JP2007220522A - イオンビーム照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 このイオンビーム照射装置は、ターゲットの上流側に設けられていて、入口電極22、中間電極24、出口電極26を有する電界レンズ20aを備えている。中間電極24は、イオンビーム4の進行方向の上流側および下流側の面に、Y方向において湾曲した凸表面40、42を有している。入口電極22、出口電極26は、中間電極24の凸表面に対向する面に当該凸表面に沿う凹表面38、44を有している。入口電極22、出口電極26は互いに同電位に保たれ、中間電極24は入口電極22および出口電極26とは異なる電位であって、電界レンズ20aから導出されるイオンビーム4のY方向における軌道状態を所望のものにする電位に保たれる。
【選択図】 図3
Description
4 イオンビーム
8 ターゲット
20a、20b 電界レンズ
22 入口電極
24 中間電極
26 出口電極
52 直流電源
Claims (6)
- 進行方向と交差する面内におけるY方向の寸法が当該Y方向と直交するX方向の寸法よりも大きい形状をしているイオンビームをターゲットに照射する構成のイオンビーム照射装置であって、
前記ターゲットよりも上流側の位置に設けられていて、そこを通過する前記イオンビームをY方向において曲げる作用を奏するものであって、イオンビーム進行方向に互いに隙間をあけて並べられた入口電極、中間電極および出口電極を有する電界レンズを備えており、
前記電界レンズの中間電極は、イオンビーム進行方向の上流側および下流側の面に、Y方向において湾曲した凸表面をそれぞれ有しており、
前記電界レンズの入口電極および出口電極は、当該中間電極の凸表面に対向する面に当該凸表面にそれぞれ沿う凹表面をそれぞれ有しており、
前記電界レンズの入口電極および出口電極は互いに同電位に保たれ、中間電極は入口電極および出口電極とは異なる電位であって、前記電界レンズから導出されるイオンビームのY方向における軌道状態を所望のものにする電位に保たれる、ことを特徴とするイオンビーム照射装置。 - 前記電界レンズの中間電極は、入口電極および出口電極よりも低い電位に保たれ、前記電界レンズは、Y方向において発散する入射イオンビームを実質的に平行ビーム化して導出するものである請求項1記載のイオンビーム照射装置。
- 進行方向と交差する面内におけるY方向の寸法が当該Y方向と直交するX方向の寸法よりも大きい形状をしているイオンビームをターゲットに照射する構成のイオンビーム照射装置であって、
前記ターゲットよりも上流側の位置に設けられていて、そこを通過する前記イオンビームをY方向において曲げる作用を奏するものであって、イオンビーム進行方向に互いに隙間をあけて並べられた入口電極、中間電極および出口電極を有する電界レンズを備えており、
前記電界レンズの中間電極は、イオンビーム進行方向の上流側および下流側の面に、Y方向において湾曲した凹表面をそれぞれ有しており、
前記電界レンズの入口電極および出口電極は、当該中間電極の凹表面に対向する面に当該凹表面にそれぞれ沿う凸表面をそれぞれ有しており、
前記電界レンズの入口電極および出口電極は互いに同電位に保たれ、中間電極は入口電極および出口電極とは異なる電位であって、前記電界レンズから導出されるイオンビームのY方向における軌道状態を所望のものにする電位に保たれる、ことを特徴とするイオンビーム照射装置。 - 前記電界レンズの中間電極は、入口電極および出口電極よりも高い電位に保たれ、前記電界レンズは、Y方向において発散する入射イオンビームを実質的に平行ビーム化して導出するものである請求項3記載のイオンビーム照射装置。
- 前記電界レンズの入口電極、中間電極および出口電極は、それぞれ、前記イオンビームが通過する隙間をあけてX方向に並べられていて互いに電気的に導通している一対の電極から成る請求項1、2、3または4記載のイオンビーム照射装置。
- 前記電界レンズの中間電極を入口電極および出口電極とは異なる電位に保つ直流電源を備えている請求項1、2、3、4または5記載のイオンビーム照射装置。
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