JP2007280277A - 固体撮像装置、撮像方法および撮像システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体撮像装置10は、半導体基板12、受光部14、およびスペーサ16を備えている。固体撮像装置10は、光入射面S1(配線層30の表面に相当)に入射した被撮像体からの光を、半導体基板12中に形成された受光部14内で光電変換し、その光電変換により発生した電荷の量の大小によって上記被撮像体を撮像する。光入射面S1上の一部には、スペーサ16が設けられている。このスペーサ16は、光入射面S1に被撮像体が接触するのを防ぐ。
【選択図】図2
Description
10 固体撮像装置
12 半導体基板
14 受光部
14a 受光部
14b 受光部
16 スペーサ
20 差分計算部
30 配線層
82 空気層
90 指
92 指紋
94 静脈
d1 スペーサ間の間隔
h1 スペーサの厚み
S1 光入射面
Claims (17)
- 被撮像体からの光が入射する光入射面を有する固体撮像装置であって、
半導体基板と、
前記半導体基板中に設けられた受光部と、
前記光入射面上の一部に設けられ、当該光入射面に前記被撮像体が接触するのを防ぐスペーサと、を備え、
前記スペーサは、前記被撮像体からの前記光を透過させ、
前記半導体基板の前記光入射面に入射した前記被撮像体からの前記光を当該半導体基板の内部で光電変換し、当該光電変換により発生した電荷を前記受光部で受けて前記被撮像体を撮像することを特徴とする固体撮像装置。 - 請求項1に記載の固体撮像装置において、
前記受光部は、前記スペーサが設けられた部分の下部に位置する第1の受光部と、前記スペーサが設けられていない部分の下部に位置する第2の受光部とを含む固体撮像装置。 - 請求項2に記載の固体撮像装置において、
前記第1および第2の受光部は、複数ずつ設けられている固体撮像装置。 - 請求項2または3に記載の固体撮像装置において、
前記スペーサが設けられた前記部分および前記スペーサが設けられていない前記部分は、それぞれ前記光入射面上の複数箇所に分かれて存在し、
前記スペーサが設けられた前記部分の各箇所には、複数の前記第1の受光部が設けられ、
前記スペーサが設けられていない前記部分の各箇所には、複数の前記第2の受光部が設けられている固体撮像装置。 - 請求項1乃至4いずれかに記載の固体撮像装置において、
前記スペーサは、平面視で規則的に配置されている固体撮像装置。 - 請求項5に記載の固体撮像装置において、
前記スペーサは、平面視で斜格子状に配置されている固体撮像装置。 - 請求項5に記載の固体撮像装置において、
前記スペーサは、平面視でスリット状に配置されている固体撮像装置。 - 請求項1乃至7いずれかに記載の固体撮像装置において、
前記被撮像体は指であり、
前記スペーサ間の間隔は、前記指の幅よりも小さい固体撮像装置。 - 請求項1乃至8いずれかに記載の固体撮像装置において、
前記スペーサ間の間隔を1としたとき、
前記スペーサの厚みは、0.02以上0.5以下である固体撮像装置。 - 請求項1乃至9いずれかに記載の固体撮像装置において、
前記スペーサの厚みは、10μm以上250μm以下である固体撮像装置。 - 請求項1乃至10いずれかに記載の固体撮像装置を用いて、前記スペーサを透過して前記光入射面に入射した前記光による前記被撮像体の画像である第1の画像を取得するステップを含むことを特徴とする撮像方法。
- 請求項1乃至10いずれかに記載の固体撮像装置を用いて、前記スペーサを透過せずに前記光入射面に入射した前記光による前記被撮像体の画像である第2の画像を取得するステップを含むことを特徴とする撮像方法。
- 請求項1乃至10いずれかに記載の固体撮像装置を用いて、前記スペーサを透過して前記光入射面に入射した前記光による前記被撮像体の画像である第1の画像と、前記スペーサを透過せずに前記光入射面に入射した前記光による前記被撮像体の画像である第2の画像とを取得するステップと、
前記第1の画像と前記第2の画像との差分画像を取得するステップと、
を含むことを特徴とする撮像方法。 - 請求項13に記載の撮像方法において、
前記第1および第2の画像を取得するステップにおいては、前記被撮像体が前記スペーサに触れ且つ前記光入射面のうち前記スペーサが設けられていない部分に触れない状態で、前記被撮像体の撮像を行う撮像方法。 - 請求項13または14に記載の撮像方法において、
前記第1および第2の画像を取得するステップにおいては、前記被撮像体を前記光入射面の面内方向に移動させながら撮像を行う撮像方法。 - 請求項13乃至15いずれかに記載の撮像方法において、
前記被撮像体は、指であり、
前記差分画像は、前記指の静脈の画像に相当する撮像方法。 - 請求項1乃至10いずれかに記載の固体撮像装置と、
前記スペーサを透過して前記光入射面に入射した前記光による前記被撮像体の画像である第1の画像と、前記スペーサを透過せずに前記光入射面に入射した前記光による前記被撮像体の画像である第2の画像との差分画像を求める差分計算手段と、
を備えることを特徴とする撮像システム。
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