JP2007256764A - 紫外線吸収反射鏡基板及びこれを用いた反射鏡 - Google Patents
紫外線吸収反射鏡基板及びこれを用いた反射鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007256764A JP2007256764A JP2006082743A JP2006082743A JP2007256764A JP 2007256764 A JP2007256764 A JP 2007256764A JP 2006082743 A JP2006082743 A JP 2006082743A JP 2006082743 A JP2006082743 A JP 2006082743A JP 2007256764 A JP2007256764 A JP 2007256764A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- reflection mirror
- tio
- ceo
- absorbing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 26
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 20
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 14
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 50
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 18
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 12
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Inorganic materials [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 239000005407 aluminoborosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004031 devitrification Methods 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005289 physical deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C4/00—Compositions for glass with special properties
- C03C4/08—Compositions for glass with special properties for glass selectively absorbing radiation of specified wave lengths
- C03C4/085—Compositions for glass with special properties for glass selectively absorbing radiation of specified wave lengths for ultraviolet absorbing glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/083—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/083—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound
- C03C3/085—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/083—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound
- C03C3/085—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal
- C03C3/087—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal containing calcium oxide, e.g. common sheet or container glass
Abstract
【課題】優れた紫外線吸収特性を有する反射鏡基板及び反射鏡を提供すること。【解決手段】優れた耐熱性及び耐熱衝撃性を有するアルミノシリケートガラスに、Ti及びCeを含有させることで、紫外線吸収特性を有する反射鏡を得る。例えば、本発明に係る反射鏡基板は、アルミノシリケートガラスにおいて、TiをTiO2に、CeをCeO2に換算したとき、それぞれの含有率が
TiO2重量%≧−7×CeO2重量%+3.5
ただし、TiO2重量%≧0、CeO2重量%≧0
なる範囲で表すことができる。
【選択図】図1
TiO2重量%≧−7×CeO2重量%+3.5
ただし、TiO2重量%≧0、CeO2重量%≧0
なる範囲で表すことができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、紫外線吸収性能を有する反射鏡基板及びこれを用いた反射鏡に関する。特に、プロジェクター、投写機、照明装置等に組み込まれる反射鏡基板及び反射鏡に関する。
反射鏡は、その反射鏡基板の内表面に形成された多層反射膜によって光源ランプの可視光線のみを選択的に効率良く反射する仕組みになっている。近年、パソコンの急激な普及に伴い、パソコン画面上の画像を直接スクリーンに投影できるプロジェクターが、プレゼンテーション用あるいは会議用のツールとして飛躍的に伸びてきている。最近では、プロジェクターに対する携帯性の要求に応えるように、プロジェクター本体自体のコンパクト化が進んでいる。一方では、投影される画像に明るさの向上が求められ、高輝度化ランプの開発も進められている。
光源ランプの高輝度化が進むと、これに伴ってランプの発熱も激しくなる。また、装置本体のコンパクト化・小型化が進むことによって、ランプと反射鏡との距離が縮まり、結果として反射鏡は600℃を越えるような高温に曝されることになる。そこで、高輝度化及びコンパクト性向上を図るために、従来よりも優れた耐熱性、耐熱衝撃性を有する反射鏡の実現が待たれる。
以下の特許文献1〜4に示すように、優れた耐熱性及び耐熱衝撃性を有する反射鏡基板用のガラス素材としては、アルミノシリケートガラスが適している。
しかしながら、アルミノシリケートガラスは、紫外線の一部を透過する性質を有する。また、反射鏡表面に形成される多層反射膜は、可視光を反射するものの、紫外線の一部を透過する。つまり、反射鏡の裏側に相当量の紫外線が透過するため、光源ランプハウジング内の樹脂部品・樹脂製接着剤等の早期劣化を招くことがあった。
本発明は上記のような状況に鑑みてなされたものであり、優れた紫外線吸収特性を有する反射鏡基板及び反射鏡を提供することを目的とする。
本発明者らは、優れた耐熱性及び耐熱衝撃性を有するアルミノシリケートガラスに、紫外線吸収成分であるTi及びCeを含有させることで、紫外線吸収特性を有する反射鏡を作製することに成功した。
請求項1に示すように、本発明に係る反射鏡基板は、Ti(チタン)あるいはCe(セリウム)、あるいはTiとCeとを同時に含有するアルミノシリケートガラスを用いて作製される。
また、請求項2に示すように、本発明に係る反射鏡基板は、アルミノシリケートガラスにおいて、TiをTiO2に、CeをCeO2に換算したとき、それぞれの含有率が、
TiO2重量% ≧ −7×CeO2重量%+3.5
ただし、TiO2重量% ≧ 0、CeO2重量% ≧ 0
なる範囲で表せることを特徴とするものである。
TiO2重量% ≧ −7×CeO2重量%+3.5
ただし、TiO2重量% ≧ 0、CeO2重量% ≧ 0
なる範囲で表せることを特徴とするものである。
なお、TiとCeをハロゲン化物などの形で含有させることも可能である。
また、請求項3に示すように、本発明に係る反射鏡基板の紫外線吸収特性は、1.0〜6.0mm厚のアルミノシリケートガラスの透過率を測定したとき、380nmの波長における透過率が20%以下であることを特徴とするものである。
また、請求項4に示すように、本発明に係る反射鏡基板は、SiO2を50.0〜65.0重量%、Al2O3を10.0〜20.0重量%、MgOとCaOとBaOのうちのいずれかを単独であるいは、それらのうちのいずれか2者あるいは3者の合計で5.0〜25.0重量%含有するアルミノシリケートガラスであることを特徴とするものである。
更に、請求項5に示すように、本発明に係る反射鏡は、紫外線吸収特性を有するアルミノシリケートガラス製の基板の表面に、多層反射膜を形成してなる反射鏡である。
以上説明したように、本発明によれば、紫外線を反射鏡の裏側にほとんど透過することのない新規な紫外線吸収反射鏡を提供することが可能となる。その結果、プロジェクター等に使用した場合に、光源ランプハウジング内の樹脂部品・樹脂製接着剤等の劣化を抑制し、長寿命化を図ることができる。
なお、紫外線の一部は多層反射膜を透過するが、その反射鏡基板であるアルミノシリケートガラスが紫外線を吸収するので、反射鏡の裏側には紫外線はほとんど透過しないことになる。
以下、本発明の実施の形態について説明する。まず、アルミノシリケートガラスについて説明する。アルミノシリケートガラスとは、SiO2とAl2O3とを主成分とするガラスのことであり、耐熱性、耐熱衝撃性に優れていることで知られている。反射鏡用の基板ガラスとしては、前記の特許文献1〜4に開示されており、平均熱膨張係数が概ね40×10−7/℃以下、歪点が概ね620℃以上(または、ガラス転移点が概ね630℃以上)という特徴を有している。主成分であるSiO2とAl2O3の他に、第3成分としてB2O3が添加されているガラス系をアルミノボロシリケートガラスあるいは、アルミノホウケイ酸ガラスと呼ぶこともあるが、広義にはアルミノシリケートガラスに含まれる。
TiもCeも紫外線吸収効果を有する成分であること、また、TiとCeとを共存させることで紫外線吸収効果が増大することが知られている。そこで、本発明者らは、優れた耐熱性及び耐熱衝撃性を有するアルミノシリケートガラスにTi及びCeを種々の割合で添加して鋭意研究を行った結果、1.0〜6.0mm厚のガラスにおいて波長380nmの波長における透過率が20%以下とすることが可能な組成を見いだしたのである。なお、通常の反射鏡のガラス基板は、厚さ略3〜5mm程度である。
本発明においては、Ti及びCeのアルミノシリケートガラス中の含有率は、
TiO2重量% ≧ −7×CeO2重量%+3.5
ただし、TiO2重量% ≧ 0、CeO2重量% ≧ 0
なる範囲で表すことができ、図1にこの範囲を示した。
TiO2重量% ≧ −7×CeO2重量%+3.5
ただし、TiO2重量% ≧ 0、CeO2重量% ≧ 0
なる範囲で表すことができ、図1にこの範囲を示した。
図1に示した範囲外、即ちTiをTiO2に、CeをCeO2に換算したとき、TiO2が3.5重量%未満かつCeO2が0.5重量%未満の範囲では、1.0〜6.0mm厚のガラスにおいて波長380nmの波長における透過率が20%以下とならない。即ち、紫外線を有効に吸収・遮断できない。
ガラス中にFe分が存在するとさらに紫外線吸収効果が増大するが、通常のガラス原料中にはFe分(Fe2O3)が不純物として含有されており、さらにガラス溶融中に接触する耐火物からもFe分が不純物として溶け込んでくることにより、通常ガラス中には不純物としてのFe分が例えば、〜0.03重量%程度含有されているため、あえて酸化鉄等を原料として添加する必要はない。原料として1.0重量%以下の少量の酸化鉄を予め含有させることは可能である。
一方、母ガラス組成にも依るが、一般的な傾向として、Ti及びCeを大量に含有させると失透が起こり易くなる。また、Ti及びCeを大量に含有させると、平均熱膨張係数は大きくなる傾向、歪点やガラス転移点は低くなる傾向、即ち耐熱衝撃性や耐熱性が低下する傾向を示す。母ガラス組成、ガラスの溶融・成形方法等を総合的に勘案してTi及びCeの含有量を決定することが望ましい。
現実的には、1.0〜6.0mm厚のガラスにおいて波長380nmの波長における透過率を20%以下とするためには、TiをTiO2に、CeをCeO2に換算したとき、両者の含有率の合計で15重量%以下とすることができる。
アルミノシリケートガラスの紫外線吸収特性を、波長380nmの波長における透過率が20%以下とすることに限定した理由について述べる。380nm以下の波長の光が紫外線であるので、紫外線を完全に吸収・遮断させるのであれば380nmにおける透過率が0%であることとするのが本来妥当であると思われる。しかしながら、実際にガラス基板に多層反射膜を成膜した反射鏡を用いて、実施例で後述するような樹脂板の耐久性試験を行った結果、波長380nmの波長における透過率が20%以下であれば、十分に紫外線を吸収・遮断し樹脂の劣化抑制に有効であることが判明した。
一方、アルミノシリケートガラスは、主成分として、少なくともSiO2を50.0〜65.0重量%、Al2O3を10.0〜20.0重量%、MgOとCaOとBaOのうちのいずれかを単独であるいはそれらのうちのいずれか2者あるいは3者の合計で5.0〜25.0重量%含有することが好ましい。
SiO2はガラスを構成する主成分であり、50.0重量%未満の場合にはガラスが失透し易くなり、65.0重量%を越えると粘性が高くなって精密成型が困難になる。また、SiO2の含有量が65.0重量%を越えると、クリストバライト等のSiO2を主成分とする結晶が析出し易くなり好ましくない。
Al2O3は、熱膨張係数を大きくすることなく粘性を低下させる効果や、ガラス転移点を高くして耐熱性を向上させる効果がある。また、機械的強度(ヤング率)を大きくする効果がある。しかしながら、ガラス中のAl2O3は10.0重量%未満では、それらの効果に乏しくなる。逆に、ガラス中のAl2O3が20.0重量%を越えると、ガラスが逆に溶けにくくなると同時に、アルミナ(Al2O3)やガーナイト(ZnO・Al2O3)の結晶が析出し易くなり好ましくない。
MgO、CaO、BaOは、ガラスを溶け易くし粘性を低下させる成分である一方、ガラス転移点を低下させ熱膨張係数を大きくする成分である。これらの含有率が5.0重量%未満では、ガラスが溶けにくく、また粘性が大きくなって精密成型が困難になる。他方、ガラス中のMgO、CaO、BaOの含有量が25.0重量%を越えると、耐熱性、耐熱衝撃性が低下するので好ましくない。
本発明の反射鏡ガラス基板は耐熱性、耐熱衝撃性に優れていることが前提となり、平均熱膨張係数が概ね40×10−7/℃以下、歪点が概ね620℃以上(またはガラス転移点が概ね630℃以上)であることが望ましい。Ti及びCeの含有量に応じて、溶融性、成型性等も含めて総合的に考慮しつつ、SiO2、Al2O3、MgO、CaO、BaO等の成分の含有率・組み合わせを決定する必要がある。
なお、ガラス溶融性や作業性を向上させるB2O3、熱膨張係数をあまり大きくすることなく粘性を低下させる効果のあるZnO、溶融性を向上させ粘性を低下させるNa2O、K2O、Li2O等のアルカリ金属酸化物成分、溶融性および成型性を向上させるPbO、機械的な強度を向上させるZrO2及びY2O3、溶融性を向上させるP2O5、脱泡剤として作用するAs2O3及びSb2O3等々の成分を含有させることができる。
さらに、一般に知られているCo,Ni,Mnなどの遷移金属元素を着色剤としてガラスに添加することもできる。これらの元素を添加することにより、光源ランプハウジングから一部洩れてくる可視光をある程度吸収することができ、「洩れ光抑制効果」が期待される。遷移金属元素は酸化物換算の合計量で、ガラスに1重量%以下の割合で添加される。通常、1重量%を越えて添加しても着色効果はほとんど変わらない。
本発明の実施例を図2に示す。図2に示すガラス組成は、一般的なアルミノシリケートガラス組成にTiO2及びCeO2を含有させた組成である。No.1〜No.7が実施例、No.8〜No.10が比較例である。図2のNo.1〜No.10に示した組成となるように原料を調合し、1550℃に保持された坩堝で溶融してガラス化した。
溶融されたガラスを開口部が約60mm角、厚さ約5.5mmの反射鏡の基板形状にプレス法により成型し徐冷した。得られたガラス成型品の平均熱膨張係数と歪点を測定したところ、ガラスNo.1〜No.10のいずれも平均熱膨張係数が40×10−7/℃以下、歪点が620℃以上であった。即ち、比較例のガラス組成も含めて、プロジェクター用反射鏡ガラス基板に相応しい優れた耐熱性、耐熱衝撃性を有していることが分かった。
次に、このガラス製反射鏡基板それぞれから約20×10×5mm厚の試料片を切り出した。この試料片の透過率を測定し、380nmの波長における透過率が20%以下であるものを○、20%を越えるものを×として図2に記載した。ここで言う透過率とは、ガラス表面に反射防止膜を成膜していない状態での反射を含む透過率である。
実施例No.1〜No.7のガラス、即ちTiをTiO2に、CeをCeO2に換算したとき、それぞれの含有率が
TiO2重量% ≧ −7×CeO2重量%+3.5
ただし、TiO2重量% ≧ 0、CeO2重量% ≧ 0
なる範囲にあるガラスでは、380nmの波長における透過率がすべて20%以下となっている。
TiO2重量% ≧ −7×CeO2重量%+3.5
ただし、TiO2重量% ≧ 0、CeO2重量% ≧ 0
なる範囲にあるガラスでは、380nmの波長における透過率がすべて20%以下となっている。
これに対しNo.8〜No.10の比較例のガラス、即ちTiをTiO2に、CeをCeO2に換算したとき、TiO2が3.5重量%未満かつCeO2が0.5重量%未満の範囲にあるガラスでは、380nmの波長における透過率が20%を越えている。
図3に実際の透過率曲線を示した。曲線Aは実施例No.1からTiO2及びCeO2成分を除去したガラス(通常のアルミノシリケートガラス)の測定データである。実施例No.1、No.2、No.5、No.6のガラスのデータ、また比較例No.8のガラスの測定データを併せて示した。本発明による実施例のガラスのみで、380nmの波長における透過率が20%以下となっている。
次に、No.1〜No.10の組成のガラスでプレス成型された反射鏡基板の内表面に、TiO2−SiO2多層反射膜を真空蒸着して反射鏡を製造した。多層反射膜の形成に際しては真空蒸着法に限らず、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の物理堆積法(PVD法)や化学堆積法(CVD法)を採用することができる。また、多層反射膜の成分もTiO2、SiO2に限るものではなく、Ta2O3、ZrO2等の公知の成分を使用することができる。
このようにして得られた反射鏡について、650℃まで加熱後、自然冷却で常温まで冷却するという操作を10回繰り返す耐熱性試験、耐熱衝撃性試験を行ったところ、いずれの反射鏡についても割れやクラックが発生せず、また真空蒸着によって形成した多層反射膜にも剥離やクラックの発生等の異常は全く観察されなかった。従って、十分にプロジェクター用反射鏡として使用できるものであると判断された。
次に、反射鏡に実際の超高圧水銀ランプを装填・連続点灯し、反射鏡の背面側に設置した樹脂板の800時間後の劣化状態を観察するという、樹脂板の耐久性試験を行った。その結果、No.8〜No.10の比較例のガラス基板の反射鏡の場合には、樹脂板の変色や試験前には滑らかであった樹脂表面に荒れが見られた。一方、No.1〜No.7の本発明の実施例のガラス基板の反射鏡の場合には、何ら異常は観察されなかった。本発明による新規な紫外線吸収反射鏡が実際の光源ランプハウジング内の樹脂部品・樹脂製接着剤等の劣化抑制に有効であることが明確に示された。
Claims (5)
- アルミノシリケートガラスにTi、Ceの少なくとも一方を含有してなる反射鏡基板。
- TiをTiO2に、CeをCeO2に換算したとき、それぞれの含有率が以下の式(1)〜(3)を満たすことを特徴とする請求項1に記載の反射鏡基板。
(1)TiO2重量% ≧ −7×CeO2重量%+3.5
(2)TiO2重量% ≧ 0
(3)CeO2重量% ≧ 0 - 厚さが1.0〜6.0mmとした時の透過率を測定した場合、380nmの波長における透過率が20%以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の反射鏡基板。
- 前記アルミノシリケートガラスが以下の組成を含有することを特徴とする請求項1,2又は3に記載の反射鏡基板。
SiO2:50.0〜65.0重量%
Al2O3:10.0〜20.0重量%
MgO、CaO、BaOの少なくとも1種類を合計で5.0〜25.0重量% - 請求項1に記載の反射鏡基板の表面に多層反射膜を形成してなることを特徴とする反射鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006082743A JP2007256764A (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | 紫外線吸収反射鏡基板及びこれを用いた反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006082743A JP2007256764A (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | 紫外線吸収反射鏡基板及びこれを用いた反射鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007256764A true JP2007256764A (ja) | 2007-10-04 |
Family
ID=38631048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006082743A Pending JP2007256764A (ja) | 2006-03-24 | 2006-03-24 | 紫外線吸収反射鏡基板及びこれを用いた反射鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007256764A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016084280A (ja) * | 2008-10-06 | 2016-05-19 | コルサム テクノロジーズ エルエルシーCorsam Technologies Llc | 中間的な熱膨張係数を有するガラス |
JPWO2016129254A1 (ja) * | 2015-02-10 | 2018-01-25 | 日本板硝子株式会社 | レーザ加工用ガラス及びそれを用いた孔付きガラスの製造方法 |
JP2022088298A (ja) * | 2020-12-02 | 2022-06-14 | 台湾玻璃工業股▲ふん▼有限公司 | 低熱膨張係数を有するガラス組成物及びそのガラス繊維 |
JP2022151758A (ja) * | 2021-03-25 | 2022-10-07 | 富喬工業股▲分▼有限公司 | 低熱膨張係数を持つガラス組成物、及びガラス繊維 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09194229A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-07-29 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 磁気ディスク用ガラス基板 |
JP2004031301A (ja) * | 2001-08-28 | 2004-01-29 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 反射鏡 |
-
2006
- 2006-03-24 JP JP2006082743A patent/JP2007256764A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09194229A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-07-29 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 磁気ディスク用ガラス基板 |
JP2004031301A (ja) * | 2001-08-28 | 2004-01-29 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 反射鏡 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016084280A (ja) * | 2008-10-06 | 2016-05-19 | コルサム テクノロジーズ エルエルシーCorsam Technologies Llc | 中間的な熱膨張係数を有するガラス |
US10196297B2 (en) | 2008-10-06 | 2019-02-05 | Corning, Incorporated | Intermediate thermal expansion coefficient glass |
JPWO2016129254A1 (ja) * | 2015-02-10 | 2018-01-25 | 日本板硝子株式会社 | レーザ加工用ガラス及びそれを用いた孔付きガラスの製造方法 |
US10717670B2 (en) | 2015-02-10 | 2020-07-21 | Nippon Sheet Glass Company, Limited | Glass for laser processing and method for producing perforated glass using same |
JP2022088298A (ja) * | 2020-12-02 | 2022-06-14 | 台湾玻璃工業股▲ふん▼有限公司 | 低熱膨張係数を有するガラス組成物及びそのガラス繊維 |
JP7195693B2 (ja) | 2020-12-02 | 2022-12-26 | 台湾玻璃工業股▲ふん▼有限公司 | 低熱膨張係数を有するガラス組成物及びそのガラス繊維 |
JP2022151758A (ja) * | 2021-03-25 | 2022-10-07 | 富喬工業股▲分▼有限公司 | 低熱膨張係数を持つガラス組成物、及びガラス繊維 |
JP7387790B2 (ja) | 2021-03-25 | 2023-11-28 | 富喬工業股▲分▼有限公司 | 低熱膨張係数を持つガラス組成物、及びガラス繊維 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5078272B2 (ja) | 光学ガラス | |
JP4668797B2 (ja) | ガラス | |
JP4378152B2 (ja) | 耐熱性ガラス | |
JP2008019103A (ja) | ガラス | |
KR20200139156A (ko) | 화학 강화용 유리 | |
JP2007256764A (ja) | 紫外線吸収反射鏡基板及びこれを用いた反射鏡 | |
JP2010208906A (ja) | 光デバイス用基板ガラス | |
JP5596717B2 (ja) | 光学ガラス | |
US6814453B2 (en) | Low-cost reflector with excellent heat resistance | |
JPS6287433A (ja) | 紫外線透過ガラス | |
EP1617241A1 (en) | Reflecting mirror | |
TW201837005A (zh) | 光學玻璃 | |
JP4017466B2 (ja) | 耐熱性ガラス | |
JP3637261B2 (ja) | 反射鏡 | |
TWI718080B (zh) | 光學玻璃 | |
JP4756430B2 (ja) | 電灯用ガラス及びその製造方法 | |
JP3998231B2 (ja) | 反射鏡 | |
JP2011098852A (ja) | フラッシュランプ用外套容器 | |
JP4677710B2 (ja) | 紫外線遮蔽ガラス、その製造方法、これを用いた紫外線遮蔽ガラス部材及び装置 | |
JP6962322B2 (ja) | 近赤外線カットフィルタガラス | |
JP4756429B2 (ja) | コンパクト型蛍光ランプ用ガラス及びその製造方法。 | |
JP2004137147A (ja) | ガラス組成物および合わせガラス | |
JP2008033345A (ja) | 反射鏡 | |
TW201934505A (zh) | 光學硼鋁酸鹽玻璃 | |
JP2004031301A (ja) | 反射鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20090213 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20110215 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110322 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110712 |