JP2007248082A5 - - Google Patents

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Claims (15)

  1. 荷電粒子線装置の倍率、或いは寸法校正に用いられる荷電粒子線用標準試料において、
    当該標準試料は、所定の格子構造を有する物質に所定のピッチで配列されたパターンを設けて構成され、荷電粒子線が透過できるように薄膜化されていることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  2. 請求項１記載の荷電粒子線用標準試料において、
    前記標準試料は、前記パターンの配列方向とは垂直な方向に薄膜化されていることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  3. 請求項１記載の荷電粒子線用標準試料において、
    前記配列されたパターン間に、格子構造を有する物質が設けられていることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  4. 請求項３記載の荷電粒子線用標準試料において、
    前記配列されたパターンと前記格子構造を有する物質は、互いに噛み合うように構成されていることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  5. 請求項１記載の荷電粒子線用標準試料において、
    前記標準試料は、ピッチ寸法（周期）が公証値として既知の周期構造を有する倍率基準試料であることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  6. 請求項１記載の荷電粒子線用標準試料において、
    前記標準試料は、前記荷電粒子線の光軸に対し、薄膜面が垂直となるように配置されるものであることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  7. 請求項１記載の荷電粒子線用標準試料において、
    前記標準試料は、前記荷電粒子線による格子像観察が可能なように薄膜化されていることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  8. 請求項１記載の荷電粒子線用標準試料において、
    薄膜化された異なる２つの試料が複合した前記標準試料の薄膜面が、前記荷電粒子線に対して垂直な方向となるように配置されていることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  9. 荷電粒子線装置の倍率、或いは寸法校正に用いられる荷電粒子線用標準試料において、
    当該標準試料は、所定の配列ピッチで配置されたパターン間に所定の格子構造を有する物質を設けて構成され、荷電粒子線が透過できるように薄膜化されていることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  10. 請求項９記載の荷電粒子線用標準試料において、
    当該標準試料は、前記パターンの配列方向とは垂直な方向に薄膜化されていることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  11. 請求項９記載の荷電粒子線用標準試料において、
    前記配列されたパターンと前記格子構造を有する物質は、互いに噛み合うように構成されていることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  12. 請求項９記載の荷電粒子線用標準試料において、
    前記標準試料は、ピッチ寸法（周期）が公証値として既知の周期構造を有する倍率基準試料であることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  13. 請求項９記載の荷電粒子線用標準試料において、
    前記標準試料は、前記荷電粒子線の光軸に対し、薄膜面が垂直となるように配置されるものであることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  14. 請求項９記載の荷電粒子線用標準試料において、
    前記標準試料は、前記荷電粒子線による格子像観察が可能なように薄膜化されていることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
  15. 請求項９記載の荷電粒子線用標準試料において、
    薄膜化された異なる２つの試料が複合した前記標準試料の薄膜面が、前記荷電粒子線に対して垂直な方向となるように配置されていることを特徴とする荷電粒子線用標準試料。
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