JP2007263740A - 静電容量式センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁層20に貫通孔24を設けて半導体層2のグラウンド電極9の表面の一部を露出させ、当該電極9の表面、貫通孔24の内周面24b、および絶縁層20の表面20aにかけて電気的に接続される導体層23を形成することにより、当該電極9の電位を絶縁層20の表面20aの導体層23から取り出すように構成し、グラウンド電極9に対して貫通孔24(GおよびH)を複数設けるとともに、各貫通孔24について導体層23を形成し、それら導体層23,23を絶縁層20の表面20a上では分離形成した。
【選択図】図4
Description
2 半導体層
5 可動電極
6 固定電極
8 検出部
9 グラウンド電極
10a 間隙
20 絶縁層
20a 表面
23 導体層
24 貫通孔
24b 内周面
Claims (3)
- 半導体層に形成された固定電極と可動電極とを備えるとともに、当該固定電極の一部と可動電極の一部とを間隙をもって相互に対向配置させて当該間隙の大きさに応じた静電容量を検出する検出部が構成され、半導体層の表裏面のうち少なくともいずれか一方に絶縁層が接合されてなる静電容量式センサにおいて、
前記絶縁層に貫通孔を設けて半導体層の電極の表面の一部を露出させ、当該電極の表面、貫通孔の内周面、および絶縁層の表面にかけて電気的に接続される導体層を形成することにより、当該電極の電位を絶縁層の表面の導体層から取り出すように構成し、
前記半導体層の一つの前記電極に対して前記貫通孔を複数設けるとともに、各貫通孔について前記導体層を形成し、それら貫通孔に対応する導体層を絶縁層の表面上では分離形成したことを特徴とする静電容量式センサ。 - 一つの前記電極に対して設けられた複数の前記貫通孔を、平面視で絶縁層の中心に対して対称に配置したことを特徴とする請求項1に記載の静電容量式センサ。
- 前記半導体層の周縁部にグラウンド電極を設け、当該グラウンド電極に対して前記貫通孔を複数設け、各貫通孔に前記導体層を形成し、それら貫通孔に対応する導体層を絶縁層の表面上では分離形成したことを特徴とする請求項1または2に記載の静電容量式センサ。
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JP2006089115A JP2007263740A (ja) | 2006-03-28 | 2006-03-28 | 静電容量式センサ |
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JP2006089115A JP2007263740A (ja) | 2006-03-28 | 2006-03-28 | 静電容量式センサ |
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-
2006
- 2006-03-28 JP JP2006089115A patent/JP2007263740A/ja active Pending
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