JP2007240458A - 膜厚測定装置 - Google Patents
膜厚測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007240458A JP2007240458A JP2006066572A JP2006066572A JP2007240458A JP 2007240458 A JP2007240458 A JP 2007240458A JP 2006066572 A JP2006066572 A JP 2006066572A JP 2006066572 A JP2006066572 A JP 2006066572A JP 2007240458 A JP2007240458 A JP 2007240458A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- film thickness
- conductive thin
- thin film
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】ポリエステルフィルム11に導電性薄膜が形成された検査試料に対して当該導電性薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置である。ローラ検査部2に、前記ポリエステルフィルム11の表面に対して、設定された隙間を隔てた状態で支持される検査ヘッド10と、前記ポリエステルフィルム11の導電性薄膜と前記検査ヘッド10との間に介在した状態でローラ検査部2の外周に設けられると共に前記導電性薄膜に直接的に又は間接的に接触して当該導電性薄膜と前記検査ヘッド10との間隔を設定間隔に支持する隔離膜14とを備えて構成した。
【選択図】図1
Description
P=E×I=E(Ie+Io) ……(1)
但し、
P=高周波電力
E=高周波電圧
I=高周波電流
Io=導電性薄膜なし時の高周波電流
Ie=導電性薄膜を入れることにより増加した高周波電流
導電性薄膜をギャップに入れることにより増加する高周波電力は、
Pe=E×Ie ……(2)
試料の導電率=σ 導電性薄膜の膜厚=t コイルの結合係数=K とすると、
Pe=E×Ie=K×E2×σ×t ……(3)
上式より
Ie=K×E×σ×t=K×E×(t/ρ) ……(4)
従って、低抗率は、
ρ=K×(E/Ie)×t (Ω-cm) ……(5)
抵抗率(ρ)とシート抵抗(ρs)と膜厚(t)との関係は、
t=ρ/ρs=K×(E/Ie)/ρs ……(6)
従って、あらかじめ抵抗率(ρ)が既知の導電性薄膜を使用して、シート抵抗(ρs)を測定すれば、前記(6)式より、導電性薄膜の膜厚tを算出することができる。
前記実施形態では、基材としてのポリエステルフィルム11の表裏面のうちの一側面にCu蒸着膜を形成したものを例に説明したが、例えばラミネートシート等のように、内部である中間層に導電性薄膜を形成した場合でも本発明を提供することができる。この場合も、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
31:板材、32:膜厚測定装置、33:検査試料。
Claims (6)
- 基材に導電性薄膜が形成された検査試料に対して当該導電性薄膜の膜厚を測定する膜厚測定装置であって、
前記検査試料の表面に対して、設定された隙間を隔てた状態で支持される検査ヘッドと、
前記検査試料の導電性薄膜と前記検査ヘッドとの間に介在すると共に前記導電性薄膜に直接的に又は間接的に接触して当該導電性薄膜と前記検査ヘッドとの間隔を前記設定された間隔に支持する隔離膜と
を備えて構成されたことを特徴とする膜厚測定装置。 - 請求項1に記載の膜厚測定装置において、
前記検査ヘッドを内部に1又は複数個装着して、前記隔離膜を外側表面に貼付した回転ローラを備えたことを特徴とする膜厚測定装置。 - 請求項2に記載の膜厚測定装置において、
前記回転ローラが、前記検査ヘッドを内蔵した肉厚の円盤状の測定ユニットを1又は複数個連結して構成されたことを特徴とする膜厚測定装置。 - 請求項2又は3に記載の膜厚測定装置において、
前記回転ローラ内の前記検査ヘッドと外部装置とをスリップリングで接続したことを特徴とする膜厚測定装置。 - 請求項1に記載の膜厚測定装置において、
前記検査ヘッドを内部に1又は複数個装着して、前記隔離膜を前記検査試料側表面に貼付した平板状本体を備えたことを特徴とする膜厚測定装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の膜厚測定装置において、
前記基材が長尺帯状の合成樹脂シート又は長大な硬質の板材であることを特徴とする膜厚測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006066572A JP4848195B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 膜厚測定装置 |
CN2007100794025A CN101033935B (zh) | 2006-03-10 | 2007-03-05 | 膜厚测量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006066572A JP4848195B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 膜厚測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007240458A true JP2007240458A (ja) | 2007-09-20 |
JP4848195B2 JP4848195B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=38586129
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006066572A Active JP4848195B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 膜厚測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4848195B2 (ja) |
CN (1) | CN101033935B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011237435A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Helmut Fischer Gmbh Inst Fuer Elektronik & Messtechnik | 測定したい大面積表面上の薄膜層の厚さを測定する方法およびデバイス |
CN114087974A (zh) * | 2021-11-24 | 2022-02-25 | 安徽晨旺林星新材料有限公司 | 一种用于人造纤维加工用木材厚度检测装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102288825A (zh) * | 2011-06-08 | 2011-12-21 | 沈阳飞机工业(集团)有限公司 | 碳纤维复合材料制件表面铝层电阻值测量方法 |
JP5639034B2 (ja) * | 2011-11-22 | 2014-12-10 | シャープ株式会社 | 膜厚測定方法および膜厚測定装置、半導体集積回路の製造方法、制御プログラム、可読記憶媒体 |
CN102877038B (zh) * | 2012-09-26 | 2014-06-25 | 深圳南玻显示器件科技有限公司 | 透明导电膜卷绕镀膜装置及其使用方法 |
CN105301358A (zh) * | 2015-11-09 | 2016-02-03 | 上海卫星装备研究所 | 用于真空卷绕镀膜设备上的膜层电阻在线检测装置 |
CN106918733B (zh) * | 2015-12-24 | 2019-10-11 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 柔性信赖性测试治具及柔性信赖性在线测试设备 |
CN110425973A (zh) * | 2019-08-29 | 2019-11-08 | 威海华菱光电股份有限公司 | 厚度检测装置、方法、系统、存储介质和处理器 |
CN115682905A (zh) * | 2022-12-16 | 2023-02-03 | 广州粤芯半导体技术有限公司 | 薄膜厚度确定方法、装置和计算机设备 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60237335A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 形状検出装置 |
JPS6138503A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-24 | Ketsuto Kagaku Kenkyusho:Kk | 膜厚計 |
JPS6469902A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-15 | Nippon Steel Corp | Method for detecting shape of thin metal strip like plate |
JPH0192666A (ja) * | 1987-10-05 | 1989-04-11 | Kawasaki Steel Corp | 非接触式半導体ウェハ電気抵抗測定方法 |
JPH01239403A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-25 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 膜厚測定方法 |
JPH0316004A (ja) * | 1990-05-18 | 1991-01-24 | Hitachi Ltd | 音声雑音抑圧装置 |
JPH03273186A (ja) * | 1990-03-23 | 1991-12-04 | Nkk Corp | 金属帯の溶接部検出装置 |
JPH04147004A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-20 | Ichikoh Ind Ltd | 車両用外装品の塗装膜厚さ寸法の測定方法 |
JPH05322549A (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 金属帯上塗膜の厚さ制御方法 |
JPH06300510A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-28 | Nkk Corp | 鋼板の板厚変動測定装置 |
JPH06341806A (ja) * | 1993-05-31 | 1994-12-13 | Kawasaki Steel Corp | めっき厚の測定方法および装置 |
JPH07128566A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-19 | Olympus Optical Co Ltd | 移動量検出装置 |
JP2002005609A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Shinko Wire Co Ltd | 被覆鋼より線の被覆厚の測定方法並びにその装置 |
JP2003021501A (ja) * | 2000-11-24 | 2003-01-24 | Ebara Corp | 渦電流センサ |
-
2006
- 2006-03-10 JP JP2006066572A patent/JP4848195B2/ja active Active
-
2007
- 2007-03-05 CN CN2007100794025A patent/CN101033935B/zh active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60237335A (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 形状検出装置 |
JPS6138503A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-24 | Ketsuto Kagaku Kenkyusho:Kk | 膜厚計 |
JPS6469902A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-15 | Nippon Steel Corp | Method for detecting shape of thin metal strip like plate |
JPH0192666A (ja) * | 1987-10-05 | 1989-04-11 | Kawasaki Steel Corp | 非接触式半導体ウェハ電気抵抗測定方法 |
JPH01239403A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-25 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 膜厚測定方法 |
JPH03273186A (ja) * | 1990-03-23 | 1991-12-04 | Nkk Corp | 金属帯の溶接部検出装置 |
JPH0316004A (ja) * | 1990-05-18 | 1991-01-24 | Hitachi Ltd | 音声雑音抑圧装置 |
JPH04147004A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-20 | Ichikoh Ind Ltd | 車両用外装品の塗装膜厚さ寸法の測定方法 |
JPH05322549A (ja) * | 1992-05-22 | 1993-12-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 金属帯上塗膜の厚さ制御方法 |
JPH06300510A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-28 | Nkk Corp | 鋼板の板厚変動測定装置 |
JPH06341806A (ja) * | 1993-05-31 | 1994-12-13 | Kawasaki Steel Corp | めっき厚の測定方法および装置 |
JPH07128566A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-19 | Olympus Optical Co Ltd | 移動量検出装置 |
JP2002005609A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Shinko Wire Co Ltd | 被覆鋼より線の被覆厚の測定方法並びにその装置 |
JP2003021501A (ja) * | 2000-11-24 | 2003-01-24 | Ebara Corp | 渦電流センサ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011237435A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Helmut Fischer Gmbh Inst Fuer Elektronik & Messtechnik | 測定したい大面積表面上の薄膜層の厚さを測定する方法およびデバイス |
EP2386822A3 (de) * | 2010-05-10 | 2015-09-02 | Helmut Fischer GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke dünner Schichten an großflächigen Messoberflächen |
CN114087974A (zh) * | 2021-11-24 | 2022-02-25 | 安徽晨旺林星新材料有限公司 | 一种用于人造纤维加工用木材厚度检测装置 |
CN114087974B (zh) * | 2021-11-24 | 2023-09-15 | 安徽晨旺林星新材料有限公司 | 一种用于人造纤维加工用木材厚度检测装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101033935B (zh) | 2012-09-26 |
JP4848195B2 (ja) | 2011-12-28 |
CN101033935A (zh) | 2007-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4848195B2 (ja) | 膜厚測定装置 | |
CN109916387B (zh) | 一种用于serf原子气室的无磁温控系统及方法 | |
US6462538B2 (en) | Eddy current detection type thin film electrical resistance meter | |
EP2897443B1 (en) | Induction-heated roller apparatus | |
US6657439B1 (en) | Sheet resisitance meter | |
US3258686A (en) | Magnetic and optical differential thickness measuring instrument | |
JP3632832B2 (ja) | シート抵抗測定方法 | |
CN112826151A (zh) | 一种涡流发热体和气溶胶发生装置 | |
JP2009186433A (ja) | 渦電流式試料測定方法と、渦電流センサと、渦電流式試料測定システム | |
JP3584273B2 (ja) | 皮膜厚さ測定方法 | |
WO2012109949A1 (zh) | 一种压电式电流传感器 | |
KR100511624B1 (ko) | 비접촉 방식의 시트저항 측정기 | |
JP2016008931A (ja) | 非破壊検査装置および非破壊検査方法 | |
CN109115830B (zh) | 一种材料三维各向异性热导率无损测试装置及方法 | |
JP4985128B2 (ja) | シート状物の物性を測定する測定装置および方法 | |
JP2005156348A (ja) | 位置検出装置 | |
JP2524384B2 (ja) | 極低温用温度計 | |
JP2006208020A (ja) | 2軸検出型磁気センサおよびその製造方法 | |
RU2295702C1 (ru) | Устройство для измерения толщины ленты | |
US20240023620A1 (en) | Aerosol generation device and susceptor | |
JP4203003B2 (ja) | Nmr分析装置のサンプル温度制御装置 | |
JP2000193531A (ja) | 温度計測装置および温度計測要素およびこれらの製造方法ならびに床暖房装置の温度検出用温度計測装置 | |
JP4769628B2 (ja) | 漏洩磁束測定装置及びこの漏洩磁束測定装置を用いた漏洩磁束測定方法並びにこの漏洩磁束測定方法を用いたスパッタリングターゲットの検査方法 | |
JP2007051899A (ja) | 接触型容量性変位センサ | |
JPS60249067A (ja) | 導電性フイルムの特性測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081009 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110125 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110419 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110719 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110720 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110927 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111017 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4848195 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |