JP2007245633A - 液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明にかかる液滴吐出ヘッドおよび成膜装置は、吐出口などに異物が付着しているか否かを検出する構造を提供するものであり、吐出された液滴の飛行曲がりを防止するなどにより、液滴の吐出の精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッドは、第１駆動部(32)と、前記第１駆動部に接続された基体(33,34)と、を備え、前記基体が第１収容室(30)と、第１吐出口(40)と、前記第１収容室と前記第１吐出口とを連通する第１貫通部(4)と、を有し、前記第１吐出口の周縁に第１電極(41)と第２電極(42)とが互いに間隔をおいて形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図４

Description

本発明は、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置に関する。

近年、インクジェット技術を用いた液滴吐出装置において、紙に印刷する用途に用いられるインクジェットプリンタ等の画像形成装置のほか、例えばディスプレイ用のパネルの金属配線を形成する用途に用いられる成膜装置が開発されている。
ここで、例えばインクジェットプリンタの液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）には、多数の吐出口（ノズル口）が設けられているが、液滴（インク）の成分が析出し、吐出口周縁に付着することにより、いくつかの吐出口が目詰まりを起こし、液滴を正常に吐出できなくなる場合がある。吐出口が目詰まりを起こすと、印刷された画像内にドット抜けが生じるなどの不具合が起きる。
これについて、特許文献１では、液滴吐出ヘッドの吐出口に対して、液滴吐出時に液滴と接触する位置に温度検知センサを設け、接触した液滴の蒸発に伴う抵抗の変化に基づいて液滴吐出の有無を検知することにより、液滴の不吐出検出を可能としている。

特開平０８−３２３９９３号公報

しかしながら、特許文献１に開示されている技術は、吐出口が完全に吐出不能に陥っているかどうかの判別には適しているものの、吐出口近傍にインクの成分等の異物が付着しているような状態であるかどうかを判別することには不向きである。つまり、異物の付着による液滴の飛行曲がりを防ぐ技術としては不十分である。

そこで、本発明にかかる液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置は、吐出口などに異物が付着しているか否かを検出する構造を提供するものであり、吐出された液滴の飛行曲がりを防止するなどにより、液滴の吐出の精度を向上させることを目的とする。

本発明にかかる液滴吐出ヘッドは、第１駆動部と、前記第１駆動部に接続された基体と、を備え、前記基体が第１収容室と、第１吐出口と、前記第１収容室と前記第１吐出口とを連通する第１貫通部と、を有し、前記第１吐出口の周縁に複数の第１電極枝と複数の第２電極枝とが互いに間隔をおいて交互に配置し、前記複数の第１電極枝と前記複数の第２電極枝とが前記第１貫通部の表面上に延在していることを特徴とする。この構造を用いれば、第１電極枝と第２電極枝との間の抵抗値を測定することにより、第１吐出口周縁や第１貫通部表面に付着する異物の存在を確認することも可能となるため、結果として、液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出の精度を向上させることができる。また、第１電極枝と第２電極枝とがそれぞれ複数設けられており、第１吐出口周縁または第１貫通部表面に密に形成されているため、付着した異物の検出の精度を高めることができる。

また、本発明にかかる液滴吐出ヘッドは、第１駆動部と、第２駆動部と、前記１駆動部および第２駆動部に接続された基体と、を備え、前記基体が前記第１駆動部に制御される第１収容室と、第１吐出口と、前記第１収容室と前記第１吐出口とを連通する第１貫通部と、を有し、前記基体が前記第２駆動部に制御される第２収容室と、第２吐出口と、前記第２収容室と前記第２吐出口とを連通する第２貫通部と、を有し、前記第１吐出口の周縁に第１電極と第２電極とが形成され、前記第２吐出口の周縁に第３電極と第４電極とが形成され、前記第１電極と前記第２電極と前記第３電極と前記第４電極とが互いに間隔をおいて形成されていることを特徴とするものであってもよい。この構造を用いれば、例えば第１電極と第２電極との間の抵抗値を測定することにより、第１吐出口周縁等に付着する異物の存在を確認することも可能となるため、結果として、液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出の精度を向上させることができる。また、複数の吐出口における抵抗値を個別に測定することができるため、異物の付着が確認された吐出口からの吐出を停止することができるので、ヘッドのメンテナンスの回数を減らすことも可能である。

また、本発明にかかる液滴吐出ヘッドは、第１駆動部と、前記第１駆動部に接続された基体と、を備え、前記基体が第１収容室と、第１吐出口と、前記第１収容室と前記第１吐出口とを連通する第１貫通部と、を有し、前記第１吐出口の周縁に第１電極と第２電極とが互いに間隔をおいて形成されていることを特徴とするものであってもよい。この構造を用いれば、第１電極と第２電極との間の抵抗値を測定することにより、第１吐出口周縁等に付着する異物の存在を確認することも可能となるため、結果として、液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出の精度を向上させることができる。

上記の液滴吐出ヘッドにおいては、前記第１貫通部の表面上に前記第１電極と、前記第２電極と、が延在していることが好ましい。これにより、第１吐出口周縁のみならず、第１貫通部表面に付着する異物を検出することも可能となる。

また、上記の液滴吐出ヘッドにおいては、前記第１電極が複数の第１電極枝を含み、前記第２電極が複数の第２電極枝を含み、前記第１貫通部の表面上において、前記複数の第１電極枝と前記複数の第２電極枝とが交互に配置していることが好ましい。たとえば、１本の第１電極枝を挟んだ２本の第２電極枝の間隔が小さければ小さいほど付着異物の検出精度は向上するものである。したがって、複数の第１電極枝と複数の第２電極枝を第１貫通部表面に密に形成すれば、付着した異物の検出の精度をより高めることができる。

また、上記の液滴吐出ヘッドにおいては、前記第１吐出口の周縁が絶縁材料で形成されていることが好ましい。これによれば、第１吐出口における第１電極と第２電極との間の抵抗値の検出を容易に行うことができる。

また、上記の液滴吐出ヘッドにおいては、前記第１貫通部の表面が絶縁材料で形成されていることが好ましい。これによれば、第１貫通部における第１電極と第２電極との間の抵抗値の検出を容易に行うことができる。

また、上記の液滴吐出ヘッドにおいては、前記第１駆動部が圧電素子を含み、前記第１収容室が前記第１駆動部の動作により容積を変動させる第１圧力室であることが好ましい。これによれば、液滴吐出ヘッドに圧電素子を用いることができる。圧電素子の動作は加熱によるものではないため、加熱と比べて液滴の乾燥を促進させることもなく、第１吐出口周縁等に異物を付着させる頻度も少なくなる。そのため、結果的に、液滴吐出精度を向上させることができる。

また、上記の液滴吐出ヘッドにおいては、前記基体が流路基板とノズルプレートとを有し、前記第１収容室が前記流路基板に形成され、前記第１吐出口および前記第１貫通部が前記ノズルプレートに形成されていることが好ましい。これによれば、流路基板とノズルプレートとが別体のものから構成されている液滴吐出ヘッドを用いることも可能となるため、設計上の自由度が向上する。

本発明にかかる液滴吐出装置は、上記の液滴吐出ヘッドと、前記第１駆動部を制御する制御部を備え、前記第１電極と前記第２電極との間の抵抗値を測定し測定抵抗値を検出する機能を有することを特徴とする。これによれば、第１吐出口周縁等に付着した異物を検出することができる。例えば導電性の機能材料を吐出する場合、異物付着の検出が容易になるため、装置のメンテナンスの精度が向上し、結果的に、成膜の質が向上する。

また、本発明にかかる液滴吐出装置は、上記の液滴吐出ヘッドと、前記第１駆動部を制御する制御部を備え、前記第１電極と前記第２電極との間の抵抗値を測定し測定抵抗値を検出する機能を有し、前記測定抵抗値が設定抵抗値を下回った場合、前記駆動部の動作を停止する機能を有することを特徴とするものであってもよい。これによれば、第１吐出口周縁等に異物が付着した場合、第１吐出口からの液滴の吐出を停止することができる。例えば導電性の機能材料を吐出する場合、異物付着の検出が容易になるため、装置のメンテナンスの精度が向上し、結果的に、成膜の質が向上する。

以下、本発明にかかる液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置（成膜装置）の実施形態を説明する。
まず、本発明にかかる液滴吐出ヘッドの説明に先立ち、本発明にかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置、すなわち本発明にかかる液滴吐出装置を説明する。

＜液滴吐出装置＞
図１は、一実施形態の液滴吐出装置の概略構成を示す図である。図１に示すように、液滴吐出装置１は、液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッド２を搭載するキャリッジ１０５と、キャリッジ１０５を水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」という）に移動させるキャリッジ移動機構（移動手段）１０４と、液滴の付与の対象である基板１０を保持するステージ１０６と、ステージ１０６をＸ軸方向に垂直であって水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」という）に移動させるステージ移動機構（移動手段）１０８と、制御部１１２とを備えている。液滴吐出装置１の近傍には、液状材料１１１を貯留するタンク１０１が設置されている。タンク１０１と、キャリッジ１０５とは、液状材料１１１を送液する流路となるチューブ１１０を介して接続されている。タンク１０１に貯留された液状材料１１１は、例えば圧縮空気の力によって液滴吐出ヘッド２に送液（供給）される。

液状材料１１１としては、液滴吐出ヘッド２から吐出可能な粘度を有するものであれば特に限定されず、各種液状材料、溶液、溶解液、を用いることができる。また、液状材料１１１は、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。すなわち、液状材料１１１は、色要素膜の構成材料が溶媒中に溶解または分散されてなるものであって、溶液であっても分散液（サスペンションやエマルション）であってもよい。

キャリッジ移動機構１０４の作動は、制御部１１２により制御される。本実施形態のキャリッジ移動機構１０４は、キャリッジ１０５をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでキャリッジ１０５を回転させる機能も有しており、これにより、キャリッジ１０５のＺ軸回りの角度を微調整することができる。

ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、液滴の付与の対象である基板１０をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。

ステージ移動機構１０８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させ、その作動は、制御部１１２により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ１０６に載置された基板１０のＺ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。

上述のように、キャリッジ１０５は、キャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、ステージ移動機構１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８によって、ステージ１０６に対するキャリッジ１０５の相対位置が変わる。

図２は、図１に示す液滴吐出装置の制御系の構成を示すブロック図である。図２に示すように、制御部１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８と、抵抗値測定部２１０と、キャリッジ位置検出手段３０２と、ステージ位置検出手段３０３と、を備えている。

入力バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、液滴吐出ヘッド２と相互に通信可能に接続されている。抵抗値測定部２１０は、処理部２０４及び液滴吐出ヘッド２と接続されている。

入力バッファメモリ２００は、図示しない外部情報処理装置から、液状材料１１１の液滴を吐出する位置に関するデータ、すなわち描画パターンデータを受け取る。入力バッファメモリ２００は、この描画パターンデータを処理部２０４に供給し、処理部２０４は、描画パターンデータを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２は、ＲＡＭ、磁気記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。抵抗値測定部２１０は、液滴吐出ヘッド２の吐出口近傍に設けられた対をなす電極の相互間の抵抗値を測定する。この詳細については後述する。

キャリッジ位置検出手段３０２は、キャリッジ１０５、すなわち液滴吐出ヘッド２のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。ステージ位置検出手段３０３は、ステージ１０６、すなわち基体１０のＹ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。

処理部２０４は、キャリッジ位置検出手段３０２およびステージ位置検出手段３０３の検出信号に基づき、走査駆動部２０６を介して、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動を制御（クローズドループ制御）し、キャリッジ１０５の位置と、基板１０の位置とを制御する。さらに、処理部２０４は、ステージ移動機構１０８の作動を制御することにより、ステージ１０６すなわち基板１０の移動速度を制御する。また、処理部２０４は、描画パターンデータに基づいて、吐出タイミング毎のノズルのオン・オフを指定する選択信号をヘッド駆動部２０８へ与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号に基づいて、液状材料１１１の吐出に必要な吐出信号を液滴吐出ヘッド２に与える。この結果、液滴吐出ヘッド２から、液状材料１１１が液滴として吐出される。制御部１１２は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータである。この場合には、制御部１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御部１１２は、専用の回路（ハードウェア）であってもよい。

次に、本発明の液滴吐出ヘッドの一例として、液滴吐出ヘッド２を詳細に説明する。
図３は、液滴吐出ヘッドにおいて液体材料が吐出される部分の詳細構造を説明するための部分斜視図である。図４は、液滴吐出ヘッドにおいて液体材料が吐出される部分の詳細構造を説明するための部分断面図である。

図３に示すように、液滴吐出ヘッド２は、振動板３３と、ノズルプレート３４と、流路基板３８とを、備えている。振動板３３とノズルプレート３４とは、相互間に流路基板３８を介在させて一体化されている。流路基板３８には、共通収容室３５と、複数の隔壁３１と、複数の収容室３０とが形成されている。収容室３０は貫通部４に対応して設けられているため、収容室３０の数と貫通部４の数とは同じである。収容室３０には、１対の隔壁３１間に位置する供給路３６を介して、共通収容室３５から液体材料が供給される。本例では、流路基板３８とノズルプレート３４とが本発明における「基体」に相当する。

図４に示すように、振動板３３の上には、それぞれの収容室３０に対応して、圧電素子（駆動部）３２が位置する。圧電素子３２は、圧電体層３２ｃと、圧電体層３２ｃを挟む電極３２ａ、３２ｂとからなる。この電極３２ａ、３２ｂに駆動電圧を与えることで、対応する貫通部４から液状材料が液滴となって吐出される。なお、圧電素子３２は、振動板３３の厚さ方向に伸縮するように構成されていれば、電極の位置や圧電体層の材質は任意に設定することができる。ここで、貫通部４とは、収容室３０と、液滴吐出面３９に設けられた吐出口４０と、を連通する部分である。この貫通部４の表面とは、図４ではノズルプレート３４の一部の表面であって、圧力室３０と吐出口４０との間に位置する面を意味する。吐出口４０とは、貫通部４と液滴吐出面３９との境界部である。吐出口４０の周縁とは、液滴吐出面３９において、液体材料が吐出されるときに接触する領域を意味する。この吐出口４０の周縁は絶縁材料で形成されている。また、貫通部４の表面も絶縁材料で形成されている。また、本例の収容室３０は、圧電素子３２の動作により容積を変動させる圧力室である。電極４１、４２は、貫通部４の表面上に延在し、当該表面から吐出口４０の周縁に渡って形成されている。

図５は、各電極の配置について説明する模式平面図である。図５は、吐出口４０の周縁部を平面図で表したものである。各吐出口４０の周縁には、それぞれ、一対の電極４１と電極４２が互いに間隔をおいて形成されている。各電極４１は、共通配線４３と接続されている。同様に、各電極４２は、共通配線４４と接続されている。なお、本発明との対応を説明すると、例えば、図中、最も左側の吐出口４０が「第１吐出口」に相当し、この吐出口４０の周縁に設けられた電極４１が「第１電極」、電極４２が「第２電極」にそれぞれ相当する。また、この場合、図中の左から２番目（中央）の吐出口４０が「第２吐出口」に相当し、この吐出口４０の周縁に設けられた電極４１が「第３電極」、電極４２が「第４電極」にそれぞれ相当する。これらの対をなす電極４１、４２は、吐出口４０の付近に液体材料の析出物が付着し、孔詰まりを生じたことを検出するために用いられる。具体的には、対をなす電極４１、４２の間に電圧を印加し、流れる電流を測定する等により、これらの電極４１、４２の間に生じる抵抗値を測定することにより、孔詰まりが判断される。析出物が存在しなければ、電極４１、４２は離間しているので、測定される抵抗値は非常に高い値となる。一方で、析出物が生じた場合は、電極４１、４２の相互間が析出物を介して電気的に接続されるので、この析出物の性質、量などに応じた抵抗値が得られる。これらの電極４１、４２は、制御部１１２内の抵抗値測定部２１０に接続されており（図２参照）、この抵抗値測定部２１０によって、電極４１、４２の間の抵抗値が測定され、測定抵抗値が検出される。測定抵抗値は処理部２０４に入力される。処理部２０４は、例えば、測定抵抗値が所定の設定抵抗値以下である場合、液滴吐出ヘッド２の圧電素子３２の動作を停止するよう制御する。なお、抵抗値の代わりに、静電容量値を利用してもよい。

図６は、各電極の他の態様について説明する模式平面図である。図６に示す例のように、共通配線４３、４４を省略し、各電極４１、４２をそれぞれ独立に存在させてもよい。この構成によれば、各吐出口４０ごとに孔詰まりを判定することが容易となる。なお、いずれか一方の電極（例えば、電極４１）のみを独立させ、他方の電極（例えば、電極枝４２）は共通配線に接続させてもよい。共通配線を基準電位（例えば、接地電位）に接続することにより、各吐出口４０ごとに孔詰まりを判定し得る。

図７は、各電極の他の態様について説明する模式平面図である。図７に示す例では、複数の電極枝４１ａと、複数の電極枝４２ａと、が吐出部０４の周辺に設けられている。より詳細には、各電極枝４１ａと各電極枝４２ａとは、吐出口４０の周辺において、互いに間隔をおいて交互に配置されている。本例では、各電極枝４１ａは全体として１つの電極として機能し、同様に、各電極枝４２ａは全体として１つの電極として機能する。また、図示を省略するが、各電極枝４１ａ、各電極枝４２ａは、ともに、上記の各電極４１、４２と同様に、貫通部４の表面上に延在している（図４参照）。各電極枝４１ａは共通配線４３と接続されており、各電極枝４２ａは共通配線４４と接続されている。各電極枝４１ａと、各電極枝４２ａとは、絶縁膜４５を挟んで上下に積層して配置されている。絶縁膜４５により、両者間の電気的絶縁が確保される。なお、本発明との対応を説明すると、各電極枝４１ａが「複数の第１電極枝」に相当し、各電極枝４２ａが「複数の第２電極枝」に相当する。

図８は、各電極の他の態様について説明する模式平面図である。図８に示す例のように、共通配線４３を省略して各電極枝４１ａを吐出口４０ごとに独立させ、かつ、共通配線４４を省略して各電極枝４２ａを吐出口４０ごとに独立させてもよい。この構成によれば、各吐出口４０ごとに孔詰まりを判定することが容易となる。なお、いずれか一方の電極枝群（例えば、電極枝４１ａ）のみを独立させ、他方の電極枝群（例えば、電極枝４２ａ）は共通配線に接続させてもよい。共通配線を基準電位（例えば、接地電位）に接続することにより、各吐出口４０ごとに孔詰まりを判定し得る。

ところで、上述の実施形態では、基体が流路基板とノズルプレートとを有するタイプの液滴吐出ヘッドに本発明を適用した場合の一実施形態について説明したが、以下に説明する、基体が収容室、吐出口及び貫通部を有するように一体成形されたタイプの液滴吐出ヘッドに対しても本発明を適用可能である。

図９は、他の態様の液滴吐出ヘッドの概略構成を示す斜視図である。図１０は、図９に示す液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。

図９に示す液滴吐出ヘッド２ａは、互いに接合した基板（基体）５２及び基板（振動板）５３を有し、これらの基板５２、５３の間に、液状材料（前述した液状材料１１１）の流路が形成されている。そして、基板５３の上記流路と反対側には、圧電素子５１が取り付けられ、これらは、基板５６により接合（固定）されている。

より具体的に説明すると、図１０に示すように、基板５２の基板５３側の面には、溝および凹部が形成され、これにより、基板５２と基板５３との間には、液状材料を収容する複数の収容室（キャビティ）５９と、各収容室５９から液状材料を吐出する吐出口５７と、各収容室５９へ液状材料を供給するための液状材料を収容する１つの共通収容室（リザーバ）６１と、共通収容室６１から各収容室５９へ液状材料を供給するための供給路６０とが画成されている。

複数の収容室５９は、互いに隔壁６２を介して複数並設され、各収容室５９は、隔壁６２および振動板５８を含む部材により画成され、貫通部を介して吐出口５７に連通するとともに液状材料を収容している。各収容室５９は、供給路６０を介して１つの共通収容室６１に連通している。これにより、共通収容室６１から供給路６０を介して各収容室５９へ液状材料を供給することができる。また、共通収容室６１は、図示しない供給部を通じて、前述したチューブ１１０から液状材料が供給されるようになっている。

このような各収容室５９の壁面の一部を構成する基板５３の部分は、振動板５８として機能する。したがって、各振動板５８を変位（振動）させることにより、対応する収容室５９の容積を変化させて、貫通部を介し、吐出口５７から液滴を吐出することができる。そして、上記実施形態と同様に、各吐出口５７の周縁、或いは更に吐出口５７と収容室５９とを連通する貫通部６３に延在するようにして、対をなす電極、又は電極枝（図５〜図８参照）を設けることができる。

このような各振動板５８の収容室５９と反対側の面、すなわち、基板５３の基板５２と反対側の面における各収容室５９に対応する部位には、図９および図１０に示すように、振動板５８の長手方向に沿って圧電素子５１が接合されている。すなわち。各圧電素子５１は、各収容室５９の振動板５８の外面に接合されている。

各圧電素子５１は、振動板５８の厚さ方向に伸縮するように構成されている。これにより、振動板５８を振動（変位）させる。このような各圧電素子５１には、前述したヘッド駆動部２０８に接続された第１端子５４および第２端子５５が取り付けられている。これにより、第１端子５４および第２端子５５を通じて圧電素子５１に電圧を印加することにより、圧電素子５１を伸縮させ、振動板５８を変位（振動）させることができる。

このような圧電素子５１の基板５３と反対側の面には、基板５６が接合・固定されている。すなわち、基板５６は、互いに隣接する圧電素子５１を収容室５９と反対側にて互いに連結している。このように互いに隣接する圧電素子５１が収容室５９と反対側で互いに連結していると、圧電素子５１の駆動力をより確実かつ効率的に振動板５８に伝達して、収容室５９の容積変化量を大きくすることができる。その結果、より確実に、液滴吐出ヘッド２ａの省電力化および低コスト化を図ることができる。そして、基板５６上にて、前述した第１端子５４および第２端子５５への外部からのアクセスが可能となっている。

以上の実施形態によれば、吐出口周縁や貫通部表面に付着する異物の存在を確認することも可能となるため、結果として、液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出の精度を向上させることができる。

なお、本発明は上述した内容に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において適宜、変更して実施することも可能である。例えば、上述した実施形態では、駆動部の一例として圧電素子を説明していたが、駆動部はこれに限定されない。例えば、駆動部は、収容室内に気泡を発生させる機構のもの等であってもよい。

液滴吐出装置の概略構成を示す図である。 液滴吐出装置の制御系の構成を示すブロック図である。 液滴吐出ヘッドにおいて液体材料が吐出される部分の詳細構造を説明するための部分斜視図である。 液滴吐出ヘッドにおいて液体材料が吐出される部分の詳細構造を説明するための部分断面図である。 各電極の配置について説明する模式平面図である。 各電極の他の態様について説明する模式平面図である。 各電極の他の態様について説明する模式平面図である。 各電極の他の態様について説明する模式平面図である。 他の態様の液滴吐出ヘッドの概略構成を示す斜視図である。 図９に示す液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。

符号の説明

１…液滴吐出装置、２…液滴吐出ヘッド、４…貫通部、１０…基板、３０…圧力室、３０…収容室、３１…隔壁、３２…圧電素子、３２ｃ…圧電体層、３２ａ…電極、３３…振動板、３４…ノズルプレート、３５…共通収容室、３６…供給路、３８…流路基板、３９…液滴吐出面、４０…吐出口、４１…電極、４１ａ…電極枝、４２…電極、４２ａ…電極枝、４３…共通配線、４４…共通配線、４５…絶縁膜、５１…圧電素子、５２…基板、５３…基板、５４…第１端子、５５…第２端子、５６…基板、５７…吐出口、５８…振動板、５９…収容室、６０…供給路、６１…共通収容室、６２…隔壁、６３…貫通部、１０１…タンク、１０４…キャリッジ移動機構、１０５…キャリッジ、１０６…ステージ、１０８…ステージ移動機構、１１０…チューブ、１１１…液状材料、１１２…制御部、２００…入力バッファメモリ、２０２…記憶手段、２０４…処理部、２０６…走査駆動部、２０８…ヘッド駆動部、２１０…抵抗値測定部、３０２…キャリッジ位置検出手段、３０３…ステージ位置検出手段

Claims (11)

1. 第１駆動部と、
   前記第１駆動部に接続された基体と、を備え、
   前記基体が第１収容室と、第１吐出口と、前記第１収容室と前記第１吐出口とを連通する第１貫通部と、を有し、
   前記第１吐出口の周縁に複数の第１電極枝と複数の第２電極枝とが互いに間隔をおいて交互に配置し、前記複数の第１電極枝と前記複数の第２電極枝とが前記第１貫通部の表面上に延在していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
2. 第１駆動部と、
   第２駆動部と、
   前記１駆動部および前記第２駆動部に接続された基体と、を備え、
   前記基体が前記第１駆動部に制御される第１収容室と、第１吐出口と、前記第１収容室と前記第１吐出口とを連通する第１貫通部と、を有し、
   前記基体が前記第２駆動部に制御される第２収容室と、第２吐出口と、前記第２収容室と前記第２吐出口とを連通する第２貫通部と、を有し、
   前記第１吐出口の周縁に第１電極と第２電極とが形成され、前記第２吐出口の周縁に第３電極と第４電極とが形成され、前記第１電極と前記第２電極と前記第３電極と前記第４電極とが互いに間隔をおいて形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
3. 第１駆動部と、
   前記第１駆動部に接続された基体と、を備え、
   前記基体が第１収容室と、第１吐出口と、前記第１収容室と前記第１吐出口とを連通する第１貫通部と、を有し、
   前記第１吐出口の周縁に第１電極と第２電極とが互いに間隔をおいて形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
4. 請求項２または３に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記第１貫通部の表面上に前記第１電極と、前記第２電極と、が延在していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
5. 請求項２ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記第１電極が複数の第１電極枝を含み、前記第２電極が複数の第２電極枝を含み、前記第１貫通部の表面上において、前記複数の第１電極枝と前記複数の第２電極枝とが交互に配置していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
6. 請求項２ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記第１吐出口の周縁が絶縁材料で形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記第１貫通部の表面が絶縁材料で形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
8. 請求項２ないし７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記第１駆動部が圧電素子を含み、前記第１収容室が前記第１駆動部の動作により容積を変動させる第１圧力室であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
9. 請求項２ないし８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記基体が流路基板とノズルプレートとを有し、
   前記第１収容室が前記流路基板に形成され、前記第１吐出口および前記第１貫通部が前記ノズルプレートに形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
10. 請求項２ないし９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドと、
    前記第１駆動部を制御する制御部と、を備え、
    前記制御部が前記第１電極と前記第２電極との間の抵抗値を測定し測定抵抗値を検出する機能を有することを特徴とする液滴吐出装置。
11. 請求項２ないし９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドと、
    前記第１駆動部を制御する制御部と、を備え、
    前記制御部が前記第１電極と前記第２電極との間の抵抗値を測定し測定抵抗値を検出する機能を有し、前記測定抵抗値が設定抵抗値以下である場合、前記第１駆動部の動作を停止する機能を有することを特徴とする液滴吐出装置。

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