JPWO2017213059A1 - 水晶振動子を用いたワイドレンジ荷重センサ - Google Patents
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Abstract
Description
のような比例関係を有している。ここで、SSはセンサ感度であり、次式のように表される。
ここで、βは水晶への応力の方向によって定まる感度係数であり、ηは荷重伝達効率であり、wおよびは水晶振動子16の幅および厚さである。上記(2)式より、水晶振動子16の厚さtを小さくすることで、センサ感度SSを効果的に向上できることが分かる。荷重伝達効率ηは荷重センサ10に加えられた力と水晶振動子層14に実際に加えられた力との比で定義される。
ここで、fFはセンサ出力の周波数の変動幅であり、発振周波数の安定性を表す。一方、理論的なセンサの許容荷重は、次式(4)によって示される。
ここで、σmaxはセンサの最大許容応力を示す。上記(4)式において、荷重伝達効率ηを小さくすることで、最大許容荷重Pmaxを大きくすることができることがわかる。
この(5)式より、荷重センサ10をワイドレンジ化するためには、(i)水晶振動子16の厚さtを小さくする、(ii)センサ出力の安定性を向上する、すなわち、周波数変動幅fFを小さくする、(iii)最大許容荷重Pmaxを大きくする、などの方法によればよいことがわかる。本発明は、このうち水晶振動子16の厚さを小さくすることによりその水晶振動子16を用いた荷重センサ10の計測レンジを広げることを目的とするものであり、水晶振動子16を薄くすることに伴って生ずる課題である水晶振動子16の曲げや座屈の発生を抑制することを目的としたものである。
この(6)式はオイラーの式より得られるものである。また、Eは試験片のヤング率、Iは断面二次モーメント、lは試験片の長さを示す。
Y=382x+38123808 (7)
このとき、相関係数は、R2=0.997であった。近似直線の傾きから、センサ感度SSは382[Hz/N]となる。
られる。特許文献1に記載の技術においては、印加する荷重が大きい場合には水晶振動子が座屈してしまうことを避けるため、例えば一つの荷重センサに印加される荷重を分散させるなどの構成を必要としていた。また、かかる場合においては、荷重センサの検出レンジを広くすることができる一方、その分解能が低くなるという課題が生じていた。
[0006]
本発明は、以上の事情を背景としてなされたものであり、その目的とするところは、水晶振動子の座屈を防止することにより、分解能を保ちつつ検出レンジを広くすることのできる水晶振動子を用いた荷重センサを提供することにある。
課題を解決するための手段
[0007]
前記目的を達成するための本発明の要旨とするところは、(a)薄板形状の水晶振動子の該薄板形状と平行な方向に印加される外部荷重の大きさを検出する荷重センサであって、(b)該荷重センサは、薄板形状の水晶振動子と、該水晶振動子の板厚方向に相対する一対の面に一対の電極部とを備えた水晶振動子層と、(c)前記水晶振動子層の前記薄板形状の両側を挟むように設けられ、該水晶振動子層に前記外部荷重が印加された際に該水晶振動子層と略同量の変位を生ずる一対の保持層と、を含み、(d)前記保持層および水晶振動子層は、略同等の熱膨張率を有する材料により構成されていることを特徴とする。
発明の効果
[0008]
このようにすれば、前記薄板形状の水晶振動子の該薄板形状の面方向と平行な方向に外部荷重が印加される場合において、水晶振動子に曲げ応力が生じる場合であっても、前記一対の保持層により水晶振動子層の薄板形状の両側への変形が抑制されるので、水晶振動子層の座屈を抑制することができる。そのため、薄板形状の水晶振動子の薄さをより薄くすることができ、計測レンジを広げることが可能となる。また、荷重センサの置かれる環境温度によらず、保持層および水晶振動子層が共通した熱膨張特性を有するので、両者の膨張量の差を環境温度に応じて計測結果において考慮する必要がない。
[0009]
また好適には、前記保持層は、接着層を介して前記水晶振動子層に接着させられている。このようにすれば、水晶振動子層と保持層とが接着層により接着されるので、水晶振動子層の座屈を抑制することができる。
[0010]
また好適には、前記接着層は、前記外部荷重の印加方向に延びる長手形状
を少なくとも有するものである。このようにすれば、外部荷重が印加された際に生じやすい水晶振動子層の曲げ方向の変形を好適に防止することができ、座屈を抑制することができる。
[0011]
また好適には、前記接着層は、原子拡散接合により前記保持層と前記水晶振動子層とを接着するものである。このようにすれば、前記保持層および前記水晶振動子層にそれぞれ設けられた接着層が原子拡散接合されることにより好適に前記保持層と前記水晶振動子層とが接着される。
[0012]
また好適には、前記保持層は水晶からなり、該保持層と前記水晶振動子層とは直接接合により結合されていること、を特徴とする。このようにすれば、前記保持層と前記水晶振動子層とは直接接合により接着されて一体の結晶のように振る舞うことができ、水晶振動子層の座屈を抑制することができる。
[0013]
[0014]
図面の簡単な説明
[0015]
[図1]本発明が適用される荷重センサの一例を説明する図であって、(a)は斜視図、(b)は個々の構成部材を説明する図、(c)は(a)における断面図である。
[図2]本実施例の荷重センサの作成における工程を説明する図である。
[図3]図2の工程によって生成される水晶ウエハおよび水晶基盤の断面の変化
れた計測結果に0.6[Hz]から10[Hz]の通過帯域を持つバンドパスフィルタを通した信号のうち、図12(a)の横軸(時間軸)の20秒から25秒までの信号を図12(b)に示す。この図12(b)に示す信号は、被験者の指に取り付けた脈波センサ(小池メディカル社製サーフィンPO)が示した65[bpm]と略同周期で振動している。このことは、計測装置60によって被験者の体重と脈波とを同時に計測可能であることを示すものであり、これは本実施例の荷重センサ10が広い計測レンジを有することによるものである。
[0061]
前述の実施例によれば、薄板形状の水晶振動子16の該薄板形状と平行な方向に印加される外部荷重の大きさを検出する荷重センサ10であって、荷重センサ10は、薄板形状の水晶振動子16と、水晶振動子16の板厚方向に相対する一対の面に一対の電極部18とを備えた水晶振動子層12と、水晶振動子層12に外部荷重が印加された際に水晶振動子層12と略同量の変位を生ずる少なくとも1つの保持層14と、を含むので、薄板形状の水晶振動子16の薄板形状と平行な方向に外部荷重が印加される場合において、水晶振動子16に曲げ応力が生じる場合であっても、少なくとも1つの保持層14により水晶振動子16の曲げ方向の変形が抑制されるので、水晶振動子16の座屈を防止することができる。また、水晶振動子16に外部荷重が印加された際に、水晶振動子層12と保持層14とは略同量の変位を生ずるものとされているので、両者の変位の差によって曲げ方向の力が生ずることも防止される。そのため、薄板形状の水晶振動子16の薄さをより薄くすることができ、計測レンジを広げることが可能となる。
[0062]
また、前述の実施例によれば、保持層14は、水晶振動子層12の薄板形状の両側を挟むように設けられ、水晶振動子層12に外部荷重が印加された際に水晶振動子層12と略同量の変位を生ずる一対の保持層であるので、水晶振動子層12の薄板形状の両側への変形が抑制され、より一層水晶振動子層12の座屈を抑制することができる。
[0063]
また、前述の実施例によれば、保持層14は、接着層32を介して水晶振
のような比例関係を有している。ここで、SSはセンサ感度であり、次式のように表される。
ここで、βは水晶への応力の方向によって定まる感度係数であり、ηは荷重伝達効率であり、wおよびtは水晶振動子16の幅および厚さである。上記(2)式より、水晶振動子16の厚さtを小さくすることで、センサ感度SSを効果的に向上できることが分かる。荷重伝達効率ηは荷重センサ10に加えられた力と水晶振動子層12に実際に加えられた力との比で定義される。
Claims (7)
- 薄板形状の水晶振動子の該薄板形状と平行な方向に印加される外部荷重の大きさを検出する荷重センサであって、
該荷重センサは、
薄板形状の水晶振動子と、該水晶振動子の板厚方向に相対する一対の面に一対の電極部とを備えた水晶振動子層と、
前記水晶振動子層の前記薄板形状の両側を挟むように設けられ、該水晶振動子層に前記外部荷重が印加された際に該水晶振動子層と略同量の変位を生ずる1対の保持層と、を含むことを特徴とする荷重センサ。 - 前記保持層は、接着層を介して前記水晶振動子層に接着させられていること、を特徴とする請求項1に記載の荷重センサ。
- 前記接着層は、前記外部荷重の印加方向に延びる長手形状を少なくとも有すること、を特徴とする請求項2に記載の荷重センサ。
- 前記接着層は原子拡散接合により前記保持層と前記水晶振動子層とを接着するものであること、を特徴とする請求項2または3に記載の荷重センサ。
- 前記保持層は水晶からなり、該保持層と前記水晶振動子層とは直接接合により結合されていること、を特徴とする請求項1に記載の荷重センサ。
- 前記保持層および水晶振動子層は単一の水晶からなり、
前記保持層は外部と連通する空洞を有すること、を特徴とする請求項1乃至5のいずれか1に記載の荷重センサ。 - 前記保持層および水晶振動子層は、略同等の熱膨張率を有する材料により構成されていること、を特徴とする請求項1乃至6のいずれか1に記載の荷重センサ。
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