JP2007256764A - 紫外線吸収反射鏡基板及びこれを用いた反射鏡 - Google Patents

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Abstract

【課題】優れた紫外線吸収特性を有する反射鏡基板及び反射鏡を提供すること。【解決手段】優れた耐熱性及び耐熱衝撃性を有するアルミノシリケートガラスに、Ti及びCeを含有させることで、紫外線吸収特性を有する反射鏡を得る。例えば、本発明に係る反射鏡基板は、アルミノシリケートガラスにおいて、TiをTiOに、CeをCeOに換算したとき、それぞれの含有率が
TiO重量%≧−7×CeO重量%+3.5
ただし、TiO重量%≧0、CeO重量%≧0
なる範囲で表すことができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、紫外線吸収性能を有する反射鏡基板及びこれを用いた反射鏡に関する。特に、プロジェクター、投写機、照明装置等に組み込まれる反射鏡基板及び反射鏡に関する。
反射鏡は、その反射鏡基板の内表面に形成された多層反射膜によって光源ランプの可視光線のみを選択的に効率良く反射する仕組みになっている。近年、パソコンの急激な普及に伴い、パソコン画面上の画像を直接スクリーンに投影できるプロジェクターが、プレゼンテーション用あるいは会議用のツールとして飛躍的に伸びてきている。最近では、プロジェクターに対する携帯性の要求に応えるように、プロジェクター本体自体のコンパクト化が進んでいる。一方では、投影される画像に明るさの向上が求められ、高輝度化ランプの開発も進められている。
光源ランプの高輝度化が進むと、これに伴ってランプの発熱も激しくなる。また、装置本体のコンパクト化・小型化が進むことによって、ランプと反射鏡との距離が縮まり、結果として反射鏡は600℃を越えるような高温に曝されることになる。そこで、高輝度化及びコンパクト性向上を図るために、従来よりも優れた耐熱性、耐熱衝撃性を有する反射鏡の実現が待たれる。
以下の特許文献1〜4に示すように、優れた耐熱性及び耐熱衝撃性を有する反射鏡基板用のガラス素材としては、アルミノシリケートガラスが適している。
特許3527223号 特許3637261号 特開2003−238196号 特開2005−139031号
しかしながら、アルミノシリケートガラスは、紫外線の一部を透過する性質を有する。また、反射鏡表面に形成される多層反射膜は、可視光を反射するものの、紫外線の一部を透過する。つまり、反射鏡の裏側に相当量の紫外線が透過するため、光源ランプハウジング内の樹脂部品・樹脂製接着剤等の早期劣化を招くことがあった。
本発明は上記のような状況に鑑みてなされたものであり、優れた紫外線吸収特性を有する反射鏡基板及び反射鏡を提供することを目的とする。
本発明者らは、優れた耐熱性及び耐熱衝撃性を有するアルミノシリケートガラスに、紫外線吸収成分であるTi及びCeを含有させることで、紫外線吸収特性を有する反射鏡を作製することに成功した。
請求項1に示すように、本発明に係る反射鏡基板は、Ti(チタン)あるいはCe(セリウム)、あるいはTiとCeとを同時に含有するアルミノシリケートガラスを用いて作製される。
また、請求項2に示すように、本発明に係る反射鏡基板は、アルミノシリケートガラスにおいて、TiをTiOに、CeをCeOに換算したとき、それぞれの含有率が、
TiO重量% ≧ −7×CeO重量%+3.5
ただし、TiO重量% ≧ 0、CeO重量% ≧ 0
なる範囲で表せることを特徴とするものである。
なお、TiとCeをハロゲン化物などの形で含有させることも可能である。
また、請求項3に示すように、本発明に係る反射鏡基板の紫外線吸収特性は、1.0〜6.0mm厚のアルミノシリケートガラスの透過率を測定したとき、380nmの波長における透過率が20%以下であることを特徴とするものである。
また、請求項4に示すように、本発明に係る反射鏡基板は、SiOを50.0〜65.0重量%、Alを10.0〜20.0重量%、MgOとCaOとBaOのうちのいずれかを単独であるいは、それらのうちのいずれか2者あるいは3者の合計で5.0〜25.0重量%含有するアルミノシリケートガラスであることを特徴とするものである。
更に、請求項5に示すように、本発明に係る反射鏡は、紫外線吸収特性を有するアルミノシリケートガラス製の基板の表面に、多層反射膜を形成してなる反射鏡である。
以上説明したように、本発明によれば、紫外線を反射鏡の裏側にほとんど透過することのない新規な紫外線吸収反射鏡を提供することが可能となる。その結果、プロジェクター等に使用した場合に、光源ランプハウジング内の樹脂部品・樹脂製接着剤等の劣化を抑制し、長寿命化を図ることができる。
なお、紫外線の一部は多層反射膜を透過するが、その反射鏡基板であるアルミノシリケートガラスが紫外線を吸収するので、反射鏡の裏側には紫外線はほとんど透過しないことになる。
以下、本発明の実施の形態について説明する。まず、アルミノシリケートガラスについて説明する。アルミノシリケートガラスとは、SiOとAlとを主成分とするガラスのことであり、耐熱性、耐熱衝撃性に優れていることで知られている。反射鏡用の基板ガラスとしては、前記の特許文献1〜4に開示されており、平均熱膨張係数が概ね40×10−7/℃以下、歪点が概ね620℃以上(または、ガラス転移点が概ね630℃以上)という特徴を有している。主成分であるSiOとAlの他に、第3成分としてBが添加されているガラス系をアルミノボロシリケートガラスあるいは、アルミノホウケイ酸ガラスと呼ぶこともあるが、広義にはアルミノシリケートガラスに含まれる。
TiもCeも紫外線吸収効果を有する成分であること、また、TiとCeとを共存させることで紫外線吸収効果が増大することが知られている。そこで、本発明者らは、優れた耐熱性及び耐熱衝撃性を有するアルミノシリケートガラスにTi及びCeを種々の割合で添加して鋭意研究を行った結果、1.0〜6.0mm厚のガラスにおいて波長380nmの波長における透過率が20%以下とすることが可能な組成を見いだしたのである。なお、通常の反射鏡のガラス基板は、厚さ略3〜5mm程度である。
本発明においては、Ti及びCeのアルミノシリケートガラス中の含有率は、
TiO重量% ≧ −7×CeO重量%+3.5
ただし、TiO重量% ≧ 0、CeO重量% ≧ 0
なる範囲で表すことができ、図1にこの範囲を示した。
図1に示した範囲外、即ちTiをTiOに、CeをCeOに換算したとき、TiOが3.5重量%未満かつCeOが0.5重量%未満の範囲では、1.0〜6.0mm厚のガラスにおいて波長380nmの波長における透過率が20%以下とならない。即ち、紫外線を有効に吸収・遮断できない。
ガラス中にFe分が存在するとさらに紫外線吸収効果が増大するが、通常のガラス原料中にはFe分(Fe)が不純物として含有されており、さらにガラス溶融中に接触する耐火物からもFe分が不純物として溶け込んでくることにより、通常ガラス中には不純物としてのFe分が例えば、〜0.03重量%程度含有されているため、あえて酸化鉄等を原料として添加する必要はない。原料として1.0重量%以下の少量の酸化鉄を予め含有させることは可能である。
一方、母ガラス組成にも依るが、一般的な傾向として、Ti及びCeを大量に含有させると失透が起こり易くなる。また、Ti及びCeを大量に含有させると、平均熱膨張係数は大きくなる傾向、歪点やガラス転移点は低くなる傾向、即ち耐熱衝撃性や耐熱性が低下する傾向を示す。母ガラス組成、ガラスの溶融・成形方法等を総合的に勘案してTi及びCeの含有量を決定することが望ましい。
現実的には、1.0〜6.0mm厚のガラスにおいて波長380nmの波長における透過率を20%以下とするためには、TiをTiOに、CeをCeOに換算したとき、両者の含有率の合計で15重量%以下とすることができる。
アルミノシリケートガラスの紫外線吸収特性を、波長380nmの波長における透過率が20%以下とすることに限定した理由について述べる。380nm以下の波長の光が紫外線であるので、紫外線を完全に吸収・遮断させるのであれば380nmにおける透過率が0%であることとするのが本来妥当であると思われる。しかしながら、実際にガラス基板に多層反射膜を成膜した反射鏡を用いて、実施例で後述するような樹脂板の耐久性試験を行った結果、波長380nmの波長における透過率が20%以下であれば、十分に紫外線を吸収・遮断し樹脂の劣化抑制に有効であることが判明した。
一方、アルミノシリケートガラスは、主成分として、少なくともSiOを50.0〜65.0重量%、Alを10.0〜20.0重量%、MgOとCaOとBaOのうちのいずれかを単独であるいはそれらのうちのいずれか2者あるいは3者の合計で5.0〜25.0重量%含有することが好ましい。
SiOはガラスを構成する主成分であり、50.0重量%未満の場合にはガラスが失透し易くなり、65.0重量%を越えると粘性が高くなって精密成型が困難になる。また、SiOの含有量が65.0重量%を越えると、クリストバライト等のSiOを主成分とする結晶が析出し易くなり好ましくない。
Alは、熱膨張係数を大きくすることなく粘性を低下させる効果や、ガラス転移点を高くして耐熱性を向上させる効果がある。また、機械的強度(ヤング率)を大きくする効果がある。しかしながら、ガラス中のAlは10.0重量%未満では、それらの効果に乏しくなる。逆に、ガラス中のAlが20.0重量%を越えると、ガラスが逆に溶けにくくなると同時に、アルミナ(Al)やガーナイト(ZnO・Al)の結晶が析出し易くなり好ましくない。
MgO、CaO、BaOは、ガラスを溶け易くし粘性を低下させる成分である一方、ガラス転移点を低下させ熱膨張係数を大きくする成分である。これらの含有率が5.0重量%未満では、ガラスが溶けにくく、また粘性が大きくなって精密成型が困難になる。他方、ガラス中のMgO、CaO、BaOの含有量が25.0重量%を越えると、耐熱性、耐熱衝撃性が低下するので好ましくない。
本発明の反射鏡ガラス基板は耐熱性、耐熱衝撃性に優れていることが前提となり、平均熱膨張係数が概ね40×10−7/℃以下、歪点が概ね620℃以上(またはガラス転移点が概ね630℃以上)であることが望ましい。Ti及びCeの含有量に応じて、溶融性、成型性等も含めて総合的に考慮しつつ、SiO、Al、MgO、CaO、BaO等の成分の含有率・組み合わせを決定する必要がある。
なお、ガラス溶融性や作業性を向上させるB、熱膨張係数をあまり大きくすることなく粘性を低下させる効果のあるZnO、溶融性を向上させ粘性を低下させるNaO、KO、LiO等のアルカリ金属酸化物成分、溶融性および成型性を向上させるPbO、機械的な強度を向上させるZrO及びY、溶融性を向上させるP、脱泡剤として作用するAs及びSb等々の成分を含有させることができる。
さらに、一般に知られているCo,Ni,Mnなどの遷移金属元素を着色剤としてガラスに添加することもできる。これらの元素を添加することにより、光源ランプハウジングから一部洩れてくる可視光をある程度吸収することができ、「洩れ光抑制効果」が期待される。遷移金属元素は酸化物換算の合計量で、ガラスに1重量%以下の割合で添加される。通常、1重量%を越えて添加しても着色効果はほとんど変わらない。
本発明の実施例を図2に示す。図2に示すガラス組成は、一般的なアルミノシリケートガラス組成にTiO及びCeOを含有させた組成である。No.1〜No.7が実施例、No.8〜No.10が比較例である。図2のNo.1〜No.10に示した組成となるように原料を調合し、1550℃に保持された坩堝で溶融してガラス化した。
溶融されたガラスを開口部が約60mm角、厚さ約5.5mmの反射鏡の基板形状にプレス法により成型し徐冷した。得られたガラス成型品の平均熱膨張係数と歪点を測定したところ、ガラスNo.1〜No.10のいずれも平均熱膨張係数が40×10−7/℃以下、歪点が620℃以上であった。即ち、比較例のガラス組成も含めて、プロジェクター用反射鏡ガラス基板に相応しい優れた耐熱性、耐熱衝撃性を有していることが分かった。
次に、このガラス製反射鏡基板それぞれから約20×10×5mm厚の試料片を切り出した。この試料片の透過率を測定し、380nmの波長における透過率が20%以下であるものを○、20%を越えるものを×として図2に記載した。ここで言う透過率とは、ガラス表面に反射防止膜を成膜していない状態での反射を含む透過率である。
実施例No.1〜No.7のガラス、即ちTiをTiOに、CeをCeOに換算したとき、それぞれの含有率が
TiO重量% ≧ −7×CeO重量%+3.5
ただし、TiO重量% ≧ 0、CeO重量% ≧ 0
なる範囲にあるガラスでは、380nmの波長における透過率がすべて20%以下となっている。
これに対しNo.8〜No.10の比較例のガラス、即ちTiをTiOに、CeをCeOに換算したとき、TiOが3.5重量%未満かつCeOが0.5重量%未満の範囲にあるガラスでは、380nmの波長における透過率が20%を越えている。
図3に実際の透過率曲線を示した。曲線Aは実施例No.1からTiO2及びCeO2成分を除去したガラス(通常のアルミノシリケートガラス)の測定データである。実施例No.1、No.2、No.5、No.6のガラスのデータ、また比較例No.8のガラスの測定データを併せて示した。本発明による実施例のガラスのみで、380nmの波長における透過率が20%以下となっている。
次に、No.1〜No.10の組成のガラスでプレス成型された反射鏡基板の内表面に、TiO−SiO多層反射膜を真空蒸着して反射鏡を製造した。多層反射膜の形成に際しては真空蒸着法に限らず、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理堆積法(PVD法)や化学堆積法(CVD法)を採用することができる。また、多層反射膜の成分もTiO、SiOに限るものではなく、Ta、ZrO等の公知の成分を使用することができる。
このようにして得られた反射鏡について、650℃まで加熱後、自然冷却で常温まで冷却するという操作を10回繰り返す耐熱性試験、耐熱衝撃性試験を行ったところ、いずれの反射鏡についても割れやクラックが発生せず、また真空蒸着によって形成した多層反射膜にも剥離やクラックの発生等の異常は全く観察されなかった。従って、十分にプロジェクター用反射鏡として使用できるものであると判断された。
次に、反射鏡に実際の超高圧水銀ランプを装填・連続点灯し、反射鏡の背面側に設置した樹脂板の800時間後の劣化状態を観察するという、樹脂板の耐久性試験を行った。その結果、No.8〜No.10の比較例のガラス基板の反射鏡の場合には、樹脂板の変色や試験前には滑らかであった樹脂表面に荒れが見られた。一方、No.1〜No.7の本発明の実施例のガラス基板の反射鏡の場合には、何ら異常は観察されなかった。本発明による新規な紫外線吸収反射鏡が実際の光源ランプハウジング内の樹脂部品・樹脂製接着剤等の劣化抑制に有効であることが明確に示された。
本発明によるガラス組成の範囲を示すグラフである。 本発明によるガラス組成を比較例と共に示す表である。 本発明によるガラス組成及び比較例に係るガラス組成による光透過率曲線を示すグラフである。

Claims (5)

  1. アルミノシリケートガラスにTi、Ceの少なくとも一方を含有してなる反射鏡基板。
  2. TiをTiOに、CeをCeOに換算したとき、それぞれの含有率が以下の式(1)〜(3)を満たすことを特徴とする請求項1に記載の反射鏡基板。
    (1)TiO重量% ≧ −7×CeO重量%+3.5
    (2)TiO重量% ≧ 0
    (3)CeO重量% ≧ 0
  3. 厚さが1.0〜6.0mmとした時の透過率を測定した場合、380nmの波長における透過率が20%以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の反射鏡基板。
  4. 前記アルミノシリケートガラスが以下の組成を含有することを特徴とする請求項1,2又は3に記載の反射鏡基板。
    SiO:50.0〜65.0重量%
    Al:10.0〜20.0重量%
    MgO、CaO、BaOの少なくとも1種類を合計で5.0〜25.0重量%
  5. 請求項1に記載の反射鏡基板の表面に多層反射膜を形成してなることを特徴とする反射鏡。
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