JP2007271497A - 振動子及び角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各脚部の外側部分に架設されている3つの梁部131,132,133を備え、梁部131は、梁要素131aと梁要素131bから構成され、梁部132は、梁要素132aと梁要素132bから構成され、梁部133は、梁要素133aと梁要素133bから構成されているようにした。例えば、梁要素131a及び梁要素132bは、脚部123と同様に、y1軸に沿って延在し、梁要素131b及び梁要素133aは、脚部122と同様に、y3軸に沿って延在し、梁要素132a及び梁要素133bは、脚部121と同様に、y2軸に沿って延在している。
【選択図】 図1
Description
Claims (8)
- 所定の軸を中心に少なくとも3回の対称性を有する圧電材料から構成された振動子であって、
前記振動子の中央部に配置された基部と、
前記軸を法線とする平面内で前記基部より互いに120°の角度をなす3つの方向に各々延在する3対の脚部と、
前記平面内で前記脚部の間に架設されている3つの梁部と
を少なくとも備え、
前記梁部は、架設されている2つの前記脚部の延在する方向に各々延在する梁要素が、交互に連結されたものである
ことを特徴とする振動子。 - 請求項1記載の振動子において、
前記脚部は、中心脚とこの中心脚を挾むように線対称に配置された2つの側脚とから構成され、
前記梁部は、隣り合う前記側脚の間に架設されている
ことを特徴とする振動子。 - 請求項1又は2記載の振動子において、
各々の前記梁部の中央部に設けられたおもり部を備える
ことを特徴とする振動子。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の振動子において、
前記圧電材料は、水晶であり、
前記所定の軸は、水晶の光軸であり、
前記3つの方向は、水晶の機械軸の方向である
ことを特徴とする振動子。 - 所定の軸を中心に少なくとも3回の対称性を有する圧電材料よりなる振動子より構成された角速度センサであって、
前記振動子の中央部に配置された基部と、
前記軸を法線とする平面内で前記基部より互いに120°の角度をなす3つの方向に各々延在する3対の脚部と、
前記平面内で前記脚部の間に架設されている3つの梁部と、
各々の前記梁部に設けられた励振電極と、
各々の前記脚部に設けられた検出電極と
を少なくとも備え、
前記梁部は、架設されている2つの前記脚部の延在する方向に各々延在する梁要素が、交互に連結されたものである
ことを特徴とする角速度センサ。 - 請求項5記載の角速度センサにおいて、
前記脚部は、中心脚とこの中心脚を挾むように線対称に配置された2つの側脚とから構成され、
前記梁部は、隣り合う前記側脚の間に架設され、
前記検出電極は、前記中心脚に設けられている
ことを特徴とする角速度センサ。 - 請求項5又は6記載の角速度センサにおいて、
各々の前記梁部の中央部に設けられたおもり部を備える
ことを特徴とする角速度センサ。 - 請求項5〜7のいずれか1項に記載の角速度センサにおいて、
前記圧電材料は、水晶であり、
前記所定の軸は、水晶の光軸であり、
前記3つの方向は、水晶の機械軸の方向である
ことを特徴とする角速度センサ。
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