JP2007231938A5 - - Google Patents
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007025914A JP2007231938A (ja) | 2006-02-06 | 2007-02-05 | 真空装置、真空装置における水蒸気分圧の急速低減方法、ロードロックチャンバー内の水蒸気分圧の上昇防止方法、および、真空装置用真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2006028981 | 2006-02-06 | ||
| JP2007025914A JP2007231938A (ja) | 2006-02-06 | 2007-02-05 | 真空装置、真空装置における水蒸気分圧の急速低減方法、ロードロックチャンバー内の水蒸気分圧の上昇防止方法、および、真空装置用真空ポンプ |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007231938A JP2007231938A (ja) | 2007-09-13 |
| JP2007231938A5 true JP2007231938A5 (OSRAM) | 2010-02-04 |
Family
ID=38552763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007025914A Pending JP2007231938A (ja) | 2006-02-06 | 2007-02-05 | 真空装置、真空装置における水蒸気分圧の急速低減方法、ロードロックチャンバー内の水蒸気分圧の上昇防止方法、および、真空装置用真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2007231938A (OSRAM) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101327715B1 (ko) * | 2009-12-28 | 2013-11-11 | 가부시키가이샤 알박 | 진공 배기 장치 및 진공 배기 방법, 그리고 기판 처리 장치 |
| JP6009193B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-10-19 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置 |
| JP6484601B2 (ja) | 2016-11-24 | 2019-03-13 | 株式会社Kokusai Electric | 処理装置及び半導体装置の製造方法 |
| GB201715151D0 (en) * | 2017-09-20 | 2017-11-01 | Edwards Ltd | A drag pump and a set of vacuum pumps including a drag pump |
| JP2023000161A (ja) * | 2021-06-17 | 2023-01-04 | エドワーズ株式会社 | 希ガス回収システム、及び、希ガス回収方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09125227A (ja) * | 1995-10-27 | 1997-05-13 | Tokyo Electron Ltd | 真空排気装置及び真空処理装置 |
| DE19821634A1 (de) * | 1998-05-14 | 1999-11-18 | Leybold Vakuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe mit Stator und Rotor |
| JP4669257B2 (ja) * | 2000-03-29 | 2011-04-13 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造方法、基板処理方法、及び基板処理装置 |
| JP4672204B2 (ja) * | 2001-08-03 | 2011-04-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプの接続構造及び真空ポンプ |
| US7500822B2 (en) * | 2004-04-09 | 2009-03-10 | Edwards Vacuum, Inc. | Combined vacuum pump load-lock assembly |
-
2007
- 2007-02-05 JP JP2007025914A patent/JP2007231938A/ja active Pending
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