JP7194633B2 - 酸素分析装置の校正方法 - Google Patents
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Description
上記構成によれば、大気圧状態において校正することで、大気圧における測定値の精度が高くなる。
O2:校正した酸素濃度
CalO2:校正ガスの酸素濃度
P0:大気圧
P:測定した圧力
上記酸素分析装置の校正方法について、前記第1校正処理のみを第1期間毎に行い、前記第1期間よりも長い第2期間毎に、前記第1校正処理及び前記第2校正処理の2点校正を行うことが好ましい。
図1に示すように、測定ガス管路2に測定用の貫通孔である測定孔2Aが設けられている。測定ガス管路2は、測定ガスが流れる管路である。酸素分析装置1は、測定ガス管路2の測定孔2Aに取り付けられている。
O2=O2’×(P0/(P0+P))・・・(1)
O2:測定ガスの酸素濃度
O2’:酸素センサから出力される起電力から算出した酸素濃度
P0:大気圧
P:測定した圧力
O2:校正した酸素濃度
CalO2:校正ガスの酸素濃度
P0:大気圧
P:測定した圧力
まず、第1取付部材11の遮断弁16を閉じ、校正ガス接続管40のボールバルブ42及び校正ガス排出管60のニードル弁62を全開とする。ニードル弁62は、制御装置50により自動で開閉可能である。
続いて、制御装置50の圧力指示値を確認しながらニードル弁62を閉じる。
続いて、第2校正処理後、校正ガス接続管40のボールバルブ42及び校正ガス排出管60のニードル弁62を全閉し、第1取付部材11の遮断弁16を全開して校正を終了する。
図11に示すように、圧力検出器30の経時変化は測定範囲で全体的にシフトする傾向にある。図12は、圧力検出器30の測定値が0~±0.5%FSまでずれた状態における測定ガスの圧力に対する測定酸素濃度(指示値)を示している。圧力のずれが大きいほど指示値は15%O2から離れる。また圧力が低いほど指示値のずれが大きくなっている。
図15は、0kPaGと300kPaGとにおいて2点校正を行った場合の図である。校正された酸素濃度の測定値は、圧力が0kPaGと圧力が300kPaGとを変曲点とするグラフとなり、誤差±0.1%O2に収まっている。
(1)第1圧力状態で行う第1校正処理と第2圧力状態で行う第2校正処理との2点で校正を行うことで、圧力検出器30の特性も含めて校正を行うことができ、経時変化による測定値のずれを補正することができる。
(3)酸素濃度と圧力との積から求められる酸素分圧によって校正することで、圧力検出器30の特性も含めて校正を行うことができる。
(5)測定ガス管路2の測定ガスに含まれる粉塵等から酸素センサ20や圧力検出器30を保護することができる。
・上記実施形態では、第1校正処理において大気圧における校正を行ったが、大気圧に限らず、第2圧力よりも低い圧力において校正を行ってもよい。例えば、圧力が200kPaGと400kPaGとの間で使用するときには、大気圧ではなく、200kPaGで行えば、より精度の高い校正を行うことができる。
・上記実施形態において、接続路10の構造は上記に限らず、測定ガス管路2の測定孔2Aに取り付けられるとともに、酸素センサ20及び圧力検出器30及び校正ガス接続管40が取り付けられる構造であればよい。
Claims (5)
- 酸素イオン伝導性の固体電解質層に一対の電極を設けて、その一方の電極は保護層を介した測定ガスに接触する測定電極であって、他方の電極は基準ガスが接触する基準電極であって、前記測定電極と前記基準電極との酸素分圧に応じて発生する両電極間の起電力を検出して酸素濃度に応じた電気信号を出力する酸素センサであって、測定ガス管路に接続される前記酸素センサと、
前記酸素センサと前記測定ガス管路との接続路に設けられる接続口に取り付けられて前記接続路の圧力を検出する圧力検出器と、を備え、
前記接続路に校正ガスの流入口を設け、前記接続路に校正ガスが供給される酸素分析装置の校正方法であって、
前記校正ガスを供給して第1圧力状態で校正を行う第1校正処理と、前記校正ガスを供給して前記第1圧力よりも高い第2圧力状態で校正を行う第2校正処理と、を備え、
前記第1校正処理及び前記第2校正処理は、前記圧力検出器が検出した圧力と前記酸素センサが検出した酸素濃度とを利用して校正する
酸素分析装置の校正方法。 - 前記第1圧力状態を大気圧状態とする
請求項1に記載の酸素分析装置の校正方法。 - 前記第1校正処理で測定した酸素濃度及び圧力と、前記第2校正処理で測定した酸素濃度及び圧力とを式(1)の校正ガスの酸素濃度[CalO2]及び測定した圧力[P]にそれぞれ適用して校正する
O2=CalO2×((P0+P)/P0)…(1)
O2:校正した酸素濃度
CalO2:校正ガスの酸素濃度
P0:大気圧
P:測定した圧力
請求項1又は2に記載の酸素分析装置の校正方法。 - 前記第1校正処理のみを第1期間毎に行い、
前記第1期間よりも長い第2期間毎に、前記第1校正処理及び前記第2校正処理の2点校正を行う
請求項1~3のいずれか一項に記載の酸素分析装置の校正方法。 - 酸素分析装置は、前記接続路にフィルタが設置され、前記測定ガスが前記フィルタを通過して、前記酸素センサ及び前記圧力検出器の接続口に導かれる
請求項1~4のいずれか一項に記載の酸素分析装置の校正方法。
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