JP2007204305A - 単結晶引上装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】単結晶引上装置において、輻射シールド下端とシリコン融液との間の距離寸法が大きい場合においても、炉体内を流れるガス流を整流して歩留まりを向上し、所望の特性を有する単結晶を容易に得ることのできる単結晶引上装置を提供する。
【解決手段】ルツボ3の上方で単結晶Cの周囲を包囲するよう上部と下部が開口形成されて設けられ、単結晶Cに対する輻射熱を遮蔽する輻射シールド6と、前記輻射シールド6の上方から下方に向けて不活性ガスGを供給するガス供給手段13と、前記輻射シールド6と前記ルツボ3との間に形成される空間に設けられ、前記ガス供給手段13によりルツボ3内に供給されルツボ3外に導出される不活性ガスGの流路を、該流路の高さ方向に分割する整流板7とを備える。
【選択図】図2
【解決手段】ルツボ3の上方で単結晶Cの周囲を包囲するよう上部と下部が開口形成されて設けられ、単結晶Cに対する輻射熱を遮蔽する輻射シールド6と、前記輻射シールド6の上方から下方に向けて不活性ガスGを供給するガス供給手段13と、前記輻射シールド6と前記ルツボ3との間に形成される空間に設けられ、前記ガス供給手段13によりルツボ3内に供給されルツボ3外に導出される不活性ガスGの流路を、該流路の高さ方向に分割する整流板7とを備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、チョクラルスキー法(以下、「CZ法」という)によって単結晶を育成しながら引上げる単結晶引上装置に関する。
シリコン単結晶の育成に関し、CZ法が広く用いられている。この方法は、ルツボ内に収容されたシリコンの溶融液の表面に種結晶を接触させ、ルツボを回転させるとともに、この種結晶を反対方向に回転させながら上方へ引上げることによって、種結晶の下端に単結晶を形成していくものである。
図3に示すように、従来のCZ法を用いた引上げ法は、先ず、石英ガラスルツボ51に原料シリコンを装填し、ヒータ52により加熱してシリコン融液Mとする。しかる後、引上げ用のワイヤ50に取り付けられた種結晶Pをシリコン融液Mに接触させてシリコン結晶Cを引上げる。
一般に、引上げ開始に先立ち、シリコン融液Mの温度が安定した後、図4に示すように、種結晶Pをシリコン融液Mに接触させて種結晶Pの先端部を溶解するネッキングを行う。ネッキングとは、種結晶Pをシリコン融液Mに接触させることで発生するサーマルショックによりシリコン単結晶に生じる転位を除去する不可欠の工程である。このネッキングによりネック部P1が形成される。また、このネック部P1は、一般的に、直径が3〜4mmで、その長さが30〜40mm以上必要とされている。
また、引上げ開始後の工程としては、ネッキング終了後、直胴部直径にまで結晶を広げるクラウン工程、製品となる単結晶を育成する直胴工程、直胴工程後の単結晶直径を除除に小さくするテール工程が行われる。
尚、このCZ法を用いたシリコン単結晶の製造方法については、例えば特許文献1に記載されている。
尚、このCZ法を用いたシリコン単結晶の製造方法については、例えば特許文献1に記載されている。
ところで近年、デバイスの微細化技術が進み、リング状OSF(Oxidation−Induced Stacking Fault;酸化誘起積層欠陥)やCOP(Crystal Originated Particle;結晶起因パーティクル)といったシリコン単結晶育成時に発生する欠陥の存在が無視できないものとなっている。これらを抑制するためには、単結晶成長速度を速くすることが有効であり、そのためには結晶側温度勾配を大きくする、即ち結晶が急速に冷えやすい環境を提供することが重要である。
このため、一般的には図3に示すように、石英ガラスルツボの上方且つ近傍に、育成中の単結晶Cにヒータ、ルツボ等からの余計な輻射熱を与えないようにするため、シールド部材としての輻射シールド53が設けられている。この輻射シールド53は、図示するように成長中の単結晶Cを包囲するように設けられる。
また、ルツボが収容された炉体内には、炉体内雰囲気中の異物除去、酸素蒸発の調整等の目的のため、図5に示すように上方から下方に向けて不活性ガスGが供給され、前記輻射シールド53は、この不活性ガスGの流れを整流する手段としても機能する。
特開2005−97049号公報
また、ルツボが収容された炉体内には、炉体内雰囲気中の異物除去、酸素蒸発の調整等の目的のため、図5に示すように上方から下方に向けて不活性ガスGが供給され、前記輻射シールド53は、この不活性ガスGの流れを整流する手段としても機能する。
ところで、育成して得られるシリコン単結晶の特性は、引上速度や、輻射シールドと融液面との距離(ギャップと称呼する)等の要素によって変化する。このため、単結晶引上装置において様々な品質の単結晶を育成する場合には、引上速度やギャップの設定値が重要なパラメータとなる。
しかしながら、輻射シールド下端と融液面とのギャップを大きく設定した場合、輻射シールド53の下方で不活性ガスGの流れが滞り、さらに図5に示すように不活性ガスGが逆流し、その結果、炉体内雰囲気中の異物が炉体外へ流れず、シリコン融液Mや単結晶Cを汚染し、これらの異物により結晶が有転位化するという課題があった。
即ち、前記ギャップが大きい場合に得られる特性の単結晶の品質が悪化し、歩留まりが低下するという課題があった。
即ち、前記ギャップが大きい場合に得られる特性の単結晶の品質が悪化し、歩留まりが低下するという課題があった。
本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、単結晶引上装置において、輻射シールド下端とシリコン融液との間の距離寸法が大きい場合においても、炉体内を流れるガス流を整流して歩留まりを向上し、所望の特性を有する単結晶を容易に得ることのできる単結晶引上装置を提供することを目的とする。
前記した課題を解決するために、本発明に係る単結晶引上装置は、チョクラルスキー法によってルツボから単結晶を引上げる単結晶引上装置において、前記ルツボの上方で単結晶の周囲を包囲するよう上部と下部が開口形成されて設けられ、単結晶に対する輻射熱を遮蔽する輻射シールドと、前記輻射シールドの上方から下方に向けて不活性ガスを供給するガス供給手段と、前記輻射シールドと前記ルツボとの間に形成される空間に設けられ、前記ガス供給手段によりルツボ内に供給されルツボ外に導出される不活性ガスの流路を、該流路の高さ方向に分割する整流板とを備えることに特徴を有する。
このように構成することにより、輻射シールドの下端とシリコン融液との距離寸法(ギャップ)が大きくても、整流板が設けられているため、輻射シールドの下方での不活性ガスの流路が該流路の高さ方向に分割され、分割された夫々の流路高さが狭くなる。その結果、不活性ガスの流速が速くなり、ガスの滞留や逆流現象が生じることが無い。したがって、炉体内雰囲気中の異物を確実に排出して歩留まりを向上することができ、所望の特質を有する単結晶を容易に得ることができる。
また、前記ルツボの底面コーナー部は、所定の曲率半径を有するように形成され、前記整流板の下部は、前記ルツボの底面コーナー部と同じ曲率半径を有するよう形成されていることが望ましい。
このように整流板の下部がルツボの底部コーナー部の曲率半径と同じ曲率半径となるように形成されることにより、輻射シールド(の形状)による整流効果に悪影響を与えず、また、シリコン融液が少ない場合に輻射シールド及び整流板を融液面に対し接近させても、整流板がルツボに接触しないようにすることができる。
このように整流板の下部がルツボの底部コーナー部の曲率半径と同じ曲率半径となるように形成されることにより、輻射シールド(の形状)による整流効果に悪影響を与えず、また、シリコン融液が少ない場合に輻射シールド及び整流板を融液面に対し接近させても、整流板がルツボに接触しないようにすることができる。
また、前記整流板は、透明石英ガラスにより形成されていることが望ましい。
このように、整流板が透明石英ガラスのような熱遮断性の小さい材質で形成されることにより、従来からの引上条件を変更せずに所望の結晶特性を得ることができる。
このように、整流板が透明石英ガラスのような熱遮断性の小さい材質で形成されることにより、従来からの引上条件を変更せずに所望の結晶特性を得ることができる。
本発明によれば、単結晶引上装置において、輻射シールド下端とシリコン融液との間の距離寸法が大きい場合においても、炉体内を流れるガス流を整流して歩留まりを向上し、所望の特性を有する単結晶を容易に得ることのできる単結晶引上装置を得ることができる。
以下、本発明に係る単結晶引上装置の実施の形態について図面に基づき説明する。図1は本発明に係る単結晶引上装置1の全体構成を示すブロック図である。
この単結晶引上装置1は、メインチャンバ2aの上にプルチャンバ2bを重ねて形成された炉体2と、炉体2内に設けられた石英ガラスルツボ3と、石英ガラスルツボ3に装填された半導体原料(原料シリコン)Mを溶融するヒータ4と、育成される単結晶Cを引上げる引上げ機構5とを有している。引上げ機構5は、モータ駆動される巻取り機構5aと、この巻取り機構5aに巻き上げられる引上げワイヤ5bを有し、このワイヤ5bの先端に種結晶Pが取り付けられている。
この単結晶引上装置1は、メインチャンバ2aの上にプルチャンバ2bを重ねて形成された炉体2と、炉体2内に設けられた石英ガラスルツボ3と、石英ガラスルツボ3に装填された半導体原料(原料シリコン)Mを溶融するヒータ4と、育成される単結晶Cを引上げる引上げ機構5とを有している。引上げ機構5は、モータ駆動される巻取り機構5aと、この巻取り機構5aに巻き上げられる引上げワイヤ5bを有し、このワイヤ5bの先端に種結晶Pが取り付けられている。
また、メインチャンバ2a内において、石英ガラスルツボ3の上方且つ近傍には、単結晶Cの周囲を包囲するよう上部と下部が開口形成され、育成中の単結晶Cにヒータ4等からの余計な輻射熱を与えないようにするための輻射シールド6が設けられている。尚、シールド下端面と融液表面との間の距離寸法(ギャップ)は、育成する単結晶の所望の特性に応じて所定の距離(例えば25mm)に設定されている。
また、プルチャンバ2bの上方には、不活性ガス供給口13(不活性ガス供給手段)が設けられており、メインチャンバ2aの底面には、不活性ガス排出口14が設けられている。即ち、不活性ガス供給口13から供給された不活性ガスGが上方から下方に向けて流れ、石英ガラスルツボ3内において単結晶Cの周りを通過後、不活性ガス排出口14から排出されるようになされている。
また、輻射シールド6と石英ガラスルツボ3との間に形成された空間には、不活性ガスGを整流するための整流板7が設けられる。この整流板7は、輻射シールド6と同様に単結晶Cの周囲を包囲するよう設けられ、図2に示すように、その下部は石英ガラスルツボ3の底部コーナー部の曲率半径Rと同じ曲率半径Rとなるように湾曲形成されている。
このように整流板7の下部がルツボ3の底部コーナー部の曲率半径Rと同じ曲率半径となるように形成されることにより、輻射シールド6(の形状)による整流効果に悪影響を与えず、また、シリコン融液Mが少ない場合に輻射シールド6及び整流板7を融液面に対し接近させても、整流板7がルツボ3に接触することがないようなされている。
このように整流板7の下部がルツボ3の底部コーナー部の曲率半径Rと同じ曲率半径となるように形成されることにより、輻射シールド6(の形状)による整流効果に悪影響を与えず、また、シリコン融液Mが少ない場合に輻射シールド6及び整流板7を融液面に対し接近させても、整流板7がルツボ3に接触することがないようなされている。
尚、この整流板7は、輻射シールド6に固定されて設けられてもよいし、輻射シールド6に固定されず、相互間の距離が変更可能に設けられてもよい。
また、この整流板7は、熱遮断性の小さな材料、例えば透明石英ガラスなどにより形成されるのが望ましい。即ち、透明石英ガラスなどのように熱遮断性の小さい材質で形成されることにより、従来からの引上条件を変更せずに所望の結晶特性を得ることができる。
また、この整流板7は、熱遮断性の小さな材料、例えば透明石英ガラスなどにより形成されるのが望ましい。即ち、透明石英ガラスなどのように熱遮断性の小さい材質で形成されることにより、従来からの引上条件を変更せずに所望の結晶特性を得ることができる。
また、図1に示すように単結晶引上装置1は、シリコン融液Mの温度を制御するヒータ4の供給電力量を制御するヒータ制御部9と、石英ガラスルツボ3を回転させるモータ10と、モータ10の回転数を制御するモータ制御部10aとを備えている。さらには、石英ガラスルツボ3の高さを制御する昇降装置11と、昇降装置11を制御する昇降装置制御部11aと、成長結晶の引上げ速度と回転数を制御するワイヤリール回転装置制御部12とを備えている。これら各制御部9、10a、11a、12はコンピュータ8の演算制御装置8bに接続されている。
このように構成された単結晶引上装置1においては、最初に石英ガラスルツボ3に原料シリコンMを装填し、コンピュータ8の記憶装置8aに記憶されたプログラムに基づき、以下のように結晶育成工程が開始される。
先ず、演算制御装置8bの指令によりヒータ制御部9を作動させてヒータ4を加熱し、石英ガラスルツボ3の原料シリコンMが溶融される。
先ず、演算制御装置8bの指令によりヒータ制御部9を作動させてヒータ4を加熱し、石英ガラスルツボ3の原料シリコンMが溶融される。
さらに、演算制御装置8bの指令によりモータ制御部10aと、昇降装置制御部11aと、ワイヤリール回転装置制御部12とが作動し、石英ガラスルツボ3が回転すると共に、巻取り機構5aが作動してワイヤ5bが降ろされる。そして、ワイヤ5bに取付けられた種結晶Pがシリコン融液Mに接触され、種結晶Pの先端部を溶解するネッキングが行われてネック部P1が形成される。
しかる後、演算制御装置8bの指令によりヒータ4への供給電力や、単結晶引上げ速度(通常、毎分数ミリの速度)などをパラメータとして引上げ条件が調整され、クラウン工程、直胴工程、テール部工程等の単結晶引上工程が順に行われる。
尚、この単結晶引上工程において、図2に示すように輻射シールド6の下端とシリコン融液Mとの距離寸法dが大きくても(例えば30〜70mm)、整流板7が設けられているため、輻射シールド6の下方での不活性ガスGの流路が、該流路の高さ方向に分割され、分割された夫々の流路の高さが狭くなる。その結果、不活性ガスGの流速が速くなり、ガスの滞留や逆流現象が生じることが無い。したがって、炉体2内雰囲気中の異物はルツボ外へ確実に導かれ、不活性ガス排出口14から炉体2の外へ排出される。
以上のように本発明に係る実施の形態によれば、単結晶引上工程において、輻射シールド6の下端とシリコン融液Mとの距離寸法dが大きくても、整流板7を設けることにより、ガスの滞留や逆流現象を防止することができる。したがって、炉体内雰囲気中の異物を確実に排出して歩留まりを向上することができ、所望の特質を有する単結晶Cを容易に得ることができる。
続いて、本発明に係る単結晶引上装置について、実施例に基づきさらに説明する。本実施例では、前記実施の形態に示した構成の単結晶引上装置を用い、実際に実験を行うことにより、その効果を検証した。
この実験では、直径300mmのシリコン単結晶の育成を、炉内圧25、50、100(torr)、ガス流量50、150、250(l/min)の夫々について実施し、得られた結晶の状態を判定した。尚、シールド下端面と融液表面との間の距離寸法(ギャップ)は、30〜70mmに設定した。
ギャップ50mmの場合の実験結果を表1に示す。表1において、○印は引上歩留まり・結晶特性共に所定の条件(結晶欠陥・狙い酸素濃度など)を満たしたもの、×印は引上歩留まり・結晶特性共に前記所定の条件を満たさなかったもの、△印は引上歩留まりはよいが、結晶特性が前記所定の条件を満たさなかったものを示している。
ギャップ50mmの場合の実験結果を表1に示す。表1において、○印は引上歩留まり・結晶特性共に所定の条件(結晶欠陥・狙い酸素濃度など)を満たしたもの、×印は引上歩留まり・結晶特性共に前記所定の条件を満たさなかったもの、△印は引上歩留まりはよいが、結晶特性が前記所定の条件を満たさなかったものを示している。
また、比較例として、従来の輻射シールドのみの構成、即ち前記実施の形態で示した整流板を具備しない単結晶引上装置で、直径300mmのシリコン単結晶の育成を、炉内圧25、50、100(torr)、ガス流量50、150、250(l/min)の夫々について実施し、得られた結晶の状態を判定した。尚、比較例においては、シールド下端面と融液表面との間の距離寸法(ギャップ)は、10〜25mmと30〜70mmの2つの場合について実施した。
この比較例の結果を表2(ギャップ:20mm)と表3(ギャップ50mm)に示す。表2、3において、○印は引上歩留まり・結晶特性共に所定の条件(結晶欠陥・狙い酸素濃度など)を満たしたもの、×印は引上歩留まり・結晶特性共に前記所定の条件を満たさなかったもの、△印は引上歩留まりはよいが、結晶特性が前記所定の条件を満たさなかったものを示している。
この比較例の結果を表2(ギャップ:20mm)と表3(ギャップ50mm)に示す。表2、3において、○印は引上歩留まり・結晶特性共に所定の条件(結晶欠陥・狙い酸素濃度など)を満たしたもの、×印は引上歩留まり・結晶特性共に前記所定の条件を満たさなかったもの、△印は引上歩留まりはよいが、結晶特性が前記所定の条件を満たさなかったものを示している。
実施例の実験結果(表1、2、3)に示されるように、ギャップが50mmの場合、従来の単結晶引上装置を用いて製造した単結晶では所定の特性条件(結晶欠陥・狙い酸素濃度など)を満たす単結晶、安定した引上歩留まりを得ることができなかったが、本発明の単結晶引上装置を用いて製造した単結晶では、引上歩留まり・結晶特性共に前記所定の条件を満たす単結晶を得ることのできる割合が格段に向上した。
以上の実施例の実験結果から、本発明の単結晶引上装置を用いることにより、炉体内雰囲気中の異物を確実に排出して歩留まりを向上することができ、所望の特質を有する単結晶を容易に得ることができることを確認した。
本発明は、チョクラルスキー法によって単結晶を引上げる単結晶引上装置に関するものであり、半導体製造業界等において好適に用いられる。
1 単結晶引上装置
2 炉体
2a メインチャンバ
2b プルチャンバ
3 石英ガラスルツボ(ルツボ)
4 ヒータ
5 引上げ機構
6 輻射シールド
7 整流板
8 コンピュータ
8a 記憶装置
8b 演算記憶装置
13 不活性ガス供給口(不活性ガス供給手段)
14 不活性ガス排出口
C 単結晶
G 不活性ガス
M 原料シリコン、シリコン融液
P 種結晶
P1 ネック部
2 炉体
2a メインチャンバ
2b プルチャンバ
3 石英ガラスルツボ(ルツボ)
4 ヒータ
5 引上げ機構
6 輻射シールド
7 整流板
8 コンピュータ
8a 記憶装置
8b 演算記憶装置
13 不活性ガス供給口(不活性ガス供給手段)
14 不活性ガス排出口
C 単結晶
G 不活性ガス
M 原料シリコン、シリコン融液
P 種結晶
P1 ネック部
Claims (3)
- チョクラルスキー法によってルツボから単結晶を引上げる単結晶引上装置において、
前記ルツボの上方で単結晶の周囲を包囲するよう上部と下部が開口形成されて設けられ、単結晶に対する輻射熱を遮蔽する輻射シールドと、
前記輻射シールドの上方から下方に向けて不活性ガスを供給するガス供給手段と、
前記輻射シールドと前記ルツボとの間に形成される空間に設けられ、前記ガス供給手段によりルツボ内に供給されルツボ外に導出される不活性ガスの流路を、該流路の高さ方向に分割する整流板とを備えることを特徴とする単結晶引上装置。 - 前記ルツボの底面コーナー部は、所定の曲率半径を有するように形成され、
前記整流板の下部は、前記ルツボの底面コーナー部と同じ曲率半径を有するよう形成されていることを特徴とする請求項1に記載された単結晶引上装置。 - 前記整流板は、透明石英ガラスにより形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載された単結晶引上装置。
Priority Applications (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010013303A (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-21 | Sumco Corp | 単結晶の育成方法 |
KR101105950B1 (ko) | 2008-08-01 | 2012-01-18 | 주식회사 엘지실트론 | 단결정 잉곳 제조장치 |
US10916425B2 (en) | 2017-02-24 | 2021-02-09 | Sumco Corporation | Method for manufacturing silicon single crystal, flow straightening member, and single crystal pulling device |
-
2006
- 2006-02-01 JP JP2006024183A patent/JP2007204305A/ja active Pending
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JP2010013303A (ja) * | 2008-07-02 | 2010-01-21 | Sumco Corp | 単結晶の育成方法 |
KR101105950B1 (ko) | 2008-08-01 | 2012-01-18 | 주식회사 엘지실트론 | 단결정 잉곳 제조장치 |
US10916425B2 (en) | 2017-02-24 | 2021-02-09 | Sumco Corporation | Method for manufacturing silicon single crystal, flow straightening member, and single crystal pulling device |
CN110573661B (zh) * | 2017-02-24 | 2021-07-06 | 胜高股份有限公司 | 单晶硅的制造方法、整流部件及单晶提拉装置 |
DE112017007122B4 (de) | 2017-02-24 | 2022-05-25 | Sumco Corporation | Verfahren zur Herstellung von Silizium-Monokristall, Strömungsausrichtungselement und Monokristall-Ziehvorrichtung |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20070711 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 |