JP2007286060A - 圧電式圧力センサ - Google Patents
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- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 36
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 claims description 5
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】ハウジング2内に圧電素子3を備えた圧電式圧力センサ1。圧電素子3がハウジング2の圧力側に位置しているダイヤフラム4とハウジングの基台部5との間で予圧付与手段8によって予圧付与されている。予圧付与手段8がセンサ縦軸1’に沿って延びているとともに、圧電素子3は前記予圧付与手段8の外側に配置されている。
【選択図】図1
Description
1’ センサ縦軸
2,2’ ハウジング
3 圧電素子
4 ダイヤフラム
5 ハウジングの基台部
8 予圧付与手段
9 電極
10 絶縁部材
Claims (7)
- ハウジング内に圧電素子を備えた圧電式圧力センサであって、前記圧電素子が前記ハウジングの圧力側に位置しているダイヤフラムと前記ハウジングの基台部との間で予圧付与手段によって予圧付与されており、前記予圧付与手段がセンサ縦軸に沿って延びているとともに、前記圧電素子は前記予圧付与手段の外側に配置されていることを特徴とする圧電式圧力センサ。
- 前記圧電素子は矩形の薄板として形成され、前記薄板の対向する短辺端部には前記予圧付与手段の圧力がかかるとともに横方向の圧電効果が利用されることを特徴とする請求項1に記載の圧電式圧力センサ。
- 前記予圧付与手段は2つ、3つまたはそれ以上の数の圧電素子薄板に対して等しい間隔をもつようにそれらの間に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の圧電式圧力センサ。
- 前記圧電素子は少なくとも一方の端部において力の作用方向に電極ならびに電気絶縁部材が設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の圧電式圧力センサ。
- 前記電極と絶縁部材にはそれぞれ前記予圧付与手段を貫通させるための貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項4に記載の圧電式圧力センサ。
- 前記予圧付与手段は信号伝達手段としても機能することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の圧電式圧力センサ。
- 前記ハウジングは前記圧電素子を収容する内部ハウジングを有し、前記内部ハウジングの外周囲は遊びをもって外部ハウジングによって外囲されるとともに、前記ダイヤフラムの領域において前記外部ハウジングに接合されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電式圧力センサ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AT0064106A AT503664B1 (de) | 2006-04-13 | 2006-04-13 | Piezoelektrischer drucksensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007286060A true JP2007286060A (ja) | 2007-11-01 |
Family
ID=38514786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007105812A Pending JP2007286060A (ja) | 2006-04-13 | 2007-04-13 | 圧電式圧力センサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7726196B2 (ja) |
JP (1) | JP2007286060A (ja) |
AT (1) | AT503664B1 (ja) |
CH (1) | CH698578B1 (ja) |
DE (1) | DE102007011283A1 (ja) |
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AT503664A4 (de) | 2007-12-15 |
CH698578B1 (de) | 2009-09-15 |
US20080011089A1 (en) | 2008-01-17 |
AT503664B1 (de) | 2007-12-15 |
US7726196B2 (en) | 2010-06-01 |
DE102007011283A1 (de) | 2007-10-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100409 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120202 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120427 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120726 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121005 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20121026 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20130215 |
|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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