JP2007205806A - 微少質量測定用センサ素子の製造方法、及びその素子 - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、生産効率の高い微少質量測定用センサ(QCMセンサ素子)の製造方法、及びその素子を提供することである。
【解決手段】
上記の目的を達成する為に本発明は、水晶基板の表面に金属膜を形成してなる水晶振動子を用いたQCMセンサ素子の製造方法において、水晶基板をラッピングする工程(S101)と、この水晶基板をエッチングする工程(S102)と、水晶基板の表面に電極となる金属膜を形成する工程(S103)と、先の金属膜をポリッシングする工程(S104)とからなることを特徴とし、微少質量測定用センサ素子の表面に形成された電極となる金属膜が形成される水晶基板の表面粗さがRz=1μm以下、かつ、0.05μm以上にラッピングされ平坦化されており、金属膜の厚みが先の表面粗さRzの2倍以上、かつ、10倍以下であることを特徴として課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
水晶基板をラッピングする工程(S101)と、この水晶基板をエッチングする工程(S102)と、水晶基板の表面に電極となる金属膜を形成する工程(S103)と、先の金属膜をポリッシングする工程(S104)とからなることを特徴とする。
2 金属膜
3 微少質量測定用センサ素子(QCMセンサ素子)
4 電極
5 表面粗さ
6 金属膜の厚み
Claims (2)
- 水晶基板の表面に金属膜を形成してなる水晶振動子を用いた微少質量測定用センサ素子の製造方法において、
水晶基板をラッピングする工程(S101)と、
該水晶基板をエッチングする工程(S102)と、
該水晶基板の表面に電極となる金属膜を形成する工程(S103)と、
該金属膜をポリッシングする工程(S104)と、
からなる微少質量測定用センサ素子の製造方法。 - 水晶基板の表面に金属膜を形成してなる水晶振動子を用いた微少質量測定用センサ素子において、
該微少質量測定用センサ素子の表面に形成された電極となる該金属膜が形成される水晶基板の表面粗さがRz=1μm以下、かつ、0.05μm以上にラッピングされ平坦化されており、該金属膜の厚みが該表面粗さRzの2倍以上、かつ、10倍以下であることを特徴とする微少質量測定用センサ素子。
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