JP2007248065A - 容量式湿度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】周囲の湿度変化に応じて容量値が変化する検出部と、当該検出部に対する基準容量部とを備える容量式湿度センサ100であって、検出部は、湿度に応じて比誘電率が変化する第1感湿膜151を有する第1湿度センサ素子161を含み、基準容量部は、湿度に応じて比誘電率が変化する第2感湿膜152を有し、第1湿度センサ素子161と直列接続され、第1湿度センサ素子161とは湿度変化に対する容量値変化の傾きが異なる第2湿度センサ素子162と、当該第2湿度センサ素子162と並列接続され、湿度変化に対して容量値が一定のコンデンサ170とを含むようにした。
【選択図】図1
Description
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る容量式湿度センサの概略構成を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のA−A線に沿う断面図である。図2は、検出部と基準容量部における電極構成の違いを説明するための図であり、(a)は図1(a)のB−B線に沿う断面図、(b)は図1(a)のC−C線に沿う断面図である。図3は、検出部と基準容量部の相対湿度と静電容量の関係を示す図である。
次に、本発明の第2実施形態を、図6に基づいて説明する。図6は、本発明の第2実施形態に係る容量式湿度センサ100の概略構成を示す平面図である。なお、図6においては、図1(a)同様、窒化シリコン膜140を省略している。
これに対し、本実施形態においては、第1感湿膜151と第2感湿膜152を、異なる材料を用いて構成することで、湿度変化に対する容量値変化の傾きを、第1湿度センサ素子161と第2湿度センサ素子162とで互いに異なるようにする点を特徴とする。
次に、本発明の第3実施形態を、図7に基づいて説明する。図7は、本発明の第3実施形態に係る容量式湿度センサ100の概略構成を示す図であり、(a)は平面図、(b)は(a)のD−D線に沿う断面図である。なお、図7(a)においては、図1(a)同様、窒化シリコン膜140を省略している。
また、図7(a)に示すように、検出電極131a,131bにおける対向面積が、基準電極132a,132bにおける対向面積よりも小さく設定されている。そして、基準電極132a,132bに対して、所定容量のコンデンサ170が並列接続されている。
110・・・基板
131a,131b・・・検出電極(一対の電極)
132a,132b・・・基準電極(一対の電極)
150・・・感湿膜
151・・・第1感湿膜
152・・・第2感湿膜
161・・・第1湿度センサ素子
162・・・第2湿度センサ素子
170・・・コンデンサ
180・・・回路部
Claims (17)
- 周囲の湿度変化に応じて容量値が変化する検出部と、当該検出部に対する基準容量部とを備える容量式湿度センサであって、
前記検出部は、湿度に応じて比誘電率が変化する第1感湿膜を有する第1湿度センサ素子を含み、
前記基準容量部は、湿度に応じて比誘電率が変化する第2感湿膜を有し、前記第1湿度センサ素子と直列接続され、前記第1湿度センサ素子とは湿度変化に対する容量値変化の傾きが異なる第2湿度センサ素子と、当該第2湿度センサ素子と並列接続され、湿度変化に対して容量値が一定のコンデンサとを含むことを特徴とする容量式湿度センサ。 - 前記第1湿度センサ素子と前記第2湿度センサ素子は、それぞれ、基板上の同一平面に離間して対向配置された一対の電極を有し、
前記第1感湿膜と前記第2感湿膜は、対応する前記一対の電極及び前記一対の電極間を覆うように、前記基板上に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の容量式湿度センサ。 - 前記一対の電極は互いに櫛歯状をなしており、噛み合うように配置されていることを特徴とする請求項2に記載の容量式湿度センサ。
- 前記一対の電極における櫛歯本数は、前記第1湿度センサ素子と前記第2湿度センサ素子とで異なることを特徴とする請求項3に記載の容量式湿度センサ。
- 前記一対の電極における対向部分の間隔は、前記第1湿度センサ素子と前記第2湿度センサ素子とで異なることを特徴とする請求項2〜4いずれか1項に記載の容量式湿度センサ。
- 前記一対の電極における対向部分の長さは、前記第1湿度センサ素子と前記第2湿度センサ素子とで異なることを特徴とする請求項2〜5いずれか1項に記載の容量式湿度センサ。
- 前記第1感湿膜と前記第2感湿膜は、同一の構成材料からなることを特徴とする請求項2〜6いずれか1項に記載の容量式湿度センサ。
- 前記第1感湿膜と前記第2感湿膜は、異なる構成材料からなることを特徴とする請求項2〜6いずれか1項に記載の容量式湿度センサ。
- 前記一対の電極は、前記第1湿度センサ素子と前記第2湿度センサ素子とで同一パターンに形成されていることを特徴とする請求項8に記載の容量式湿度センサ。
- 前記第1湿度センサ素子と前記第2湿度センサ素子は、それぞれ、前記基板の厚さ方向において、離間して対向配置された一対の電極を有し、
前記第1感湿膜と前記第2感湿膜は、対応する前記一対の電極間に挟まれていることを特徴とする請求項1に記載の容量式湿度センサ。 - 前記一対の電極における対向部分の面積は、前記第1湿度センサ素子と前記第2湿度センサ素子とで異なることを特徴とする請求項10に記載の容量式湿度センサ。
- 前記第1感湿膜と前記第2感湿膜は、同一の構成材料からなることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の容量式湿度センサ。
- 前記第1感湿膜と前記第2感湿膜は、異なる構成材料からなることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の容量式湿度センサ。
- 前記一対の電極における対向部分の面積は、前記第1湿度センサ素子と前記第2湿度センサ素子とで等しいことを特徴とする請求項13に記載の容量式湿度センサ。
- 前記コンデンサは、電子部品として前記基板に実装されていることを特徴とする請求項1〜14いずれか1項に記載の容量式湿度センサ。
- 前記コンデンサは、前記基板の表面に形成され、前記第1湿度センサ素子及び前記第2湿度センサ素子の少なくとも一方の下部に配置されていることを特徴とする請求項1〜14いずれか1項に記載の容量式湿度センサ。
- 前記基板の表面に形成され、前記検出部及び前記基準容量部の信号を処理する回路部を備えることを特徴とする請求項1〜16いずれか1項に記載の容量式湿度センサ。
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