JP2007257950A - カーボンナノチューブの固着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 CNT集合体を配置した基板に、エネルギー10keV以上20keV以下で単位面積当たりの全照射電荷量0.1mC/mm2以上50mC/mm2以下の低エネルギー電子線を照射して、CNT間及びCNTと基板とを固着させる。
【選択図】 図1
Description
11 CNT膜基板を用いた電子放出用カソード
20 真空チャンバー
21 電子加速用電源
22 CNT膜基板ホルダー(アノード)
Claims (2)
- 基板上に配置された電子放出特性を持つ複数のカーボンナノチューブからなる炭素膜に、エネルギー10keV以上20keV以下で単位面積当たりの全照射電荷量0.1mC/mm2以上50mC/mm2以下の電子線を照射することを特徴とする、カーボンナノチューブの固着方法
- 電子放出源にカーボンナノチューブを含む炭素膜カソードを用いることを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブの固着方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007257950A true JP2007257950A (ja) | 2007-10-04 |
JP4844722B2 JP4844722B2 (ja) | 2011-12-28 |
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JP (1) | JP4844722B2 (ja) |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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