JP2007225173A - 熱処理炉及び太陽電池セル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被熱処理物51を搬送するための搬送機構として、被熱処理物51を炉内に投入し、所定位置まで搬送する投入側搬送機構と、前記所定位置において前記投入側搬送機構から被熱処理物51を受け取り、前記所定位置から炉外まで搬送する搬出側搬送機構とを備え、前記投入側搬送機構及び前記搬出側搬送機構が、それぞれ所定のサイクルで周期的な動作を行う片持ち構造のビーム22,32によって被熱処理物51を搬送するものであり、前記投入側搬送機構及び前記搬出側搬送機構のビーム22,32の全体が、被熱処理物51の投入時及び取り出し時に完全に炉外に出た状態となる熱処理炉。
【選択図】図1
Description
Claims (9)
- 被熱処理物を搬送しながら当該被熱処理物に所定の熱処理を施す熱処理炉であって、
前記被熱処理物を搬送するための搬送機構として、前記被熱処理物を炉内に投入し、炉内の所定位置まで搬送する投入側搬送機構と、前記所定位置において前記投入側搬送機構から前記被熱処理物を受け取り、前記所定位置から炉外まで搬送する搬出側搬送機構とを備え、前記投入側搬送機構及び前記搬出側搬送機構が、それぞれ所定のサイクルで周期的な動作を行う片持ち構造のビームによって前記被熱処理物を搬送するものであり、前記投入側搬送機構及び前記搬出側搬送機構の前記ビームの全体が、前記被熱処理物の投入時及び取り出し時に完全に炉外に出た状態となる熱処理炉。 - 炉の入口側から出口側に向かって、前記被熱処理物の乾燥を行う乾燥領域と、前記被熱処理物の焼成を行う焼成領域とが順に設けられ、前記乾燥領域では前記被熱処理物の搬送を前記投入側搬送機構により行い、前記焼成領域では前記被熱処理物の搬送を前記搬出側搬送機構により行う請求項1に記載の熱処理炉。
- 前記ビームの下側に接触して前記ビームを支持する支持ローラーを設けた請求項1又は2に記載の熱処理炉。
- 前記搬出側搬送機構の前記ビームに、前記被熱処理物の縁部とのみ接触して前記被熱処理物を保持するための保持治具が装着されており、当該保持治具の前記被熱処理物に接触する部分の幅が2mm以下である請求項1〜3の何れか一項に記載の熱処理炉。
- 前記投入側搬送機構と前記搬出側搬送機構とのうちの一方の動作のサイクル時間が、他方の動作のサイクル時間の整数倍である請求項1〜4の何れか一項に記載の熱処理炉。
- 炉内の加熱手段としてヒータを有し、当該ヒータが、前記被熱処理物よりも上方の位置であって、かつ、炉の真上から見て前記被熱処理物の通過領域と重ならないような位置に設けられている請求項1〜5の何れか一項に記載の熱処理炉。
- 前記焼成領域において、炉の真上から見て前記ヒータと前記被熱処理物の通過領域との間の位置に、炉天井部から下方に伸びる整流板が設けられるとともに、前記ヒータの上方に給気口が設けられ、前記被熱処理物の通過領域の上方に排気口が設けられた請求項6に記載の熱処理炉。
- 炉の内底面から搬送面までの高さLが、前記被熱処理物の最大寸法Dとの関係において、L≧1.3×Dを満たすものである請求項1〜7の何れか一項に記載の熱処理炉。
- 請求項1〜8の何れか一項に記載の熱処理炉を用いて製造された太陽電池セル。
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