JP2007207999A - 半導体レーザ素子の入出力特性検出方法とその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】短パルス駆動における半導体レーザ素子1の入出力特性を検出するにあたり、比較的長いパルス幅のパルス駆動において、半導体レーザ素子1から放射されるパルス光の全光束を受光する第1受光素子60と、該第1受光素子60より小さい受光面積を有し短パルス駆動時に出力されるパルス光を検出するのに十分な応答性能を備える第2受光素子62の両受光素子60、62によって入出力特性およびその微分特性を測定し、これらの測定結果から算出される第2受光素子62の結合効率CEに基づいて、第2受光素子62が測定した短パルス駆動における半導体レーザ素子1の入出力特性を較正することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
12…メインプロセッサ
20…駆動回路
30…電流検出回路
50…第1光検出回路
60…第1受光素子
62…第2受光素子
70…第2光検出回路
Claims (6)
- 所定のパルス幅を有し、一定周期をもって段階状に波高値が増大する電流パルス列信号を入力して半導体レーザ素子を駆動し、前記半導体レーザ素子の駆動電流の波高値と、前記半導体レーザ素子から放射されるパルス光を受光素子により光電変換して得られた検出パルス信号の波高値とを測定して、前記駆動電流の波高値の変化に対する前記パルス光の波高値の変化を検出する半導体レーザ素子の入出力特性検出方法において、
第1パルス幅を有する第1電流パルス列信号を入力して前記半導体レーザ素子を駆動し、該半導体レーザ素子から放射される第1パルス光をその全光束を受光可能な受光面を有する第1受光素子により光電変換することで第1入出力特性とその微分特性である第1入出力微分特性を検出する工程と、
前記第1パルス光を前記第1受光素子より小さい受光面を有する第2受光素子により光電変換することで第2入出力特性とその微分特性である第2入出力微分特性を検出する工程と、
前記第1入出力微分特性と前記第2入出力微分特性に基づいて、前記半導体レーザ素子と第2受光素子との結合効率を算出する工程と、
前記第1パルス幅より短い第2パルス幅を有する第2電流パルス列信号を入力して前記半導体レーザ素子を駆動し、該半導体レーザ素子から放射される第2パルス光を前記第2受光素子により光電変換して検出した入出力特性を前記結合効率に基づいて較正する工程と、
を有することを特徴とする半導体レーザ素子の入出力特性検出方法。 - 所定のパルス幅を有し、一定周期をもって段階状に波高値が増大する電流パルス列信号を入力して半導体レーザ素子を駆動し、前記半導体レーザ素子の駆動電流の波高値と、前記半導体レーザ素子から放射されるパルス光を受光素子により光電変換して得られた検出パルス信号の波高値とを測定して、前記駆動電流の波高値の変化に対する前記パルス光の波高値の変化を検出する半導体レーザ素子の入出力特性検出方法において、
第1パルス幅を有する第1電流パルス列信号を入力して前記半導体レーザ素子を駆動し、該半導体レーザ素子から放射される第1パルス光をその全光束を受光可能な受光面を有する第1受光素子により光電変換して検出パルス信号を得て、該検出パルス信号の1パルスの立ち上がり時点から所定時刻に設定された第1サンプル時刻における第1入出力特性とその微分特性である第1入出力微分特性を検出する工程と、
前記第1パルス光を前記第1受光素子より小さい受光面を有する第2受光素子により光電変換して検出パルス信号を得て、該検出パルス信号の1パルスの立ち上がり時点から異なる2つの所定時刻に設定された第2サンプル時刻及び第3サンプル時刻における第2入出力特性とその微分特性である第2入出力微分特性及び第3入出力特性とその微分特性である第3入出力微分特性を検出する工程と、
前記第2入出力特性と前記第3入出力特性が一致しかつ直線性を有している駆動電流区間を演算区間に設定する工程と、
前記演算区間において、前記第1入出力微分特性の平均値と、前記第2入出力微分特性と前記第3入出力微分特性の平均値を算出し、前記第2入出力微分特性と前記第3入出力微分特性の平均値を前記第1入出力微分特性の平均値で除することで、前記半導体レーザ素子と第2受光素子との結合効率を算出する工程と、
前記第1パルス幅より短い第2パルス幅を有する第2電流パルス列信号を入力して前記半導体レーザ素子を駆動し、該半導体レーザ素子から放射される第2パルス光を前記第2受光素子により光電変換して検出パルス信号を得て、該検出パルス信号の1パルスの立ち上がり時点から所定時刻に設定された第4サンプル時刻における第4入出力特性を検出する工程と、
前記結合効率に基づいて、第4入出力特性を較正する工程と、
を有することを特徴とする半導体レーザ素子の入出力特性検出方法。 - 前記第2サンプル時刻は、1パルスの立ち上がり時点からの時刻が、前記第4サンプル時刻と等しい時刻、あるいは前記第4サンプル時刻より短い時刻、に設定されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体レーザ素子の入出力特性検出方法。
- 前記第1サンプル時刻は、検出パルス信号の立ち下がり前近傍のパルス波形が安定する時刻に設定することを特徴とする請求項2に記載の半導体レーザ素子の入出力特性検出方法。
- 前記第3サンプル時刻は、検出パルス信号の立ち下がり前近傍のパルス波形が安定する時刻に設定することを特徴とする請求項2に記載の半導体レーザ素子の入出力特性検出方法。
- 半導体レーザ素子に入力するパルス電流の波高値を可変とするとともにパルス幅を可変とする駆動回路と、前記半導体レーザ素子から抽出した駆動電流の1パルスの立ち上がり時点から所定時刻に設定されたサンプル時刻における波高値を測定する電流検出回路と、前記半導体レーザ素子から放射されるパルス光を検出パルス信号に光電変換する受光素子と、前記受光素子が光電変換した検出パルス信号の1パルスの立ち上がり時点から所定時刻に設定されたサンプル時刻における波高値を測定する光検出回路と、前記駆動電流の波高値の変化に対する前記パルスの波高値の変化を検出する制御演算部とを備えた半導体レーザ素子の入出力特性検出する装置において、
前記受光素子は、前記半導体レーザ素子から放射されるパルス光の全光束を検出パルス信号に光電変換する第1受光素子と、前記第1受光素子より小さな受光面積を有し前記半導体レーザ素子から放射されるパルス光を検出パルス信号に光電変換する第2受光素子を有し、
第1パルス幅を有する第1電流パルス列信号を入力して前記半導体レーザ素子を駆動し、該半導体レーザ素子から放射される第1パルス光を前記第1受光素子により光電変換することで第1入出力特性とその微分特性である第1入出力微分特性を検出し、
前記第1パルス光を前記第2受光素子により光電変換することで第2入出力特性とその微分特性である第2入出力微分特性を検出し、
前記制御演算部が、前記第1入出力微分特性と前記第2入出力微分特性に基づいて、前記半導体レーザ素子と第2受光素子との結合効率を算出し、
前記第1パルス幅より短い第2パルス幅を有する第2電流パルス列信号を入力して前記半導体レーザ素子を駆動し、該半導体レーザ素子から放射される第2パルス光を前記第2受光素子により光電変換して検出した入出力特性を前記結合効率に基づいて較正することを特徴とする半導体レーザ素子の入出力特性検出装置。
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WO2021140618A1 (ja) * | 2020-01-09 | 2021-07-15 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置の検査方法、および半導体レーザ装置の検査装置 |
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