JP2007287935A - 気相成長装置とそれを用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】クリーニングの終点を適確に検出することが困難であった。
【解決手段】マスフローコントローラ13は、反応炉1の排気経路6に接続されている。制御部30は、反応炉1のクリーニング時、マスフローコントローラ13の出力信号の変化よりクリーニングの終了を検出する。
【選択図】 図1
【解決手段】マスフローコントローラ13は、反応炉1の排気経路6に接続されている。制御部30は、反応炉1のクリーニング時、マスフローコントローラ13の出力信号の変化よりクリーニングの終了を検出する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置の製造に使用される例えば減圧化学気相成長(LP−CVD)装置に係わり、特に、そのクリーニングに関する。
LP−CVD装置は、反応炉としてのチューブの内壁に副生成物が堆積する。この堆積した膜が剥がれた場合、チューブ内にパーティクルが発生し、製品の歩留まりが低下する原因となる。このため、チューブ内に堆積した膜が規定の膜厚に達した場合、定期的にチューブをクリーニングし、チューブが清浄に維持されている。
従来、反応室のクリーニングに関する技術として、チャンバ壁に高周波電源を印加した状態において電圧をモニタし、制御手段により電圧効果曲線の傾きを演算し、傾きの値が所定値に到達した段階で、制御手段により高周波電源を切断し、マスフローコントローラでクリーニングガスを遮断する方法がある(例えば特許文献1参照)。あるいは、CVD装置のプラズマ洗浄を用いた方法がある(例えば特許文献2参照)。
その他のチューブのクリーニング方法としては、例えば洗浄液を用いたウェット洗浄や、ガスを用いたガスクリーニング方法がある。しかし、ウェット洗浄は、装置の分解、洗浄、再組み立て、条件確認という工程を必要とする。このため、チューブのクリーニングに時間がかかり、装置の処理稼動率の低下を招いていた。
また、例えばClF3、F2、HFなどのガスを用いたガスクリーニング方法は、装置の分解、再組み立ての必要がないため、処理稼動率の低下を防止できるとともに、ウェット洗浄により取れ難い膜もエッチングできる利点を有している。しかし、堆積膜のエッチング状況は、テスト工程を実行することにより確認する必要がある。すなわち、テスト工程おいて、堆積膜を規定時間エッチングして得たエッチング量の情報から、堆積膜のエッチング時間が決定される。また、目視確認により判断できる膜については、目視による確認も行われる。これらテスト工程や目視確認は、膜の組成条件や、エッチング前の累積膜厚が変わると、その都度行なう必要があり、煩雑であった。
さらに、チャンバ内にクリーニングガスを導入し、チャンバから排出される堆積膜の分解ガスをモニタする方法も提案されている。しかし、この方法は、分解ガスをモニタするために高価な分析装置を設ける必要がある。しかも、この分析装置は、応答速度が遅いため、クリーニングの終点検出に遅延を有している。このため、特に、薄膜のクリーニングにおいては、堆積膜の除去後もクリーニングが継続され、チャンバもエッチングの影響を受けるという問題があり、生産設備としては不適当であった。
また、エッチング時の反応熱をチャンバ内に取付けた熱電対でモニタすることによりエッチングの終点を検知する方法があり、この方法を堆積膜のクリーニングに利用することも提案されている。しかし、ポリシリコン膜を除き、TEOS系の膜やシリコン窒化膜は反応熱がないため、この方法は、特定の膜にしか利用できなかった。
上記のように、従来のガスクリーニング方法は、クリーニングの終点を適確に検出することが困難であった。
特開2002−151417号公報
特開平11−74258号公報
本発明は、クリーニングの終点を適確に検出することが可能な気相成長装置とそれを用いた半導体装置の製造方法を提供しようとするものである。
本発明の気相成長装置の態様は、反応炉の排気経路に接続されたマスフローコントローラと、前記反応炉のクリーニング時、前記マスフローコントローラの出力信号の変化よりクリーニングの終了を検出する制御部とを具備することを特徴とする。
本発明の半導体装置の製造方法は、反応炉のクリーニングを開始し、前記反応炉の排気経路に接続されたマスフローコントローラの出力信号の変化よりクリーニングの終了を検出して、クリーニングを終了する工程と、規定のクリーニング回数に達しているか判定する工程と、前記規定のクリーニング回数に達していない場合、前記反応炉内に載置された基板に処理を行う工程とを具備することを特徴とする。
本発明によれば、クリーニングの終点を適確に検出することが可能な気相成長装置とそれを用いた半導体装置の製造方法を提供できる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
(第1の実施形態)
図2は、第1の実施形態に係る気相成長装置を概略的に示している。反応炉1は、例えば石英で構成されたインナーチューブ2とアウターチューブ3により形成されている。アウターチューブ2の周囲にはヒーター4が配置されている。反応炉1の下部にマニホールド5が設けられ、マニホールド5に炉口キャップ7が取着されている。キャップ7の中央部には回転機構8が設けられ、この回転機構8にリンクされた保温筒9の上にボートが設けられる。ボート上には複数のウェハが搭載される。反応炉1内は、ヒーター4により所定の温度に加熱される。
図2は、第1の実施形態に係る気相成長装置を概略的に示している。反応炉1は、例えば石英で構成されたインナーチューブ2とアウターチューブ3により形成されている。アウターチューブ2の周囲にはヒーター4が配置されている。反応炉1の下部にマニホールド5が設けられ、マニホールド5に炉口キャップ7が取着されている。キャップ7の中央部には回転機構8が設けられ、この回転機構8にリンクされた保温筒9の上にボートが設けられる。ボート上には複数のウェハが搭載される。反応炉1内は、ヒーター4により所定の温度に加熱される。
マニホールド5は、複数のガスを反応炉1内にそれぞれ導入するための複数のポート5−1、反応炉1内のガスを排気するための排気経路としての排気系配管6、及び真空ゲージ28が設けられている。排気系配管6にはトラップ10、メインバルブ11、及び図示せぬ真空排気ポンプが設けられている。さらに、排気系配管6の分岐路6−1にはサブバルブ12が設けられ、サブバルブ12の下流には、例えばマスフローコントローラ(MFC)13が設けられている。制御部30は、気相成長装置の全体的な動作を制御するものである。この制御部30の動作については後述する。
インナーチューブ2、アウターチューブ3には、ウェハのプロセスに応じて、ポリシリコンや、窒化シリコンが堆積され、堆積膜14が形成される。この堆積膜14が規定累積膜厚に達した場合、反応炉1がガスクリーニングされる。
ガスクリーニングは、ヒーター4により加熱された反応炉1内に、例えばClF3、HF、F2などのエッチングソースと、N2を混合してマニホールド5のポート5−1、から導入する。反応炉1内では、導入されたガスと堆積膜14が反応し、インナーチューブ2からアウターチューブ3に向かってエッチングが進む。導入されたガス、及び堆積膜14の分解により発生した副生成ガスは、排気系配管6を介して真空ポンプにより排出される。この排気系配管6の分岐路6−1に設けられたマスフローコントローラ13により流量が計測される。
図3は、マスフローコントローラ13の一例を概略的に示している。このマスフローコントローラ13は、例えばガスが導入されるインレットポート15、層流素子バイパス16、毛細流量センサ部17、センサコイル18、センサコイル18に接続されたブリッジ回路19、ブリッジ回路19に接続された増幅回路20、増幅回路20に接続され、出力信号を出力する補正回路21、補正回路21に出力信号と設定された流量に対応する信号とを比較する比較回路22、この比較回路22の出力信号が供給されるバルブ制御回路23、このバルブ制御回路23により駆動されるバルブ24、バルブ24により流量が制御されたガスが出力されるアウトレットポート25を有している。前記補正回路21及び比較回路22は制御部30に接続されている。
上記構成において、ガスはインレット15から導入され、バイパス16側と流量センサ部17側に分流される。コイル18は、分流された気体が流れることにより生ずる温度差に応じて電流を発生し、この電流がブリッジ回路19で電圧として検出される。検出された電圧は増幅回路20、補正回路21を介して制御部30に供給されるとともに、比較回路22において、制御部30から供給される設定流量(電圧値)と比較される。比較回路22の出力信号はバルブ制御回路23に供給され、バルブ24によりアウトレット25から出力されるガスが所定流量に制御される。
図4は、流量センサ部17の出力を示している。図4に示すように流量センサ17の温度変化は、ガスが流れていない場合と流れている場合において、温度分布のピークがシフトする。通常、最大にシフトした量が最大流量としてスケールが決まる。マスフローコントローラ13は、ブリッジ回路19で検出したシフト量を平衡状態に戻すように補正量を定め、この補正量と制御部30から供給される設定流量とを比較してバルブ24にフィードバックをかける。
制御部30は、反応炉1のクリーニングの制御も行なう。すなわち、クリーニング開始時、反応炉1内にクリーニングガスを供給し、マスフローコントローラ13の出力信号が基準値とほぼ等しくなった場合、クリーニングガスの供給を停止し、クリーニングを終了させる。
尚、上記マスフローコントローラ13に替えて、例えばマスフローメータを用いることも可能である。マスフローメータは、マスフローコントローラ13からバルブ制御回路23とバルブ24を除いた構成であり、気体の流量のみを知ることができる。以下においては、マスフローコントローラ13を用いた場合について説明するが、マスフローメータを用いた場合も同様である。
一般に、マスフローコントローラは、反応炉に対して上流のガス供給部に設置して使われる。マスフローコントローラの温度分布は、単体で使用されるガスの種類に応じて予め知られている。また、N2等のベースガスにより希釈された二種混合ガスの場合も、混合比率が特殊な場合を除き、マスフローコントローラの温度分布は、既知であることが前提である。
これに対して、第1の実施形態において、マスフローコントローラ13は、ポート5−1の上流のガス供給部に設置されるのではなく、排気系配管6の分岐路6−1に設けられている。エッチングソースとしての導入ガスの温度分布は既知であるが、反応炉1内で堆積膜14が分解されて発生する副生成ガスは様々なガスを含んでいる。この副生成ガスがマスフローコントローラ13を通過すると、マスフローコントローラ13は、副生成ガスに関する温度分布の既定条件が無いため、特異な信号を出力する。
図1(a)乃至(d)は、第1の実施形態の原理を示している。図1(a)において、基準設定工程は、図1(d)に示すように、反応炉としてのインナーチューブ2、及びアウターチューブ3に堆積膜14が無い状態において、図1(b)に示すクリーニングガスとしてのエッチングソースガスA,Bが導入された時のセンサ出力を示している。この場合、排出ガスとして、図1(c)に示すようなガスが出力される。このチューブ2,3内に堆積膜14が無い状態におけるセンサ出力(マスフローコントローラ13の出力信号)が、基準値として制御部30に記憶される。この基準設定工程は、例えばチューブ2,3が組み立てられた直後などに実施される。
図1(a)において、エッチング工程は、反応炉1のクリーニング工程を示している。クリーニング工程におけるセンサ出力は、図1(d)に示すように、チューブ2,3上に堆積膜14が有る状態において、図1(b)に示すエッチングソースガスA、Bが導入された時のマスフローコントローラ13の出力信号を示している。この場合、排出ガスとして、図1(c)に示すようなガスが出力される。チューブ2,3内の堆積膜14がエッチングされる時、図1(c)にD、E、Fで示すように、複数の副生成ガスが発生する。マスフローコントローラ13は、この副生成ガスの温度分布の規定条件が無いため、センサ出力は図1(a)に示すように、特異な信号となる。
この後、図1(d)に示すように、反応炉1内の堆積膜14が除去されると、排出ガスは、図1(c)に示すようなガスとなる。この場合、図1(a)のエッチング終了工程に示すように、センサ出力は、基準設定工程におけるセンサ出力とほぼ等しくなる。この状態をエッチングの終点、すなわちクリーニング終了とする。
上記のように、エッチング工程においてセンサ出力は特異な信号である、エッチングが終了すると、センサ出力は一定の値となる。このセンサ出力の変化の様子を検出することにより、チューブ2,3のガスクリーニングの終点を検出することが可能となり、in−Situモニタが可能となる。
図5は、制御部30の具体的な処理の流れを示している。
先ず、基準設定工程が行なわれる(S1)。例えばチューブを組み立てた後などのチューブ2,3に堆積膜14が形成されていない状態において、反応炉1内にクリーニングガスが導入される。この状態におけるマスフローコントローラ13の出力信号より基準値が設定される。この後、所定のウェハプロセスが実行される(S2)。ウェハプロセスが繰り返され、チューブ2,3に堆積された堆積膜14が規定の累積膜厚に達した場合、反応炉1のクリーニング工程が実行される(S3)。すなわち、反応炉1内にクリーニングガスが導入され、チューブ2,3のクリーニングが開始される。クリーニング工程中、マスフローコントローラ13の出力信号が制御部30によりモニタされ(S4)、マスフローコントローラ13の出力信号が特異な変化を示している間は、クリーニングが継続される。一方、マスフローコントローラ13の出力信号が一定値を示す状態となり、基準値にほぼ等しくなった場合、クリーニングが終了される。
この後、クリーニング回数が判別され(S5)、クリーニング回数が規定値未満である場合、制御がステップS2に移行され、所定のウェハプロセスが繰り返される。また、クリーニング回数が規定値以上である場合。例えばチューブ2,3が分解され、薬液を用いて洗浄される(S6)。洗浄が終了し、チューブ2,3が組み立てられた状態において、前記ステップS1において、基準値が新たに設定される。
上記第1の実施形態によれば、反応炉1の排気系配管6にマスフローコントローラ13を接続し、反応炉1のガスクリーニング時、マスフローコントローラ13の出力信号をモニタし、特異な変動を伴う不安定状態から安定状態に変化し、この安定状態において、マスフローコントローラ13の出力信号が予め設定した基準値とほぼ等しくなった場合、クリーニングを終了させている。このため、従来の高価な分析装置に比べて安価なマスフローコントローラ13を用いて正確にクリーニングの終点を検出することができる。
しかも、マスフローコントローラ13は応答速度が速いため、クリーニングの終点を迅速に検出することができる。このため、クリーニングに伴うチューブ2,3のダメージを軽減できる利点を有している。
また、マスフローコントローラ13は、高濃度のガスが流入してもセンサとしての使用条件での劣化問題がない。
さらに、ヒーター搭載タイプのマスフローコントローラを使用した場合、発熱反応を伴わない膜、例えばTEOS系の膜や、窒化膜のクリーニングにも利用可能であり、種々の堆積膜のクリーニングに利用可能である。
尚、上記第1の実施形態は、反応炉のガスクリーニングについて説明したが、これに限らず、例えばウェハプロセス時における反応炉内の残ガスモニタや、反応炉の真空引き到達時の脱ガス検知にも適用可能である。
また、上記マスフローコントローラ13の仕様をアナログモデルから、デジタルモデルに変更した場合、ガスの混合比や、フルスケールをマスフローコントローラ13に記憶させることが可能である。このため、エッチングソースを同一装置内で変えたり、組み合わせてクリーニングを行なう場合、クリーニングの終了を高精度に検出することができる。
(第2の実施形態)
気相成長装置は、チューブの内壁面に堆積される膜以外に、排気系配管にも副生成物が堆積することが良く知られている。ガスクリーニング機構を具備する気相成長装置の場合、チューブを分解して薬液により洗浄するメンテナンスの頻度は必然的に少なくなる。しかし、排気系配管内の副生成物は、例えばパーティクルの要因になるため、除去することが望ましい。排気系配管内の堆積膜は、反応炉内の堆積膜のように、膜の組成が安定ではなく、反応炉内のクリーニングガスで除去できない場合がある。この場合、クリーニングガス種を変えてエッチングを実施する必要がある。
気相成長装置は、チューブの内壁面に堆積される膜以外に、排気系配管にも副生成物が堆積することが良く知られている。ガスクリーニング機構を具備する気相成長装置の場合、チューブを分解して薬液により洗浄するメンテナンスの頻度は必然的に少なくなる。しかし、排気系配管内の副生成物は、例えばパーティクルの要因になるため、除去することが望ましい。排気系配管内の堆積膜は、反応炉内の堆積膜のように、膜の組成が安定ではなく、反応炉内のクリーニングガスで除去できない場合がある。この場合、クリーニングガス種を変えてエッチングを実施する必要がある。
図6は、第2の実施形態を示すものであり、排気系配管6をクリーニングする場合を示している。図6において、図2と同一部分には同一符号を付している。図6において、排気系配管6のマニホールド5近傍には、排気系専用のクリーニングガスを導入するポート31が設けられ、このポート31から排気系配管6にクリーニングガスとして例えばHF+N2が導入される。
この構成において、制御部30は、排気系配管6に堆積膜27が無い状態でエッチングした場合におけるマスフローコントローラ13の出力信号から基準値を求め、クリーニング時にマスフローコントローラ13の出力信号の変動の変化を第1の実施形態と同様に検出することにより、排気系配管6のクリーニングの終了を検出することができる。
上記第2の実施形態によれば、排気系配管6のガスクリーニングを高精度に行なうことが可能である。
また、チューブ2,3内のクリーニングと排気系配管6のクリーニングを同時に行うことも可能である。この場合、クリーニングガスがチューブ2,3内と排気系配管6の2種になるため、上記デジタルモデルのマスフローコントローラと組み合わせれば高いクリーニング効果を得ることができる。
尚、上記第1、第2の実施形態は、組成が明確ではない未知ガスの有無をマスフローコントローラ13によって検出することにより、チューブ及び排気系配管をクリーニングする場合について説明した。しかし、第1、第2の実施形態の終点検出機能を他の機能として利用することも可能である。
例えば気相成長装置の真空度の管理は、例えばバラトロンゲージなどの圧力モニタを用いて行っている。しかし、第1、第2の実施形態を利用して気相成長装置の真空度を管理することが可能である。反応炉内の真空引きにおいて、到達圧力の遅延は、例えばTEOS系膜で顕著な脱ガス(degas)の発生による要因などがある。第1、第2の実施形態において、マスフローコントローラ13は、未知のガスが存在する状態において、その出力信号が特異に変動する。このため、この変動の有無をモニタすることにより、脱ガスモニタとして利用可能である。つまり、マスフローコントローラ13の出力信号が一定値となった状態において、脱ガスが除去されたことを検知することができる。
あるいは、ウェハプロセスにおいて、膜生成用のガス導入を止めた直後からの炉内の残ガスモニタや、異種のガスを交互に流して膜を形成するシーケンシャルデポジション時において、ガスの導入切替えタイミングを検出する場合にも第1、第2の実施形態を利用することができる。この場合、第1、第2の実施形態の終点検出機能は高速であるため、装置の稼動効率を改善することが可能である。
その他、本発明は、第1、第2の実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を変えない範囲において種々変形実施可能なことは勿論である。
1…反応炉、2…インナーチューブ、3…アウターチューブ、6…排気系配管(排気経路)、13…マスフローコントローラ(マスフローメータ)、30…制御部、31…ポート。
Claims (5)
- 反応炉の排気経路に接続されたマスフローコントローラと、
前記反応炉のクリーニング時、前記マスフローコントローラの出力信号の変化よりクリーニングの終了を検出する制御部と
を具備することを特徴とする気相成長装置。 - 前記制御部は、前記反応炉に堆積膜が無い状態において、前記反応炉にクリーニングガスを導入した場合における前記マスフローコントローラの出力信号を基準値として記憶することを特徴とする請求項1記載の気相成長装置。
- 前記制御部は、クリーニング時、前記マスフローコントローラの出力信号が前記基準値とほぼ等しくなった場合、クリーニングを終了させることを特徴とする請求項2記載の気相成長装置。
- 前記排気経路は、クリーニングガスの導入部を有することを特徴とする請求項1記載の気相成長装置。
- 反応炉のクリーニングを開始し、前記反応炉の排気経路に接続されたマスフローコントローラの出力信号の変化よりクリーニングの終了を検出して、クリーニングを終了する工程と、
規定のクリーニング回数に達しているか判定する工程と、
前記規定のクリーニング回数に達していない場合、前記反応炉内に載置された基板に処理を行う工程と
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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