JP2007263933A - ジルコニア式酸素濃度計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定ガスと比較ガスとの酸素濃度の差に応じた起電力を発生するジルコニア式センサを有し、校正動作時には既知の酸素濃度を有する基準ガスを前記センサにおける測定ガス流路に供給して変換器出力の校正を行うジルコニア式酸素濃度計において、 前々回および前回校正時の起電力を記憶するメモリ手段と、前々回および前回校正時の起電力に応じた酸素濃度の差を算出する第1の演算手段と、前回および今回校正時の起電力に応じた酸素濃度の差を算出する第2の演算手段と、前記第1および第2の演算手段における算出結果がともに所定値を超えている場合にダストフィルタの詰まりと判断する詰まり判断手段と、を有することを特徴とするジルコニア式酸素濃度計。
【選択図】図1
Description
前々回および前回校正時の起電力を記憶するメモリ手段と、
前々回および前回校正時の起電力に応じた酸素濃度の差を算出する第1の演算手段と、
前回および今回校正時の起電力に応じた酸素濃度の差を算出する第2の演算手段と、
前記第1および第2の演算手段における算出結果がともに所定値を超えている場合にダストフィルタの詰まりと判断する詰まり判断手段と、
を有することを特徴とする。
図2は校正時の起電力の変化と詰まり判断の動作説明図である。
C1=P1―P2 ・・・(1)
C2=P2―P3 ・・・(2)
C1>0.125 ・・・(3)
C2>0.125 ・・・(4)
式(3)および式(4)の両方を満たしている場合には、詰まり判定手段24はダストフィルタの目詰まりが発生したと判定し、判定信号を出力する。
2 変換器
3 ヒータ
4 ヒータ電力線
5 温度制御信号線
6 センサ出力線
7 出力信号線
8 スパンガス
9 ゼロガス
10 制御弁
11 制御弁
12 制御弁
100 ジルコニア管
101 電極
102 電極
Claims (6)
- 測定ガスと比較ガスとの酸素濃度の差に応じた起電力を発生するジルコニア式センサを有し、校正動作時には既知の酸素濃度を有する基準ガスを前記センサにおける測定ガス流路に供給して変換器出力の校正を行うジルコニア式酸素濃度計において、
前々回および前回校正時の起電力を記憶するメモリ手段と、
前々回および前回校正時の起電力に応じた酸素濃度の差を算出する第1の演算手段と、
前回および今回校正時の起電力に応じた酸素濃度の差を算出する第2の演算手段と、
前記第1および第2の演算手段における算出結果がともに所定値を超えている場合にダストフィルタの詰まりと判断する詰まり判断手段と、
を有することを特徴とするジルコニア式酸素濃度計。 - 前記メモリ手段に記憶する起電力は、基準ガスとしてスパンガスを使用して校正したときに得られる起電力であることを特徴とする請求項1に記載のジルコニア式酸素濃度計。
- 前記判断手段は、前記ジルコニア式酸素濃度計の保証精度に応じて所定値を決定することを特徴とする請求項1または2に記載のジルコニア式酸素濃度計。
- 前記ダストフィルタの詰まりの判断は所定期間毎に行われることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のジルコニア式酸素濃度計。
- 前記判断手段の判断結果に応じて前記ダストフィルタの詰まりの警報を発する警報発生手段を具備したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のジルコニア式酸素濃度計。
- 前記判断手段の判断結果に応じて前記ダストフィルタの詰まりの警報を表示する警報表示手段を具備したことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のジルコニア式酸素濃度計。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010508523A (ja) * | 2006-10-31 | 2010-03-18 | アールアイシー・インベストメンツ・エルエルシー | 一つ以上のガス状検体の分圧の決定を較正するためのシステム及び方法 |
JP2020176844A (ja) * | 2019-04-15 | 2020-10-29 | エナジーサポート株式会社 | 酸素分析装置の校正方法 |
JP2022157547A (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-14 | 横河電機株式会社 | ジルコニア式酸素濃度計のメンテナンス方法、メンテナンスシステム、及びジルコニア式酸素濃度計 |
WO2023007665A1 (ja) * | 2021-07-29 | 2023-02-02 | 日本電信電話株式会社 | 感知器状態分類装置、感知器状態分類方法、及びプログラム |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6140936B2 (ja) * | 1978-03-27 | 1986-09-11 | Babcock Hitachi Kk | |
JPH02268264A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-01 | Junkosha Co Ltd | 漏液検知装置 |
JP2005106494A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Yokogawa Electric Corp | ジルコニア酸素計 |
JP2005172726A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Yokogawa Electric Corp | 酸素濃度計およびその校正方法 |
JP2006017695A (ja) * | 2004-05-31 | 2006-01-19 | Yokogawa Electric Corp | 校正方法およびこれを利用したジルコニア式酸素濃度計 |
-
2006
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6140936B2 (ja) * | 1978-03-27 | 1986-09-11 | Babcock Hitachi Kk | |
JPH02268264A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-01 | Junkosha Co Ltd | 漏液検知装置 |
JP2005106494A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Yokogawa Electric Corp | ジルコニア酸素計 |
JP2005172726A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Yokogawa Electric Corp | 酸素濃度計およびその校正方法 |
JP2006017695A (ja) * | 2004-05-31 | 2006-01-19 | Yokogawa Electric Corp | 校正方法およびこれを利用したジルコニア式酸素濃度計 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010508523A (ja) * | 2006-10-31 | 2010-03-18 | アールアイシー・インベストメンツ・エルエルシー | 一つ以上のガス状検体の分圧の決定を較正するためのシステム及び方法 |
JP2020176844A (ja) * | 2019-04-15 | 2020-10-29 | エナジーサポート株式会社 | 酸素分析装置の校正方法 |
JP7194633B2 (ja) | 2019-04-15 | 2022-12-22 | エナジーサポート株式会社 | 酸素分析装置の校正方法 |
JP2022157547A (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-14 | 横河電機株式会社 | ジルコニア式酸素濃度計のメンテナンス方法、メンテナンスシステム、及びジルコニア式酸素濃度計 |
JP7314969B2 (ja) | 2021-03-31 | 2023-07-26 | 横河電機株式会社 | ジルコニア式酸素濃度計のメンテナンス方法、メンテナンスシステム、及びジルコニア式酸素濃度計 |
US11995617B2 (en) | 2021-03-31 | 2024-05-28 | Yokogawa Electric Corporation | Maintenance method for zirconia-type oxygen analyzer, maintenance system, and zirconia-type oxygen analyzer |
WO2023007665A1 (ja) * | 2021-07-29 | 2023-02-02 | 日本電信電話株式会社 | 感知器状態分類装置、感知器状態分類方法、及びプログラム |
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Publication number | Publication date |
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