JP2007212576A - 光学装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、プロジェクタ、光スイッチ、バーコード、コピー機等に適用される光学装置に関し、小型化を図ることのできる光学装置を提供することを課題とする。
【解決手段】光源１３と、光源１３から放出された光を所定の方向に反射するミラー３６を有するミラー素子１２と、ミラー素子１２を収容すると共に、ミラー素子１２が収容された空間Ｄを封止するミラー素子収容体１１とを備えた光学装置１０であって、光源１３をミラー素子収容体１１に設けた。
【選択図】図２

Description

本発明は、光学装置に係り、特にプロジェクタ、光スイッチ、バーコード、コピー機等に適用される光学装置に関する。

プロジェクタ、光スイッチ、バーコード、コピー機等には、図１に示すような光学装置が設けられている。

図１は、従来の光学装置を示す図である。

図１を参照するに、光学装置１００は、光源１０１と、リフレクタ１０２と、ミラー素子収容体１０３と、ミラー素子１０４と、投影レンズ１０５とを有する。

光源１０１は、ミラー素子１０４、ミラー素子収容体１０３、及び投影レンズ１０５から離間した位置に設けられている。光源１０１は、ミラー素子１０４に向けて光を放出するためのものである。光源１０１としては、例えば、ハロゲンランプが用いられる。リフレクタ１０２は、光源１０１を囲むように設けられている。リフレクタ１０２は、ミラー素子１０４に向かうように光源１０１から放出された光を反射させるためのものである。

ミラー素子収容体１０３は、基板１０６と、カバー１０７とを有する。基板１０６は、ミラー素子１０４と電気的に接続される配線パターン（図示せず）を有する。カバー１０７は、基板１０６上に配設されたミラー素子１０４を囲むように設けられている。カバー１０７は、透光性を有した材料により構成されている。

ミラー素子１０４は、基板１０６上に設けられている。ミラー素子１０４は、基板１０６に設けられた配線パターン（図示せず）と電気的に接続されている。
ミラー素子１０４は、格子状に配置された複数のミラー１０９を有する。複数のミラー１０９は、ミラー素子１０４の上面側に設けられている。複数のミラー１０９は、他のミラー１０９とは独立してそれぞれ角度を変えることが可能な構成とされている。複数のミラー１０９は、その角度を変化させることで、オン状態／オフ状態の切り替えを行なう。オン状態とは、光源１０１からの光を投影レンズ１０５に反射させる状態であり、オフ状態とは、光源１０１からの光を投影レンズ１０５に反射させない状態のことである。

投影レンズ１０５は、光源１０１、リフレクタ１０２、ミラー素子収容体１０３、及びミラー素子１０４から離間するように配置されている。投影レンズ１０５は、ミラー１０９が反射した光を拡大投影するためのものである（例えば、特許文献１参照）。

なお、カラー画像を表示する場合には、光源１０１とミラー素子１０４との間に別途、カラーフィルタ（図示せず）を設ける。
特開２００４−１１７９３１号公報

しかしながら、従来の光学装置１００では、光源１０１及びリフレクタ１０２と、ミラー素子収容体１０３及びミラー素子１０４とをそれぞれ独立した構成要素として離間させた状態で配置していたため、光学装置１００が大型化してしまい、光学装置１００の小型化を図ることが困難であるという問題があった。

そこで本発明は、小型化を図ることのできる光学装置を提供することを目的とする。

本発明の一観点によれば、光源と、前記光源から放出された光を反射するミラーを有するミラー素子と、前記ミラー素子を収容すると共に、前記ミラー素子が収容された空間を封止するミラー素子収容体とを備えた光学装置であって、前記光源を前記ミラー素子収容体の内部に設けたことを特徴とする光学装置が提供される。

本発明によれば、ミラー素子を収容すると共に、ミラー素子が収容された空間を封止するミラー素子収容体の内部に光源を設けることにより、ミラー素子収容体から離間した位置に光源を設けた従来の光学装置と比較して、光学装置の小型化を図ることができる。

本発明によれば、光学装置の小型化を図ることができる。

次に、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。

（第１の実施の形態）
図２は、本発明の第１の実施の形態に係る光学装置の断面図である。図２に示すＡは、光源１３から放出された光、及び反射部材１４により反射された光源１３の光の進行方向、Ｂはミラー素子１２のミラー３６に反射された光束の進行方向、Ｃは投影レンズ１６を通過することにより拡大投影された光をそれぞれ示している。

図２を参照するに、第１の実施の形態の光学装置１０は、ミラー素子収容体１１と、ミラー素子１２と、光源１３と、反射部材１４と、反射防止膜１５と、投影レンズ１６と、吸着剤１７とを有する。

ミラー素子収容体１１は、ミラー素子１２を収容すると共にミラー素子１２が収容された空間Ｄを密閉するためのものである。ミラー素子収容体１１は、基板１９と、カバー２１とを有する。基板１９は、基板本体２２と、貫通ビア２３，２４とを有する。

基板本体２２は、板状とされており、貫通孔２６，２７を有する。貫通孔２６は、ミラー素子１２が配設される領域の近傍に位置する基板本体２２を貫通するように形成されている。貫通孔２７は、光源１３が配設される領域に対応する基板本体２２を貫通するように形成されている。基板本体２２の材料としては、例えば、シリコン、セラミック、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等を用いることができる。基板本体２２の材料としてシリコンやＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金を用いた場合、ビア２３，２４との絶縁のため、基板本体２２の表面（貫通孔２６，２７を形成する基板本体２２の表面も含む）に絶縁膜を設ける。

貫通ビア２３は、貫通孔２６に設けられている。貫通ビア２３の上端部は、ワイヤ２８を介して、ミラー素子１２と電気的に接続（ワイヤボンディング接続）されている。貫通ビア２３の下端部は、外部接続端子としての機能を奏する。

貫通ビア２４は、貫通孔２７に設けられている。貫通ビア２４の上端部は、バンプ３１を介して、光源１３と電気的に接続されている。貫通ビア２４の下端部は、外部接続端子としての機能を奏する。貫通ビア２３，２４の材料としては、例えば、導電金属を用いることができる。

カバー２１は、カバー本体３２と、光透過用窓部３３とを有する。カバー本体３２は、基板１９上に設けられている。ミラー素子１２と対向するカバー本体３２には、貫通部３２Ａが形成されている。貫通部３２Ａは、ミラー素子１２に設けられた複数のミラー３６を露出するような形状とされている。カバー本体３２の材料としては、例えば、樹脂、ガラス、金属等を用いることができる。具体的な樹脂としては、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂等を用いることができる。また、金属としては、例えば、鉄系合金、ニッケル系合金等を用いることができる。

光透過用窓部３３は、カバー本体３２の貫通部３２Ａに設けられている。光透過用窓部３３は、ミラー３６が反射した光をミラー素子収容体１１の外部に放出するためのものである。光透過用窓部３３の材料としては、光を透過させる機能を有する材料を用いることができる。具体的には、光透過用窓部３３の材料としては、例えば、ガラスを用いることができる。

図３は、基板上に設けられたミラー素子、光源、反射部材、及び吸着剤を平面視した図である。

次に、図２及び図３を参照して、ミラー素子１２、光源１３、反射部材１４の順に説明する。

ミラー素子１２は、空間Ｄに露出された基板１９上（ミラー素子収容体１１の内部）に設けられている。ミラー素子１２は、ミラー素子本体３５と、複数のミラー３６と、電極パッド３７とを有する。ミラー素子本体３５は、貫通ビア２３により囲まれた基板本体２２上に固定されている。

複数のミラー３６は、ミラー素子本体３５の上面３５Ａ側に設けられている。複数のミラー３６は、格子状に配置されている。複数のミラー３６は、それぞれ独立して角度を変えることが可能な構成とされている。複数のミラー３６は、その角度を変化させることで、オン状態／オフ状態の切り替えを行なう。オン状態とは、光源１３からの光を投影レンズ１６に向けて反射させる状態のことである。オフ状態とは、光源１３からの光を投影レンズ１６に反射させない状態のことである。

電極パッド３７は、ミラー素子本体３５の上面３５Ａ側に設けられており、ミラー素子本体３５と電気的に接続されている。電極パッド３７は、ワイヤ２８を介して、貫通ビア２３と電気的に接続されている。

ミラー素子１２としては、例えば、ＤＭＤ（Digital Micromirror Device：TEXAS INSTURUMENTS社の登録商標）を用いることができる。ＤＭＤは、複数のミラー３６と、ミラー素子本体３５に設けられたメモリー素子（図示せず）とを有する。メモリー素子（図示せず）は、複数のミラー３６の角度を変化させるためのものである。また、ミラー素子１２としてメモリー素子を備えていないものを用いる場合には、図示していない電磁石をミラー素子１２の周囲に設けて複数のミラー３６の角度を変化させる。

光源１３は、空間Ｄに露出された基板１９上（ミラー素子収容体１１の内部）に設けられている。光源１３は、バンプ３１と接触される電極パッド４１を有する。光源１３は、バンプ３１を介して、貫通ビア２４と電気的に接続されている。

このように、ミラー素子１２を収容すると共に、ミラー素子１２が収容された空間Ｄを封止するミラー素子収容体１１の内部に光源１３を設けることにより、ミラー素子収容体１０３から離間した位置に光源１０１を設けた従来の光学装置１００と比較して、光学装置１０の小型化を図ることができる。

また、ミラー素子収容体１１の内部に光源１３を設けることにより、光源１３を支持する支持部材を設ける必要がなくなるため、光学装置１０のコストを低減することができる。

光源１３としては、例えば、発光素子を用いることができる。発光素子としては、例えば、発光ダイオード、レーザダイオード等を用いることができる。このような発光素子は、従来の光学装置１００の光源１０１として使用されていたハロゲンランプと比較して非常に小型化されており、ハロゲンランプと同等の輝度を有する。

このように、光源１３として発光素子を用いることにより、ミラー素子収容体１１の内部に光源１３を配置することが可能となる。

反射部材１４は、光源１３の上面１３Ａ，側面１３Ｂ、及び背面１３Ｃを囲むように基板本体２２上に設けられている。反射部材１４は、鏡面処理されている。反射部材１４は、その内面１４Ａにより光源１３から放出された光を反射することで、光源１３の全面から放出された光を効率よくミラー素子１２に導くためのものである。反射部材１４の材料としては、例えば、鉄系合金、ニッケル系合金、アルミ系合金等の金属を用いることができる。また、反射部材１４として、アルミ等の反射膜をコーティングしたガラスを用いてもよい。

次いで、図２を参照して、反射防止膜１５、投影レンズ１６、吸着剤１７の順に説明する。

反射防止膜１５は、空間Ｄに露出されたカバー本体３２の面３２Ｂを覆うように設けられている。反射防止膜１５は、光が反射されることを防止するための膜である。反射防止膜１５としては、例えば、樹脂にカーボンの粒子を含有させたカーボン含有樹脂を用いることができる。

反射防止膜１５は、カバー本体３２の面３２Ｂが鏡面でない場合に有効である。カバー本体３２の材料として樹脂やガラス等を用いた場合には、反射防止膜１５とカバー本体３２の間に光を遮断する遮光膜を設けるとよい。遮光膜としては、例えば、クロムを用いることができる。

また、カバー本体３２の材料として金属を用い、かつカバー本体３２の面３２Ｂが鏡面である場合には、カバー本体３２の面３２Ｂが反射部材１４の機能を奏するため、反射防止膜１５が不要になると共に、反射部材１４も不要となる。

投影レンズ１６は、光透過用窓部３３から上方に離間した位置に設けられている。投影レンズ１６は、ミラー３６が反射した光束を拡大投影するためのものである。

吸着剤１７は、ミラー素子収容体１１内に形成された空間Ｄに露出された基板本体２２上（ミラー素子収容体１１の内部）に設けられている。吸着剤１７は、空間Ｄ内の水分及び／またはガス（例えば、Ｏ_２、ＣＯ、ＣＯ_２、Ｎ_２等のガス）を吸着するためのものである。吸着剤１７としては、例えば、ゲッターと呼ばれるＺｒ系合金を用いることができる。ゲッターとして適用可能なＺｒ系合金としては、例えば、Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ−Ｔｉ合金を用いることができる。

このような吸着剤１７をミラー素子収容体１１の内部に設けることにより、空間Ｄに存在する水分及び／またはガス（例えば、Ｏ_２、ＣＯ、ＣＯ_２、Ｎ_２等のガス）を吸着して、空間Ｄに存在する水分及び／またはガスがミラー３６の動作に悪影響を及ぼすことを防止することができる。

本実施の形態に係る光学装置によれば、ミラー素子１２を収容すると共に、ミラー素子１２が収容された空間Ｄを封止するミラー素子収容体１１の内部に光源１３を設けることにより、ミラー素子収容体１０３から離間した位置に光源１０１を設けた従来の光学装置１００と比較して、光学装置１０の小型化を図ることができる。

また、ミラー素子収容体１１の内部に光源１３を設けることにより、光源１３を支持する支持部材を設ける必要がなくなるため、光学装置１０のコストを低減することができる。
（第２の実施の形態）
図４は、本発明の第２の実施の形態に係る光学装置の断面図であり、図５は、基板上に設けられたミラー素子、光源、反射部材、及び吸着剤を平面視した図である。図４において、第１の実施の形態の光学装置１０と同一構成部分には同一符号を付す。また、図５において、図４に示す光学装置５０と同一構成部分には同一符号を付す。また、図５に示すＦは、第１〜第３の発光素子５２〜５４が配列される方向（以下、「Ｆ方向」とする）を示している。

図４及び図５を参照するに、第２の実施の形態の光学装置５０は、第１の実施の形態の光学装置１０に設けられた光源１３の代わりに光源５１を設けた以外は光学装置１０と同様に構成される。

光源５１は、第１の発光素子５２と、第２の発光素子５３と、第３の発光素子５４とを有する。第１〜第３の発光素子５２〜５４は、反射部材１４と対向する基板本体２２上に設けられている。第１〜第３の発光素子５２〜５４は、Ｆ方向に第１の発光素子５２、第２の発光素子５３、第３の発光素子５４の順に配置されている。第１の発光素子５２は、赤色発光する発光素子である。第２の発光素子５３は、青色発光する発光素子である。第３の発光素子５４は、緑色発光する発光素子である。第１〜第３の発光素子５２〜５４としては、例えば、発光ダイオード、レーザダイオード等を用いることができる。

本実施の形態の光学装置によれば、赤色発光する第１の発光素子５２、青色発光する第２の発光素子５３、及び緑色発光する第３の発光素子５４から光源５１を構成することにより、カラーフィルターを用いることなく、カラー画像を表示することが可能となるので、光学装置５０の小型を図ることができる。

また、カラーフィルターが不要となることにより、光学装置５０のコストを低減することができる。

なお、本実施の形態の光学装置５０では、光源５１として３つの発光素子（第１〜第３の発光素子５２〜５４）を用いた場合を例に挙げて説明したが、反射部材１４と対向する基板本体２２上のＦ方向に第１〜第３の発光素子５２〜５４を複数配置して光源を構成してもよい。

（第３の実施の形態）
図６は、本発明の第３の実施の形態に係る光学装置の断面図である。図６において、第１の実施の形態の光学装置１０と同一構成部分には同一符号を付す。また、図６に示すＡ１は、光源１３が放出する光、及び反射部材６８により反射された光源１３の光の進行方向、Ｂ１はミラー素子１２のミラー３６に反射された光束の進行方向、Ｃ１は投影レンズ１６を通過することにより拡大投影された光をそれぞれ示している。

図６を参照するに、第３の実施の形態の光学装置６０は、ミラー素子収容体６１と、ミラー素子１２と、光源１３と、反射部材６８と、反射防止膜１５と、投影レンズ１６と、吸着剤１７とを有する。

ミラー素子収容体６１は、ミラー素子１２を収容すると共に、ミラー素子１２が収容された空間Ｇを封止するためのものである。ミラー素子収容体６１は、基板６２と、カバー６３とを有する。基板６２は、基板本体６４と、貫通ビア２３とを有する。

基板本体６４は、板状とされており、貫通孔２６を有する。貫通孔２６は、ミラー素子１２が配設される領域の近傍に位置する基板本体６４を貫通するように形成されている。基板本体６４の材料としては、例えば、シリコン、セラミック、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金等を用いることができる。

貫通ビア２３は、貫通孔２６に設けられている。貫通ビア２３の上端部は、ワイヤ２８を介して、基板６２上に設けられたミラー素子１２と電気的に接続（ワイヤボンディング接続）されている。貫通ビア２３の下端部は、外部接続端子としての機能を奏する。

カバー６３は、カバー本体６５と、光透過用窓部３３と、貫通ビア６７とを有する。カバー本体６５は、基板６２上に設けられている。カバー本体６５は、貫通部６５Ａと、傾斜部６５Ｃと、貫通孔６６とを有する。貫通部６５Ａは、ミラー素子１２と対向するカバー本体６５に形成されている。貫通部６５Ａは、ミラー素子１２に設けられた複数のミラー３６を露出するような形状とされている。

傾斜部６５Ｃは、カバー本体６５の一部分である。傾斜部６５Ｃには、光源１３及び反射部材６８が配設される。貫通孔６６は、傾斜部６５Ｃを貫通するように形成されている。

カバー本体６５の材料としては、例えば、樹脂、ガラス、金属等を用いることができる。具体的な樹脂としては、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂等を用いることができる。また、金属としては、例えば、鉄系合金、ニッケル系合金等を用いることができる。カバー本体６５の材料として金属を用いる場合、ビア６７との絶縁のため、カバー本体６５の表面（貫通孔６６を形成するカバー本体６５の表面も含む）に絶縁膜を設ける。

光透過用窓部３３は、カバー本体６５の貫通部６５Ａに設けられており、ミラー３６が反射した光をミラー素子収容体６１の外部に放出するためのものである。

貫通ビア６７は、貫通孔６６に設けられている。貫通ビア６７の一方の端部（空間Ｇ側に位置する端部）は、バンプ３１を介して、光源１３と電気的に接続されており、貫通ビア６７の他方の端部は、外部接続端子としての機能を奏する。

図７は、図６に示す光源及び反射部材をＨ視した図である。

次に、図６及び図７を参照して、光源１３、反射部材６８の順に説明する。

光源１３は、空間Ｇに露出されたカバー本体６５の傾斜部６５Ｃに設けられている。光源１３は、バンプ３１と接触される電極パッド４１を有する。光源１３は、バンプ３１を介して、貫通ビア６７と電気的に接続されている。

このように、光源１３を空間Ｇに露出されたカバー本体６５の傾斜部６５Ｃに設けることにより、ミラー素子収容体１０３から離間した位置に光源１０１を設けた従来の光学装置１００と比較して、光学装置６０の小型化を図ることができる。

また、光源１３をカバー本体６５に設けることにより、基板６２のサイズを小型化することが可能となるため、第１の実施の形態の光学装置１０よりもさらに小型化を図ることができる。

さらに、光源１３をカバー本体６５に設けることにより、光源１３を支持する支持部材を別途設ける必要がなくなるので、光学装置６０のコストを低減することができる。

反射部材６８は、光源１３を囲むように傾斜部６５Ｃに設けられている。反射部材６８は、鏡面処理されている。反射部材６８は、その内面６８Ａにより光源１３から放出された光を反射することで、光源１３の全面から放出された光をミラー素子１２に導くためのものである。反射部材６８の材料としては、例えば、鉄系合金、ニッケル系合金、アルミ系合金等の金属を用いることができる。

次いで、図６を参照して、反射防止膜１５、投影レンズ１６、吸着剤１７の順に説明する。

反射防止膜１５は、空間Ｇに露出されたカバー本体６５の面６５Ｂを覆うように設けられている。投影レンズ１６は、光透過用窓部３３から上方に離間した位置に設けられている。投影レンズ１６は、ミラー３６が反射した光束を拡大投影する。吸着剤１７は、ミラー素子収容体６１内に形成された空間Ｇに露出された基板本体６４上に設けられている。反射防止膜１５及び吸着剤１７としては、第１の実施の形態で説明したようなものを用いることができる。

本実施の形態の光学装置によれば、光源１３を空間Ｇに露出されたカバー本体６５の傾斜部６５Ｃに設けることにより、ミラー素子収容体１０３から離間した位置に光源１０１を設けた従来の光学装置１００と比較して、光学装置６０の小型化を図ることができる。

また、光源１３をカバー本体６５に設けることにより、基板６２の面方向のサイズを小さくすることが可能となるので、さらに光学装置６０の小型化を図ることができる。

さらに、光源１３をカバー本体６５に設けることにより、光源１３を支持する支持部材を別途設ける必要がなくなるため、光学装置６０のコストを低減することができる。
（第４の実施の形態）
図８は、本発明の第４の実施の形態に係る光学装置の断面図であり、図９は、図８に示す光源及び反射部材をＫ視した図である。図８及び図９において、第３の実施の形態の光学装置６０と同一構成部分には同一符号を付す。また、図９に示すＪは、第１〜第３の発光素子７４〜７６を配置する方向（以下、「Ｊ方向」とする）を示している。

図８及び図９を参照するに、第４の実施の形態の光学装置７０は、第３の実施の形態の光学装置６０に設けられた光源１３及び反射部材６８の代わりに光源７１及び反射部材７２を設けた以外は光学装置６０と同様に構成される。

光源７１は、第１の発光素子７４と、第２の発光素子７５と、第３の発光素子７６とを有する。第１〜第３の発光素子７４〜７６は、空間Ｇに露出された傾斜部６５Ｃに設けられている。第１〜第３の発光素子７４〜７６は、Ｊ方向に第１の発光素子７４、第２の発光素子７５、第３の発光素子７６の順に配置されている。第１の発光素子７４は、赤色発光する発光素子である。第２の発光素子７５は、青色発光する発光素子である。第３の発光素子７６は、緑色発光する発光素子である。第１〜第３の発光素子７４〜７６としては、例えば、発光ダイオード、レーザダイオード等を用いることができる。

反射部材７２は、光源７１を囲むように傾斜部６５Ｃに設けられている。反射部材７２は、鏡面処理されている。反射部材７２は、その内面７２Ａにより光源７１から放出された光を反射することで、光源７１の全面から放出された光をミラー素子１２に導くためのものである。反射部材７２の材料としては、例えば、鉄系合金、ニッケル系合金、アルミ系合金等の金属を用いることができる。

本実施の形態の光学装置によれば、光源７１を赤色発光する第１の発光素子７４、青色発光する第２の発光素子７５、及び緑色発光する第３の発光素子７６から構成することにより、カラーフィルターを用いることなく、カラー画像を表示させることが可能となるため、光学装置７０の小型を図ることができる。

また、カラーフィルターが不要となることにより、光学装置７０のコストを低減することができる。

なお、本実施の形態の光学装置７０では、光源５１として３つの発光素子（第１〜第３の発光素子７４〜７６）を用いた場合を例に挙げて説明したが、傾斜部６５ＣのＪ方向に第１〜第３の発光素子５２〜５４を複数配置して光源を構成してもよい。

以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

本発明によれば、小型化が要求される光学装置に適用できる。

従来の光学装置を示す図である。 本発明の第１の実施の形態に係る発光装置の断面図である。 基板上に設けられたミラー素子、光源、反射部材、及び吸着剤を平面視した図である。 本発明の第２の実施の形態に係る光学装置の断面図である。 基板上に設けられたミラー素子、光源、反射部材、及び吸着剤を平面視した図 本発明の第３の実施の形態に係る光学装置の断面図である。 図６に示す光源及び反射部材をＨ視した図である。 本発明の第４の実施の形態に係る光学装置の断面図である。 図８に示す光源及び反射部材をＫ視した図である。

符号の説明

１０，５０，６０，７０ 光学装置
１１，６１ ミラー素子収容体
１２ ミラー素子
１３，５１，７１ 光源
１３Ａ，３５Ａ 上面
１３Ｂ 側面
１３Ｃ 背面
１４，６８，７２ 反射部材
１４Ａ，６８Ａ，７２Ａ 内面
１６ 投影レンズ
１７ 吸着剤
１９，６２ 基板
２１，６３ カバー
２２，６４ 基板本体
２３，２４，６７ 貫通ビア
２６，２７，６６ 貫通孔
２８ ワイヤ
３１ バンプ
３２，６５ カバー本体
３２Ａ，６５Ａ 貫通部
３２Ｂ，６５Ｂ 面
３３ 光透過用窓部
３５ ミラー素子本体
３６ ミラー
３７，４１ 電極パッド
５２，７４ 第１の発光素子
５３，７５ 第２の発光素子
５４，７６ 第３の発光素子
６５Ｃ 傾斜部
Ｄ，Ｇ 空間

Claims (6)

1. 光源と、
   前記光源から放出された光を反射するミラーを有するミラー素子と、
   前記ミラー素子を収容すると共に、前記ミラー素子が収容された空間を封止するミラー素子収容体とを備えた光学装置であって、
   前記光源を前記ミラー素子収容体の内部に設けたことを特徴とする光学装置。
2. 前記光源は、１または複数の発光素子であることを特徴とする請求項１記載の光学装置。
3. 前記ミラー素子収容体の内部に、前記光源が放出する光を前記ミラーに向けて反射させる反射部材を設けたことを特徴とする請求項１または２記載の光学装置。
4. 前記ミラー素子収容体に、前記空間内の水分及び／またはガスを吸着する吸着剤を設けたことを特徴とする請求項１ないし３のうち、いずれか一項記載の光学装置。
5. 前記複数の発光素子は、赤色発光する前記発光素子と、緑色発光する前記発光素子と、青色発光する前記発光素子とよりなることを特徴とする請求項２ないし４のうち、いずれか一項記載の光学装置。
6. 前記ミラーと対向する前記ミラー素子収容体の部分に、前記ミラーが反射した光を透過させる光透過用窓部を設けたことを特徴とする請求項１ないし５のうち、いずれか一項記載の光学装置。

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