JPS60237335A - 形状検出装置 - Google Patents
形状検出装置Info
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- JPS60237335A JPS60237335A JP9427984A JP9427984A JPS60237335A JP S60237335 A JPS60237335 A JP S60237335A JP 9427984 A JP9427984 A JP 9427984A JP 9427984 A JP9427984 A JP 9427984A JP S60237335 A JPS60237335 A JP S60237335A
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- Japan
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- strip
- rotor
- thin wall
- displacement detector
- shaft body
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/04—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring tension in flexible members, e.g. ropes, cables, wires, threads, belts or bands
- G01L5/045—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring tension in flexible members, e.g. ropes, cables, wires, threads, belts or bands for measuring the tension across the width of a band-shaped flexible member
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21B—ROLLING OF METAL
- B21B38/00—Methods or devices for measuring, detecting or monitoring specially adapted for metal-rolling mills, e.g. position detection, inspection of the product
- B21B38/02—Methods or devices for measuring, detecting or monitoring specially adapted for metal-rolling mills, e.g. position detection, inspection of the product for measuring flatness or profile of strips
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ストリップ幅方向に細分化した張力分布を得
ることによりトスリップの形状（平坦度）を精度良く検
出し得るようにした形状検出装置に関づるものである。
ることによりトスリップの形状（平坦度）を精度良く検
出し得るようにした形状検出装置に関づるものである。
［従来の技術１
張力圧延におけるストリップの平坦度は目視では得にく
く、特に高速度圧延では平坦度の目視による検出は困難
である。しかし、平坦度はストリップ幅方向の張力分布
として得ることによって、圧延成品の形状（平坦度）を
良くし、品質を高めると共に圧延中のストリップの形状
を良くして圧延速度を高めることができる。而して、こ
のためには形状検出装置が必要になる。
く、特に高速度圧延では平坦度の目視による検出は困難
である。しかし、平坦度はストリップ幅方向の張力分布
として得ることによって、圧延成品の形状（平坦度）を
良くし、品質を高めると共に圧延中のストリップの形状
を良くして圧延速度を高めることができる。而して、こ
のためには形状検出装置が必要になる。
従来の形状検出装置の一例を第４図及び第５図【こより
説明すると、図中１は架台２に配設された軸受、３は軸
受１にＪ、り支承され架台２に配設されたヘルパーモー
タ４により駆動し得るＪ−うにした軸体、５は軸体３の
大径部タト因に嵌合され軸線方向に所要の間隔で分割さ
れた複数のスリーブ、Ｓはストリップである。
説明すると、図中１は架台２に配設された軸受、３は軸
受１にＪ、り支承され架台２に配設されたヘルパーモー
タ４により駆動し得るＪ−うにした軸体、５は軸体３の
大径部タト因に嵌合され軸線方向に所要の間隔で分割さ
れた複数のスリーブ、Ｓはストリップである。
軸体３の外周には、軸線方向へ延びる四部６が円周方向
へ所要の間隔で設けてあり、各四部６にはロードセル等
の圧力検出器７が嵌入され、各圧力検出器７に接続した
ケーブル８は軸体３に半径方向へ向けて設けた孔９、軸
体３の軸線部に設けた中空部１０を通り、軸体３の一端
に数句けたスリップリング１１に接続され、スリップリ
ング１１の外側には別のケーブル１２が接続されている
。
へ所要の間隔で設けてあり、各四部６にはロードセル等
の圧力検出器７が嵌入され、各圧力検出器７に接続した
ケーブル８は軸体３に半径方向へ向けて設けた孔９、軸
体３の軸線部に設けた中空部１０を通り、軸体３の一端
に数句けたスリップリング１１に接続され、スリップリ
ング１１の外側には別のケーブル１２が接続されている
。
斯かる形状検出装置では、ヘルパーモータ４により軸体
３及びスリーブ５がストリップＳの速度に同期するよう
一体的に回転させられ、所定の圧力検出器７で検出され
たストリップＳの張力Ｆの信号はケーブル８、スリップ
リング１１ケーブル１２を介して外部へ取出される。
３及びスリーブ５がストリップＳの速度に同期するよう
一体的に回転させられ、所定の圧力検出器７で検出され
たストリップＳの張力Ｆの信号はケーブル８、スリップ
リング１１ケーブル１２を介して外部へ取出される。
しかるに、上述の形状検出装置では、
（１） スリップリング１１の保守が容易でない、（ｉ
ｉ） 軸体３及びスリーブ５が一緒に回転するため回転
体の慣性モーメントが大きく、ストリップＳとの摩擦力
で回転体を回転させるのが困難であり、従ってヘルパー
モータ４が必要になって設備費、運転維持費が高価にな
る、等の問題がある。
ｉ） 軸体３及びスリーブ５が一緒に回転するため回転
体の慣性モーメントが大きく、ストリップＳとの摩擦力
で回転体を回転させるのが困難であり、従ってヘルパー
モータ４が必要になって設備費、運転維持費が高価にな
る、等の問題がある。
従来の形状検出装置の他の例を第６図及び第７図により
説明すると、図中１３は架台２に固着された固定軸体で
あり、該固定軸体１３の外周には軸線方向に所要の間隔
で分割された複数のロータ２３が嵌合されている。
説明すると、図中１３は架台２に固着された固定軸体で
あり、該固定軸体１３の外周には軸線方向に所要の間隔
で分割された複数のロータ２３が嵌合されている。
固定軸体１３の外周には軸線方向及び円周方向へ所要の
間隔でエアーノズル１４が設けられ、該エアーノズル１
４には固定軸体１３に穿設した中空部１５よりエアーを
導く導孔１６が半径方向に向りて穿設され、固定軸体１
３の一端にはエアーを送給するだめの供給管１７が接続
されている。又エアーノズル１４．１４間には検出口１
８が設けられ、検出口１８と中空部１５とは半径方向に
延びる貫通孔１９により連通され、検出０１８に一端が
位置する検出管２０は貫通孔１９を貫通して中空部１５
に入り、曲げられて固定軸体１３の反供給管側に延び、
外部へ突出してその他端を差圧圧力変換器２１に接続さ
れ、該差圧圧力変換器２１にはケーブル２２が接続され
ている。
間隔でエアーノズル１４が設けられ、該エアーノズル１
４には固定軸体１３に穿設した中空部１５よりエアーを
導く導孔１６が半径方向に向りて穿設され、固定軸体１
３の一端にはエアーを送給するだめの供給管１７が接続
されている。又エアーノズル１４．１４間には検出口１
８が設けられ、検出口１８と中空部１５とは半径方向に
延びる貫通孔１９により連通され、検出０１８に一端が
位置する検出管２０は貫通孔１９を貫通して中空部１５
に入り、曲げられて固定軸体１３の反供給管側に延び、
外部へ突出してその他端を差圧圧力変換器２１に接続さ
れ、該差圧圧力変換器２１にはケーブル２２が接続され
ている。
斯かる検出装置では、エアーは供給管１７より中空部１
５、導孔１６を介してエアーノズル１４へ送られ、該エ
アーノズル１４からロータ２３と固定軸体１３との間の
隙間に噴出されて該隙間に空気軸受が形成され、ストリ
ップＳの張力Ｆが支持される。空気軸受部を通過したエ
アーは器外へ排出される。又ストリップＳの張力分布が
変化すると、張力分布が変化した部分のロータ２３と固
定軸体１３との間の隙間が変化するが、該隙間の変化は
検出管２０を介し圧力差として差圧圧力変換器２１で検
出され、電気信号としてケーブル２２により外部へ取出
され、而してストリップＳの張力分布が得られる。
５、導孔１６を介してエアーノズル１４へ送られ、該エ
アーノズル１４からロータ２３と固定軸体１３との間の
隙間に噴出されて該隙間に空気軸受が形成され、ストリ
ップＳの張力Ｆが支持される。空気軸受部を通過したエ
アーは器外へ排出される。又ストリップＳの張力分布が
変化すると、張力分布が変化した部分のロータ２３と固
定軸体１３との間の隙間が変化するが、該隙間の変化は
検出管２０を介し圧力差として差圧圧力変換器２１で検
出され、電気信号としてケーブル２２により外部へ取出
され、而してストリップＳの張力分布が得られる。
しかしながら、このような形状検出装置では、回転体は
ロータ２３のみなので慣性モーメントが小さくなり、ヘ
ルパーモータが不要になり、しかもスリップリングも不
要になるという利点はあるが、空気軸受が支障なく作動
するためには原理的に軸受径に対してロータ２３の１個
あたりの幅寸法が制限されて然程小さくできず、ストリ
ップ幅方向に細分化された張力分布の測定を行うことが
できないという問題がある。
ロータ２３のみなので慣性モーメントが小さくなり、ヘ
ルパーモータが不要になり、しかもスリップリングも不
要になるという利点はあるが、空気軸受が支障なく作動
するためには原理的に軸受径に対してロータ２３の１個
あたりの幅寸法が制限されて然程小さくできず、ストリ
ップ幅方向に細分化された張力分布の測定を行うことが
できないという問題がある。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は、ストリップ幅方向に細分化した張力分布の測
定を可能にし、以て上記問題点を解決することを目的と
している。
定を可能にし、以て上記問題点を解決することを目的と
している。
［問題点を解決するための手段］
本発明では、固定軸体の外周に軸線を方向へ複数に分割
されたロータを嵌合せしめ、該ロータを流体軸受により
支持させてストリップとの摩擦力により回転し得るよう
にし、前記各ロータに、弾性変形可能な薄肉部と該薄肉
部の弾性変形により変位する検出部を設け、前記固定軸
体に、前記検出部の変位を検出する非接触式の変位検出
器を設けている。
されたロータを嵌合せしめ、該ロータを流体軸受により
支持させてストリップとの摩擦力により回転し得るよう
にし、前記各ロータに、弾性変形可能な薄肉部と該薄肉
部の弾性変形により変位する検出部を設け、前記固定軸
体に、前記検出部の変位を検出する非接触式の変位検出
器を設けている。
［作 用］
本発明ではストリップ張力によりロータ薄肉部が弾性変
形し、該弾性変形によりロータ薄肉部の検出部が変位し
、該変位は固定軸体に設けた非接触式の変位検出器によ
り検出される。
形し、該弾性変形によりロータ薄肉部の検出部が変位し
、該変位は固定軸体に設けた非接触式の変位検出器によ
り検出される。
［実 施 例］
以下、本発明の実施例を添付図面を参照しつつ説明する
。
。
第１図及び第２図は本発明の一実施例で、架台３１上に
固着された固定軸体３２の外周に、軸線方向へ所要の間
隔で分割された複数のロータ３３を回転自在に嵌合せし
め、固定軸体３２の外周に、軸線方向及び円周方向へ向
いた所要の間隔でエアーノズル３４を設け、固定軸体３
２に半径方向へ向けて穿設した導孔３５の一端を前記エ
アーノズル３４に連通せしめ、導孔３５の他端を固定軸
体３２の軸線部に穿設した中空部３６に連通せしめ、固
定軸体３２の一端の中空部３６へエアーを送給し得るよ
うにした供給管３７を接続する。
固着された固定軸体３２の外周に、軸線方向へ所要の間
隔で分割された複数のロータ３３を回転自在に嵌合せし
め、固定軸体３２の外周に、軸線方向及び円周方向へ向
いた所要の間隔でエアーノズル３４を設け、固定軸体３
２に半径方向へ向けて穿設した導孔３５の一端を前記エ
アーノズル３４に連通せしめ、導孔３５の他端を固定軸
体３２の軸線部に穿設した中空部３６に連通せしめ、固
定軸体３２の一端の中空部３６へエアーを送給し得るよ
うにした供給管３７を接続する。
固定軸体３２の所要位置に、エアーノズル３４間に位置
するよう凹部３Ｂを設けると共に該凹部３８と前記中空
部３６とを半径方向へ延びる貫通孔３９により連通せし
め、凹部３８内に非接触式の例えば渦電流方式の変位検
出器４０を収納し、変位検出器４０に接続したケーブル
４１を貫通孔３９、中空部３６を通して中空部３６の反
供給管側に設けた蓋板を通して外部へ導出し、所定の演
算制ｍ装置に接続する。
するよう凹部３Ｂを設けると共に該凹部３８と前記中空
部３６とを半径方向へ延びる貫通孔３９により連通せし
め、凹部３８内に非接触式の例えば渦電流方式の変位検
出器４０を収納し、変位検出器４０に接続したケーブル
４１を貫通孔３９、中空部３６を通して中空部３６の反
供給管側に設けた蓋板を通して外部へ導出し、所定の演
算制ｍ装置に接続する。
ロータ３３の内周所要位置にス［・リップＳの張力Ｆに
より変形し得るようにした部分的な薄肉部４２を形成け
じめ、該薄肉部４２に、ロータ３３が回転することによ
り変位検出器４０の部分を通過し薄肉部４２の変形を変
位検出器４０に伝えるための検出部４３を設け、薄肉部
４２と検出部４３との間の凹部４４に、薄肉部４２が空
気軸受の軸受機能を劣化させないよう充填物４５を充填
せしめる。
より変形し得るようにした部分的な薄肉部４２を形成け
じめ、該薄肉部４２に、ロータ３３が回転することによ
り変位検出器４０の部分を通過し薄肉部４２の変形を変
位検出器４０に伝えるための検出部４３を設け、薄肉部
４２と検出部４３との間の凹部４４に、薄肉部４２が空
気軸受の軸受機能を劣化させないよう充填物４５を充填
せしめる。
圧延時にス（−リップＳが送給されると該ストリップＳ
との摩擦力によりロータ３３が回転する。
との摩擦力によりロータ３３が回転する。
又供給管３７よりエノノーが中空部３６、導孔３５を介
してエアーノズル３４へ送られており、該エアーノズル
３４からエアーは固定軸体３２ど［］−夕３３との間の
隙間に噴出されロータ３３間の隙間を通って器外へ放出
されるが、これら隙間に供給される空気により空気膜が
形成されてラジアル軸受、スラス］〜軸受として作用し
、ストリップＳの張力Ｆを受けるロータ３３は空気軸受
により回転自在に支持される。
してエアーノズル３４へ送られており、該エアーノズル
３４からエアーは固定軸体３２ど［］−夕３３との間の
隙間に噴出されロータ３３間の隙間を通って器外へ放出
されるが、これら隙間に供給される空気により空気膜が
形成されてラジアル軸受、スラス］〜軸受として作用し
、ストリップＳの張力Ｆを受けるロータ３３は空気軸受
により回転自在に支持される。
ロータ３３が回転し、検出部４３が第２図に示すように
変位検出器４０の直上部に来ると、該薄肉部４２はスト
リップＳの張力Ｆを受けて弾性変形し、この弾性変形は
薄肉部４２の部分の凹部４４の直径ど薄肉部４２の厚さ
ト（によって決まる。今、ストリップＳの張力Ｆによる
ラジアル荷重と空気軸受のギャップＧとの変動比である
軸受剛性をＫｅ ＜ＫＯ／＋ｎｍ）とし、薄肉部４２の
変形に対する剛性をにε（Ｋｏ／ｍｍ）どすると、ＫＥ
」許程度となるように、弾性力学理論により上記薄肉部
４２の厚さＨを決定することができるので、ストリップ
Ｓの張力Ｆに応じたギャップＧの変化からストリップ張
力分布を知ることができる。
変位検出器４０の直上部に来ると、該薄肉部４２はスト
リップＳの張力Ｆを受けて弾性変形し、この弾性変形は
薄肉部４２の部分の凹部４４の直径ど薄肉部４２の厚さ
ト（によって決まる。今、ストリップＳの張力Ｆによる
ラジアル荷重と空気軸受のギャップＧとの変動比である
軸受剛性をＫｅ ＜ＫＯ／＋ｎｍ）とし、薄肉部４２の
変形に対する剛性をにε（Ｋｏ／ｍｍ）どすると、ＫＥ
」許程度となるように、弾性力学理論により上記薄肉部
４２の厚さＨを決定することができるので、ストリップ
Ｓの張力Ｆに応じたギャップＧの変化からストリップ張
力分布を知ることができる。
すなわち、ロータ３３が回転し、薄肉部４２が変位検出
器４０の直上部に来てストリップＳの張力Ｆにより弾性
変形′すると検出部４３が変位し、検出部４３と変位検
出器４０との間のギャップＧが変位検出器４０により検
出され、ケーブル４１により電気信号として外部の演算
制御装置へ送られ、ストリップ張力分布がめられ、スト
リップ張力分布Ｊ：リストリップＳの平坦度く形状〉を
得ることができる。このストリップ張力分布よりストリ
ップδの平坦度を得ることはり“でに公知なので説明は
省略する。ス１へリップＳの張力「どギＶツブＧどの関
係は比例しており、予め較正して比例定数は定められる
。又１個のロータ３３幅内には軸線方向へ所要の間隔で
複数個の検出部４３が設けられているため、ストリップ
幅方向に細分化して張力分布を知ることができる。
器４０の直上部に来てストリップＳの張力Ｆにより弾性
変形′すると検出部４３が変位し、検出部４３と変位検
出器４０との間のギャップＧが変位検出器４０により検
出され、ケーブル４１により電気信号として外部の演算
制御装置へ送られ、ストリップ張力分布がめられ、スト
リップ張力分布Ｊ：リストリップＳの平坦度く形状〉を
得ることができる。このストリップ張力分布よりストリ
ップδの平坦度を得ることはり“でに公知なので説明は
省略する。ス１へリップＳの張力「どギＶツブＧどの関
係は比例しており、予め較正して比例定数は定められる
。又１個のロータ３３幅内には軸線方向へ所要の間隔で
複数個の検出部４３が設けられているため、ストリップ
幅方向に細分化して張力分布を知ることができる。
第３図は上述した本発明の形状検出装置を圧延設備に適
用してストリップの自動形状制御を行い得るようにした
例を示す。図中４６は巻戻し機、４７は単スタンドの圧
延機、４８は本発明に係る形状検出装置、４９は巻取り
機、５０はストリップの形状修正装置であるロールクー
ラントスプレィ装置、５１は作業ロール５２のロールベ
ンディング装置、５３は可変クラウンロールを使用した
控えロール、５４は控えロール５３のクラウンを変更す
るためのロールクラウン変更装置、５５は油圧圧下装置
であり、形状検出装置４８は圧延ｌｌｉ４７の出側に配
設されている。
用してストリップの自動形状制御を行い得るようにした
例を示す。図中４６は巻戻し機、４７は単スタンドの圧
延機、４８は本発明に係る形状検出装置、４９は巻取り
機、５０はストリップの形状修正装置であるロールクー
ラントスプレィ装置、５１は作業ロール５２のロールベ
ンディング装置、５３は可変クラウンロールを使用した
控えロール、５４は控えロール５３のクラウンを変更す
るためのロールクラウン変更装置、５５は油圧圧下装置
であり、形状検出装置４８は圧延ｌｌｉ４７の出側に配
設されている。
形状検出装置４８で検出されたス１へリップＳの張ノｊ
は電気信号としてケーブル４１により増幅器５６で増幅
されて演算制御装置５７へ入力され、該装置５γでは形
状制御Ｊｊｌ論に基いた所定の演算が行われ、演算結果
はロールクーラントスプレィ装置５０、ロールベンディ
ング装置５１、ロールクラウン変更装置５４、油圧圧下
装＠５５へ指令信号として出力され、これら各装置５０
，５１，５４．５５がストリップＳの幅方向張力分布が
均一化するよう調整される。張力分布が均一化されれば
ストリップＳの形状（平坦度）は良好になる。而してこ
の種の制御の適宜の組合わけにより要求されるストリッ
プ形状を満足させながら圧延することかできる。
は電気信号としてケーブル４１により増幅器５６で増幅
されて演算制御装置５７へ入力され、該装置５γでは形
状制御Ｊｊｌ論に基いた所定の演算が行われ、演算結果
はロールクーラントスプレィ装置５０、ロールベンディ
ング装置５１、ロールクラウン変更装置５４、油圧圧下
装＠５５へ指令信号として出力され、これら各装置５０
，５１，５４．５５がストリップＳの幅方向張力分布が
均一化するよう調整される。張力分布が均一化されれば
ストリップＳの形状（平坦度）は良好になる。而してこ
の種の制御の適宜の組合わけにより要求されるストリッ
プ形状を満足させながら圧延することかできる。
なお、本発明は上述の実施例に限定されるものではなく
、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得
ることは勿論である。
、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得
ることは勿論である。
［発明の効果］
本発明の形状検出装置は上述のごとき構成であるから、
（Ｉ） ス１ヘリツブ幅方向に細分化し−Ｃ張力分布を
得ることができるため（従来は約７４ｉ ｍ ｍ間隔で
あるのに対し本発明では約２５ｍｍ間隔）、ストリップ
の形状（平坦度）か良好になり、トリム代の、減少を図
れて成品品質を向上さけることができる、 （ＩＩ） 回転部はロータのみであり該ロータを空気軸
受により支持させているため、ストリップとロータとの
間でスリップが生じることがなく、従ってヘルパーモー
タがなくても圧延憬の急激な加減速度に追従することか
できる、［相］ 固定軸体側で形状信号を得るのでスリ
ップリングが不要ひあり、機器のメンデナンス性が大幅
に向上する、 等、種々の優れた効果を奏し得る。
得ることができるため（従来は約７４ｉ ｍ ｍ間隔で
あるのに対し本発明では約２５ｍｍ間隔）、ストリップ
の形状（平坦度）か良好になり、トリム代の、減少を図
れて成品品質を向上さけることができる、 （ＩＩ） 回転部はロータのみであり該ロータを空気軸
受により支持させているため、ストリップとロータとの
間でスリップが生じることがなく、従ってヘルパーモー
タがなくても圧延憬の急激な加減速度に追従することか
できる、［相］ 固定軸体側で形状信号を得るのでスリ
ップリングが不要ひあり、機器のメンデナンス性が大幅
に向上する、 等、種々の優れた効果を奏し得る。
第１図は本発明の形状検出装置の一実施例の説明図、第
２図は第１図の■−■方向矢視図、第３図は第１図に示
す形状検出装置を適用した圧延設備の一例の説明図、第
４図は従来の形状検出装置の一例の説明図、第５図は第
４図はＶ−Ｖ方向矢視図、第６図は従来の形状検出装置
の伯の例の説明図、第７図は第６図のＷ □ Ｖ１方向
矢視図である。 図中３２は固定軸体、３３はロータ、３４はエアーノズ
ル、３７は供給管、４０は変位検出器、４２は薄肉部、
４３は検出部、４５は充填物を示す。 特 許 出 願 人 石川島播磨重工業株式会社 第１図 第２図 第３図 ７ ノ
２図は第１図の■−■方向矢視図、第３図は第１図に示
す形状検出装置を適用した圧延設備の一例の説明図、第
４図は従来の形状検出装置の一例の説明図、第５図は第
４図はＶ−Ｖ方向矢視図、第６図は従来の形状検出装置
の伯の例の説明図、第７図は第６図のＷ □ Ｖ１方向
矢視図である。 図中３２は固定軸体、３３はロータ、３４はエアーノズ
ル、３７は供給管、４０は変位検出器、４２は薄肉部、
４３は検出部、４５は充填物を示す。 特 許 出 願 人 石川島播磨重工業株式会社 第１図 第２図 第３図 ７ ノ
Claims (1)
- １） 固定軸体の外周に軸線方向へ複数に分割されたロ
ータを嵌合せしめ、該ロータを流体軸受により支持させ
てストリップどの摩擦力により回転し得るようにした形
状検出装置において、前記各ロータに、弾性変形可能な
薄肉部と該薄肉部の弾性変形により変位する検出部を設
（ブ、前記固定軸体に、前記検出部の変位を検出する非
接触式の変位検出器を設けたことを特徴どする形状検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9427984A JPS60237335A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 形状検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9427984A JPS60237335A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 形状検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60237335A true JPS60237335A (ja) | 1985-11-26 |
Family
ID=14105815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9427984A Pending JPS60237335A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 形状検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60237335A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2602327A1 (fr) * | 1986-07-30 | 1988-02-05 | Clecim Sa | Rouleau de controle d'une bande et son procede de realisation |
| CN101033935A (zh) * | 2006-03-10 | 2007-09-12 | 奈普森株式会社 | 膜厚测量装置 |
-
1984
- 1984-05-11 JP JP9427984A patent/JPS60237335A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2602327A1 (fr) * | 1986-07-30 | 1988-02-05 | Clecim Sa | Rouleau de controle d'une bande et son procede de realisation |
| CN101033935A (zh) * | 2006-03-10 | 2007-09-12 | 奈普森株式会社 | 膜厚测量装置 |
| JP2007240458A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Napuson Kk | 膜厚測定装置 |
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