JP2007257734A - サスペンション、これを用いたヘッドジンバルアセンブリ及びディスクドライブ - Google Patents

Abstract

【課題】タング部の低ピッチ・ロール剛性を実現しつつ、フレキシャの長手方向における剛性の向上を図ることにより、データ記録再生の信頼性の向上を図ること。
【解決手段】先端側に延びる分岐された２本のアウトリガー部と、各アウトリガー部に挟まれて位置し当該アウトリガー部の先端側に連結された磁気ヘッドスライダを搭載するためのタング部と、を有するフレキシャと、このフレキシャ上に形成されたトレース配線と、を備えたサスペンションであって、トレース配線に形成された屈曲部の少なくとも一部が、タング部に対して固着された固着部を設けた。
【選択図】図３

Description

本発明は、サスペンションにかかり、特に、磁気ヘッドスライダを搭載するサスペンションに関する。また、このサスペンションを用いたヘッドジンバルアセンブリ及びディスクドライブに関する。

情報記憶装置であるハードディスクドライブは、記憶媒体である磁気ディスクに対してデータの記録再生を行う磁気ヘッドスライダを装着したヘッドジンバルアセンブリを搭載している。従来例におけるヘッドジンバルアセンブリ１００の一例を、図２１に示す。

ヘッドジンバルアッセンブリ１００は、磁気ヘッドスライダ１０１と、この磁気ヘッドスライダ１０１を先端部に装着するばね性を有するフレキシャ１０３と、このフレキシャ１０３上に形成され磁気ヘッドスライダ１０１に対する信号の伝達を行うＦＰＣ１０４（フレキシブルプリント回路）と、上記フレキシャ１０３を支持するロードビーム１０５と、を備えている。そして、このロードビーム１０５が、図示しないベースプレートを介してヘッドアームに装着される。さらに、複数のヘッドジンバルアッセンブリ１００が、各ヘッドアームを介してキャリッジにて積層固定され、ボイスコイルモータにて回転駆動されるよう軸支されることで、ヘッドスタックアセンブリ（図示せず）が構成される。

そして、ヘッドジンバルアセンブリ１００は、ボイスコイルモータによって回転駆動されることで、その先端部に装着された磁気ヘッドスライダ１０１の位置決めを行う。しかし、近年では、磁気ディスクの高記録密度化により、かかる制御では磁気ヘッドの位置決め精度が不十分である。

そこで、さらに微小位置決めを行うために、磁気ヘッドスライダ１０１を微小駆動するマイクロアクチュエータ１０２が搭載されている。このマイクロアクチュエータ１０２は、フレキシャ１０３のタング部１３３に装着されており、磁気ヘッドスライダ１０１を挟んで保持する２本のアームを備え、略コ字状に形成されている。そして、２本のアームが左右に湾曲することで、磁気ヘッドスライダ１０１の先端部分を遥動させ、当該先端部分に搭載されている記録再生素子部の微小位置決め制御を行うことが可能となる。なお、２本のアームは、当該アームの側面に装備されたＰＺＴが伸縮駆動されることによって、湾曲変形される。

なお、図２２，図２３に示すように、フレキシャ１０３は、ジンバル構造のタング部１３３を形成するフレキシャ本体部１３１と、磁気ヘッドスライダ１０１の記録再生素子側端子に接続されるフレキシャ側端子を形成する分離部１３２と、により構成されている。そして、これらは、図２２，２３に示すように、ＦＰＣ１０４によって一体的に連結して構成されている。そして、フレキシャ本体部１３１は、具体的には、先端側（分離部１３２に近接した箇所）に延びる２股に分岐された２本のアウトリガー部１３２が形成されており、この２本のアウトリガー部１３２は、それぞれ先端付近で内側にＵターンして曲折され、連結部１３３ａを形成している。そして、その先に、２本のアウトリガー部１３２に挟まれた略長方形のタング部１３３が連結されている。

そして、フレキシャ１０３上には、マイクロアクチュエータ１０２のアーム、つまり、ＰＺＴを駆動するための電圧を印加するトレース配線１０４が備えられているが、図２２に示すように、アウトリガー部１３２と同様に、２股に分岐され、当該アウトリガー部１３２に沿って形成されている。さらに、分岐されている各トレース配線１０４は、さらに、２経路に分かれて形成されており、１経路は磁気ヘッドスライダ１０１の記録再生素子側端子に接続されるべくフレキシャ１０３の分離部１３２にまで延び（符号１４１）、もう１経路は、マイクロアクチュエータ１０２のアームの根元付近に形成されたアクチュエータ側端子に向かって延びる（符号１４２）。そして、このマイクロアクチュエータ用のトレース配線１４２は、アウトリガー部１３２と同様に、フレキシャ本体部１３１の先端付近でＵターンして曲折し、タング部１３３の後端側に向かって延び、当該タング部１３３の後端付近で接続される。あるいは、マイクロアクチュエータ用のトレース配線１４２は、特許文献１に示すように、先端側を経由することなく、マイクロアクチュエータ用の接続端子に直接延びて形成されている。

一方で、近年のハードディスクドライブの大容量化に伴い、さらなる磁気ディスクの高記録密度化が進んでいる。これに対応すべく、上述した従来例では、ピコスライダと呼ばれるサイズの磁気ヘッドスライダが利用されていたが、さらに小型のフェムトスライダと呼ばれるサイズの磁気ヘッドスライダが利用されている。あるいは、ピコスライダとフェムトスライダとの中間に位置するサイズのペムトスライダと呼ばれるものの利用されている。そして、このような小型の磁気ヘッドスライダが搭載されるフレキシャ１０３のタング部１３３には、低ピッチ・低ロール剛性が求められている。これは、フレキシャ１０３の板厚を薄くし、かつ、上述したアウトリガー部１３２とタング部１３３との連結部１３３ａを細く設計することにより実現可能である。

特開２００２−７４８７０号公報

しかしながら、上述したように、フレキシャ１０３の板厚を薄く形成するなどすることで、タング部１３３のピッチ・ロール剛性を低下させると、逆に、フレキシャ１０３の長手方向（図２３の矢印１００参照）の剛性（以下、「インライン剛性」と呼ぶ）が低下する、という問題が生じる。すると、磁気ヘッドスライダを磁気ディスク上に載置された状態から、当該磁気ディスクの回転に伴って浮上させる方式のＣＳＳドライブに使用すると、タング部に搭載された磁気ヘッドスライダが磁気ディスクの回転に伴って引張られて当該磁気ディスクに吸着してしまい、迅速かつ適切な浮上を実現することができない、という問題が生じる。

すると、ディスクドライブの迅速な起動が行われず、さらには、磁気ディスクに対する正確な記録再生を実現できないような事態も生じる可能性があり、ディスクドライブの信頼性が低下しうる。

このため、本発明では、上記従来例の有する不都合を改善し、特に、タング部の低ピッチ・ロール剛性を実現しつつ、フレキシャの長手方向における剛性の向上を図ることにより、データ記録再生の信頼性の向上を図る、ことをその目的とする。

そこで、本発明の一形態であるサスペンションは、
先端側に延びる分岐された２本のアウトリガー部と、各アウトリガー部に挟まれて位置し当該アウトリガー部の先端側に連結された磁気ヘッドスライダを搭載するためのタング部と、を有するフレキシャと、
このフレキシャ上に形成されたトレース配線と、
を備えたサスペンションであって、
トレース配線に形成された屈曲部の少なくとも一部が、タング部に対して固着された固着部を設けた、
ことを特徴としている。

上記発明によると、タング部に対して、トレース配線の強度が高い屈曲部の少なくとも一部が固着されるため、低ピッチ・ロール剛性を実現すべく形成したタング部の長手方向の剛性（インライン剛性）がトレース配線によって補強される。従って、タング部の低ピッチ・ロール剛性を実現しつつ、インライン剛性の向上を図ることができる。

そして、固着部の位置や面積を、タング部のピッチ剛性及びロール剛性が所定の値よりも低くなるよう設定すると望ましく、また、サスペンションの長手方向に沿った剛性が所定の値よりも大きくなるよう設定すると望ましい。さらに、固着部は、アウトリガー部とタング部との連結箇所に位置しない、ことが望ましい。特に、アウトリガーとタング部との連結箇所から固着部までの距離をｄ１とし、連結箇所からのタング部自体の長さをｄ２とした場合に、固着部の位置を、０＜ｄ１／ｄ２＜０．２５を満たすよう設定するとより望ましい。

このように、タング部に搭載される磁気ヘッドスライダなどの構成部品やサスペンションの形状、さらには、最終的なディスクドライブの特性に応じて、要求されるピッチ剛性・ロール剛性、インライン剛性を満たすよう、固着部の位置や固着面積を設定することで、所望のサスペンション特性を実現することができる。そして、固着部の位置を、タング部のピッチ・ロール可動を実現するバネ性を有する連結箇所に位置させないよう設計することで、当該連結箇所のバネ性を確保することができ、低ピッチ・ロール剛性を維持しつつ、インライン剛性の向上を図ることができる。特に、上述した範囲に設定すると、より好適な低ピッチ・ロール剛性と高インライン剛性を実現できる。

また、トレース配線は、固着部近傍に位置するアウトリガー部に固着されている、ことを特徴としている。これにより、固着部付近におけるトレース配線の剛性が増し、タング部のインライン剛性のさらなる向上を図ることができる。

また、固着部は、各アウトリガー部に対向するタング部の各側部にそれぞれ位置する、ことを特徴としている。これにより、固着部を、タング部に対して磁気ヘッドスライダやマイクロアクチュエータが搭載される箇所に設ける必要が無く、サスペンションの設計が容易となる。

また、タング部に固着されるトレース配線は、タング部に装着される磁気ヘッドスライダを微小駆動するマイクロアクチュエータに接続されるトレース配線である、ことを特徴としている。このとき、固着部を形成するトレース配線の屈曲部は、タング部に位置するマイクロアクチュエータ用の接続パッド部に向かって折り返して屈曲する部分である、ことを特徴としている。

これにより、タング部に装着されるマイクロアクチュエータへのトレース配線を利用して、効果的にインライン剛性を高めることができ、設計の容易化を図ることができる。また、タング部を、マイクロアクチュエータ用の接続パッドと共に固着部で補強することができるため、さらなるインライン剛性の向上を図ることができる。

また、本発明では、上述したサスペンションと、このサスペンションを構成するフレキシャのタング部に搭載された磁気ヘッドスライダと、フレキシャを支持するロードビームと、を備えたヘッドジンバルアセンブリを提供している。そして、上記構成に加え、タング部に搭載され磁気ヘッドスライダを微小駆動するマイクロアクチュエータを搭載したヘッドジンバルアセンブリをも提供している。さらに、本発明では、上記ヘッドジンバルアセンブリを備えたディスクドライブをも提供している。これにより、データ記録再生の信頼性の高いディスクドライブを実現することができる。

また、本発明の他の形態であるサスペンションの製造方法は、
先端側に延びる分岐された２本のアウトリガー部と、各アウトリガー部に挟まれて位置し当該アウトリガー部の先端側に連結された磁気ヘッドスライダを搭載するためのタング部と、を有するフレキシャ上に、トレース配線を形成して、サスペンションを製造する方法であって、
トレース配線形成時に、当該トレース配線に形成される屈曲部分の少なくとも一部をタング部に固着させる、
ことを特徴としている。

上記方法により製造されたサスペンションであっても、上述同様の作用を有するため、低ピッチ・ロール剛性を維持しつつ、インライン剛性の向上を図ることができる。

本発明は、以上のように構成され機能するので、これによると、タング部に対して、トレース配線の強度が高い屈曲部の少なくとも一部が固着されるため、低ピッチ・ロール剛性を実現すべく形成したタング部の長手方向の剛性（インライン剛性）がトレース配線によって増大される。従って、タング部の低ピッチ・ロール剛性を実現しつつ、サスペンションのインライン剛性の向上を図ることができる、という従来にない優れた効果を有する。

本発明は、フレキシャの長手方向の剛性の向上を図ることを目的とし、フレキシャのタング部に、トレース配線の屈曲部を固着させることに特徴を有する。以下、実施例にて、具体的な構成について説明する。なお、以下の各実施例では、フレキシャとトレース配線との「固着」の一形態として、「接着」を例に挙げて説明するが、接着剤を用いるような接着状態に限定されず、フレキシャとトレース配線とがくっついている状態を全て含むこととする。

本発明の第１の実施例を、図１乃至図５を参照して説明する。図１乃至図２は、本実施例におけるヘッドジンバルアセンブリの構成を示す図であり、図３乃至図４は、フレキシャとトレース配線との構成を示す拡大図である。図５は、本実施例におけるフレキシャの特性を表すデータである。

［構成］
本実施例におけるディスクドライブに搭載されるヘッドジンバルアセンブリ１０の構成の一例を、図１乃至図２に示す。図１は、側面図を示し、図２は、図１を下方（磁気ディスク対向面）から見た正面図である。

図１、図２に示すように、ヘッドジンバルアセンブリ１０は、磁気ヘッドスライダ１と、この磁気ヘッドスライダ１を微小駆動するようアームにて挟持したマイクロアクチュエータ２と、磁気ヘッドスライダ１及びマイクロアクチュエータ２を先端部に装着するばね性を有するフレキシャ３と、このフレキシャ３上に形成され磁気ヘッドスライダ１に対する信号の伝達を行うトレース配線４（ＦＰＣ（フレキシブルプリント回路））と、上記フレキシャ３を支持するロードビーム５と、を備えている。そして、このロードビーム５が、図示しないベースプレートを介してヘッドアームに装着され、ヘッドアームを介してキャリッジにて積層固定される。かかる状態で、ボイスコイルモータにて回転駆動されるよう軸支される。なお、本発明では、少なくともフレキシャ３とトレース配線４とを備えた構成をサスペンションと呼ぶこととする。

そして、図２及び図３の拡大図に示すように、フレキシャ３は、ベースプレート５に固定されるフレキシャ本体部３１と、このフレキシャ本体部３１から分離して形成され先端側に位置する分離部３５と、により構成されている。具体的に、フレキシャ本体部３１には、まず、先端側（分離部３５に近接した箇所）に延びる２股に分岐された２本のアウトリガー部３２が形成されており、この２本のアウトリガー部３２はそれぞれ先端付近で内側にＵターンして曲折されている。そして、その曲折された部分の先には、２本のアウトリガー部３２に挟まれた略長方形のタング部３３が連結されている。従って、アウトリガー部３２の先端側の曲折部分は、タング部３３と連結された連結部３３ａを構成している。この連結部３３ａによってタング部３３がばね性を有することとなり、さらに、フレキシャ３の板厚を薄く形成することで、低ピッチ・ロール剛性を実現できる。また、分離部３５は、フレキシャ本体部３１のさらに先端側に離間して配置され、後述するようにタング部３３に搭載される磁気ヘッドスライダ１の記録再生素子側端子に接続されるフレキシャ側端子を有する。そして、フレキシャ本体部３１と、分離部３５とは、トレース配線４によって一体的に連結される。なお、トレース配線４とフレキシャ３とは、トレース配線の絶縁層であるポリイミド層の粘着性によって固着されている。なお、別途、接着剤などを用いて固着されていてもよい。

そして、上記フレキシャ３のタング部３３には、磁気ヘッドスライダ１を微小駆動するマイクロアクチュエータ２と、このマイクロアクチュエータ２に保持される磁気ヘッドスライダ１と、が搭載されている。マイクロアクチュエータ２は、磁気ヘッドスライダ１を挟んで保持する２本のアームを備え、略コ字状に形成されている。そして、２本のアームが左右に湾曲することで、磁気ヘッドスライダ１の先端部分を遥動させ、当該先端部分に搭載されている記録再生素子部の微小位置決め制御を行うことが可能となる。なお、２本のアームは、当該アームの側面に装備されたＰＺＴが伸縮駆動されることによって、湾曲変形される。そして、ＰＺＴに駆動電圧を印加するためのＰＺＴ側端子は、アームの根元側、つまり、載置されるタング部３３の後端側に位置してＰＺＴの側面に形成されている。

そして、上述した磁気ヘッドスライダ１の記録再生素子側端子と、マイクロアクチュエータ２のＰＺＴ側端子と、に接続されるよう、トレース配線４が形成されている。具体的に、トレース配線４は、アウトリガー部３２と同様に２股に分かれており、各アウトリガー部３２のさらに外側に配置されている。そして、分岐されている各トレース配線４は、さらに、２経路に分かれて形成されており、１経路（符号４１）は磁気ヘッドスライダ１の記録再生素子側端子に接続されるべくフレキシャ３の分離部３５にまで延びて形成されている（記録再生素子用トレース４１）。もう一経路（符号４２）は、マイクロアクチュエータ２のアームの根元付近に形成されたＰＺＴ側端子に向かって延びるよう、アウトリガー部３２と同様に、フレキシャ本体部３１の先端付近で折り返して屈曲し、タング部３３の後端側に向かって延びて形成されている（アクチュエータ用トレース４２）。

ここで、アクチュエータ用トレース４２についてさらに詳述する。アクチュエータ用トレース４２は、フレキシャ３のアウトリガー部３２に沿って、そのさらに外周を先端側に向かって延び、上述したアウトリガー部３２とタング部３３との連結部３３ａよりも手前、つまり、連結部３３ａの後端側でＵターンするよう屈曲され、屈曲部４２ａを形成している。そして、この屈曲部４２ａは、略コ字状に形成されているが、その一部がタング部３３のアウトリガー部３３と対向する側部上に接着された状態となる。具体的には、アクチュエータ用トレース４２が、最下層のポリイミドの粘着力によってタング部３３に固着された状態になっている。なお、図４では、かかる固着部分を接着部Ａ（固着部）として図示する。そして、さらに後端側に向かって延びるアクチュエータ用トレース４２は、一旦、タング部３３上から離れるが、タング部３３の後端部にて、マイクロアクチュエータ２のＰＺＴ側端子に接続されるフレキシャ本体側端子を形成し、タング部３３と接着（固着）されている。なお、図４では、このフレキシャ本体側端子を符号Ｂに示す。

本実施例では、上記説明した図４に示すように、タング部３３に対して、アクチュエータ用トレース４２が接着部Ａ及びフレキシャ本体側端子Ｂの２箇所で接着されていることとなる。特に、接着部Ａでは、屈曲されていることによってトレース配線４２の強度が高くなっている屈曲部４２ａが接着されているため、低ピッチ・ロール剛性を実現すべくフレキシャ２の板厚を薄く形成した場合であっても、タング部３３の強度がアクチュエータ用トレース４２にて補強された状態になる。このため、フレキシャ３自身の長手方向におけるインライン剛性の向上を図ることができる。

そして、特に、接着部Ａを、タング部３３のバネ性を実現する連結部３３ａに形成しないことにより、当該連結部３３ａの柔軟性を維持でき、必要とされる低ピッチ・ロール剛性が妨げられることを防止することができ、タング部３３の低ピッチ・ロール剛性も実現できる。

また、図４に示すように、アクチュエータ用トレース４２は、接着部Ａの近傍に位置する部分がアウトリガー部３２を横切るよう形成され、かかる部分がアウトリガー部３２に接着されている。従って、接着部Ａ付近のアクチュエータ用トレース４２の剛性が増加しているため、上述したフレキシャ３のインライン剛性のさらなる向上を図ることができる。

さらに、上述したように、マイクロアクチュエータ２に接続されるアクチュエータ用トレース４２を利用しており、つまり、先端部側に位置する折り返し部分である屈曲部４２ａを利用してインライン剛性の向上を実現していることで、従来の形状を大幅に変更することがなく、設計が容易となる。そして、接着部Ａをタング部３３のアウトリガー部３２に対向する側部に形成したため、磁気ヘッドスライダやマイクロアクチュエータが搭載される箇所に接着部Ａを設ける必要が無く、この点においてもサスペンションの設計が容易である。

ここで、図５に、上述した本実施例のサスペンション（フレキシャ３及びトレース配線４）と、図２２，２３に示した従来例におけるサスペンション（フレキシャ１０３及びＦＰＣ１０４）との特性を、シミュレーションにて計測した結果を示す。従来例におけるフレキシャ１０３のタング部１３３には、図２３に示すように、符号ｂのところではトレース配線（ＦＰＣ１０４）がフレキシャ本体側端子を形成してタング部１３３に接続されているものの、符号ａのところでは、タング部１３３に接続されていない。すると、図５に示すように、フレキシャ３，１０３の板厚（ＳＳＴ）や、トレース配線４，１０４の厚さ（Insulator(Base PI), Conductor(Cu), Cover PI）は、それぞれ同一であるものの、本実施例におけるサスペンションでは、図４の矢印Ｙ１に示すフレキシャ３の長手方向におけるインライン剛性（Inline）が増加していることがわかる。このとき、タング部３３のピッチ、ロール剛性（Roll(TE/LE), Pitch(TE/LE)）は、従来例と同様に、低いまま維持することができる。このように、シミュレーション結果からも、本発明では、低ピッチ・ロール剛性を確保しつつ、インライン剛性の向上を実現できることが明らかである。

そして、本実施例では、さらに、上述した接着部Ａとフレキシャ本体側端子Ｂとにより、タング部３３の先端側と後端側とがマイクロアクチュエータ用トレース４２により接着され補強されている状態であるため、簡易な構成にて効果的にインライン剛性の向上を図ることができる。

ここで、サスペンションの構成として、主に３タイプがある。（１）フレキシャ３となるステンレスに、トレース配線４となるポリイミド及び銅を張り合わせ、エッチングにて形成するタイプ（ＴＳＡ（Trace suspension assembly））、（２）トレース材料をフレキシャ３上の必要な箇所に塗布形成して、パターン形成するタイプ（ＣＩＳ（Circuit integrated suspension））、（３）トレース配線４となるＦＰＣをフレキシャ３に接着剤で貼り付けるタイプ（ＦＳＡ（FPC suspension assembly））。そして、本発明では、上記（１）ＴＳＡと（２）ＣＩＳのように、フレキシャ３とトレース配線４とが接着剤を用いずに固着されている場合ももちろん含んでいる。また、他の方法により製造されるサスペンションも含む。

次に、上述した構成のサスペンション３，４において、接着部Ａ（フレキシャ３とトレース配線４との固着部分）の位置、及び、面積を変化させ、その適正値を調べるために行ったシミュレーション結果について説明する。

まず、はじめに、図６乃至図９を参照して説明する。図６及び図７には、接着部Ａにおけるトレース配線４（アクチュエータ用トレース４２）とタング部３３との接着面積を変えて設計した異なる形状のサスペンション３，４を示す。なお、便宜上、図６に示す構成をモデル１とし、図７に示す構成をモデル３とし、各図（ａ）には平面図を、各図（ｂ）には接着部Ａの周辺部分αの拡大図を示す。なお、この他にも、形状の異なるモデル２，４を用意し、シミュレーションを行ったが、その他のモデル２，４についての図示は省略する。

そして、図６、図７、及び、図８の表に示すように、本発明における各モデルは、アウトリガー部３２とタング部３３との連結部３３ａからのタング部３３自体の長さｄ２が同じであり、また、連結部３３ａからアクチュエータ用トレース４２の屈曲部４２ａの接着部分までの長さｄ１もほぼ同じに形成されている。そして、アクチュエータ用トレース４２とアウトリガー部３２との接着面積を符号Ａ１にて示し、アクチュエータ用トレース４２とタング部３３との接着面積を符号Ａ２にて示すこととすると、各モデルにてアウトリガー部３２との接着面積Ａ１は同じであるが、タング部３３との接着面積Ａ２は異なって形成されている。つまり、図８に示すように、モデル１，２，４，３の順に、接着部Ａの面積Ａ２が広くなるよう形成されている。一方、従来例のモデルは、接着部Ａが形成されていないため、面積Ａ２は０である。

そして、上記各モデルにおけるタング部３３のピッチ、ロール剛性（Roll(TE/LE), Pitch(TE/LE)）や、フレキシャ３の長手方向におけるインライン剛性（Inline）をシミュレーションにて計測した結果を、図８の表、及び、図９のグラフに示す。ここで、図９では、ピッチ剛性を線図Ｌ１に、ロール剛性を線図Ｌ２に、インライン剛性を線図Ｌ３に表す。

図８、図９に示すように、接着部Ａの面積Ａ２を変化させた場合には、当該接着面積Ａ２が大きくなるほどピッチ・ロール剛性、及び、インライン剛性が上昇することがわかる。ここで、低剛性が要求されるピッチ・ロール剛性は、上昇率が低く、また、いずれの場合もピコスライダにて有効な１．０［μＮｍ／ｄｅｇ］以下であることから、いずれの場合も許容される値である。従って、接着面積Ａ２を広く設定すると低ピッチ・ロール剛性が損なわれるおそれがあるが、その影響は低いため、所望のインライン剛性が得られるよう接着面積Ａ２を設定すればよい。

例えば、アクチュエータ用トレース４２の屈曲部４２ａにおける屈曲度合を変更したり、タング部３３の形状を変更するなどして、接触部Ａにおける接触面積Ａ２を増減させる。これにより、インライン剛性を調整することができる。あるいは、接触部Ａ付近のアクチュエータ用トレース４２のポリイミド層の幅を変更することで、同様に接着面積Ａ２を調整することができる。

次に、図１０乃至図１３を参照して説明する。図１０（ａ），（ｂ）、図１１（ａ），（ｂ）に、それぞれ接着部Ａの位置を変化させた４つの異なる形状のサスペンション３，４のモデルを示す。なお、図１０（ａ）をモデル１１、図１０（ｂ）をモデル１２、図１１（ａ）をモデル１３、図１１（ｂ）をモデル１４とし、各モデルは、連結部３３ａからアクチュエータ用トレース４２の屈曲部４２ａまでの距離ｄ１（図６等参照）が、順に大きくなるよう形成されている。ここで、上記距離ｄ１は、図６，７に示すよう、図の右側を正（プラス）としており、モデル１１では、連結部３３ａに接着部Ａがかかっているため、負（マイナス）の値となっている。

そして、さらに、この他にも接着部Ａの位置（距離ｄ１）が異なるモデル１５，１６（図示せず）を用意し、それぞれのタング部３３のピッチ、ロール剛性（Roll(TE/LE), Pitch(TE/LE)）や、フレキシャ３の長手方向におけるインライン剛性（Inline）を計測した結果を、図１２の表、及び、図１３のグラフに示す。ここで、図１３では、ピッチ剛性を線図Ｌ１１に、ロール剛性を線図Ｌ１２に、インライン剛性を線図Ｌ１３に表す。

この図に示すように、連結部３３ａに対する接着部Ａの位置（距離ｄ１）を変化させた場合には、当該距離ｄ１が大きくなるほど、ピッチ剛性、ロール剛性、さらには、インライン剛性も上昇しうる。このとき、ピッチ剛性、ロール剛性の上昇率が高いため、低ピッチ・ロール剛性に抑えつつ、適切な大きさのインライン剛性を得る必要がある。例えば、ピッチ・ロール剛性をピコスライダにて有効な１．０［μＮｍ／ｄｅｇ］以下に設定することを考慮すると、モデル１５の場合の距離ｄ１が最大値となる。このときの距離ｄ１の条件を、タング部３３の長さｄ２に対する割合で考えると、０＜ｄ１／ｄ２＜０．２５を満たせばよいことがわかる。なお、０より大きいことを条件としたのは、上述したように、接着部Ａは、アウトリガー部３２とタング部３３との連結部３３ａには形成されないことが望ましいためである。

さらに、図１４乃至図１７を参照して説明する。図１４（ａ），（ｂ），（ｃ）に、それぞれ接着部Ａの位置（距離ｄ１）と面積Ａ１を変化させた３つの異なる形状のサスペンション３，４の平面図を示す。なお、図１４（ａ）をモデル２１、図１４（ｂ）をモデル２２、図１４（ｃ）をモデル２３とし、それぞれが図１４及び図１５の表に示すよう、接着部Ａの距離ｄ１と面積Ａ２に設定され形成されている。そして、それぞれのタング部３３のピッチ、ロール剛性（Roll(TE/LE), Pitch(TE/LE)）や、フレキシャ３の長手方向におけるインライン剛性（Inline）を計測した結果を、図１５の表、及び、図１６、図１７のグラフに示す。ここで、図１６では、横軸に接着部Ａの距離ｄ１を取り、ピッチ剛性を線図Ｌ３１に、ロール剛性を線図Ｌ３２に、インライン剛性を線図Ｌ３３に表す。また、図１７では、横軸に接着部Ａの接着面積（実際には面積比Ａ２／Ａ１）を取り、ピッチ剛性を線図Ｌ４１に、ロール剛性を線図Ｌ４２に、インライン剛性を線図Ｌ４３に表す。

これらの図に示すように、接着部Ａの連結部３３ａからの距離ｄ１及び接着面積Ａ２（図６，７等を参照）を変化させた場合には、いずれも上記図１３に示した接着部Ａの距離ｄ１を変化させたときの線図に類似する線図となる。つまり、図１６と図１７では、いずれも左からモデル３１，３２，３３の順にプロットしているが、いずれも図１３と同じ変化となる。このことから、接着面積Ａを変化させる影響はあまりないことがわかる。

以上のシミュレーション結果から、上述したように、例えば、ピッチ・ロール剛性を１．０［μＮｍ／ｄｅｇ］以下に設定することを考慮すると、タング部３３の長さｄ２に対する接着部Ａの距離ｄ１の割合を、０＜ｄ１／ｄ２＜０．２５に設定すると望ましいことがわかる。

次に、本発明の第３の実施例を、図１８乃至図１９を参照して説明する。上述した実施例では、ヘッドジンバルアセンブリにマイクロアクチュエータが搭載され、このマイクロアクチュエータに接続されるアクチュエータ用トレース４２をタング部３３に接着させる場合を説明したが、本実施例では、磁気ヘッドスライダ（図示せず）の端面に形成されている記録再生素子側端子に接続されるトレース配線４が、タング部３３に接着（固着）されている。

その一例を図１８に示す。この図においては、フレキシャ３の後端側から、先端側に位置する記録再生素子側端子に向かってアウトリガー部３２上を延びるトレース配線４が、先端の手前で内側に屈曲しており、かかる屈曲部４２ａの一部がタング部３３の側部に接着（固着）されている。そして、このトレース配線４は、さらに先端側に向かって延び、連結部３３ａの手前でタング部３３に向かって曲折され、磁気ヘッドスライダの記録再生素子側端子が位置する箇所に接着され、フレキシャ側接続パッドを形成している。このように構成しても、上述同様に、タング部３３の低ピッチ・ロール剛性を維持することができると共に、接着部Ａによってフレキシャ３の長手方向に沿った剛性であるインライン剛性の向上を図ることができる。

また、他の例を図１９に示す。この図においては、フレキシャ３の後端側から、先端側に位置する記録再生素子側端子に向かってアウトリガー部３２上を延びるトレース配線４が、連結部３３ａの手前で内側に位置するタング部３３に向かって曲折されており、当該タング部３３に搭載される磁気ヘッドスライダの記録再生素子側端子が位置する箇所に接着され、フレキシャ側接続パッドを形成している。そして、この接続パッド自体が、トレース配線４の屈曲部４２ａを形成しており、タング部３３の側部に接着（固着）されていて、上述同様の接着部Ａを形成している。このように構成しても、上述同様に、タング部３３の低ピッチ・ロール剛性を維持することができると共に、接着部Ａによってフレキシャ３の長手方向に沿った剛性であるインライン剛性の向上を図ることができる。

ここで、上述した２つの例の場合であっても、接着部Ａの位置を、実施例２にて説明した範囲に設定して形成すると望ましい。なお、上述したサスペンションの形状は一例であって、かかる形状に限定されない。

次に、本実施例におけるディスクドライブを、図２０を参照して説明する。図２０は、上述した本発明におけるヘッドジンバルアセンブリ１０をハードディスクドライブ５０に搭載した例を示している。この図に示すように、ハードディスクドライブ５０は、記憶媒体である磁気ディスク３０に対してデータの記録再生を行う磁気ヘッドスライダ１を搭載した上記ヘッドジンバルアセンブリ１０を、筐体４０に収容して備えている。なお、磁気ディスク３０は複数枚備えられており、各磁気ディスク３０に対応して複数のヘッドジンバルアセンブリ１０がキャリッジにて積層されて設けられており、ヘッドスタックアッセンブリを構成している。

そして、本実施例では、特に、磁気ヘッドスライダ１は常に磁気ディスク３０上に位置しており、磁気ディスク３０の回転停止時には当該磁気ディスク３０上に当接した状態にあり、磁気ディスク３０が回転すると、回転により磁気ヘッドスライダ１のＡＢＳに流入する空気によって当該磁気ヘッドスライダ１が浮上するＣＳＳ方式のドライブである。

このとき、フレキシャには低ピッチ・ロール剛性が要求されそのように形成されているが、従来例のようにインライン剛性が低い場合には、タング部に搭載された磁気ヘッドスライダが磁気ディスク３０の回転に伴って引張られて当該磁気ディスクに吸着してしまう、という問題が生じる。しかし、上述したように構成された本発明におけるサスペンション、つまり、磁気ヘッドスライダでは、インライン剛性を高い構成できることから、磁気ディスク３０に吸着せず、迅速かつ適切な浮上を実現することができる。また、同時に、フレキシャ３も低ピッチ・ロール剛性を維持できていることから、より適切な動作を実現できる。

本発明は、磁気ディスクに対してデータの記録再生を行うディスクドライブに利用することができ、産業上の利用可能性を有する。

本発明におけるヘッドジンバルアセンブリの構成を示す側面図である。 図１を下方から見たヘッドジンバルアセンブリの平面図である。 図２に開示したヘッドジンバルアセンブリから磁気ヘッドスライダとマイクロアクチュエータとを取り除いたサスペンションの構成を示す拡大図である。 図３に開示したサスペンションの構成を示す図である。 本発明と従来例におけるサスペンションの特性に関するシミュレーション結果を示す図である。 図６（ａ）は、実施例２においてシミュレーションに用いるサスペンションの構成を示す図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）の符号α部分の拡大図である。 図７（ａ）は、実施例２においてシミュレーションに用いるサスペンションの他の構成を示す図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）の符号α部分の拡大図である。 実施例２で行ったサスペンションの特性に関するシミュレーション結果を示す図である。 実施例２で行ったサスペンションの特性に関するシミュレーション結果を示す図である。 図１０（ａ），（ｂ）は、実施例２においてシミュレーションに用いるサスペンションの構成を示す図である。 図１１（ａ），（ｂ）は、実施例２においてシミュレーションに用いるサスペンションの構成を示す図である。 実施例２で行ったサスペンションの特性に関するシミュレーション結果を示す図である。 実施例２で行ったサスペンションの特性に関するシミュレーション結果を示す図である。 図１４（ａ），（ｂ），（ｃ）は、実施例２においてシミュレーションに用いるサスペンションの構成を示す図である。 実施例２で行ったサスペンションの特性に関するシミュレーション結果を示す図である。 実施例２で行ったサスペンションの特性に関するシミュレーション結果を示す図である。 実施例２で行ったサスペンションの特性に関するシミュレーション結果を示す図である。 実施例３におけるサスペンションの構成を示す図である。 実施例３におけるサスペンションの他の構成を示す図である。 実施例４におけるハードディスクドライブの構成を示す斜視図である。 従来例におけるヘッドジンバルアセンブリの構成を示す側面図である。 図２１に開示した従来例におけるヘッドジンバルアセンブリの先端部分の拡大図である。 図２１に開示した従来例におけるヘッドジンバルアセンブリから磁気ヘッドスライダとマイクロアクチュエータと取り除いたサスペンションの構成を示す拡大図である。

符号の説明

１ 磁気ヘッドスライダ
２ マイクロアクチュエータ
３ フレキシャ
４ トレース配線
５ ロードビーム
１０ ヘッドジンバルアセンブリ
３０ 磁気ディスク
３１ フレキシャ本体部
３２ アウトリガー部
３３ タング部
３５ 分離部
４０ 筐体
４１ 記録再生素子用トレース
４２ アクチュエータ用トレース
５０ ハードディスクドライブ
３３ａ 連結部
４２ａ 屈曲部
Ａ 接着部
Ｂ フレキシャ本体側端子

Claims (15)

1. 先端側に延びる分岐された２本のアウトリガー部と、各アウトリガー部に挟まれて位置し当該アウトリガー部の先端側に連結された磁気ヘッドスライダを搭載するためのタング部と、を有するフレキシャと、
   このフレキシャ上に形成されたトレース配線と、
   を備えたサスペンションであって、
   前記トレース配線に形成された屈曲部の少なくとも一部が、前記タング部に対して固着された固着部を設けた、
   ことを特徴とするサスペンション。
2. 前記固着部の位置を、前記タング部のピッチ剛性及びロール剛性が所定の値よりも低くなるよう設定した、ことを特徴とする請求項１記載のサスペンション。
3. 前記固着部の位置を、サスペンションの長手方向に沿った剛性が所定の値よりも大きくなるよう設定した、ことを特徴とする請求項１又は２記載のサスペンション。
4. 前記固着部の面積を、前記タング部のピッチ剛性及びロール剛性が所定の値よりも小さくなるよう設定した、ことを特徴とする請求項１，２又は３記載のサスペンション。
5. 前記固着部の面積を、サスペンションの長手方向に沿った剛性が所定の値よりも大きくなるよう設定した、ことを特徴とする請求項１，２，３又は４記載のサスペンション。
6. 前記固着部は、前記アウトリガー部と前記タング部との連結箇所に位置しない、ことを特徴とする請求項１，２，３，４又は５記載のサスペンション。
7. 前記アウトリガーと前記タング部との連結箇所から前記固着部までの距離をｄ１とし、前記連結箇所からの前記タング部自体の長さをｄ２とした場合に、前記固着部の位置を、０＜ｄ１／ｄ２＜０．２５を満たすよう設定した、ことを特徴とする請求項６記載のサスペンション。
8. 前記トレース配線は、前記固着部近傍に位置する前記アウトリガー部に固着されている、ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６又は７記載のサスペンション。
9. 前記固着部は、前記各アウトリガー部に対向する前記タング部の各側部にそれぞれ位置する、ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７又は８記載のサスペンション。
10. 前記タング部に固着される前記トレース配線は、前記タング部に装着される前記磁気ヘッドスライダを微小駆動するマイクロアクチュエータに接続されるトレース配線である、ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８又は９記載のサスペンション。
11. 前記固着部を形成する前記トレース配線の屈曲部は、前記タング部に位置するマイクロアクチュエータ用の接続パッド部に向かって折り返して屈曲する部分である、ことを特徴とする請求項１０記載のサスペンション。
12. 請求項１乃至９記載のサスペンションと、このサスペンションを構成する前記フレキシャの前記タング部に搭載された磁気ヘッドスライダと、前記フレキシャを支持するロードビームと、を備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
13. 請求項１０乃至１１記載のサスペンションと、このサスペンションを構成する前記フレキシャの前記タング部に搭載された磁気ヘッドスライダと、前記タング部に搭載され前記磁気ヘッドスライダを微小駆動するマイクロアクチュエータと、前記フレキシャを支持するロードビームと、を備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
14. 請求項１２乃至１３記載のヘッドジンバルアセンブリを備えたことを特徴とするディスクドライブ。
15. 先端側に延びる分岐された２本のアウトリガー部と、各アウトリガー部に挟まれて位置し当該アウトリガー部の先端側に連結された磁気ヘッドスライダを搭載するためのタング部と、を有するフレキシャ上に、トレース配線を形成して、サスペンションを製造する方法であって、
    前記トレース配線形成時に、当該トレース配線に形成される屈曲部分の少なくとも一部を前記タング部に固着させる、
    ことを特徴とするサスペンションの製造方法。
    
    

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