JP2007288777A - 光電変換装置及びその製造方法並びにx線撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光電変換装置は、複数の光電変換素子をマトリクス状に配置した光電変換回路部101と、該光電変換回路部101から出力される並列信号を読み取り用回路部107へ転送する、複数のマトリクス信号配線M1〜M3とを有する。光電変換回路部101の非光電変換領域に配列された上記マトリクス信号配線の内、欠陥信号を出力する該マトリクス信号配線M2に、意図的に切断した切断箇所X2を有する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施形態1を示す光電変換装置の回路図である。説明を簡単化するために、図においては3×3の合計9画素で構成している。また、図6と同じ部材については同様の記号を用いている。
図5は、本発明の実施形態2を示す光電変換装置の回路図である。説明を簡単化するために、図においては3×3の合計9画素で構成している。また、図1と同じ部材については同様の記号を用いている。
T1−1〜T3−3 スイッチング素子
SR1 シフトレジスタ(スイッチング素子用)
SR2 シフトレジスタ(読み出しスイッチ用)
G1〜G3 ゲート駆動配線
M1〜M3 マトリクス信号配線
106 光電変換素子のバイアス電源
101 光電変換回路部
107 読み取り用回路部
105 A/D変換回路部
RES1〜RES3 M1〜M3に形成される負荷容量をリセットするスイッチ
A1〜A3 バッファアンプ
B1〜B3 バッファアンプ
104 バッファアンプ
C1〜C3 読み出し容量
Sn1〜Sn3 読み出し容量に信号を転送するための転送スイッチ
Sr1〜Sr3 読み出し容量の信号を順次読み出すための読み出し用スイッチ
301 光電変換素子
302 スイッチング素子(TFT)
306 ゲート駆動用配線
307 マトリクス信号配線
310 コンタクトホール部
314 配線クロス部
304 第1の金属薄膜層
305 第2の金属薄膜層
311 a−SiN絶縁薄膜層
312 a−Si半導体薄膜層
313 N・+・層
303 絶縁基板
315 保護膜
1501 X線源
1502 人体
1503 グリッド
1507 X線を吸収する物質
1508 X線を透過する物質
1504 X線を可視光に変換する蛍光体
1511 保護膜
1509 光電変換素子
1510 スイッチング素子
1512 絶縁基板
Claims (6)
- 複数の光電変換素子が2次元アレー状に配列された光電変換回路部と、該光電変換回路部から出力される並列信号を転送するための複数のマトリクス信号配線と、前記光電変換回路部内の前記光電変換素子が2次元アレー状に配列されている光電変換領域と、該光電変換領域外に前記マトリクス信号配線の一部が配置されている非光電変換領域と、を有する絶縁基板と、
前記マトリクス信号配線より転送される並列信号を直列信号に変換して出力するための読み取り用回路領域と、該読み取り用回路領域外で前記マトリクス信号配線から引き出された配線を有する非読み取り用回路領域と、を各々が有し、前記絶縁基板に装着されて前記マトリクス信号配線と接続される複数の読み取り用回路部と、
を有する光電変換装置において、
前記非光電変換領域内で前記光電変換領域からの信号の中の不適切な信号に対応する前記マトリクス信号配線に、又は、前記非読み取り用回路領域内で前記不適切な信号に対応する前記配線に、意図的に切断した切断箇所を有することを特徴とする光電変換装置。 - 前記読み取り用回路部と前記マトリクス信号配線が接続される接続部を更に有し、前記切断箇所は前記光電変換領域と前記接続部との間の前記マトリクス信号配線に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記読み取り用回路部と前記マトリクス信号配線が接続される接続部を更に有し、前記非読み取り用回路領域は、前記接続部と前記読み取り用回路領域との間に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光電変換装置。
- 前記光電変換素子は、アモルファスシリコン半導体膜を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光電変換装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光電変換装置を有することを特徴とするX線撮像装置。
- 複数の光電変換素子が2次元アレー状に配列された光電変換回路部と、該光電変換回路部から出力される並列信号を転送するための複数のマトリクス信号配線と、前記光電変換回路部内の前記光電変換素子が2次元アレー状に配列されている光電変換領域と、該光電変換領域外に前記マトリクス信号配線の一部が配置されている非光電変換領域と、を有する絶縁基板と、
前記マトリクス信号配線より転送される並列信号を直列信号に変換して出力するための読み取り用回路領域と、該読み取り用回路領域外で前記マトリクス信号配線から引き出された配線を有する非読み取り用回路領域と、を各々が有し、前記絶縁基板に装着されて前記マトリクス信号配線と接続される複数の読み取り用回路部と、
を有する光電変換装置の製造方法であって、
前記光電変換領域からの複数の信号の中の一部が不適切な信号であった場合、前記非光電変換領域内で前記不適切な信号に対応する前記マトリクス信号配線を、又は、前記非読み取り用回路領域内で前記不適切な信号に対応した前記配線を、切断することを特徴とする光電変換装置の製造方法。
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