JP2007246343A - 結晶製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】昇華法により歩留まりよく窒化アルミニウム単結晶を製造するための結晶製造装置を提供する。
【解決手段】容器7の内部に、ヒーター12の熱によって昇華した原料ガスの流れを種結晶10表面に向けるための仕切板14を設け、仕切板14の開口部径R2を、種結晶10の径R1に対し、R1≦R2≦3R1の範囲内に調整することにより原料ガスの流れ及び原料と基板の間に流入する窒素濃度を制御する。
【選択図】図1
【解決手段】容器7の内部に、ヒーター12の熱によって昇華した原料ガスの流れを種結晶10表面に向けるための仕切板14を設け、仕切板14の開口部径R2を、種結晶10の径R1に対し、R1≦R2≦3R1の範囲内に調整することにより原料ガスの流れ及び原料と基板の間に流入する窒素濃度を制御する。
【選択図】図1
Description
本発明は、気相成長法により窒化アルミニウム単結晶等の結晶を製造する結晶製造装置に関する。
一般に、アルミニウム(Al),酸素(O),及び窒素(N)を原料として用いて気相成長法により窒化アルミニウム(AlN)単結晶を製造する場合(特許文献1参照)、図6のAl−O−N系状態図に示すように、窒化アルミニウム単結晶は低酸素分圧下において安定であるAl2Oガスを経由して生成されると考えられている。このため、窒化アルミニウム単結晶を製造する際は、原料からAl2Oガスを生成するために、製造装置内部を低酸素,低窒素分圧雰囲気にする必要がある。またこの場合、低酸素分圧を維持した状態で基板周辺の窒素分圧を高めることにより、酸窒化アルミニウム等を経由せずに直接窒化アルミニウム単結晶を生成できると考えられている。
特開2006−45047号公報
しかしながら、原料と基板のみから構成される単結晶製造装置では、窒素分圧を高めた場合、窒素が基板側から原料側に流れることによって原料と基板の間に雑晶が生成されてしまう。そして、雑晶が生成されると、坩堝から結晶成長用基板への原料ガスの流れが変化し、結晶成長用基板に原料ガスが効率よく供給されない。このため、気相成長法を利用した従来の単結晶製造工程によれば、歩留まりよく結晶を製造することが困難であった。また、従来の単結晶製造工程では、窒化アルミニウム単結晶はバッチ式により製造されるために、坩堝内の原料が全て気化した場合、炉内の温度を下げた後に坩堝に原料を補充する必要がある。このため、従来の単結晶製造工程によれば、1回の連続結晶成長によって大きな結晶を製造することが困難であった。
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、歩留まりよく結晶を製造することが可能な結晶製造装置を提供することにある。
上述の課題を解決するために、本発明の第1の態様に係る結晶製造装置の特徴は、容器内に収容された少なくともアルミニウム、酸素、及び窒素を含む原料を昇華させることにより原料ガスを生成し、原料ガスを容器上部に配設された結晶成長用基板に供給することにより結晶を製造する結晶製造装置であって、容器と結晶成長用基板の間に配設され、結晶成長用基板の口径の1倍以上3倍以下の大きさの開口部を有し、容器から結晶成長用基板への原料ガスの流れを制御する仕切板を備えることにある。
また、本発明の第2の態様に係る結晶製造装置の特徴は、容器内に収容された少なくともアルミニウム、酸素、及び窒素を含む原料を昇華させることにより原料ガスを生成し、原料ガスを結晶成長用基板に供給することにより結晶を製造する結晶製造装置であって、容器の口径は結晶成長用基板の口径の1.2倍以上の大きさを有することにある。
なお、上記原料は、アルミニウム、酸素、及び窒素の化合物又は混合体のどちらでもよく、アルミニウム、酸素、及び窒素以外の物質を含んでいてもよい。また、上記昇華とは、昇華、気化、反応によって気体を生成する現象、分解によって気体を生成する現象、分解した生成物が気化,昇華する現象の全てを含む概念である。
また、上記仕切板は、高融点金属、窒化物、炭化物、及び炭素のうちのいずれかにより形成されていることが望ましい。また、上記仕切板は、窒化アルミニウムにより形成されていてもよい。
また、上記結晶製造装置は、容器の側面部に形成され、容器内に希ガスを供給するガス供給部を備えていてもよい。また、上記結晶製造装置は、容器の側面部に形成され、容器内に原料を供給する原料供給部を備えていてもよい。
さらに、上記容器上部には結晶成長用基板が2個以上並列に配設されていてもよい。また、原料の昇華面と結晶成長用基板の間隔が一定になるように容器又は結晶成長用基板を昇降する昇降機構を設けるようにしてもよい。
本発明に係る結晶製造装置によれば、原料ガスの流れ及び原料と基板の間に流入する窒素濃度を制御することができるので、結晶成長用基板への原料ガスの供給が雑晶によって阻害されることがなくなり、歩留まりよく結晶を製造することができる。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態となる結晶製造装置の構成について説明する。
〔実施例1〕
本発明の実施形態となる結晶製造装置1は、図1に示すように、炉2と、炉2内部に窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスを供給するガス供給口3と、炉2内部のガスを排出するガス排出口4と、炉2内の載置台5上に載置された開口部を有する本体部6と、本体部6の内部に収容された坩堝等の容器7と、容器7内部に収容された原料8と、本体部6の開口部を塞ぐ蓋体部9と、蓋体部9の裏面に設けられ、種結晶10を保持する保持部11と、炉2内部を加熱するヒーター12とを備える。
本発明の実施形態となる結晶製造装置1は、図1に示すように、炉2と、炉2内部に窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスを供給するガス供給口3と、炉2内部のガスを排出するガス排出口4と、炉2内の載置台5上に載置された開口部を有する本体部6と、本体部6の内部に収容された坩堝等の容器7と、容器7内部に収容された原料8と、本体部6の開口部を塞ぐ蓋体部9と、蓋体部9の裏面に設けられ、種結晶10を保持する保持部11と、炉2内部を加熱するヒーター12とを備える。
また、容器7の側面部には、結晶製造工程中に図示しない原料貯蔵部から容器7内に原料を連続的に供給するための原料供給部13と、図示しないガス貯蔵部から容器7内に希ガスを供給するためのガス供給部14とが設けられている。ガス供給部14により容器7内に希ガスを供給することにより、原料ガスの流れ及び原料と基板の間に流入する窒素濃度を制御することができる。また、容器7の内部には、ヒーター12の熱によって昇華した原料ガスの流れを種結晶10表面に向け、且つ、基板周辺の窒素ガスが原料側に流入することを抑制するための仕切板15が設けられている。
なお、本願発明の発明者らは、種結晶10の径をR1とすると、仕切板15の開口部径R2を図2に示すようにR1≦R2≦3R3の範囲内に調整することにより、種結晶10表面に原料ガスを効率よく供給でき、また基板周辺の窒素ガスが原料側に流入することを抑制し、雑晶の生成を抑制できることを知見した。また、仕切板15は、高融点金属、窒化物、炭化物、及び炭素のうちのいずれかにより形成されていることが望ましい。また、仕切板15は、窒化アルミニウムにより形成されていてもよい。
また、本願発明の発明者らは、他の実施形態として、容器7内部に仕切板15を設けずに、図3に示すように、容器7の開口径R3を種結晶10の径R1の1.2倍以上の大きさにすることによっても、種結晶10表面に原料ガスを効率よく供給できることを知見した。またこの場合、図4に示すように、保持部11に2つ以上の種結晶10(図4の例では種結晶10a,10b)を配置するようにしてもよい。
また、本願発明の発明者らは、他の実施形態として、容器7を昇降する昇降機構16と、容器7の種結晶10方向への移動量を規制するガイド部17を設け、結晶成長工程の際は、原料の昇華面と種結晶10の間隔が一定になるように容器7を昇降することにより、種結晶10表面に原料ガスを効率よく供給でき、また基板周辺の窒素ガスが原料側に流入することを抑制し、雑晶の生成を抑制できることを知見した。
以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、この実施の形態による本発明の開示の一部をなす論述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれることは勿論であることを付け加えておく。
1:単結晶製造装置
2:炉
3:ガス供給口
4:ガス排出口
5:載置台
6:本体部
7:容器
8:原料
9:蓋体部
10:種結晶
11:保持部
12:ヒーター
13:原料供給部
14:ガス供給部
15:仕切板
16:昇降機構
17:ガイド部
2:炉
3:ガス供給口
4:ガス排出口
5:載置台
6:本体部
7:容器
8:原料
9:蓋体部
10:種結晶
11:保持部
12:ヒーター
13:原料供給部
14:ガス供給部
15:仕切板
16:昇降機構
17:ガイド部
Claims (8)
- 容器内に収容された少なくともアルミニウム、酸素、及び窒素を含む原料を昇華させることにより原料ガスを生成し、当該原料ガスを容器上部に配設された結晶成長用基板に供給することにより結晶を製造する結晶製造装置であって、前記容器と前記結晶成長用基板の間に配設され、結晶成長用基板の口径の1倍以上3倍以下の大きさの開口部を有し、容器から結晶成長用基板への原料ガスの流れを制御する仕切板を備えることを特徴とする結晶製造装置。
- 請求項1に記載の結晶製造装置であって、前記仕切板が高融点金属、窒化物、炭化物、及び炭素のうちのいずれかにより形成されていることを特徴とする結晶製造装置。
- 請求項1に記載の結晶製造装置であって、前記仕切板が窒化アルミニウムにより形成されていることを特徴とする結晶製造装置。
- 容器内に収容された少なくともアルミニウム、酸素、及び窒素を含む原料を昇華させることにより原料ガスを生成し、当該原料ガスを結晶成長用基板に供給することにより結晶を製造する結晶製造装置であって、前記容器の口径が前記結晶成長用基板の口径の1.2倍以上の大きさを有することを特徴とする結晶製造装置。
- 請求項1乃至請求項4のうち、いずれか1項に記載の結晶製造装置であって、前記容器の側面部に形成され、容器内に希ガスを供給するガス供給部を備えることを特徴とする結晶製造装置。
- 請求項1乃至請求項5のうち、いずれか1項に記載の結晶製造装置であって、前記容器の側面部に形成され、容器内に原料を供給する原料供給部を備えることを特徴とする結晶製造装置。
- 請求項1乃至請求項6のうち、いずれか1項に記載の結晶製造装置であって、前記容器上部には結晶成長用基板が2個以上並列に配設されていることを特徴とする結晶製造装置。
- 請求項1乃至請求項7のうち、いずれか1項に記載の結晶製造装置であって、原料の昇華面と結晶成長用基板の間隔が一定になるように前記容器又は結晶成長用基板を昇降する昇降機構を備えることを特徴とする結晶製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006072939A JP2007246343A (ja) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | 結晶製造装置 |
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JP2006072939A Withdrawn JP2007246343A (ja) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | 結晶製造装置 |
Country Status (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009249199A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-29 | Fujikura Ltd | 窒化アルミニウム単結晶の製造装置 |
JP2010150111A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Fujikura Ltd | 窒化物単結晶とその製造方法および製造装置 |
JP2013035720A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | Fujikura Ltd | 窒化アルミニウム単結晶の製造装置及び製造方法 |
CN103249877A (zh) * | 2010-11-10 | 2013-08-14 | 株式会社藤仓 | 氮化铝单晶的制造装置和制造方法 |
CN109023513A (zh) * | 2018-08-20 | 2018-12-18 | 深圳大学 | 制备氮化铝晶体的坩埚设备及方法 |
-
2006
- 2006-03-16 JP JP2006072939A patent/JP2007246343A/ja not_active Withdrawn
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