JP2007278077A - 電磁駆動弁 - Google Patents

Abstract

【課題】バルブの適正かつ円滑な駆動が実現される電磁駆動弁を提供する。
【解決手段】電磁駆動弁は、中心軸２５に沿って延びるトーションバー３１と、トーションバー３１に接続されたシャフト部２３を有し、中心軸２５を中心に揺動することにより駆動弁を駆動するディスク２１と、シャフト部２３を回転自在に支持するとともに、中心軸２５を一定の位置に保持し、調芯機構として機能するメタルブッシュ３３およびスプリング３６とを備える。
【選択図】図２

Description

この発明は、一般的には、電磁駆動弁に関し、より特定的には、電磁力とトーションバーの弾性力との協働によって作動する、回転駆動式の電磁駆動弁に関する。

従来の電磁駆動弁に関して、たとえば、米国特許第６４６７４４１号明細書には、電磁力とスプリングの弾性力との協働によって内燃機関のバルブが作動する電磁アクチュエータが開示されている（特許文献１）。特許文献１に開示された電磁アクチュエータは、回転駆動式と呼ばれており、揺動アームの揺動運動から直線運動を取り出して、バルブを開弁位置と閉弁位置との間で往復運動させている。回転自在に支持された揺動アームの第１端部には、円筒状の管部材が配設されている。その管部材には、バルブを開状態に向けて付勢するトーションバーが挿入されている。管部材は、サポートフレームを形成するプレート上で回転するように、ころ軸受けを介在させて搭載されている。
米国特許第６４６７４４１号明細書

上述の特許文献１に開示された電磁アクチュエータでは、揺動アームに弾性力を作用させるためにトーションバーが用いられている。しかしながら、管部材ところ軸受けとの間にクリアランスが存在した場合、揺動アームが、揺動中心で軸ずれを起こしたまま揺動運動することになる。これにより、バルブを適正かつ円滑に往復運動させることができないおそれが生じる。

そこでこの発明の目的は、上記の課題を解決することであり、バルブの適正かつ円滑な駆動が実現される電磁駆動弁を提供することである。

この発明に従った電磁駆動弁は、所定の軸に沿って延びるトーションバーと、トーションバーに接続されたシャフト部を有し、所定の軸を中心に揺動することによりバルブを駆動する揺動部材と、シャフト部を回転自在に支持するとともに、所定の軸を一定の位置に保持する調芯機構とを備える。

このように構成された電磁駆動弁によれば、調芯機構を設けることによって、揺動部材が、揺動中心で軸ずれを起こした状態で揺動することを防止できる。これにより、バルブを適正かつ円滑に駆動させることができる。

また好ましくは、電磁駆動弁は、揺動部材が取り付けられるベース部材をさらに備える。トーションバーの一方端は、ベース部材に対して固定されている。トーションバーの他方端は、シャフト部を介して調芯機構に回転自在に支持されている。このように構成された電磁駆動弁によれば、調芯機構によって、トーションバーの一方端から他方端に向けて延びる所定の軸を一定の位置に保持しつつ、トーションバーの他方端を回転自在に支持することができる。

また好ましくは、シャフト部は、所定の軸に対して傾斜し、その軸周りで延在するテーパ面を含む。調芯機構は、テーパ面に対向する表面を含む支持部材と、シャフト部を所定の軸方向に付勢し、テーパ面を表面に押圧する第１の弾性部材とを有する。このように構成された電磁駆動弁によれば、第１の弾性部材がシャフト部を付勢することによって、所定の軸は、テーパ面と表面とが面接触する一定の位置に保持される。このため、調芯機構による調芯機能が発揮され、バルブを適正かつ円滑に駆動させることができる。

また好ましくは、シャフト部は、所定の軸に対して傾斜し、その軸周りで延在するテーパ面を含む。調芯機構は、テーパ面に対向する表面を含む支持部材と、支持部材を所定の軸方向に付勢し、表面をテーパ面に押圧する第２の弾性部材とを有する。このように構成された電磁駆動弁によれば、第２の弾性部材が支持部材を付勢することによって、所定の軸は、テーパ面と表面とが面接触する一定の位置に保持される。このため、調芯機構による調芯機能が発揮され、バルブを適正かつ円滑に駆動させることができる。

また好ましくは、テーパ面および表面の少なくともいずれか一方に、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ：Diamond Like Carbon）コーティングが施されている。なお、ダイヤモンドライクカーボンは、アモルファス（非結晶質）の結晶構造を有し、炭素元素同士の接続状態が、ダイヤモンド構造（ＳＰ^３結合）とグラファイト構造（ＳＰ^２）との両方になる。

また好ましくは、テーパ面および表面の少なくともいずれか一方に、所定の軸を中心に螺旋状に延びる溝が形成され、その溝に流体が供給される。

このように構成された電磁駆動弁によれば、テーパ面と表面との間の摩擦が低減される。これにより、調芯機構による調芯機能がより効果的に発揮され、バルブを適正かつ円滑に駆動させることができる。

以上説明したように、この発明に従えば、バルブの適正かつ円滑な駆動が実現される電磁駆動弁を提供することができる。

この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。

（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１における電磁駆動弁を示す断面図である。本実施の形態における電磁駆動弁は、車両に搭載されるガソリンエンジンやディーゼルエンジンなどの内燃機関の機関バルブ（吸気弁または排気弁）を構成している。本実施の形態では、電磁駆動弁が排気弁を構成している場合について説明を行なうが、吸気弁を構成する場合であっても、電磁駆動弁は、同様の構造を備える。

図１を参照して、電磁駆動弁１０は、電磁力と弾性力との協働によって駆動する回転駆動式の電磁駆動弁である。

電磁駆動弁１０は、一方向に延びるステム１１を有する駆動弁１４と、作用された電磁力および弾性力によって揺動運動するディスク２１と、ディスク２１を挟んだ上下にそれぞれ配置され、電磁力を発生する電磁石５１および５２と、中心軸２５に沿って延び、弾性力を有するトーションバー３１とを備える。駆動弁１４は、ディスク２１の揺動運動を受けて、ステム１１が延びる方向（矢印１０１に示す方向）に往復運動する。

駆動弁１４は、排気ポート１６が形成されたシリンダヘッド１８に搭載されている。排気ポート１６から燃焼室１７に連通する位置には、バルブシート１９が設けられている。駆動弁１４は、さらに、ステム１１の先端に形成された傘部１２を有する。駆動弁１４の往復運動に伴って、傘部１２がバルブシート１９に密着したり、バルブシート１９から離脱することによって、排気ポート１６の開閉が行なわれる。本実施の形態では、ステム１１が上昇することによって、駆動弁１４が閉弁位置へと位置決めされ、ステム１１が下降することによって、駆動弁１４が開弁位置へと位置決めされる。

電磁駆動弁１０には、ステム１１を軸方向に摺動可能なように案内するバルブガイド４１および４２が設けられている。バルブガイド４１および４２は、ステム１１との高速摺動に耐えられるように、たとえば、ステンレスなどの金属材料から形成されている。

ステム１１の外周上には、鍔状のロアリテーナ４４が嵌め合わされている。シリンダヘッド１８には、頂面側に開口する開口部４６が形成されている。開口部４６には、開口部４６の底面とロアリテーナ４４との間に挟まれてロアスプリング４３が収容されている。ロアスプリング４３は、コイルばねから形成されている。ロアスプリング４３は、ロアリテーナ４４が開口部４６の底面から離れる方向、つまり、ステム１１を上昇させる方向の弾性力を駆動弁１４に作用させている。

シリンダヘッド１８の頂面上には、ベース部材としてのディスク支持台４８が固定されている。ディスク支持台４８には、電磁石５１および５２が設けられている。電磁石５１は、コイル５７と、コイル５７が巻回されたコア部５６とから構成されている。同様に、電磁石５２は、コイル５７とコア部５６とから構成されている。

電磁石５１を構成するコイル５７と、電磁石５２を構成するコイル５７とは、連続する単一のコイル線から形成されても良いし、別々のコイル線から形成されても良い。コア部５６は、磁性材料から形成されており、本実施の形態では、積層された複数の電磁鋼板から形成されている。コア部５６は、電磁鋼板以外の磁性材料、たとえば磁性粉末の圧粉体から形成されても良い。

電磁石５１および５２は、それぞれ、互いに距離を隔てて向い合う吸着面５１ａおよび５２ａを有する。吸着面５１ａと吸着面５２ａとの間には、ディスク２１が揺動する空間が規定されている。

ディスク２１は、磁性材料から形成されている。ディスク２１は、シャフト部２３および連結部２２を有し、シャフト部２３から連結部２２に向けてステム１１に交差する方向に延びている。シャフト部２３と連結部２２との間には、略矩形形状を有し、互いに反対側に面する表面２１ａおよび２１ｂが形成されている。表面２１ａは、電磁石５１の吸着面５１ａに向い合い、表面２１ｂは、電磁石５２の吸着面５２ａに向い合っている。シャフト部２３には、トーションバー３１が接続されている。ディスク２１は、トーションバー３１が延びる中心軸２５を中心に揺動運動する。連結部２２において、傘部１２が形成された先端とは反対側のステム１１の先端１１ｃが、ディスク２１の表面２１ｂに当接している。

電磁石５１のコイル５７に電流が流れると、電磁石５１のコア部５６とディスク２１との間に磁気回路が形成される。これにより、電磁石５１は、ディスク２１を吸着面５１ａに引き寄せる電磁力を発生させる。また、電磁石５２のコイル５７に電流が流れると、電磁石５２のコア部５６とディスク２１との間に磁気回路が形成される。これにより、電磁石５２は、ディスク２１を吸着面５２ａに引き寄せる電磁力を発生させる。

トーションバー３１は、中心軸２５を中心として反時計周りの弾性力をディスク２１に作用させている。つまり、トーションバー３１は、ステム１１を下降させる方向の弾性力を、ディスク２１を介して駆動弁１４に作用させている。ディスク２１に電磁力が作用していない状態で、ディスク２１は、ロアスプリング４３およびトーションバー３１の弾性力により、開弁側の揺動端と閉弁側の揺動端との中間位置に位置決めされる。

このような構成により、電磁石５１および５２で発生する電磁力と、ロアスプリング４３およびトーションバー３１の弾性力とによって、ディスク２１を中心軸２５を中心に揺動させ、駆動弁１４を往復運動させる。ディスク２１が電磁石５１の吸着面５１ａに引き寄せられると、ステム１１が上昇し、駆動弁１４が閉弁位置へと位置決めされる。ディスク２１が電磁石５２の吸着面５２ａに引き寄せられると、ステム１１が下降し、駆動弁１４が開弁位置へと位置決めされる。

図２は、図１中のトーションバーが延びる中心軸に沿った電磁駆動弁の断面図である。図１および図２を参照して、ディスク支持台４８は、中心軸２５の軸方向に間隔を設けて配設された側部４８ｍおよび４８ｎを有する。ディスク２１は、側部４８ｍと側部４８ｎとの間に配置されている。

トーションバー３１は、捩りばねから形成されている。シャフト部２３には、トーションバー３１が圧入される孔２７が形成されている。トーションバー３１は、中心軸２５の軸方向に沿った両端に、一方端としての固定端３１ｐと他方端としての回転端３１ｑとを有する。トーションバー３１が孔２７に圧入された状態で、固定端３１ｐは、孔２７の外側に突出し、回転端３１ｑは、孔２７の内側に配置されている。固定端３１ｐは、図示しないスプライン構造等によって、側部４８ｍに固定されている。

シャフト部２３は、中心軸２５を中心に鍔状に広がる鍔部２４を有する。鍔部２４には、中心軸２５に対して傾斜し、中心軸２５の軸周りで延在するテーパ面２４ａが形成されている。テーパ面２４ａは、中心軸２５とテーパ面２４ａとの間の距離が、側部４８ｍから側部４８ｎに向かう方向に沿って徐々に小さくなるように形成されている。

側部４８ｎには、滑り軸受けとしてのメタルブッシュ３３が固定されている。シャフト部２３とメタルブッシュ３３とは、中心軸２５の軸方向に並んで配置されている。メタルブッシュ３３は、テーパ面２４ａに対向し、中心軸２５の軸周りで延在する内周面３３ａを有する。

トーションバー３１の外周上であって、側部４８ｍとシャフト部２３との間には、コイルばねからなるスプリング３６が配設されている。スプリング３６は、圧縮変形した状態で設けられている。スプリング３６の弾性力によって、シャフト部２３はメタルブッシュ３３に向けて付勢されている。これにより、テーパ面２４ａが内周面３３ａを押圧し、両者が面接触している。トーションバー３１の回転端３１ｑは、シャフト部２３を介してメタルブッシュ３３に回転自在に支持されている。

なお、テーパ面２４ａは、中心軸２５とテーパ面２４ａとの間の距離が、側部４８ｍから側部４８ｎに向かう方向に沿って徐々に大きくなるように形成されても良い。この場合、スプリング３６は、鍔部２４に対してトーションバー３１の反対側に配設され、鍔部２４をメタルブッシュ３３に向けて付勢する。

メタルブッシュ３３の内周面３３ａには、低摩擦係数部材としてのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）コーティングが施されている。ＤＬＣコーティングは、カーボン（炭素）材料により構成される。ＤＬＣコーティングは、ダイヤモンドに類似した高硬度、および電気絶縁性を有する。ＤＬＣコーティングは、炭素を主成分とし、若干の水素を含有したアモルファス構造であり、ダイヤモンド結合とグラファイト結合とが混在している。

ＤＬＣコーティングの製造方法として、真空チャンバ内にベンゼンなどの炭化水素ガスを導入し、直流アーク放電でこのガスをプラズマ化して炭化水素イオンを発生させ、このイオンを被処理物に衝突させることで成膜することが可能である。ＤＬＣコーティングは、アモルファス構造であるため結晶粒界を持たず、結晶性の材料と比較して平滑な表面を有している。ＤＬＣコーティングは、耐久性および成膜時の厚みの制御性に優れる。

なお、ＤＬＣコーティングは、鍔部２４のテーパ面２４ａに施されても良いし、内周面３３ａおよびテーパ面２４ａの双方に施されても良い。

このような構成により、支持部材としてのメタルブッシュ３３および第１の弾性部材としてのスプリング３６が、ディスク２１の揺動時に中心軸２５の位置を一定に保持する調芯機構として機能する。すなわち、スプリング３６の弾性力によって、ディスク２１は、テーパ面２４ａを内周面３３ａに面接触させた状態を維持しながら揺動運動する。このため、中心軸２５の位置が一定に保持される。

また、本実施の形態では、内周面３３ａにＤＬＣコーティングが施されているため、内周面３３ａとテーパ面２４ａとの間の摩擦抵抗を低減させることができる。これにより、メタルブッシュ３３およびスプリング３６の調芯機構としての機能を、より効果的に発揮させることができる。

この発明の実施の形態１における電磁駆動弁１０は、所定の軸としての中心軸２５に沿って延びるトーションバー３１と、トーションバー３１に接続されたシャフト部２３を有し、中心軸２５を中心に揺動することによりバルブとしての駆動弁１４を駆動する揺動部材としてのディスク２１と、シャフト部２３を回転自在に支持するとともに、中心軸２５を一定の位置に保持する調芯機構としてのメタルブッシュ３３およびスプリング３６とを備える。

このように構成された、この発明の実施の形態１における電磁駆動弁１０によれば、ディスク２１の揺動中心となる中心軸２５の位置を一定に保持した状態で、ディスク２１を揺動運動させることができる。

回転駆動式の電磁駆動弁では、シャフト部２３を一般的な軸受けで受けた場合、部品の熱収縮や部品精度のばらつき、摩耗の進行等に起因して、シャフト部２３と軸受けとの間にクリアランスが発生するおそれがある。特に電磁駆動弁１０は、極低温下での使用が想定される車両に搭載されるため、部品の熱収縮によってクリアランスの発生が顕著となることがある。この場合、シャフト部２３と軸受けとの間にがたつきが生じ、ディスク２１の揺動運動を妨げる抵抗となる。これにより、駆動弁１４の制御性が低下したり、その制御性を維持するために電磁石５１および５２で消費される電力が増大したりする。また、電磁駆動弁で発生する騒音が大きくなったり、シャフト部２３や軸受けの耐久性が損なわれたりする。

これに対して、本実施の形態における電磁駆動弁１０では、メタルブッシュ３３とスプリング３６とからなる調芯機構によって、このクリアランスの発生を防止できる。このため、上述の問題点を解決し、駆動弁１４を適正かつ円滑に往復運動させることができる。

続いて、図２中の電磁駆動弁１０の各種変形例について説明を行なう。
図３は、図２中の電磁駆動弁の第１の変形例を示す断面図である。図３を参照して、本変形例では、図２中のメタルブッシュ３３に替えて、転がり軸受けとしてのアンギュラベアリング３５が配設されている。アンギュラベアリング３５の内輪には、テーパ面２４ａに対向する内周面３５ａが形成されている。

なお、図中では、アンギュラベアリング３５の内輪に内周面３５ａが形成されているが、内周面３５ａが形成された筒部材をアンギュラベアリングの内輪に嵌め合わせても良い。

図４は、図２中の電磁駆動弁の第２の変形例を示す断面図である。図４を参照して、本変形例では、図２中のスプリング３６に替えて、第２の弾性部材としてのスプリング３８が設けられている。スプリング３８は、鍔部２４に対してトーションバー３１の反対側に配設され、メタルブッシュ３３を鍔部２４に向けて付勢する。このような構成によっても、メタルブッシュ３３およびスプリング３８により、中心軸２５の位置を一定に保持する調芯機構を構成することができる。なお、図２中に示す電磁駆動弁１０では、スプリング３６がトーションバー３１の外周上に配設されるため、本変形例と比較して調芯機構を簡易に構成することができる。

図５は、図２中の電磁駆動弁の第３の変形例を示す断面図である。図６は、図５中のディスクのシャフト部を示す斜視図である。図５および図６を参照して、本変形例では、メタルブッシュ３３を設ける替わりに、側部４８ｎにテーパ面２４ａに対向する表面４８ａが形成されている。すなわち、本変形例では、ディスク２１が取り付けられるディスク支持台４８が、調芯機構としても機能している。

鍔部２４には、テーパ面２４ａから凹む溝２６が形成されている。溝２６は、中心軸２５を中心に螺旋状に延びている。テーパ面２４ａと表面４８ａとの間には、オイルや空気等の流体が供給される。溝２６は、この流体の通り道となり、流体を中心軸２５の軸周りの全周に行き渡らせる。

このような構成により、表面４８ａとテーパ面２４ａとの間に付加される空油圧を利用して、中心軸２５の位置を一定に保持することができる。また、本実施の形態では、中心軸２５の軸周りで延びる溝２６によって、流体が局所的に供給されることを防止できる。これにより、中心軸２５の位置を一定に保持する調芯機能を向上させることができる。

なお、以上に説明した電磁駆動弁１０およびその変形例の構成を組み合わせて、新たな電磁駆動弁を構成しても良い。

（実施の形態２）
図７は、この発明の実施の形態２における電磁駆動弁を模式的に示す断面図である。本実施の形態における電磁駆動弁は、実施の形態１における電磁駆動弁１０と比較して、基本的には同様の構成を備える。以下、重複する構造については説明を繰り返さない。

図７を参照して、本実施の形態では、図１中のディスク２１とほぼ同様の形状を備えるアッパディスク２１ｐおよびロアディスク２１ｑが、互いに間隔を隔てて平行に配置されている。アッパディスク２１ｐおよびロアディスク２１ｑの連結部２２は、ステム１１の異なる位置にそれぞれ回動自在に連結されている。アッパディスク２１ｐは、シャフト部２３に規定された中心軸２５ｐを中心に揺動運動し、ロアディスク２１ｑは、シャフト部２３に規定された中心軸２５ｑを中心に揺動運動する。

アッパディスク２１ｐおよびロアディスク２１ｑのシャフト部２３には、それぞれ中心軸２５ｐおよび２５ｑに沿って延びるトーションバー３１が設けられている。アッパディスク２１ｐに設けられたトーションバー３１は、中心軸２５ｐを中心に反時計周りの弾性力をアッパディスク２１ｐに作用させている。つまり、アッパディスク２１ｐに設けられたトーションバー３１は、ステム１１を下降させる方向の弾性力を、アッパディスク２１ｐを介して駆動弁１４に作用させている。ロアディスク２１ｑに設けられたトーションバー３１は、中心軸２５ｑを中心に時計周りの弾性力をロアディスク２１ｑに作用させている。つまり、ロアディスク２１ｑに設けられたトーションバー３１は、ステム１１を上昇させる方向の弾性力を、ロアディスク２１ｑを介して駆動弁１４に作用させている。本実施の形態では、図１中のロアスプリング４３が設けられていない。

アッパディスク２１ｐおよびロアディスク２１ｑとの間には、電磁石５３が配置されている。電磁石５３は、コイル５７と、コイル５７が巻回されたコア部５６とから構成されている。コア部５６は、それぞれアッパディスク２１ｐおよびロアディスク２１ｑに向い合って配置された部分５６ｐと部分５６ｑとから構成されている。コイル５７は、まず、部分５６ｐに巻回され、さらに、部分５６ｑに巻回されている。

アッパディスク２１ｐおよびロアディスク２１ｑのシャフト部２３は、実施の形態１に説明した各種の調芯機構によって、中心軸２５ｐおよび２５ｑが一定の位置に保持されるように支持されている。

この発明の実施の形態２における電磁駆動弁では、揺動部材としてのアッパディスク２１ｐおよびロアディスク２１ｑが、互いに距離を隔てて複数、設けられている。アッパディスク２１ｐとロアディスク２１ｑとの間には、電磁石５３が配置されている。電磁石５３は、連続する一続きのコイル線から構成されたモノコイルとしてのコイル５７を有する。

なお、本実施の形態では、コイル５７がモノコイルである場合について説明したが、これに限定されず、部分５６ｐと部分５６ｑとのそれぞれに、別々のコイルが巻回されていても良い。

このように構成された、この発明の実施の形態２における電磁駆動弁によれば、実施の形態１に記載の効果と同様の効果を得ることができる。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

この発明の実施の形態１における電磁駆動弁を示す断面図である。 図１中のトーションバーが延びる中心軸に沿った電磁駆動弁の断面図である。 図２中の電磁駆動弁の第１の変形例を示す断面図である。 図２中の電磁駆動弁の第２の変形例を示す断面図である。 図２中の電磁駆動弁の第３の変形例を示す断面図である。 図５中のディスクのシャフト部を示す斜視図である。 この発明の実施の形態２における電磁駆動弁を模式的に示す断面図である。

符号の説明

１０ 電磁駆動弁、１４ 駆動弁、２１ ディスク、２１ｐ アッパディスク、２１ｑ ロアディスク、２３ シャフト部、２４ａ テーパ面、２５，２５ｐ，２５ｑ 中心軸、２６ 溝、３１ トーションバー、３１ｐ 固定端、３１ｑ 回転端、３３ メタルブッシュ、３３ａ，３５ａ 内周面、３５ アンギュラベアリング、３６，３８ スプリング、４８ ディスク支持台、４８ａ 表面。

Claims (6)

1. 所定の軸に沿って延びるトーションバーと、
   前記トーションバーに接続されたシャフト部を有し、前記所定の軸を中心に揺動することによりバルブを駆動する揺動部材と、
   前記シャフト部を回転自在に支持するとともに、前記所定の軸を一定の位置に保持する調芯機構とを備える、電磁駆動弁。
2. 前記揺動部材が取り付けられるベース部材をさらに備え、
   前記トーションバーの一方端は、前記ベース部材に対して固定され、前記トーションバーの他方端は、前記シャフト部を介して前記調芯機構に回転自在に支持されている、請求項１に記載の電磁駆動弁。
3. 前記シャフト部は、前記所定の軸に対して傾斜し、その軸周りで延在するテーパ面を含み、
   前記調芯機構は、前記テーパ面に対向する表面を含む支持部材と、前記シャフト部を前記所定の軸方向に付勢し、前記テーパ面を前記表面に押圧する第１の弾性部材とを有する、請求項１または２に記載の電磁駆動弁。
4. 前記シャフト部は、前記所定の軸に対して傾斜し、その軸周りで延在するテーパ面を含み、
   前記調芯機構は、前記テーパ面に対向する表面を含む支持部材と、前記支持部材を前記所定の軸方向に付勢し、前記表面を前記テーパ面に押圧する第２の弾性部材とを有する、請求項１から３のいずれか１項に記載の電磁駆動弁。
5. 前記テーパ面および前記表面の少なくともいずれか一方に、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）コーティングが施されている、請求項３または４に記載の電磁駆動弁。
6. 前記テーパ面および前記表面の少なくともいずれか一方に、前記所定の軸を中心に螺旋状に延びる溝が形成され、前記溝に流体が供給される、請求項３から５のいずれか１項に記載の電磁駆動弁。

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