JP2007207377A - ディスクの洗浄方法およびディスク洗浄システム - Google Patents

Abstract

【課題】
ディスクの種類や汚れ方に応じて洗浄順序を選択でき、、再洗浄ディスクの数を減少することができるディスクの洗浄方法およびディスク洗浄システムを提供することにある。
【解決手段】
この発明は、シャワー洗浄槽あるいはブラシ洗浄槽、第１の薬液洗浄槽、第２の薬液洗浄槽、純水洗浄槽、そして乾燥室をの順序でライン配置し、これら各洗浄槽の上部にラインに沿って前進、後退移動するディスク搬送ロボットを設け、乾燥室の後工程として表面検査装置を配置し、表面検査装置の異物検査結果に応じて各洗浄槽の順序を変更して表面検査装置において最適な検査結果が得られる洗浄順序を得て後のディスクを洗浄するものである。
【選択図】 図１

Description

この発明は、ディスクの洗浄方法およびディスク洗浄システムに関し、詳しくは、磁気ディスク，そのディスクサブストレート、光ディスク、ウエハのようなディスク（円板）のディスク洗浄システムにおいて、ディスクの種類や汚れ方に応じて洗浄順序を選択でき、再洗浄ディスクの数を減少することができるようなディスクの洗浄方法およびディスク洗浄システムに関する。

例えば、ハードディスクのサブストレートなどでは、研削、研磨、メッキ等の工程の後にディスクの薬液洗浄が行われている。このようなハードディスクや、ウエハのようなディスクの薬液洗浄には、複数の洗浄工程と洗浄後の乾燥工程とがある。
洗浄工程では、通常、垂直に複数枚のディスクを配列したカセット、キャリア（あるいはトレイ）を洗浄液に浸けて超音波等により洗浄する洗浄槽（あるいは洗浄装置）が知られている。この場合には、洗浄後のディスクの乾燥は、カセット、キャリア（あるいはトレイ）を乾燥室に搬送してそこで行われる。
このようなディスクホルダ洗浄に換えて、シャワー洗浄槽、薬液洗浄槽、超音波洗浄槽、純水洗浄槽それぞれにコンベアを設けて、ディスクを各槽においてコンベア搬送して順次各槽を移動させて洗浄をするスクラブ洗浄装置が公知である（特許文献１）。
また、マスク洗浄機としてＵＶ／Ｏ3洗浄、ブラシ洗浄槽、超音波洗浄等の複数の洗浄槽とマスクの異物検査機とを設けてマスクの異物を検査した結果に応じて洗浄シーケンスを変更するものが公知である（特許文献２）。
特開２００１−９６２４５号公報 特開平５−２４１３２９号公報

ハードディスクは、現在では自動車製品や家電製品、音響製品の分野にまで浸透し、２．５インチから１．８インチに、さらには０．８５インチというように１．０インチ以下のハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）が使用されてきており、ＨＤＤ自体が小さくなってきている。しかも、ガラスディスクでは、その厚さは０．３ｍｍ程度と薄くなり、ウエハや従来のディスクよりもディスクの重量が数ｇと非常に軽い。そのため、一律にシャワー洗浄槽、薬液洗浄槽、超音波洗浄槽、純水洗浄槽それぞれの工程順で洗浄したのでは、汚れが落ちないディスクもある。
汚れが落ちたか落ちないかは、通常、乾燥後の後工程に簡易型表面検査装置を設けてそこで検査することで行われる。
シャワー洗浄槽、薬液洗浄槽、超音波洗浄槽、純水洗浄槽は、工場設備として固定的なものであるので、ディスクの洗浄歩留まりが低下すると、ディスクの再洗浄が必要になる。この場合、同じ工程を経て再洗浄をしなければならないので、ディスクの洗浄処理のスループットが低下する問題がある。
しかし、一枚一枚ワークの異物検査をしてから洗浄シーケンスを選択するような特許文献２のような技術ではディスクの洗浄は非効率となり、現在の高速洗浄の要請には応えられない。
この発明の目的は、前記のような従来技術の問題点を解決するものであって、ディスクの種類や汚れ方に応じて洗浄順序を選択でき、、再洗浄ディスクの数を減少することができるディスクの洗浄方法およびディスク洗浄システムを提供することにある。

このような目的を達成するためのこの発明のディスクの洗浄方法およびディスク洗浄システムの特徴は、シャワー洗浄槽あるいはブラシ洗浄槽、第１の薬液洗浄槽、第２の薬液洗浄槽、純水洗浄槽、そして乾燥室をの順序でライン配置し、これら各洗浄槽の上部にラインに沿って前進、後退移動するディスク搬送ロボットを設け、乾燥室の後工程として表面検査装置を配置し、表面検査装置の異物検査結果に応じて各洗浄槽の順序を変更してあるいは各洗浄槽のうち特定の洗浄槽を選択して表面検査装置において最適な検査結果が得られる洗浄順序を得て後のディスクを洗浄するものである。

このように、この発明は、各洗浄槽の上部にラインに沿って前進、後退移動するディスク搬送ロボットを設けて洗浄槽を選択できるようにし、表面検査装置の異物検査結果に応じて各洗浄槽の順序を入れ換えてあるいは選択してディスク搬送ロボットを前進移動あるいは後退移動させて後のディスクを洗浄することで最適な洗浄順序で後のディスクを洗浄するものである。
このようにすれば、汚れが落ちない再洗浄ディスクの数を減少させることができ、汚れたディスクの再洗浄を行うときであっても適切な順序で洗浄槽を選択できるので、効率的にディスクの洗浄ができる。
その結果、洗浄処理のスループットを向上させることができる。

図１は、この発明のディスクの洗浄方法を適用した一実施例のディスクの洗浄処理ラインの説明図であり、図２は、そのディスク搬送ロボットを説明する図１のＡ−Ａ断面図、図３は、洗浄処理のフローチャート、図４は、そのディスクカセットのハンドリング手順の説明図である。
図１において、１０は、ディスク洗浄機であり、Ｘ軸方向に沿って複数の薬液洗浄槽を有している。１は、そのディスクローダ、２はシャワー洗浄槽、３は酸薬液超音波洗浄槽、４はアルカリ薬液超音波洗浄槽、５は、純水洗浄槽、そして、６は、乾燥室である。乾燥室６の後には簡易表面検査装置７とディスクアンローダ８が設けられている。
ディスクローダ１、シャワー洗浄槽２、酸薬液超音波洗浄槽３、アルカリ薬液超音波洗浄槽４、純水洗浄槽５の各洗浄槽は、薬液等の配管と設備部品、そして信号線等が内蔵された筐体ブロック上に各洗浄槽が載置されている。
なお、乾燥室６と簡易表面検査装置７との間は、搬送用のコンベアで接続されていてもよい。したがって、簡易表面検査装置７は、ディスク洗浄機１０の外側に置かれてもよい。このような場合には、簡易表面検査装置７の位置にディスクアンローダ８が置かれ、その後ろに簡易表面検査装置７が置かれることになる。なお、シャワー洗浄槽２の手前にはディスクローダ１が置かれている。

通常、洗浄されるディスク１１は、ディスクローダ１からシャワー洗浄槽２、酸薬液超音波洗浄槽３、アルカリ薬液超音波洗浄槽４、純水洗浄槽５を順に経て洗浄された後に乾燥室６で乾燥される。そして、簡易表面検査装置７で洗浄具合が検査される。
その結果、洗浄されたディスク１１は、合格（ＯＫ）と不合格（ＮＧ）とに分類されて検査結果に応じて用意されたディスクカセットに収納される。
不合格（ＮＧ）となったディスクは、さらに搬送用のコンベア１２を介して本格的に表面検査をする表面検査装置１３に送られてここで異物検査がなれる。
表面検査装置１３は、異物の種類（指紋の油、染み、髪の毛、皮膚、疵など）とその大きさ、個数についての検査結果データを発生する。この表面検査の結果の異物データは、制御装置１４へと入力される。
酸薬液超音波洗浄槽３とアルカリ薬液超音波洗浄槽４と純水洗浄槽５とは内部が２つの槽に分かれていて、図１，図４に示すように、酸薬液超音波洗浄槽３は、酸薬液洗浄槽３ａとクイック・ダンプ・リンス（ＱＤＲ）・シャワー洗浄槽３ｂからなり、アルカリ薬液超音波洗浄槽４は、アルカリ薬液洗浄槽４ａとＱＤＲ・シャワー洗浄槽４ｂからなり、純水洗浄槽５は、純水槽５ａとシャワー洗浄槽５ｂからなる。ＱＤＲ（クイック・ダンプ・リンス）・シャワー洗浄は、上部に溜めたリンス液を滝のように上からディスクに浴びせて一気に洗浄するものである。

ディスク洗浄機１０の各洗浄槽から簡易表面検査装置７に至るまでの工程に沿ってディスク搬送ロボット９が設けられている。
ディスク搬送ロボット９は、図２のディスク搬送ロボットを説明する図１のＡ−Ａ断面図に示すように、ディスク洗浄機１０において、各洗浄槽の後ろ側に配置されている。これは、Ｘ軸方向に設けられたレール９１と、これの上を移動する移動台９２、この移動台９２に固定されたハンドリングロボット９３、このハンドリングロボット９３のアーム９４、アーム９４の先端側に取付られたカセットチャック機構９５、そして移動台９２をＸ軸に沿って前進・後退移動させるベルト駆動機構９６が内蔵されたハンドリングロボット移動駆動部９７とからなる。
アーム９４は、ハンドリングロボット９３において昇降し、カセットチャック機構９５のチャックは開閉してディスクカセット１５を把持したり、開放したりする。
なお、図中、１６は、超音波発生装置である。
ディスクカセット１５は、３本のディスク支持バーがディスクの底部と両側面に係合してディスクを起立姿勢で多数整列させて支持するボックスである。３本のディスク支持バーが前後に設けられたブラケットに支持されているので、ディスクの上下と左右側面方向が開放されている。

図１に戻り、制御装置１４は、ＭＰＵ１４１とメモリ１４２、インタフェース１４３、ＣＲＴディスプレイ１４４、キーボード１４５、内蔵記憶装置（ＨＤＤ）１４６等がバス１４７で相互に接続されている。そして、表面検査装置１３からの表面検査結果データがインタフェース１４３を介してメモリ１４２の作業領域１４２ｇの所定の領域に記憶される。
メモリ１４２には、表面検査結果蓄積・分析処理プログラム１４２ａ、洗浄順位制御プログラム１４２ｂ、ディスク搬送ロボット移動制御プログラム１４２ｃと、ハンドリングロボット制御プログラム１４２ｄ等が格納され、さらに表面検査結果データ蓄積領域１４２ｅ、洗浄順位レシピテーブル１４２ｆ、作業領域１４２ｇなどが設けられている。
表面検査結果蓄積・分析処理プログラム１４２ａは、ＭＰＵ１４１に実行されて表面検査装置１３からの表面検査結果データ（（指紋の油、染み、髪の毛、皮膚、疵など）とその大きさ、個数についての異物データを新しい表面検査結果データを受けることに生成し、分類して表面検査結果データ蓄積領域１４２ｅに所定量蓄積して、表面検査結果データ蓄積領域１４２ｅを参照して蓄積された異物の種類別に各異物を個数と大きさにおいて分析データとして発生する。表面検査結果データ蓄積領域１４２ｅに蓄積する所定量は、キーボード１４５から指定、変更可能である。
なお、表面検査結果蓄積・分析処理プログラム１４２ａは、処理終了後に洗浄順位制御プログラム１４２ｂをコールする。

洗浄順位制御プログラム１４２ｂは、ＭＰＵ１４１に実行されて各異物について個数と大きさに分析されたデータに基づいて洗浄順位レシピテーブル１４２ｆを参照して洗浄手順（レシピ）得てディスク搬送ロボット移動制御プログラム１４２ｃとハンドリングロボット制御プログラム１４２ｄとそれぞれにコールしてレシピに従う所定の洗浄順序と洗浄時間とでの洗浄処理を実行する。
なお、レシピは、選択する洗浄槽とそれの洗浄順序、そして選択された洗浄槽における洗浄時間のデータからなる。
ここでの分析の結果、蓄積された各異物について個数と大きさの両者が所定値に達していないときにはシャワー洗浄槽２→酸薬液超音波洗浄槽３→アルカリ薬液超音波洗浄槽４→純水洗浄槽５→乾燥室６の順のレシピが選択され、これの順で洗浄処理が実行される。
ディスク搬送ロボット移動制御プログラム１４２ｃは、ＭＰＵ１４１に実行されてハンドリングロボット９２をどの洗浄槽へ移動させるか、制御するものであり、ハンドリングロボット制御プログラム１４２ｄは、ＭＰＵ１４１に実行されてディスクカセット１５の昇降とカセットチャック機構９４の開閉を行い、ディスクカセット１５の洗浄槽のディップ、そして引上げ処理をする。
なお、以上の洗浄処理手順は、表面検査結果蓄積・分析処理プログラム１４２ａをコールしてＭＰＵ１４１が実行することで、順次実行されるので、そのフローチャートは割愛する。

洗浄順位レシピテーブル１４２ｆには、各異物についてその個数範囲と大きさの範囲に区分けしてディスクローダ１、シャワー洗浄槽２、酸薬液超音波洗浄槽３、アルカリ薬液超音波洗浄槽４、純水洗浄槽５の各洗浄槽についてどれが先でどれが後か、さらに複数回の洗浄が必要な場合には何回か同じ洗浄槽を入れ、各異物についてその個数範囲と大きさの範囲に対して最適な洗浄順序レシピが記憶されている。レシピに記録された最適な洗浄順序は、多数のディスクを洗浄し、それぞれにプロセス検証などを行った結果の蓄積で決定されたものである。
また、再洗浄ディスクについては洗浄槽の１つあるいは複数個省いた特別な洗浄処理が洗浄順位レシピテーブル１４２ｆに用意されている。再洗浄ディスクについてはキーボード１４５の入力により洗浄順位レシピテーブル１４２ｆに記憶された特定の洗浄手順が指定される。また、再洗浄ディスクに限らず、ディスクの大きさや種類、例えば、サブストレートがガラスかアルミか、磁性膜が塗布されたディスクかなどに応じてキーボード１４５のそれに対応する指定入力によりそれぞれに特定の洗浄手順が指定され、選択できる。

例えば、指紋の油とか、皮膚の付着が所定値以上に大きいときには、再洗浄ディスクを低減する最適な処理として、シャワー洗浄槽２→アルカリ薬液超音波洗浄槽４→酸薬液超音波洗浄槽３→純水洗浄槽５→乾燥室６の順位にアルカリ薬液超音波洗浄槽４と酸薬液超音波洗浄槽３の順序を逆にして洗浄処理をする。
例えば、染みが所定値以上に大きいときには、再洗浄ディスクを低減する最適な処理として酸薬液超音波洗浄槽３を２回入れて、シャワー洗浄槽２→酸薬液超音波洗浄槽３→アルカリ薬液超音波洗浄槽４→酸薬液超音波洗浄槽３→純水洗浄槽５→乾燥室６の順位で洗浄工程を１つ増やして洗浄処理をする。
例えば、再洗浄のディスクであるときには、シャワー洗浄槽２を無くして→酸薬液超音波洗浄槽３→アルカリ薬液超音波洗浄槽４→純水洗浄槽５→乾燥室６の順位で洗浄処理をする。
なお、表面検査装置１３からの表面検査結果データが洗浄順序の変更を要しないときには、あらかじめ正規に設定されたレシピ（洗浄順序）としてシャワー洗浄槽２→酸薬液超音波洗浄槽３→アルカリ薬液超音波洗浄槽４→純水洗浄槽５→乾燥室６の順で洗浄処理が行われる。

次に制御装置２０による洗浄処理の流れについて図３，図４を参照して説明する。
まず、はじめてのロットのディスク洗浄の初期では正規の洗浄処理となることから、正規の洗浄順序から説明する。
ワーク投入としてディスクカセット１５がディスクローダ１にセットされる（ステップ１０１）。次にシャワー洗浄処理に入り（ステップ１０２）、ディスク搬送ロボット９は、それをピックアップして図４の(1)に示すように、ディスクカセット１５を持ち上げて横に移動（Ｘ軸方向に前進移動，以下同じ）して下げてシャワー洗浄槽２の内部の洗浄位置にセットする。
ここでの洗浄が終わると、酸薬液超音波洗浄処理（ステップ１０３）に入る。このとき、同様にディスク搬送ロボット９は、シャワー洗浄後のディスクカセット１５を上昇させて図４の(2)に示すように、ディスクカセット１５を横に移動して下げて酸薬液超音波洗浄槽３の内部の酸薬液洗浄槽３ａの洗浄位置にセットする。ここでの洗浄が終了すると、ディスクカセット１５を少し上昇させて図４の(3)に示すように横へ少し移動して降下し、ＱＤＲ・シャワー洗浄槽３ｂに入り（ステップ１０４）、ＱＤＲ・シャワー洗浄により酸薬液が一気に落とされる。

次に、アルカリ薬液超音波洗浄処理（ステップ１０５）に入る。このとき、同様にディスク搬送ロボット９は、ＱＤＲ・シャワー洗浄後のディスクカセット１５を上昇させて図４の(4)に示すように、ディスクカセット１５を横に移動して下げてアルカリ薬液超音波洗浄槽４の内部のアルカリ薬液洗浄槽４ａの洗浄位置にセットする。ここでの洗浄が終了すると、ディスクカセット１５を少し上昇させて図４の(5)に示すように横へ少し移動して降下し、ＱＤＲ・シャワー洗浄槽４ｂに入り（ステップ１０６）、ＱＤＲ・シャワー洗浄によりアルカリ薬液が一気に落とされる。
次に、純水洗浄処理（ステップ１０７）に入る。このとき、同様にディスク搬送ロボット９は、ＱＤＲ・シャワー洗浄後のディスクカセット１５を上昇させて図４の(6)に示すように、ディスクカセット１５を横に移動して下げて純水洗浄槽５の内部の純水槽５ａの洗浄位置にセットする。ここでの洗浄が終了すると、ディスクカセット１５を少し上昇させて図４の(7)に示すように横へ少し移動して降下し、シャワー洗浄槽５ｂに入り（ステップ１０８）、シャワー洗浄を行う。
そして、乾燥室６へと送られる。このとき、ディスク搬送ロボット９は、シャワー洗浄後のディスクカセット１５を上昇させて図４の(8)に示すように、ディスクカセット１５を横に移動して下げて乾燥室７の乾燥位置にセットする。ここでＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を使用したＩＰＡ乾燥が行われる（ステップ１０９）。

所定時間経過後に乾燥処理が完了したディスクカセット１５を同様にしてディスク搬送ロボット９によりディスクカセット１５は、簡易表面検査装置７のロード位置へと送る。
簡易表面検査装置７は、ロード位置にセットされたディスクカセット１５から一枚ごとにディスクを取り出して検査位置にセットし、異物検査を行い、その検査結果をそのモニタに表示する（ステップ１１０）。そしてディスクアンローダ８からディスクを排出する（ステップ１１１）。
ディスクアンローダ８には、合格（ＯＫ）のディスクカセットと不合格（ＮＧ）のディスクカセットとが設けられていて、ＮＧのディスクカセットは、搬送用のコンベア１２を介して本格的な表面検査装置１３に送られ（ステップ１１２）、検査結果が制御装置１４に入力される（ステップ１１３）。
制御装置１４は、表面検査の検査結果データに応じてあらかじめ記憶されてメモリ１４２の洗浄順位レシピテーブル１４２ｆのデータから最適な洗浄順序を選択して洗浄順位を変更してディスク搬送ロボット９を制御して（ステップ１１４）、後続のディスクに対して最適な洗浄を行う処理をする（ステップ１１５）。

ところで、あるロットのディスク洗浄では、表面検査装置１３の検査結果において正規の洗浄処理が続いたときには、その途中の洗浄において、正規の洗浄処理を選択することなく、特定の洗浄工程省略レシピを選択することができる。
例えば、そのレシピ（洗浄順序）としてシャワー洗浄槽２→アルカリ薬液超音波洗浄槽４→純水洗浄槽５→乾燥室６の順として酸薬液超音波洗浄槽３を飛ばして省いて洗浄処理を実行する。これにより、洗浄効率を向上させることができる。
なお、この場合、アルカリ薬液超音波洗浄槽４を飛ばして、省いてもよい。

以上説明してきたが、実施例では、シャワー洗浄槽、酸薬液超音波洗浄槽、アルカリ薬液超音波洗浄槽、純水洗浄槽を挙げているが、洗浄槽はさらに多くてもよい。実施例のシャワー洗浄槽はブラシ洗浄槽に換えることができる。また、この発明は、シャワー洗浄槽とブラシ洗浄槽をそれぞれ設けてもよい。
また、実施例では、酸薬液超音波洗浄槽とアルカリ薬液超音波洗浄槽とは他の薬液洗浄槽であってもよく、必ずしも超音波洗浄槽である必要はない。

図１は、この発明のディスクの洗浄方法を適用した一実施例のディスクの洗浄処理ラインの説明図である。 図２は、そのディスク搬送ロボットを説明する図１のＡ−Ａ断面図である。 図３は、洗浄処理のフローチャートである。 図４は、そのディスクカセットのハンドリング手順の説明図である

符号の説明

１…ディスクローダ、２…シャワー洗浄槽、３…酸薬液超音波洗浄槽、
４…アルカリ薬液超音波洗浄槽、５…純水洗浄槽、
６…乾燥室、７…簡易表面検査装置、
８…ディスクアンローダ、９…ディスク搬送ロボット、
１０…ディスク洗浄機、１１…ディスク、
１２…コンベア、１３…表面検査装置、
１４…制御装置、１５…ディスクカセット、
９１…レール、９２…Ｘ移動台、９３…ハンドリングロボット、
９４…アーム、９５…カセットチャック機構、
９６…ベルト駆動機構、
９７…ハンドリングロボット移動駆動部、
４１…ＭＰＵ、１４２…メモリ、１４３…インタフェース、
１４４…ディスプレイ、１４５…キーボード、
１４６…ＨＤＤ記憶装置、１４７…バス、
１４２ａ…表面検査結果蓄積・分析処理プログラム、
１４２ｂ…洗浄順位制御プログラム、
１４２ｃ…ディスク搬送ロボット移動制御プログラム、
１４２ｄ…ハンドリングロボット制御プログラム、
１４２ｅ…表面検査結果データ蓄積領域、
１４２ｆ…洗浄順位レシピテーブル、
１４２ｇ…作業領域、１４２ｈ…パラメータ領域。

Claims (8)

1. シャワー洗浄槽あるいはブラシ洗浄槽、第１の薬液洗浄槽、第２の薬液洗浄槽、純水洗浄槽のそれぞれの洗浄工程を経てディスクの洗浄をし、その後乾燥させるディスクの洗浄方法において、
   前記シャワー洗浄槽あるいはブラシ洗浄槽、前記第１の薬液洗浄槽、前記第２の薬液洗浄槽、前記純水洗浄槽、そして乾燥室を前記の順序でライン配置し、これら各洗浄槽の上部に前記ラインに沿って前進、後退移動するディスク搬送ロボットを設け、前記乾燥室の後工程として表面検査装置を配置し、前記表面検査装置の異物検査結果に応じて各前記洗浄槽の順序を変更してあるいは各前記洗浄槽のうち特定の洗浄槽を選択して前記表面検査装置において最適な検査結果が得られる洗浄順序を得て後のディスクを洗浄するディスクの洗浄方法。
2. さらに、前記ディスク搬送ロボットを制御する制御装置と、前記乾燥室の後工程として前記表面検査装置の手前において前記ラインに挿入された簡易型表面検査装置とを有し、前記表面検査装置は、前記簡易型表面検査装置で不合格となったディスクの異物を検査するものであり、前記制御装置は、異物検査結果から各前記洗浄槽の中から複数の洗浄槽を所定の順序で順次選択するデータを有し、前記制御装置が前記表面検査装置の異物検査結果を受けて前記データに応じて各前記洗浄槽による洗浄順序を制御する請求項１記載のディスクの洗浄方法。
3. 前記制御装置は、ディスクの種類に応じて各前記洗浄槽の中から複数の洗浄槽を所定の順序で順次選択するデータを有し、このデータに応じて各前記洗浄槽の順序が変更される請求項１記載のディスクの洗浄方法。
4. 前記次に洗浄するディスクは再洗浄のディスクであり、この再洗浄のディスクに対応する洗浄順序が前記データとして設けられている請求項３記載のディスクの洗浄方法。
5. シャワー洗浄槽あるいはブラシ洗浄槽、第１の薬液洗浄槽、第２の薬液洗浄槽、純水洗浄槽のそれぞれの洗浄工程を経てディスクの洗浄をし、その後乾燥させるディスク洗浄システムにおいて、
   前記シャワー洗浄槽あるいはブラシ洗浄槽、前記第１の薬液洗浄槽、前記第２の薬液洗浄槽、前記純水洗浄槽、そして乾燥室を前記の順序で一列に配置した洗浄処理ラインと、
   これら各洗浄槽の上部に設けられ前記ラインに沿って前進かつ後退移動するディスク搬送ロボットと、
   前記乾燥室の後工程として配置された表面検査装置とを備え、
   前記表面検査装置の異物検査結果に応じて各前記洗浄槽の順序を変更してあいいは各前記洗浄槽のうち特定の洗浄槽を選択して前記表面検査装置において最適な検査結果が得られる洗浄順序を得て後のディスクを洗浄するディスク洗浄システム。
6. さらに、前記ディスク搬送ロボットを制御する制御装置と、前記乾燥室の後工程として前記表面検査装置の手前において前記ラインに挿入された簡易型表面検査装置とを有し、前記表面検査装置は、前記簡易型表面検査装置で不合格となったディスクの異物を検査するものであり、前記制御装置は、異物検査結果から各前記洗浄槽の中から複数の洗浄槽を所定の順序で順次選択するデータを有し、前記制御装置が前記表面検査装置の異物検査結果を受けて前記データに応じて各前記洗浄槽による洗浄順序を制御する請求項５記載のディスク洗浄システム。
7. 前記制御装置は、ディスクの種類に応じて各前記洗浄槽の中から複数の洗浄槽を所定の順序で順次選択するデータを有し、このデータに応じて各前記洗浄槽の順序が変更される請求項５記載のディスク洗浄システム。
8. 前記次に洗浄するディスクは再洗浄のディスクであり、この再洗浄のディスクに対応する洗浄順序が前記データとして設けられている請求項７記載のディスク洗浄システム。

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