JP2007225519A - 材料試験方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】安価で外部振動に強く、破壊初期の試験力を正確なタイミングで捉えられる材料試験方法を提供する。
【解決手段】試験片2に荷重を加えてその荷重、変位を測定する荷重/変位測定手段と導通の有無を検知する導通検知手段を備えた材料試験装置1と薄膜パターンが形成された試験片2を用いて材料試験を行う。試験片2を薄膜パターン側を下にして支持体11で支持し加圧体10を下降させて荷重を加え曲げ試験を行う。荷重の増加によって試験片2にクラックが入り薄膜パターンが切断されるが、前記材料試験装置1により切断が検知され、この時点の変位、試験荷重が測定される。
【選択図】 図1
【解決手段】試験片2に荷重を加えてその荷重、変位を測定する荷重/変位測定手段と導通の有無を検知する導通検知手段を備えた材料試験装置1と薄膜パターンが形成された試験片2を用いて材料試験を行う。試験片2を薄膜パターン側を下にして支持体11で支持し加圧体10を下降させて荷重を加え曲げ試験を行う。荷重の増加によって試験片2にクラックが入り薄膜パターンが切断されるが、前記材料試験装置1により切断が検知され、この時点の変位、試験荷重が測定される。
【選択図】 図1
Description
本発明はセラミックス、シリコンウエハ、金属などの材料の強度を試験する材料試験方法に関するものである。
従来、セラミックスなどの材料の強度試験としては、日本工業規格JIS R1601に規定されているような3点または4点曲げ強度試験が一般に用いられている。図7に示すように3点曲げ強度試験の場合(A)は、加圧体101の先端を荷重点、2本の支持体103の先端を支点とし、また4点曲げ強度試験の場合(B)は、2本の加圧体101の先端を荷重点、2本の支持体103の先端を支点として試験片102に荷重Wを加えて折れたときの最大曲げ応力を測定している。
前記試験片102にクラック(亀裂)が入り破損する瞬間を検出する方法には、この時発生するアコースティックエミッション(音響出力)をマイクロフォンを介して検出する方法(例えば特許文献1)や試験片102に加わっている荷重W(試験力)の急激な変化を検出する方法が用いられている。
特開2001−194346号公報
従来のようなアコースティックエミッションを破損時の信号として検出する方法では、この信号が微弱な信号であり、この微弱信号を増幅するためのアンプや破損を分別するためのFFT(高速フーリエ変換)アナライザなどの高価な機器を必要とする上、試験装置の振動などの外部からのノイズの影響を受け易いという問題がある。また試験力の変化として検出する方法では、クラックなど破損の初期段階では試験力変化がほとんど無く、正確なタイミングを捉えることが難しいという問題がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、安価な方法であって、破損の瞬間を正確に捉えることができる材料試験方法を提供することを目的とする。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、安価な方法であって、破損の瞬間を正確に捉えることができる材料試験方法を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明の材料試験方法は試験片の所定部位に荷重を負荷して、その荷重値と変位量を測定して材料の強度試験を行う材料試験方法において、前記試験片の表面に導体の薄膜パターンを形成するとともに、前記薄膜パターンの両端の導通を検出する手段を設け、試験による前記導体の薄膜パターンの断線を検出することにより、試験片の破断時を捉えるものである。
さらに本発明は薄膜パターンにおける導体がくし形または渦巻形をなしているもの、またはくし形をなし、その折点部分から切断検知用の引き出し線を形成されているもの、または2系統以上形成されているものである。
本発明の材料試験方法は、上記のように構成されており、試験片の破損の瞬間を的確に捉え、その時点での試験力を測定することができる。
さらに本発明は薄膜パターンにおける導体がくし形または渦巻形をなしているもの、またはくし形をなし、その折点部分から切断検知用の引き出し線を形成されているもの、または2系統以上形成されているものである。
本発明の材料試験方法は、上記のように構成されており、試験片の破損の瞬間を的確に捉え、その時点での試験力を測定することができる。
本発明による材料試験方法は薄膜パターンの切断を監視して試験片の破損時の瞬間を正確に捉えることができ、また薄膜パターンの部分ごとに切断の監視を行うので破損箇所を特定することができ、さらに薄膜パターンを2系統以上形成してその切断を監視するので、破損の進行状態を把握することができる。これにより、部品材料の破損状態、ばらつきなどを的確に把握することができ、部品材料の開発、改良に顕著に寄与する。
本発明が提供する材料試験方法はつぎのような特徴を有している。第1の特徴は試験片の所定部位に荷重を負荷して、その荷重値と変位量を測定して材料の強度試験を行う材料試験方法において、前記試験片の表面に導体の薄膜パターンを形成するとともに、前記パターンの両端の導通を検出する手段を設け、試験による前記導体の薄膜パターンの切断線を検出することにより、試験片の破断時を捉える点にあり、第2の特徴は薄膜パターンをくし形または渦巻形にする点である。また第3の特徴は薄膜パターンがくし形をなし、その折点部分から切断検知用の引出線が形成されている点であり、第4の特徴は薄膜パターンが2系統形成されている点である。したがって最良の形態は材料試験の目的に応じて第2から第4などの薄膜パターンを選択使用し、薄膜パターンには金またはアルミニューム材を使用して薄膜蒸着した試験片と、薄膜パターンの切断を検知する切断検知手段を有する材料試験装置を用いて材料試験を行う方法である。
以下、図面を参照しながら本発明による材料試験方法を詳細に説明する。図1は三点曲げ治具を用いて試験片に曲げ変位を与え、その曲げ強度を測定する場合に用いられる材料試験装置1の構成図である。本材料試験装置1は、試験片2に曲げ荷重を加えてその試験力を測定するための制御、演算処理を行う演算制御部3、該演算制御部3からの制御信号により制御されるモータ4、このモータ4からの回転力をネジ軸5、13に伝達するためにベルト61、連動用プーリ62を連結したギヤー機構6を内蔵した機台7と、両端を前記ネジ軸5、13に螺合してその回転に伴い上下方向に移動するクロスヘッド8およびこのクロスヘッド8の中心部に固設されたロードセル9と、このロードセル9に固着され試験片2を加圧する棒状の加圧体10と、試験片2を支持する2本の棒状の支持体11を固着し前記機台7上に固設された支持台12と、前記ネジ軸5、13の両端を回転可能に支持する筐体14から構成されている。
本材料試験に使用する試験片2の形状を図2に示す。試験片2としてシリコンウエハ21を用いる場合は、その片面にあらかじめ金またはアルミニュームなどの金属材料を蒸着により図2に示すような両端に電極部22を設けたくし形状の導体の薄膜パターン23を形成しておく。また、試験片2が金属材料である場合は、あらかじめその表面を酸化シリコンなどの絶縁膜を蒸着して絶縁した後、上記と同様な方法で薄膜パターン23を形成する。
前記演算制御部3のブロック構成図を図3に示す。演算制御部3は、前記ロードセル9から出力される試験力検出信号を増幅するアンプ31とこの出力をディジタル値に変換するA/D変換器32からなる試験力検出部33と、薄膜パターンを形成した試験片2、基準電圧源34および抵抗器35を結合した閉回路、抵抗器35の電圧降下と基準電圧源36を比較して薄膜パターンが切断したときに出力が0レベルからハイレベルに変換される比較器37からなる試験片2の破損を検出する破損検出回路38と、演算処理部39から構成されている。
前記演算処理部39は材料試験装置1を制御し、曲げ試験特性を得るための演算制御プログラムを記憶しておくROM39a、演算処理結果を記憶しておくRAM39b、演算処理を実行するCPU39cおよび入出力インターフェース39dから構成され、この入出力インターフェース39dを介して前記A/D変換器32、比較器37の出力信号および前記機台7に配設される操作器15からの各種操作信号が演算処理部39に採り込まれ
る。演算処理部39は前記モータ4に制御信号を送信するとともに、前記A/D変換器32の出力を演算処理し、算出した曲げ試験特性を前記機台7に配設した表示器16に表示する。
る。演算処理部39は前記モータ4に制御信号を送信するとともに、前記A/D変換器32の出力を演算処理し、算出した曲げ試験特性を前記機台7に配設した表示器16に表示する。
次に上記構成の材料試験装置1と試験片2を用いて曲げ試験を行う方法を説明する。先ず、操作器15を操作して3点曲げ治具を構成する前記加圧体10と支持体11間隔を開いておき、試験片2の薄膜パターン23面を下側にして加圧体10と支持体11間に試験片2を設置した後、操作器15から測定開始信号を送信して測定を開始する。
前記演算制御部3からの制御信号によりモータ4は一定速度で回転し、前記クロスヘッド8は所定の速度で下降し、加圧体10と支持体11の上下間隔が一定速度で接近し、試験片2に曲げ試験力が加えられシリコンウエハ21の中央部を下方に押し曲げる。この試験力信号は一定周期毎に演算処理部39に採り込まれ、所定の演算処理が行われて表示器16に変位に対する試験力が表示される。そして、試験力が試験片2の曲げ耐力を超えると、シリコンウエハ21にクラックが生じ瞬間的に破壊される。この時試験片2の薄膜パターン23が切断し電極部22間の導通がなくなり、比較器37の出力信号は0からハイレベル信号に変化し、演算処理部39にとりこまれ、この時点での試験力値が特定記録される。また破損の瞬間を高速度カメラで撮影する場合には、ハイレベル信号をトリガ信号として用いることにより、破壊の瞬間を映像として撮影することができる。
前記薄膜パターン23は、導電性の塗料を塗布することにより形成することも可能である。ただしこの場合には塗料の弾性により微小クラックの追随性が落ちることがあるので適用範囲が限定される。また、形成する薄膜パターンは試験目的、試験方法、試験材料により種々の形状のパターンを形成して使用することができる。例えば図4に示すような電極部22A、22A間に渦巻形の薄膜パターン23Aを形成した試験片2Aを使用することにより点線で示すような放射状に発生するクラックを効率よく検出することができる。また図5の薄膜パターン23Bのaからhに示すように前記試験片2の各折り曲がり点毎に電極部22Bを設けた試験片2Bにおいて例えば左右のb、bの電極部22B、22B間の導通を検出することによりクラックの発生を検出することができ、さらに図6に示すように電極部22C、22C間に薄膜パターン23C、電極部22D、22D間に薄膜パターン23Dの異なる2系統のパターンを形成した試験片2Cにおいて、この2系統の切断を検出することによりクラックの進行方向や進行速度を測定することが可能となる。さらに薄膜パターンを場所により粗密度を変えるたり半導体材料で形成することも可能である。
なお、上記実施例では3点曲げ治具を用いて材料試験を行う場合を示しているが、試験目的に応じて、4点曲げ治具を用いたり、つかみ具を装着した引張試験装置により前記試験片2、2A〜2Cの引張試験を行うこともできる。
本発明はセラミックス、シリコンウエハ、金属などの材料の強度を試験する材料試験方法に用いられる。
1 材料試験装置
2、2A、2B、2C、102 試験片
21 シリコンウエハ
22、22A、22B、22C 電極部
23、23A、23B、23C、23D 薄膜パターン
3 演算制御部
31 アンプ
32 A/D変換器
33 試験力検出部
34 基準電圧源
35 抵抗器
36 基準電圧源
37 比較器
38 破損検出回路
39 演算処理部
39a ROM
39b RAM
39c CPU
39d 入出力インターフェース
4 モータ
5 ネジ軸
6 ギヤー機構
61 ベルト
62 連動用プーリ
7 機台
8 クロスヘッド
9 ロードセル
10、101 加圧体
11、103 支持体
12 支持台
13 ネジ軸
14 筐体
15 操作器
16 表示器
2、2A、2B、2C、102 試験片
21 シリコンウエハ
22、22A、22B、22C 電極部
23、23A、23B、23C、23D 薄膜パターン
3 演算制御部
31 アンプ
32 A/D変換器
33 試験力検出部
34 基準電圧源
35 抵抗器
36 基準電圧源
37 比較器
38 破損検出回路
39 演算処理部
39a ROM
39b RAM
39c CPU
39d 入出力インターフェース
4 モータ
5 ネジ軸
6 ギヤー機構
61 ベルト
62 連動用プーリ
7 機台
8 クロスヘッド
9 ロードセル
10、101 加圧体
11、103 支持体
12 支持台
13 ネジ軸
14 筐体
15 操作器
16 表示器
Claims (4)
- 試験片の所定部位に荷重を負荷して、その荷重値と変位量を測定して材料の強度試験を行う材料試験方法において、前記試験片の表面に導体の薄膜パターンを形成するとともに、前記薄膜パターンの両端の導通を検出する手段を設け、試験による前記導体の薄膜パターンの断線を検出することにより、試験片の破断時を捉えることを特徴とする材料試験方法。
- 薄膜パターンにおける導体がくし形または渦巻形をなしていることを特徴とする請求項1記載の材料試験方法。
- 薄膜パターンにおける導体がくし形をなし、その折点部分から断線検出用の引き出し線が形成されていることを特徴とする請求項2記載の材料試験方法。
- 薄膜パターンが2系統以上形成されていることを特徴とする請求項1記載の材料試験方法。
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JP2006049037A JP2007225519A (ja) | 2006-02-24 | 2006-02-24 | 材料試験方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CZ305331B6 (cs) * | 2011-06-10 | 2015-08-05 | České vysoké učení technické v Praze, Fakulta stavební, Experimentální centrum | Zařízení pro stanovení odezvy desek z vysokohodnotných betonů při zatížení rázem |
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CN111398022A (zh) * | 2020-03-20 | 2020-07-10 | 山东省产品质量检验研究院 | 一种精细陶瓷粘接界面弯曲强度自动测试装置 |
-
2006
- 2006-02-24 JP JP2006049037A patent/JP2007225519A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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