JP2007219180A - レジスト保護膜形成用組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 - Google Patents
レジスト保護膜形成用組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007219180A JP2007219180A JP2006040020A JP2006040020A JP2007219180A JP 2007219180 A JP2007219180 A JP 2007219180A JP 2006040020 A JP2006040020 A JP 2006040020A JP 2006040020 A JP2006040020 A JP 2006040020A JP 2007219180 A JP2007219180 A JP 2007219180A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- protective film
- forming
- group
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
【解決手段】レジスト膜上に設けられるレジスト保護膜形成用組成物であって、水及び/又はアルカリ可溶性ポリマー、及び含フッ素ポリエーテルを含有する。
【選択図】なし
Description
Immersion Lithography)プロセスが報告されている(例えば、非特許文献1〜3参照)。この方法は、露光時に、露光装置(レンズ)と基板上のレジスト膜との間の露光光路の、少なくとも前記レジスト膜上に所定厚さの液浸媒体を介在させた状態でレジスト膜を露光し、レジストパターンを形成するというものである。この液浸露光プロセスは、従来は空気や窒素等の不活性ガスであった露光光路空間を、これら空間(気体)の屈折率よりも大きく、かつレジスト膜の屈折率よりも小さい屈折率(n)をもつ液浸媒体(例えば、純水やフッ素系不活性液体など)で置換することにより、同じ露光波長の光源を用いても、より短波長の露光光を用いた場合や高NAレンズを用いた場合と同様に、高解像性が達成されるとともに、焦点深度幅の低下も生じないという利点を有する。
「ジャーナル・オブ・バキューム・サイエンス・アンド・テクノロジー B(Journal of Vacuum Science & Technology B)」、(米国)、1999年、第17巻、6号、3306−3309頁 「ジャーナル・オブ・バキューム・サイエンス・アンド・テクノロジー B(Journal of Vacuum Science & Technology B)」、(米国)、2001年、第19巻、6号、2353−2356頁 「プロシーディングス・オブ・エスピーアイイー(Proceedings of SPIE)」、(米国)、2002年、第4691巻、459−465頁
本発明に係るレジスト保護膜形成用組成物は、液浸露光プロセス、ドライ露光プロセスのどちらの露光プロセスの場合でも使用可能である。
(a)水及び/又はアルカリ可溶性ポリマーは、アルカリ可溶性樹脂又は水溶性樹脂の少なくともどちらか一方を用いることが好ましい。
さらに本発明レジスト保護膜形成用組成物は、(b)含フッ素ポリエーテルを含有してなる。このような含フッ素ポリエーテルとしては、沸点が120℃以上であることが好ましく、さらには、その分子構造の両末端に少なくとも1以上の水素原子を有するものであることが好ましい。
本発明レジスト保護膜形成用組成物には、必要に応じて、前記(b)成分以外の有機溶剤をさらに配合してもよい。
一般式(D−3)中、tは2〜3の整数であり、R31は水素原子の一部〜全部がフッ素原子に置換されているアルキル基であり、他の水素原子の一部は、水酸基、アルコキシ基、カルボキシル基、アミノ基により置換されていてもよい。
一般式(D−4)中、uは2〜3の整数であり、R31は上記式(D−3)の定義と同義である。
次に、本発明に係るレジスト保護膜形成用組成物を用いて、レジスト保護膜を形成し、このレジスト保護膜を介してレジスト膜を露光して、パターンを形成する方法を説明する。
「レジスト膜形成工程」とは、基板にレジスト膜を形成する工程をいう。具体的には、シリコンウェハ等の基板に、公知のレジスト組成物を、スピンナー等の公知の方法を用いて塗布した後、プレベーク(PAB処理)を行ってレジスト膜を形成する。なお、基板とレジスト膜との間には、有機系又は無機系の反射防止膜を設けた積層体とすることも可能である。
液浸露光の場合、「保護膜形成工程」までは上記と同様の手順で行う。そして、「露光工程」において、レジスト保護膜が形成された基板上に、液浸媒体を配置させる。この液浸媒体は、空気の屈折率よりも大きく、かつ、レジスト膜の屈折率よりも小さい屈折率を有する液体であることが好ましい。
有機系反射防止膜組成物であるARC−29A(Brewer Science社製)を、スピナーを用いてシリコンウェーハ上に塗布し、ホットプレート上で225℃、60秒間焼成して乾燥させることにより、膜厚77nmの有機系反射防止膜を形成した。そして、この反射防止膜上に、ポジ型レジストであるTArF−TAI−6006(東京応化工業社製)を、スピナーを用いて塗布し、ホットプレート上で125℃、60秒間プレベークして、乾燥させることにより、前記反射防止膜上に膜厚150nmのレジスト膜を形成した。
レジスト保護膜形成用組成物1に代えて、レジスト保護膜形成用組成物2を用いた以外は、前記実施例1と全く同様の操作にて、レジストパターンの形成を行ったところ、基板上に塗膜された保護膜には放射状の塗膜不良が発生していた。
比較例において、レジスト保護膜形成用組成物2の塗布量を6mlとした以外は、前記実施例1と全く同様の操作にて、レジストパターンの形成を行ったところ、比較例において発生した放射状の塗膜不良は見られず、良好なホトレジストパターンが得られた。すなわち、含フッ素溶剤の配合によりレジスト保護膜形成用組成物の省液化が可能であった。
Claims (8)
- レジスト膜上に設けられるレジスト保護膜形成用組成物であって、(a)水及び/又はアルカリ可溶性ポリマー、及び(b)含フッ素ポリエーテルを含有してなるレジスト保護膜形成用組成物。
- 前記(b)成分が、沸点が120℃以上の含フッ素ポリエーテルである請求項1に記載のレジスト保護膜形成用組成物。
- 前記(b)成分が、その分子構造の両末端に少なくとも1以上の水素原子を有する含フッ素ポリエーテルである請求項1又は2に記載のレジスト保護膜形成用組成物。
- さらに(c)有機溶剤を含有する請求項1から4のいずれか1項に記載のレジスト保護膜形成用組成物。
- 液浸露光プロセスにおいてレジスト膜上に設けられるレジスト保護膜形成用組成物である請求項1から5のいずれか1項に記載のレジスト保護膜形成用組成物。
- 基板にレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、
このレジスト膜上に、請求項1から6のいずれか1項に記載のレジスト保護膜形成用組成物を用いてレジスト保護膜を形成する保護膜形成工程と、
前記レジスト保護膜を介して前記レジスト膜を露光する露光工程と、
現像液により前記レジスト保護膜を除去して、露光後の前記レジスト保護膜を現像する現像工程と、を有するレジストパターンの形成方法。 - 前記露光工程は、前記レジスト保護膜上に液浸媒体を配置し、前記液体を介して選択的に前記レジスト膜を露光する工程である請求項7に記載のレジストパターンの形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006040020A JP4642672B2 (ja) | 2006-02-16 | 2006-02-16 | レジスト保護膜形成用組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006040020A JP4642672B2 (ja) | 2006-02-16 | 2006-02-16 | レジスト保護膜形成用組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007219180A true JP2007219180A (ja) | 2007-08-30 |
JP4642672B2 JP4642672B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=38496558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006040020A Expired - Fee Related JP4642672B2 (ja) | 2006-02-16 | 2006-02-16 | レジスト保護膜形成用組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4642672B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007316448A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Shin Etsu Chem Co Ltd | レジスト保護膜材料及びパターン形成方法 |
US20100040973A1 (en) * | 2006-09-20 | 2010-02-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Composition for formation of resist protection film, and method for formation of resist pattern using the same |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0641768A (ja) * | 1992-07-23 | 1994-02-15 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光反射防止性材料及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 |
JP2005250511A (ja) * | 2003-02-20 | 2005-09-15 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 液浸露光プロセス用レジスト保護膜形成用材料、該保護膜形成材料による保護膜を有するレジスト膜、および該保護膜を用いたレジストパターン形成方法 |
JP2006030603A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液浸露光用保護膜形成組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
-
2006
- 2006-02-16 JP JP2006040020A patent/JP4642672B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0641768A (ja) * | 1992-07-23 | 1994-02-15 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光反射防止性材料及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 |
JP2005250511A (ja) * | 2003-02-20 | 2005-09-15 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 液浸露光プロセス用レジスト保護膜形成用材料、該保護膜形成材料による保護膜を有するレジスト膜、および該保護膜を用いたレジストパターン形成方法 |
JP2006030603A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液浸露光用保護膜形成組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007316448A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Shin Etsu Chem Co Ltd | レジスト保護膜材料及びパターン形成方法 |
JP4763511B2 (ja) * | 2006-05-26 | 2011-08-31 | 信越化学工業株式会社 | レジスト保護膜材料及びパターン形成方法 |
US20100040973A1 (en) * | 2006-09-20 | 2010-02-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Composition for formation of resist protection film, and method for formation of resist pattern using the same |
US8409781B2 (en) * | 2006-09-20 | 2013-04-02 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Composition for formation of resist protection film, and method for formation of resist pattern using the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4642672B2 (ja) | 2011-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100877217B1 (ko) | 레지스트 보호막 형성용 재료 및 이것을 이용한 레지스트패턴 형성 방법 | |
JP4525683B2 (ja) | 反射防止膜形成用組成物、積層体およびレジストパターンの形成方法 | |
JP2005101498A (ja) | 液浸露光プロセス用浸漬液および該浸漬液を用いたレジストパターン形成方法 | |
JP2005099648A (ja) | 液浸露光プロセス用レジスト保護膜形成用材料、該保護膜形成材料からなるレジスト保護膜、および該レジスト保護膜を用いたレジストパターン形成方法 | |
TWI474135B (zh) | Photoresist surface modification liquid and the use of this photoresist surface modification of the photoresist pattern formation method | |
JP4611137B2 (ja) | 保護膜形成用材料、およびこれを用いたホトレジストパターン形成方法 | |
US20110053097A1 (en) | Protective film-forming material and method of photoresist patterning with it | |
JP5537357B2 (ja) | 保護膜形成用材料及びホトレジストパターン形成方法 | |
JP4918095B2 (ja) | レジスト保護膜形成用組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 | |
JP4275062B2 (ja) | レジスト保護膜形成用材料、およびこれを用いたレジストパターン形成方法 | |
JP4642672B2 (ja) | レジスト保護膜形成用組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 | |
JP4615497B2 (ja) | レジスト保護膜形成用組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 | |
JP2007078744A (ja) | 保護膜形成用材料およびこれを用いたホトレジストパターン形成方法 | |
JP2008078308A (ja) | ホトレジストパターンの形成方法、及びこれに用いる保護膜形成用材料並びに保護膜洗浄除去液 | |
JP2006301524A (ja) | 保護膜形成用材料およびこれを用いたレジストパターン形成方法 | |
JP2009092711A (ja) | 保護膜形成用材料及びホトレジストパターン形成方法 | |
JP2009134174A (ja) | 保護膜形成用材料及びホトレジストパターン形成方法 | |
JP2007240898A (ja) | レジスト保護膜形成用組成物及びこれを用いたレジストパターンの形成方法 | |
JP2007078745A (ja) | 保護膜形成用材料およびこれを用いたホトレジストパターン形成方法 | |
JP2009134173A (ja) | 保護膜形成用材料及びホトレジストパターン形成方法 | |
JP2007078743A (ja) | 保護膜形成用材料およびこれを用いたホトレジストパターン形成方法 | |
JP2007072336A (ja) | 保護膜形成用材料およびこれを用いたホトレジストパターン形成方法 | |
JP2010276924A (ja) | 感活性光線または感放射線樹脂組成物および該組成物を用いたパターン形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101130 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4642672 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |