JP2007234984A - フォト現像方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】寸法均一性を向上してコストを低減したフォト現像方法を提供する。
【解決手段】所定形状に露光されたレジスト20上に現像液30を塗布して該現像液30を除去する第1現像工程と、前記レジスト20上に第1現像工程で用いた現像液30とは異なる現像液31を塗布して該現像液31を除去する第2現像工程とを具備するフォト現像方法によって寸法均一性を向上すると共に現像時間を短縮して、作業効率を向上し、コストを低減する。
【選択図】図1
【解決手段】所定形状に露光されたレジスト20上に現像液30を塗布して該現像液30を除去する第1現像工程と、前記レジスト20上に第1現像工程で用いた現像液30とは異なる現像液31を塗布して該現像液31を除去する第2現像工程とを具備するフォト現像方法によって寸法均一性を向上すると共に現像時間を短縮して、作業効率を向上し、コストを低減する。
【選択図】図1
Description
本発明は、フォトリソグラフィ法に用いられて被対象物上の露光されたレジストを現像するフォト現像方法に関する。
一般的なフォトリソグラフィ法では、被対象物上にレジストとなる液体を塗布する塗布工程と、液体をプリベークしてレジストを形成するプリベーク工程と、プリベークしたレジストを所望の形状に露光する露光工程と、レジストに現像液を塗布して現像して所定形状の開口を形成する現像工程と、レジストを純水で洗浄する純水リンス工程との一連の作業が行われていた。このフォトリソグラフィ法における現像工程としては、被対象物を現像液に浸漬する浸漬法、被対象物を回転させながら現像液を噴射するスプレー法及び低速回転するマスク膜上に表面張力で現像液を盛り静止放置するパドル法等がある。
このような現像工程では、通常、光反応したポジ型レジストは、アルカリ水溶液からなる現像液に溶け込んでしまい、レジストが溶け込んだ現像液は現像レートが早くなる。このため、レジストに形成する開口面積が大きい領域と、開口面積が小さい領域とで現像液に溶け込むレジストの割合が変わるため、現像工程により形成する開口の寸法にばらつきが生じてしまうという問題がある。特に、レジスト上にパドル法で現像液を塗布及び除去すると、開口付近の膜減りが顕著に現われる。
このため、アルカリ可溶性フェノール樹脂とキノンジアジドスルホン酸エステルを含むレジストの現像液として、有機第四級アンモニウムハイドロオキサイドと硼酸とを含有する有機アルカリ水溶液を用いたものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1では、特殊なレジスト及び現像液が必要であり、汎用性がなく、高コストになってしまうという問題がある。また、従来及び特許文献1の構成では、現像時間を短縮することができず、作業効率が悪いという問題がある。
本発明はこのような事情に鑑み、寸法均一性を向上してコストを低減したフォト現像方法を提供することを課題とする。
上記課題を解決する本発明の第1の態様は、所定形状に露光されたレジスト上に現像液を塗布して該現像液を除去する第1現像工程と、前記レジスト上に第1現像工程で用いた現像液とは異なる現像液を塗布して該現像液を除去する第2現像工程とを具備することを特徴とするフォト現像方法にある。
かかる第1の態様では、第1現像工程でレジストが溶け込んだ現像レートの早い現像液を除去することができ、現像レートの早い現像液のレジストに対する影響を少なくして、第2現像工程で、第1現像工程で用いた現像液とは異なる現像液によるレジストの現像時の寸法精度及び寸法均一性を向上することができる。また、特殊なレジスト及び現像液が必要なくなり、製造コストを低減することができる。さらに、従来のレジスト上に現像液を1回塗布して除去するフォト現像方法に比べて、第1現像工程と第2現像工程との2回の現像を行うフォト現像方法を行うことで、第1現像工程で用いた現像液とは異なる現像液をレジストに塗布することができるため、レジストの現像時間を短縮することができる。
かかる第1の態様では、第1現像工程でレジストが溶け込んだ現像レートの早い現像液を除去することができ、現像レートの早い現像液のレジストに対する影響を少なくして、第2現像工程で、第1現像工程で用いた現像液とは異なる現像液によるレジストの現像時の寸法精度及び寸法均一性を向上することができる。また、特殊なレジスト及び現像液が必要なくなり、製造コストを低減することができる。さらに、従来のレジスト上に現像液を1回塗布して除去するフォト現像方法に比べて、第1現像工程と第2現像工程との2回の現像を行うフォト現像方法を行うことで、第1現像工程で用いた現像液とは異なる現像液をレジストに塗布することができるため、レジストの現像時間を短縮することができる。
本発明の第2の態様は、前記レジストが、ポジ型フォトレジストであることを特徴とする第1の態様のフォト現像方法にある。
かかる第2の態様では、ポジ型レジストであっても、寸法精度及び寸法均一性を向上して、コストを低減することができると共に、レジストの現像時間を短縮することができる。
かかる第2の態様では、ポジ型レジストであっても、寸法精度及び寸法均一性を向上して、コストを低減することができると共に、レジストの現像時間を短縮することができる。
本発明の第3の態様は、前記第1及び第2現像工程では、前記現像液を前記レジスト上にパドル法により塗布することを特徴とする第1又は2の態様のフォト現像方法にある。
かかる第3の態様では、パドル法で現像液を塗布及び除去しても、レジスト開口付近の膜減りが発生するのを減少することができる。
かかる第3の態様では、パドル法で現像液を塗布及び除去しても、レジスト開口付近の膜減りが発生するのを減少することができる。
本発明の第4の態様は、前記第1及び第2現像工程で使用する前記現像液がアルカリ水溶液であることを特徴とする第1〜3の何れかの態様のフォト現像方法にある。
かかる第4の態様では、アルカリ水溶液からなる現像液であっても、寸法精度及び寸法均一性を向上して、コストを低減することができると共に、レジストの現像時間を短縮することができる。
かかる第4の態様では、アルカリ水溶液からなる現像液であっても、寸法精度及び寸法均一性を向上して、コストを低減することができると共に、レジストの現像時間を短縮することができる。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
本発明の実施形態1に係るフォト現像工程が用いられるフォトリソグラフィ法について図1を参照して説明する。なお、図1は、本発明の実施形態1に係るフォトリソグラフィ法を示す断面図である。
(実施形態1)
本発明の実施形態1に係るフォト現像工程が用いられるフォトリソグラフィ法について図1を参照して説明する。なお、図1は、本発明の実施形態1に係るフォトリソグラフィ法を示す断面図である。
まず、図1(a)に示すように、シリコン単結晶基板からなるシリコンウェハ10上にレジストとなる液体を塗布する(塗布工程)。そして、塗布した液体をホットプレートによってプリベークすることによりレジスト20を形成する(プリベーク工程)。本実施形態では、シリコンウェハ10上にポジ型レジスト20となる液体を回転塗布(スピン塗布)方式で塗布した。
次に、図1(b)に示すように、レジスト20を所定形状に露光する(露光工程)。レジスト20の露光は、例えば、マスクパターンを有するカットフィルムやマスクパターンが描画されたガラス基板などのマスクや、電子線描画装置、レーザ描画装置等を用いて行うことができる。
次に、図1(c)に示すように、レジスト20に現像液30を塗布してレジスト20を現像し、図1(d)に示すように現像液30をレジスト20上から直ちに除去する(第1現像工程)。第1現像工程では、シリコンウェハ10を低速回転させて、レジスト20上に表面張力により現像液30を盛るパドル法により行った。また、その後の静止放置はほとんど行わず、直ちにシリコンウェハ10の回転速度を上げて、現像液30を振り切った。この第1現像工程では、露光工程で所定形状に露光された領域を除去する。なお、本実施形態では、現像液30として、アルカリ水溶液を用いた。
次に、図1(e)に示すように、レジスト20上及び第1現像工程でレジストが除去された露光領域に第1現像工程で用いた現像液30とは異なる現像液31を塗布してレジスト20を現像し、所定時間放置した後、図1(f)に示すように現像液31を除去する(第2現像工程)。第2現像工程では、現像液31の塗布を第1現像工程と同様にパドル法により行った。なお、第2現像工程で用いる現像液31は、第1現像工程の現像液30とは種類が同じ現像液であるが、第1現像工程で用いた現像液30とは異なる新しいものを用いた。これにより、レジスト20に所定形状の開口21を形成することができる。その後は、レジスト20をホットプレートによるポストベークすることにより所定形状のレジストを形成する(ポストベーク工程)。
このように、露光されたレジスト20を現像する際に第1現像工程でレジスト20が溶け込んだ現像液30を直ちに除去した後、第2現像工程で第1現像工程で用いた現像液30とは異なる現像液31でレジスト20を現像することで、第1現像工程でレジスト20が溶け込んだ現像レートの早い現像液30のレジスト20に対する影響を少なくして、第2現像工程で現像液31によるレジスト20の現像時の寸法精度及び寸法均一性を向上することができる。特に、パドル法で現像液30を塗布及び除去すると、シリコンウェハ10の回転によってシリコンウェハ10の開口21付近のレジスト20の膜減りが発生するが、第1現像工程と第2現像工程とを行うことで、レジスト20の開口21付近の膜減りを減少させることができる。また、特殊なレジスト及び現像液が必要なくなり、製造コストを低減することができる。さらに、従来のレジスト20上に現像液30を1回塗布して除去するフォト現像方法に比べて、第1現像工程と第2現像工程との2回の現像を行うフォト現像方法を行うことで、新たな現像液31をレジスト20に塗布することができるため、レジスト20の現像時間を短縮することができる。
(実施例1〜6)
単結晶シリコン基板からなるシリコンウェハ上に、ノボラック樹脂からなるポジ型レジストを塗布し、100℃でプリベークした後、レジストを所定形状に露光したサンプルを複数用意し、各サンプルのレジスト上にテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(以下「TMAH」と記載)(有機アルカリ水溶液)からなる現像液をパドル法により塗布して現像液を直ちに振り切り(第1現像工程)、その後、レジスト上にTMAHからなり、且つ第1現像工程で用いた現像液とは異なる新たな現像液(TMAH)をパドル法により塗布して、静止放置させた後、現像液を振り切った(第2現像工程)。各サンプルで、第1現像工程の現像液を塗布し始めてから第2現像工程の現像液を振り切る直前までの時間を40秒〜90秒の間で10秒刻みで変化させたものを実施例1〜6とした。
単結晶シリコン基板からなるシリコンウェハ上に、ノボラック樹脂からなるポジ型レジストを塗布し、100℃でプリベークした後、レジストを所定形状に露光したサンプルを複数用意し、各サンプルのレジスト上にテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(以下「TMAH」と記載)(有機アルカリ水溶液)からなる現像液をパドル法により塗布して現像液を直ちに振り切り(第1現像工程)、その後、レジスト上にTMAHからなり、且つ第1現像工程で用いた現像液とは異なる新たな現像液(TMAH)をパドル法により塗布して、静止放置させた後、現像液を振り切った(第2現像工程)。各サンプルで、第1現像工程の現像液を塗布し始めてから第2現像工程の現像液を振り切る直前までの時間を40秒〜90秒の間で10秒刻みで変化させたものを実施例1〜6とした。
(比較例1)
比較のため、実施例1と同様にシリコンウェハ上の露光したレジスト上に実施例1と同様の現像液をパドル法により塗布し、90秒間静止放置した後、現像液を振り切った。
比較のため、実施例1と同様にシリコンウェハ上の露光したレジスト上に実施例1と同様の現像液をパドル法により塗布し、90秒間静止放置した後、現像液を振り切った。
(試験例)
実施例1〜6及び比較例1のレジストの残し寸法を測定し、残し寸法の平均値(μm)及びばらつき(3σ)を算出した。この結果を図2に示す。
実施例1〜6及び比較例1のレジストの残し寸法を測定し、残し寸法の平均値(μm)及びばらつき(3σ)を算出した。この結果を図2に示す。
図2に示す結果から、実施例4の70秒と比較例1の90秒とで残し寸法の平均値がほぼ同じ値となり、実施例5の80秒及び実施例6の90秒では比較例1よりも残し寸法の平均値が小さくなることが分かった。このため、実施例1〜6の第1現像工程と第2現像工程とを行ったフォト現像方法では、比較例1の現像工程を1回のみ行ったフォト現像方法に比べて、同じ残し寸法を得るための現像時間を減少させることができる。
また、図2に示す結果から、実施例1〜6の寸法ばらつき(3σ)は、比較例1の寸法ばらつき(3σ)に比べて低いことが分かった。このため、実施例1〜6の第1現像工程と第2現像工程とを行ったフォト現像方法では、比較例1の現像工程を1回のみ行ったフォト現像方法に比べて、寸法精度及び寸法均一性を向上することができる。
(他の実施形態)
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、露光された照射部が現像により溶解するポジ型レジストを用いるようにしたが、特にこれに限定されず、露光された照射部が現像により残るネガ型レジストであっても本発明を適用することができる。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、露光された照射部が現像により溶解するポジ型レジストを用いるようにしたが、特にこれに限定されず、露光された照射部が現像により残るネガ型レジストであっても本発明を適用することができる。
また、上述した実施形態1では、現像液としてTMAHを例示したが、現像液としては、特にこれに限定されず、例えば、プロピルアミン、ブチルアミン、モノエタノールアミンなどの有機アルカリ水溶液を用いることができる。また、現像液としては、有機アルカリ水溶液に限定されず、無機アルカリ水溶液を用いることができる。
さらに、上述した実施形態1では、レジスト上に現像液を塗布する方法として、パドル法を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、シリコンウェハを回転させながら、現像液をレジスト上に噴射させるスプレー法であっても、本発明を適用することができる。
また、上述した実施形態1では、シリコンウェハ10上にレジストを形成するようにしたが、レジストが形成される被対象物は、シリコンウェハに限定されるものではない。
10 シリコンウェハ、 20 レジスト、 21 開口、 30、31 現像液
Claims (4)
- 所定形状に露光されたレジスト上に現像液を塗布して該現像液を除去する第1現像工程と、前記レジスト上に第1現像工程で用いた現像液とは異なる現像液を塗布して該現像液を除去する第2現像工程とを具備することを特徴とするフォト現像方法。
- 前記レジストが、ポジ型フォトレジストであることを特徴とする請求項1記載のフォト現像方法。
- 前記第1及び第2現像工程では、前記現像液を前記レジスト上にパドル法により塗布することを特徴とする請求項1又は2記載のフォト現像方法。
- 前記第1及び第2現像工程で使用する前記現像液がアルカリ水溶液であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のフォト現像方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006056669A JP2007234984A (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | フォト現像方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006056669A JP2007234984A (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | フォト現像方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007234984A true JP2007234984A (ja) | 2007-09-13 |
Family
ID=38555241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006056669A Pending JP2007234984A (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | フォト現像方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007234984A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016058712A (ja) * | 2014-09-04 | 2016-04-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像方法、現像装置及び記憶媒体 |
-
2006
- 2006-03-02 JP JP2006056669A patent/JP2007234984A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016058712A (ja) * | 2014-09-04 | 2016-04-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像方法、現像装置及び記憶媒体 |
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