JPH06177700A - 三次オーバートーン水晶振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基本波と五次オーバートーンを同時に抑制
し、より安定した三次オーバートーン水晶振動子を提供
する。 【構成】 水晶板１の表面を周辺部電極４１ａと中央電
極２１ａを設け、その裏面を全面電極を設けて構成され
た基本波抑制型の三次オーバートーン振動子おいて、水
晶板１の表裏面を表面粗さ２μｍから７μｍに粗面加工
した。また基本波抑制の構成として、水晶板重心からサ
ポート保持角度を７０゜から９０゜に設定して導電性接
合材で固着してもよい。また五次オーバートーン抑制の
構成として、水晶板の電極の厚みを通常の電極の厚みよ
りも厚くしてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、三次オーバートーン水
晶振動子に関し、より詳しくは、基本波用発振回路、及
び、オーバートーン用発振回路にも使用できる基本波抑
制型の水晶振動子の水晶板の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、安定した三次オーバートーン発振
を得るために基本波を抑制したオーバートーン水晶振動
子が多くなってきた。このような基本波抑制型水晶振動
子は、使用される発振回路が基本波用回路か、あるいは
オーバートーン用回路でも、より基本波発振しやすい回
路に有効である。図５はその回路図の一例である。そこ
で、従来、図５の回路を用い、三次オーバートーン発振
を得るための水晶振動子側での基本波を抑制する技術の
一つとして、水晶板の表面中央部に中央電極及び水晶板
の裏面中央部に裏面電極を設けることにより主振動エネ
ルギ閉じ込め部を設け、その周囲に上記主振動エネルギ
閉じ込め部の遮断周波数ｆｃよりも高い遮断周波数Ｆｃ
をもつ振動エネルギ伝搬部（電極不在部）を設け、更に
その外側に上記遮断周波数Ｆｃよりも低い遮断周波数を
持つ振動エネルギ吸収部（周辺部電極）を設け、上記遮
断周波数Ｆｃが、所望のオーバートーン振動の副振動周
波数よりも低く、かつ、このオーバートーン振動の主振
動周波数ｆ0より高く設定されており、上記振動エネル
ギ吸収部が所望のオーバートーン次数より低次の振動モ
ード（基本波振動モードを含む）のエネルギを吸収する
とともに、上記主振動よりも高い副振動を外部へ漏洩さ
せるよう構成されていた。また従来、水晶板の表裏面は
研磨材のメッシュ＃４０００を用いて研磨加工されるの
が一般的である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし三次オーバート
ーン発振回路において、同調回路がなく、帰還抵抗値Ｒ
1、あるいは、Ｃ1、Ｃ2により調整し、回路自体を三次
オーバートーン発振しやすいような値に定数を決めるよ
うな回路構成図５、図６において、、例えば図５はＣＩ
比（ＣＩ1／ＣＩ3）が比較的小さいと、三次オーバート
ーン発振回路であるが基本波発振しやすい回路であり、
また、図６はＣＩ比（ＣＩ5／ＣＩ3）が比較的小さい
と、三次オーバートーン発振回路であるが五次オーバー
トーン発振しやすい回路となっている。このため、通常
の水晶振動子では標準的な三次オーバートーン振動子を
用いた場合、図５では基本波発振したり、図６では五次
オーバートーン発振したりするケースがあり、安定した
三次オーバートーン発振が得られないという現象があっ
た。また、従来からある基本波抑制型の振動子では図５
に示す回路では安定した三次オーバートーン発振が得ら
れても、図６に示す回路では安定した三次オーバートー
ン発振が得られずに五次オーバートーン発振することが
あった。

【０００４】本発明の目的は、基本波と五次オーバート
ーンとを同時に抑制して、同調回路がなく、帰還抵抗値
Ｒ1、あるいは、Ｃ1、Ｃ2により調整し、回路自体を三
次オーバートーン発振しやすいような値に定数を決める
ような回路構成において、より安定した三次オーバート
ーン発振が得られる三次オーバートーン水晶振動子を提
供するものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、水晶
板の片面に、三次オーバートーン振動の主振動を閉じ込
める主振動エネルギ閉じ込め部を構成する中央部電極
と、上記振動エネルギ伝搬部を構成する電極不在部と、
上記振動エネルギ吸収部を構成する周辺部電極が形成さ
れ、上記水晶板の他の片面のほぼ全面に電極が形成され
ている三次オーバートーン水晶振動子において、前記水
晶板の表裏面を表面粗さ２μｍから７μｍに粗面加工し
た。

【０００６】また、表裏面に電極が形成された水晶板
と、水晶板を挿入するためのスリットが設けられ、か
つ、ベースのインナーリード側面に対向して設置された
サポートとを具備し、前記水晶板の重心から前記スリッ
トの長手方向両端部への保持角度θを次式 ７０゜≦θ≦９０゜ により設定し、導電性接合材で固着して三次オーバート
ーン振動させた水晶振動子において、前記水晶板の表裏
面を表面粗さ２μｍから７μｍに粗面加工した。

【０００７】また、水晶板の片面に、三次オーバートー
ン振動の主振動を閉じ込める主振動エネルギ閉じ込め部
を構成する中央部電極と、上記振動エネルギ伝搬部を構
成する電極不在部と、上記振動エネルギ吸収部を構成す
る周辺部電極が形成され、上記水晶板の他の片面のほぼ
全面に電極が形成されている三次オーバートーン水晶振
動子において、上記電極の厚みを通常の電極の厚みより
も厚くする。

【０００８】また、表裏面に電極が形成された水晶板
と、水晶板を挿入するためのスリットが設けられ、か
つ、ベースのインナーリード側面に対向して設置された
サポートとを具備し、前記水晶板の重心から前記スリッ
トの長手方向両端部への保持角度θを次式 ７０゜≦θ≦９０゜ により設定し、導電性接合材で固着して三次オーバート
ーン振動させた水晶振動子において、上記電極の厚みを
通常の電極の厚みよりも厚くする。

【０００９】

【作用】五次オーバートーン発振の抑制は、各次数の振
動変位の大きさの違いを利用し、研磨材によって粗面加
工された水晶板の表裏面の粗さのため、三次より、より
振動変位の小さい五次はＣＩ値が高くなる。そのため三
次オーバートーンと五次オーバートーンのＣＩ比を大き
くとることができ、従来からある基本波抑制型の振動子
に五次オーバートーン抑制技術を付加することにより、
基本波と五次オーバートーンとを同時に抑制し、より安
定した三次オーバートーン発振が得られるようになるも
のである。また、水晶板の表裏面を粗くしすぎると、エ
ージング特性や低レベル特性が悪くなる等の問題があ
る。また三次オーバートーンのＣＩ値も悪くなる傾向が
あり、一般的な三次オーバートーンのＣＩ値規格（３０
Ω、４０Ω等）に対して歩留まりが悪くなるので、これ
らを考慮する必要がある。そして、水晶板の表裏面の表
面粗さ２μｍから７μｍの粗面加工を施すためには、研
磨材のメッシュを＃２０００から＃３０００までのもの
を選択してやることにより容易に行える。

【００１０】図７は、三次オーバートーン発振で４５Ｍ
ＨZの水晶振動子において、研磨材のメッシュを変化さ
せたときのＣＩ比（ＣＩ5／ＣＩ3）を近似値で表わした
グラフである。図８は、研磨材のメッシュを＃２００
０、＃３０００、＃４０００の三種類を用いて研磨加工
を行った水晶板の周波数ごとの三次オーバートーンのＣ
Ｉ値と五次オーバートーンのＣＩ値を近似値で表わした
グラフである。図９は、研磨材のメッシュを＃２００
０、＃３０００、＃４０００の三種類を用いて研磨加工
を行った水晶板の周波数ごとのＣＩ比（ＣＩ5／ＣＩ3）
を近似値で表わしたグラフある。

【００１１】以上のグラフが示すように、研磨材によっ
て粗面加工された水晶板の表裏面の粗さにより、三次オ
ーバートーンと五次オーバートーンのＣＩ比を大きくと
ることができる。このため、従来からある基本波抑制型
の振動子に五次オーバートーン抑制技術を付加すること
により、基本波と五次オーバートーンとを同時に抑制
し、より安定した三次オーバートーン発振が得られるよ
うになるものである。

【００１２】また、別手段としての五次オーバートーン
発振の抑制は、電極の厚みを厚くすることによっても行
える。それは各次数の振動変位の大きさの違いを利用
し、電極の厚みを厚くすることにより、三次より、振動
変位の小さい五次はＣＩ値が高くなる。そのため三次オ
ーバートーンと五次オーバートーンのＣＩ比を大きくと
ることができ、従来からある基本波抑制型の振動子に五
次オーバートーン抑制技術を付加することにより、基本
波と五次オーバートーンとを同時に抑制し、より安定し
た三次オーバートーン発振が得られるようになるもので
ある。また、電極を厚みを厚くすると、基本波特性が良
くなる傾向があり、電極径をより小さくする等の基本波
抑制を考慮する必要がある。そして、通常、電極は0.15
μｍ〜0.175μｍの厚さで形成されるのが一般的である
が、通常電極の二倍ぐらいの厚みで形成することによ
り、五次オーバートーン発振をある程度抑制できる。

【００１３】

【実施例】次に、本発明の第一の実施例について、図
１、図２を参照にして説明する。図１は本発明の第一の
実施例を示す水晶板の平面図であり、図２は図１の底面
図である。水晶板１は、ＡＴカットで円形に切り出され
た水晶板であり、その表裏面は、メッシュ＃３０００の
研磨材を用いて粗面加工しており、そのため水晶板１の
表裏面の表面粗さは平均５μｍから７μｍの粗面となる
よう形成される（メッシュ＃２０００の研磨材を用いた
場合、水晶板１の表裏面の表面粗さは平均２μｍから４
μｍの粗面となるよう形成される）。この表裏面の粗さ
のため三次より大きい五次は、五次の振動変位が小さく
なり、ＣＩ値が高くなって、五次オーバートーン発振の
抑制が行える。そして、基本波を抑制する構成として、
水晶板１の表面には、その中央に電極２１ａが設けられ
その周囲に幅Ｇの電極不在部３１が設けられ更にその外
周で、かつ、水晶板１の外周から幅Ｌの所に電極４１ａ
が設けられている。また、水晶板１の裏面には、水晶板
１の外周から幅Ｌの所から内側へ全面に電極５１ａが設
けられている。すなわち、裏面電極５１ａは、表面の中
央電極２１ａ、電極不在部３１、周辺部電極４１ａに対
向して全面に形成されている。このような構造におい
て、電極２１ａとそれに対応する電極５１ａの一部分が
主振動エネルギ閉じ込め部を構成し、電極不在部３１と
それに対応する電極５１ａの一部分が振動エネルギ伝搬
部を構成し、電極４１ａとそれに対応する電極５１ａの
一部分が振動エネルギ吸収部を構成している。中央電極
２１ａから水晶板１の一端部Ａまでリード電極２１ｂが
形成され、外周電極４１ａ及び裏面電極５１ａは水晶板
１の反対側の端部Ｂまでリード電極４１ｂ，５１ｂが形
成されている。そして、これらの電極は真空蒸着により
形成される。上記寸法幅Ｌ、Ｇにより基本波と三次オー
バートーンとのＣＩ比が変化するため、所望のＣＩ比を
得るため、あらかじめ設定する必要がある。当実施例で
は、直径6.5ｍｍの水晶板に直径2.5ｍｍの中央電極を形
成し、Ｇ寸法を0.4ｍｍ、Ｌ寸法を0.25ｍｍで形成し
た。これらの構成により、基本波抑制型の振動子に五次
オーバートーン抑制技術を付加することができるように
なり、基本波と五次オーバートーンとを同時に抑制し、
より安定した三次オーバートーン発振が得られるように
なった。

【００１４】図１０は、三次オーバートーン発振で４５
ＭＨｚの水晶振動子の試作例において、研磨材のメッシ
ュ＃４０００で粗面加工した直径6.5ｍｍの水晶板に直
径3.5ｍｍの励振電極（表裏共）を形成した標準三次オ
ーバートーン水晶振動子と、本発明による研磨材のメッ
シュ＃３０００で粗面加工した直径6.5ｍｍの水晶板に
直径2.5ｍｍの中央電極を形成し、Ｇ寸法を0.4ｍｍ、Ｌ
寸法を0.25ｍｍで形成した基本波抑制型三次オーバート
ーン水晶振動子との、ＣＩ値を基本波域と三次オーバー
トーン域と五次オーバートーン域との三領域で比較した
グラフである。このグラフから、標準三次オーバートー
ン水晶振動子に比べて本発明の基本波抑制型三次オーバ
ートーン水晶振動子の方が三次オーバートーン域以外の
ＣＩ値が高く抑制しやすくなるのがわかる。

【００１５】また、図１１は、三次オーバートーン発振
で２５ＭＨｚの水晶振動子の試作例において、研磨材の
メッシュ＃４０００で粗面加工した直径6.5ｍｍの水晶
板に直径4.5ｍｍの励振電極（表裏共）を形成した標準
三次オーバートーン水晶振動子と、本発明による研磨材
のメッシュ＃２０００で粗面加工した直径6.5ｍｍの水
晶板に直径3.5ｍｍの中央電極を形成し、Ｇ寸法を0.4ｍ
ｍ、Ｌ寸法を0.25ｍｍで形成した基本波抑制型三次オー
バートーン水晶振動子との、ＣＩ値を基本波域と三次オ
ーバートーン域と五次オーバートーン域との三領域で比
較したグラフである。このグラフから、標準三次オーバ
ートーン水晶振動子に比べて本発明の基本波抑制型三次
オーバートーン水晶振動子の方が三次オーバートーン域
以外のＣＩ値が高く抑制しやすくなるのがわかる。

【００１６】研磨材によって粗面加工された水晶板の表
裏面の粗さのため、三次より大きい五次は、ＣＩ値が高
くなって、五次オーバートーンを抑制し、研磨材のメッ
シュがより粗くなるにしたがってＣＩ比（五次／三次）
が大きくなるのだが、水晶板の表裏面を粗くしすぎる
と、エージング特性や低レベル特性が悪くなったり、ま
た三次オーバートーンのＣＩ値も悪くなる傾向があり、
一般的な三次オーバートーンのＣＩ値規格（３０Ω、４
０Ω等）に対して歩留まりが悪くなる等の問題点があ
る。これらの対策として、三次オーバートーンでも３０
ＭＨｚぐらいまでの比較的低い周波数域では、研磨材を
粗くすることによるエージング特性や低レベル特性への
影響が比較的小さいため、よりＣＩ比を大きく取れる研
磨材のメッシュ＃２０００のものを用い粗面加工するの
がよいが、メッシュ＃３０００のものを用いても問題は
ない。３０ＭＨｚ以上のものについては、エージング特
性や低レベル特性、また三次オーバートーンのＣＩ値等
を考慮して、研磨材のメッシュをより滑らかな＃３００
０のものを用いて粗面加工する。

【００１７】次に、本発明の第二の実施例について、図
３、図４を参照にして説明する。図３は本発明の第二の
実施例を示す水晶片とサポートの正面図であり、図４は
図３の側面図である。水晶板６は、ＡＴカットで円形に
切り出された水晶板であり、その表裏面は、メッシュ＃
３０００の研磨材を用いて粗面加工しており、そのため
水晶板６の表裏面の表面粗さは平均５μｍから７μｍの
粗面となるよう形成される（メッシュ＃２０００の研磨
材を用いた場合、水晶板１の表裏面の表面粗さは平均２
μｍから４μｍの粗面となるよう形成される）。この表
裏面の粗さのため三次より大きい五次は、ＣＩ値が高く
なって、五次の振動変位が小さくなり、五次オーバート
ーン発振の抑制が行える。そして、水晶板６は表裏面に
は励振電極７が設けられている（裏面については図示せ
ず）。そして、前記水晶板６を保持するサポート８１，
８２は水晶板挿入用のスリット８１１（サポート８２の
方は図示せず）を有するものであり、プレス打ち抜きな
どにより形成されている。また、サポート８１，８２
は、図示しないベースに気密かつ絶縁して封着されてい
る二本のリード端子（図示しない）の上方側に溶接され
る。 上記のように構成されたサポート８１，８２に水
晶板６をスリットに挿入し、サポートと水晶板とを導電
性接合材９で固着し、図示していないが金属のキャップ
でベースとを気密封止する。そこで、水晶板６の重心Ｏ
からスリット長手方向の両端部分Ｃ，Ｄにかけての保持
角度θを従来５０゜〜６０゜であったものを７０゜〜９
０゜にするために、例えば、サポート８１，８２のスリ
ットの長さを長くし、サポート８１，８２を水晶板６の
内側によせて接合する。具体的に例示すると、直径３ｍ
ｍの励振電極が形成された直径５ｍｍの水晶板（従来と
同じ）を用いた場合、従来のスリット長さ２．４ｍｍで
あったものを２．９ｍｍにすれば保持角度は約７０゜に
なるし、３．５ｍｍにすれば保持角度は約９０゜にな
る。このため、励振電極２に接近した位置でサポート８
１，８２が接合されると、対向するサポート８１，８２
が水晶板６を励振電極付近でのみ振動させ、基本波を抑
制して三次オーバートーン振動させることができる。こ
れらの構成により、基本波抑制型の振動子に五次オーバ
ートーン抑制技術を付加することができるようになり、
基本波と五次オーバートーンとを同時に抑制し、より安
定した三次オーバートーン発振が得られるようになっ
た。

【００１８】次に、本発明の第三の実施例について、図
１２、図１３を参照にして説明する。図１２は本発明の
第三の実施例を示す水晶板の平面図であり、図１３は図
１２のＸ−Ｘ線に沿う断面図である。尚、第一の実施例
と同様の部分については同番号を付した。水晶板１は、
ＡＴカットで円形に切り出された水晶板であり、基本波
を抑制するため水晶板１の表面には、その中央に電極２
３ａが設けられその周囲に幅Ｇの電極不在部３１が設け
られ更にその外周で、かつ、水晶板１の外周から幅Ｌの
所に電極４３ａが設けられている。また、水晶板１の裏
面には、水晶板１の外周から幅Ｌの所から内側へ全面に
電極５３ａが設けられている。すなわち、裏面電極５３
ａは、表面の中央電極２３ａ、電極不在部３１、周辺部
電極４３ａに対向して全面に形成されている。このよう
な構造において、電極２３ａとそれに対応する電極５３
ａの一部分が主振動エネルギ閉じ込め部を構成し、電極
不在部３１とそれに対応する電極５３ａの一部分が振動
エネルギ伝搬部を構成し、電極４３ａとそれに対応する
電極５３ａの一部分が振動エネルギ吸収部を構成してい
る。中央電極２３ａから水晶板１の一端部Ａまでリード
電極２３ｂが形成され、外周電極４３ａ及び裏面電極５
３ａは水晶板１の反対側の端部Ｂまでリード電極４３
ｂ，５３ｂが形成されている。上記寸法幅Ｌ、Ｇにより
基本波と三次オーバートーンとのＣＩ比が変化するた
め、所望のＣＩ比を得るため、あらかじめ設定する必要
がある。当実施例では、直径6.5ｍｍの水晶板に直径2.5
ｍｍの中央電極を形成し、Ｇ寸法を0.4ｍｍ、Ｌ寸法を
0.25ｍｍで形成した。そして、これらの電極は真空蒸着
により形成されるが、一度目は厚さ0.15μｍの電極を形
成する。二度目は厚さ0.3μｍの厚さに形成する。通常
電極は0.15μｍ〜0.175μｍの厚さで形成する事が多
く、本発明の実施例では裏面電極の厚さを通常電極の二
倍にした。このため各次数の振動変位の大きさの違いを
利用し、三次より大きい五次は、五次の振動変位が小さ
くなるからＣＩ値が高くなり、三次オーバートーンと五
次オーバートーンのＣＩ比を大きくとることができる。
これらの構成により、基本波抑制型の振動子に五次オー
バートーン抑制技術を付加することができるようにな
り、基本波と五次オーバートーンとを同時に抑制し、よ
り安定した三次オーバートーン発振が得られるようにな
った。

【００１９】次に、本発明の第四の実施例について、図
１４、図１５を参照にして説明する。図１４は本発明の
第四の実施例を示す水晶片とサポートの正面図であり、
図１５は図１４のＹ−Ｙ線に沿う断面図である。尚、第
二の実施例と同様の部分については同番号を付した。水
晶板６は、ＡＴカットで円形に切り出された水晶板であ
り、水晶板６は表裏面には励振電極７４，７５が設けら
れている。これらの電極は真空蒸着により形成される
が、一度目は厚さ0.15μｍの電極を形成する。二度目は
厚さ0.3μｍの厚さに形成する。通常電極は0.15μｍ〜
0.175μｍの厚さで形成する事が多く、本発明の実施例
では裏面電極の厚さを通常電極の二倍にした。このため
各次数の振動変位の大きさを利用し、三次より大きい五
次は、五次の振動変位が小さくなるからＣＩ値が高くな
り、三次オーバートーンと五次オーバートーンのＣＩ比
を大きくとることができる。そして、前記水晶板６を保
持するサポート８１，８２は水晶板挿入用のスリット
（図示せず）を有するものであり、プレス打ち抜きなど
により形成されている。また、サポート８１，８２は、
図示しないベースに気密かつ絶縁して封着されている二
本のリード端子（図示しない）の上方側に溶接される。
上記のように構成されたサポート８１，８２に水晶板
６をスリットに挿入し、サポートと水晶板とを導電性接
合材９で固着し、図示していないが金属のキャップでベ
ースとを気密封止する。そこで、水晶板６の重心Ｏから
スリット長手方向の両端部分Ｃ，Ｄにかけての保持角度
θを従来５０゜〜６０゜であったものを７０゜〜９０゜
にするために、例えば、サポート８１，８２のスリット
の長さを長くし、サポート８１，８２を水晶板６の内側
によせて接合する。具体的に例示すると、直径３ｍｍの
励振電極が形成された直径５ｍｍの水晶板（従来と同
じ）を用いた場合、従来のスリット長さ２．４ｍｍであ
ったものを２．９ｍｍにすれば保持角度は約７０゜にな
るし、３．５ｍｍにすれば保持角度は約９０゜になる。
このため、励振電極２に接近した位置でサポート８１，
８２が接合されると、対向するサポート８１，８２が水
晶板６を励振電極付近でのみ振動させ、基本波を抑制し
て三次オーバートーン振動させることができる。これら
の構成により、基本波抑制型の振動子に五次オーバート
ーン抑制技術を付加することができるようになり、基本
波と五次オーバートーンとを同時に抑制し、より安定し
た三次オーバートーン発振が得られるようになった。

【００２０】

【発明の効果】研磨材によって粗面加工された水晶板の
表裏面の粗さにより、三次オーバートーンと五次オーバ
ートーンのＣＩ比を大きくとれるようになった。このた
め、従来からある基本波抑制型の振動子に五次オーバー
トーン抑制技術を付加することができるようになり、基
本波と五次オーバートーンとを同時に抑制し、より安定
した三次オーバートーン発振が得られるようになった。
そのため、三次オーバートーン発振回路において、同調
回路がなく、帰還抵抗値Ｒ1、あるいは、Ｃ1、Ｃ2によ
り調整し、回路自体を三次オーバートーン発振しやすい
ような値に定数を決めるような回路構成の場合におい
て、水晶振動子のＣＩ比（ＣＩ1／ＣＩ3）が比較的小さ
いと基本波発振しやすい回路であっても基本波発振する
ことがなく、また、ＣＩ比（ＣＩ5／ＣＩ3）が比較的小
さいと五次オーバートーン発振しやすい回路であっても
五次オーバートーン発振することがなくなった。

【００２１】電極の厚みを通常電極の厚みより厚くした
ことにより、三次オーバートーンと五次オーバートーン
のＣＩ比を大きくとれるようになった。このため、従来
からある基本波抑制型の振動子に五次オーバートーン抑
制技術を付加することができるようになり、基本波と五
次オーバートーンとを同時に抑制し、より安定した三次
オーバートーン発振が得られるようになった。そのた
め、三次オーバートーン発振回路において、同調回路が
なく、帰還抵抗値Ｒ1、あるいは、Ｃ1、Ｃ2により調整
し、回路自体を三次オーバートーン発振しやすいような
値に定数を決めるような回路構成の場合において、水晶
振動子のＣＩ比（ＣＩ1／ＣＩ3）が比較的小さいと基本
波発振しやすい回路であっても基本波発振することがな
く。また、ＣＩ比（ＣＩ5／ＣＩ3）が比較的小さいと五
次オーバートーン発振しやすい回路であっても五次オー
バートーン発振することがなくなった。

【図面の簡単な説明】

【図１】発明の第一の実施例を示す水晶板の平面図であ
る。

【図２】図１の底面図である。

【図３】本発明の第二の実施例を示す水晶板とサポート
の正面図である。

【図４】図３の側面図である。

【図５】基本波発振しやすい回路を示す図である。

【図６】五次オーバートーン発振しやすい回路を示す図
である。

【図７】三次オーバートーン発振で４５ＭＨZの水晶振
動子において、研磨材のメッシュを変化させたときのＣ
Ｉ比（ＣＩ5／ＣＩ3）を近似値で表わしたグラフであ
る。

【図８】研磨材のメッシュを＃２０００、＃３０００、
＃４０００の三種類を用いて研磨加工を行った水晶板の
周波数ごとの三次オーバートーンのＣＩ値と五次オーバ
ートーンのＣＩ値を近似値で表わしたグラフである。

【図９】研磨材のメッシュを＃２０００、＃３０００、
＃４０００の三種類を用いて研磨加工を行った水晶板の
周波数ごとのＣＩ比（ＣＩ5／ＣＩ3）を近似値で表わし
たグラフである。

【図１０】４５ＭＨｚの標準三次オーバートーン水晶振
動子と基本波抑制型三次オーバートーン水晶振動子と
の、ＣＩ値を基本波域と三次オーバートーン域と五次オ
ーバートーン域との三領域で比較したグラフである。

【図１１】２５ＭＨｚの標準三次オーバートーン水晶振
動子と基本波抑制型三次オーバートーン水晶振動子と
の、ＣＩ値を基本波域と三次オーバートーン域と五次オ
ーバートーン域との三領域で比較したグラフである。

【図１２】本発明の第三の実施例を示す水晶板の平面図
である。

【図１３】図１２のＸ−Ｘ線に沿う断面図である。

【図１４】本発明の第四の実施例を示す水晶板とサポー
トの正面図である。

【図１５】図１４のＸ−Ｘ線に沿う断面図である。

【符号の説明】

１・・・水晶板 ２１ａ，２３ａ・・・中央電極 ３１・・・電極不在部 ４１ａ，４３ａ・・・周辺部電極 ５１ａ，５３ａ・・・裏面電極 ２１ｂ，４１ｂ，５１ｂ・・・リード電極 ２３ｂ，４３ｂ，５３ｂ・・・リード電極 ６・・・水晶板 ７，７４，７５・・・励振電極 ８１，８２・・・サポート ８１１・・・スリット ９・・・導電性接合材 Ｏ・・・水晶板重心 Ｃ，Ｄ・・・スリット両端部分

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水晶板の片面に、三次オーバートーン振
   動の主振動を閉じ込める主振動エネルギ閉じ込め部を構
   成する中央部電極と、上記振動エネルギ伝搬部を構成す
   る電極不在部と、上記振動エネルギ吸収部を構成する周
   辺部電極が形成され、上記水晶板の他の片面のほぼ全面
   に電極が形成されている三次オーバートーン水晶振動子
   において、前記水晶板の表裏面を表面粗さ２μｍから７
   μｍに粗面加工した事を特徴とする三次オーバートーン
   水晶振動子。
2. 【請求項２】 表裏面に電極が形成された水晶板と、水
   晶板を挿入するためのスリットが設けられ、かつ、ベー
   スのインナーリード側面に対向して設置されたサポート
   とを具備し、前記水晶板の重心から前記スリットの長手
   方向両端部への保持角度θを次式 ７０゜≦θ≦９０゜ により設定し、導電性接合材で固着して三次オーバート
   ーン振動させた水晶振動子において、前記水晶板の表裏
   面を表面粗さ２μｍから７μｍに粗面加工した事を特徴
   とする三次オーバートーン水晶振動子。
3. 【請求項３】 水晶板の片面に、三次オーバートーン振
   動の主振動を閉じ込める主振動エネルギ閉じ込め部を構
   成する中央部電極と、上記振動エネルギ伝搬部を構成す
   る電極不在部と、上記振動エネルギ吸収部を構成する周
   辺部電極が形成され、上記水晶板の他の片面のほぼ全面
   に電極が形成されている三次オーバートーン水晶振動子
   において、上記電極の厚みを通常の電極の厚みよりも厚
   くした事を特徴とする三次オーバートーン水晶振動子。
4. 【請求項４】 表裏面に電極が形成された水晶板と、水
   晶板を挿入するためのスリットが設けられ、かつ、ベー
   スのインナーリード側面に対向して設置されたサポート
   とを具備し、前記水晶板の重心から前記スリットの長手
   方向両端部への保持角度θを次式 ７０゜≦θ≦９０゜ により設定し、導電性接合材で固着して三次オーバート
   ーン振動させた水晶振動子において、上記電極の厚みを
   通常の電極の厚みよりも厚くした事を特徴とする三次オ
   ーバートーン水晶振動子。