をGNDに接続した状態で、電圧供給部160は、増幅部111および113と、増幅部112および114とに異なる基準電圧を供給する。例えば、電圧供給部160は、増幅部111および113に基準電圧として2Vを供給し、増幅部112および114に基準電圧として1Vを供給する。この時、イマジナリーショートにより増幅部111および113の差動入力の他端の電圧は2Vとなり、増幅部112および114の差動入力の他端の電圧は1Vとなる。すなわち、受光素子101および103に2Vが供給され、受光素子102および104に1Vが供給される。これにより、隣接する受光素子間において電圧差(1V)が生じ、電圧差により隣接する受光素子間にリーク電流が発生すると、リーク電流が発生している受光素子に対応する増幅部の出力電圧が変動する。例えば、受光素子101と受光素子102との間にリーク電流が発生している場合には、Vout1端子およびVout2端子の電圧が変動する。よって、増幅部111および113と、増幅部112および114とに異なる基準電圧を供給している状態において、Vout1〜Vout4端子の電圧を測定することで受光素子間のリーク電流を測定することができる。また、隣接する受光素子間に電圧差を発生させることで、隣接する受光素子間での電流の回り込みにより検出するリーク電流とは異なるモードのリーク電流を検出することができる。
以上より、本発明の実施の形態4に係るテスト回路400は、実施の形態1に係るテスト回路100の効果に加え、受光素子間の多種のモードのリーク電流をテストすることができる。
なお、上記説明において、隣接しない受光素子に選択的に電流を供給するテストを行った後、異なる基準電圧を印加するテストを行うとしたが、電流の回り込みによる受光素子間のテストを行わない場合には、全ての増幅部111〜114に一括して電流を供給しテストを行った後、異なる基準電圧を印加するテストを行うことで、複数の増幅部のテストと、受光素子間の電圧差で検知できるリーク電流のテストを行うことができる。
本発明は、テスト回路に適用でき、特にCDプレーまたはDVDプレーヤ等の光ドライブに用いられる光ピックアップ用PDICに内蔵されるテスト回路に適用できる。
本発明の実施の形態1に係るテスト回路の構成を示す図である。 本発明の実施の形態2に係るテスト回路の構成を示す図である。 本発明の実施の形態3に係るテスト回路の構成を示す図である。 本発明の実施の形態4に係るテスト回路の構成を示す図である。 従来のテスト回路の構成を示す図である。
符号の説明
100、200、300、400、500 テスト回路
101〜104、203、204 受光素子
111〜114、213、214、522〜52n 増幅部
121、131 第1の電流供給部
122、132 第2の電流供給部
141、510 電流供給部
151〜154 スイッチ
160 電圧供給部
511 端子

Claims (6)

  1. 複数の受光素子と、
    前記各受光素子からの光電流をそれぞれ電圧に変換する増幅手段と、
    前記受光素子および増幅手段に電流を供給する電流供給手段とを備え、
    前記電流供給手段は、前記複数の受光素子のうち行および列方向に互いに隣接しない複数の受光素子からなる第1受光素子群、および、前記第1受光素子群に含まれる受光素子に行および列方向に隣接する複数の受光素子からなる第2受光素子群に対して選択的に電流を供給する
    ことを特徴とするテスト回路。
  2. 前記電流供給手段は、
    前記第1受光素子群に電流を供給する第1の電流供給部と、
    前記第2受光素子群に電流を供給する第2の電流供給部とを備え、
    前記第1の電流供給部は、前記第2の電流供給部が電流を供給している間は、電流を供給せず、
    前記第2の電流供給部は、前記第1の電流供給部が電流を供給している間は、電流を供給しない
    ことを特徴とする請求項1記載のテスト回路。
  3. 前記電流供給手段は、前記第1受光素子群に含まれる第1の受光素子に第1の電流値の電流を供給し、前記第1受光素子群に含まれる第2の受光素子に第2の電流値の電流を供給する
    ことを特徴とする請求項1または2記載のテスト回路。
  4. 前記電流供給手段は、
    電流を出力する電流供給部と、
    前記電流供給部の出力と、前記複数の受光素子および前記増幅手段との間にそれぞれ形成されるスイッチとを備える
    ことを特徴とする請求項1記載のテスト回路。
  5. 前記テスト回路は、さらに、
    前記第1受光素子群に含まれる受光素子の光電流を変換する増幅手段に第1の基準電圧を供給し、前記第2受光素子群に含まれる受光素子の光電流を変換する増幅手段に第2の基準電圧を供給する電圧供給手段を備える
    ことを特徴とする請求項1記載のテスト回路。
  6. 複数の受光素子からの光電流をそれぞれ電圧に変換する増幅部をテストするテスト方法であって、
    前記複数の受光素子のうち行および列方向に互いに隣接しない複数の受光素子からなる第1受光素子群、および、前記第1受光素子群に含まれる受光素子に行および列方向に隣接する複数の受光素子からなる第2受光素子群に対して選択的に電流を供給する電流供給ステップと、
    前記各増幅手段が変換した電圧を測定する測定ステップと、
    前記第1受光素子群に含まれる受光素子の光電流を変換する増幅部が変換した電圧に基づき、該増幅部が正常に動作しているか否かを判定する第1の判定ステップと、
    前記第2受光素子群に含まれる受光素子の光電流を変換する増幅部が変換した電圧に基づき、前記複数の受光素子間のリーク電流を判定する第2の判定ステップとを含む
    ことを特徴とするテスト方法。
JP2006121886A 2006-04-26 2006-04-26 受光増幅回路のテスト回路およびテスト方法 Expired - Fee Related JP4159582B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006121886A JP4159582B2 (ja) 2006-04-26 2006-04-26 受光増幅回路のテスト回路およびテスト方法
US11/677,077 US7545156B2 (en) 2006-04-26 2007-02-21 Test circuit and test method that includes supplying a current to a plurality of light-receiving elements

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006121886A JP4159582B2 (ja) 2006-04-26 2006-04-26 受光増幅回路のテスト回路およびテスト方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007294028A true JP2007294028A (ja) 2007-11-08
JP4159582B2 JP4159582B2 (ja) 2008-10-01

Family

ID=38647738

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006121886A Expired - Fee Related JP4159582B2 (ja) 2006-04-26 2006-04-26 受光増幅回路のテスト回路およびテスト方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7545156B2 (ja)
JP (1) JP4159582B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009047688A (ja) * 2007-07-25 2009-03-05 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換装置及びその光電変換装置を具備する電子機器
JP2012255749A (ja) * 2011-06-10 2012-12-27 Denso Corp 半導体装置および半導体装置の測定方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100283474A1 (en) * 2009-05-11 2010-11-11 Panasonic Corporation Test circuit and optical pickup device
US10539604B2 (en) * 2017-05-08 2020-01-21 Illinois Tool Works Inc. Methods and apparatus for detecting leakage current

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0619253Y2 (ja) 1987-07-31 1994-05-18 キヤノン株式会社 電子カメラの表示装置
JP2988795B2 (ja) * 1992-05-29 1999-12-13 シャープ株式会社 受光増幅装置
JP2728835B2 (ja) * 1992-10-26 1998-03-18 協栄産業株式会社 光センサ内蔵半導体集積回路
JP3203996B2 (ja) 1994-11-01 2001-09-04 三菱電機株式会社 電流−電圧変換アンプのテスト回路
JPH0969617A (ja) 1995-09-01 1997-03-11 Nikon Corp クロストーク検出方法、受光素子及びウエハ
JP4739467B2 (ja) 1997-04-03 2011-08-03 ローム株式会社 光電気変換ic
JPH11110805A (ja) 1997-09-30 1999-04-23 Olympus Optical Co Ltd 光ピックアップ用フォトダイオードアレイ
US6624405B1 (en) * 1999-04-19 2003-09-23 Capella Microsystems, Inc. BIST for testing a current-voltage conversion amplifier
JP2002299460A (ja) 2001-04-04 2002-10-11 Seiko Epson Corp 半導体集積回路
US20030011425A1 (en) * 2001-07-12 2003-01-16 Em Microelectronics - Us Inc. Injection current test circuit
JP4646772B2 (ja) * 2005-09-30 2011-03-09 パナソニック株式会社 光電流増幅回路、及び光ピックアップ装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009047688A (ja) * 2007-07-25 2009-03-05 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 光電変換装置及びその光電変換装置を具備する電子機器
US8913050B2 (en) 2007-07-25 2014-12-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Photoelectric conversion device and electronic device having the same
JP2012255749A (ja) * 2011-06-10 2012-12-27 Denso Corp 半導体装置および半導体装置の測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
US7545156B2 (en) 2009-06-09
JP4159582B2 (ja) 2008-10-01
US20070252602A1 (en) 2007-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20070103174A1 (en) Direct current test apparatus
JP4707608B2 (ja) 測定回路及び試験装置
JP4478033B2 (ja) 電圧印加電流測定装置及びそれに使用されるスイッチ付き電流バッファ
US20180294784A1 (en) Amplifier and semiconductor apparatus using the same
JP4159582B2 (ja) 受光増幅回路のテスト回路およびテスト方法
US7482829B2 (en) Electric power applying circuit and test apparatus
US8531187B2 (en) Compensation circuit and test apparatus
JP4819684B2 (ja) 差動コンパレータ回路、テストヘッド、及び試験装置
JP2010175572A (ja) 光検出回路及び自動調光回路
JP5022377B2 (ja) 測定回路及び試験装置
JP6067198B1 (ja) 半導体集積回路、センサ読取装置及びセンサ読取方法
TWM349649U (en) Bias balancing circuit
US20060119424A1 (en) Offset compensation circuit for a monitoring photodiode
JP2007303986A (ja) 直流試験装置
JP2010085319A (ja) センサ信号検出回路、レシオメトリック補正回路及びセンサ装置
JP4807368B2 (ja) 光電流・電圧変換回路
JP4869810B2 (ja) 減算回路
JP2009033726A (ja) バッファ回路、増幅回路、および、試験装置
JP5190103B2 (ja) 電圧発生装置、電流発生装置
JP2005016992A (ja) 温度検出装置
JP2010263428A (ja) 信号レベル検出回路
JP2018147931A (ja) 半導体装置
TW201308887A (zh) 自動調零放大器及相關的偵測模組
JP2009287956A (ja) 半導体試験装置
US7859342B2 (en) Differential amplifier circuit, operational amplifier circuit, light-receiving amplifier circuit using the same, function selection circuit, and light-receiving circuit using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080409

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080415

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080530

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080617

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080715

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110725

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110725

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120725

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120725

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130725

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees