JP2007210860A - 多結晶シリコン鋳片製造用の鋳型 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】鋳型を二重構造とし、外側の鋳型と内側の鋳型の隙間にシリカ系の粉末を充填する。内側の鋳型が破損した場合においても、流出した融液は内側の鋳型と外側の鋳型の間に充填されたシリカ系の粉末によって受け止められ、外側の鋳型に達することが無く、まして外側の鋳型の外にまで流出し鋳造炉内のヒーターや断熱材、鋳型を支える構造部材などに達することが無く、それら外側の鋳型、鋳造炉内のヒーターや断熱材、鋳型を支える構造部材などの破損を防ぐ。シリカ系粉末は珪砂でもシリカガラスであってもよい。
【選択図】図1
Description
(1)一方向凝固鋳造法による多結晶シリコン鋳片製造に用いる鋳型であって、少なくとも外側の鋳型、内側の鋳型で構成された二重の鋳型と、両鋳型間にシリカ系の粉末から成る充填材が配されたことを特徴とする多結晶シリコン鋳片製造用の鋳型、
(2)前記のシリカ系粉末が、珪砂、シリカガラスのいずれか一方、又は、双方であることを特徴とする(1)に記載の多結晶シリコン鋳片製造用の鋳型、
(3)前記のシリカ系粉末の最大粒径が3mm未満であることを特徴とする(1)または(2)に記載の多結晶シリコン鋳片製造用の鋳型、
を用いる。
実施例1については99.5kgのシリコンを回収した。すなわち、0.5kgの融液が流出したが、流出した融液がシリカガラス粉末によって止められ、外鋳型内壁面には到達しなかった。実施例2も0.5kgの融液が流出したが、流出した融液が珪砂粉末によって止められ、外鋳型内壁面には到達しなかった。
更に、シリコン塊の中心部分から分析サンプルを採取し、ICP-AES(ICP発光)分析法による定性分析を行った。
2 内鋳型
3 外鋳型
4 充填層
5 黒鉛断熱材
6 水冷された金属部材
7 上部抵抗加熱ヒーター
8 内鋳型
9 側部抵抗加熱ヒーター
10 充填層
11 黒鉛断熱材
12 水冷された金属部材兼昇降式台
13 外鋳型
Claims (3)
- 一方向凝固鋳造法による多結晶シリコン鋳片製造に用いる鋳型であって、少なくとも外側の鋳型、内側の鋳型で構成された二重の鋳型と、両鋳型間にシリカ系の粉末から成る充填材が配されたことを特徴とする多結晶シリコン鋳片製造用の鋳型。
- 前記のシリカ系粉末が、珪砂、シリカガラスのいずれか一方、又は、双方であることを特徴とする請求項1に記載の多結晶シリコン鋳片製造用の鋳型。
- 前記のシリカ系粉末の最大粒径が3mm未満であることを特徴とする請求項1または2に記載の多結晶シリコン鋳片製造用の鋳型。
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