JP2007200457A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】データレジスタに対するアクセスのサイクルごとにビット線対をプリチャージする第1のモードと、データレジスタの特定のメモリセルに対するアクセスが行なわれたときにビット線対をプリチャージする第2のモードとを備えた不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】プリチャージ信号生成回路50は第1のモードにおいてデータレジスタ23に対するアクセスサイクルごとにパルスを含むプリチャージ信号を出力し、第2のモードにおいてデータレジスタ23の所定のメモリセル以外のメモリセルに対するアクセスが指定された場合にデータレジスタ23にアクセスサイクルごとにパルスを含む信号をマスクしたプリチャージ信号を生成する。第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、プリチャージ信号の活性化に応じてビット線対をプリチャージする。
【選択図】図1
【解決手段】プリチャージ信号生成回路50は第1のモードにおいてデータレジスタ23に対するアクセスサイクルごとにパルスを含むプリチャージ信号を出力し、第2のモードにおいてデータレジスタ23の所定のメモリセル以外のメモリセルに対するアクセスが指定された場合にデータレジスタ23にアクセスサイクルごとにパルスを含む信号をマスクしたプリチャージ信号を生成する。第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、プリチャージ信号の活性化に応じてビット線対をプリチャージする。
【選択図】図1
Description
本発明は、不揮発性半導体記憶装置に関し、特にバーストアクセスする不揮発性メモリアレイ内のデータを一時的に保持するデータレジスタを備えた不揮発性半導体記憶装置に関する。
従来、スタティック・ランダム・アクセスメモリ(以下、SRAM)などでは、ランダムアクセスで動作し、読出しまたは書込みのサイクルごとにビット線対のプリチャージが行なわれていた。
これに対して、アドレスが変化するごとに行なっていたビット線対のプリチャージの回数を減らすことによって、プリチャージ時における消費電力を減らす方法が、たとえば、特許文献1に開示されている。
すなわち、特許文献1では、k本(たとえば4本)のビット線対とn本のワード線で構成されたk×n個のRAMセルを有するRAM部に対し、アドレスAが周期2Tで変化しているとき、ラインメモリのアドレスアクセスの特性から、該アドレスAが0から順番に1・2・3・・・というようにアクセスされるため、行側のビット線対が一度アクセスされた後は4回後にならないと再びアクセスされることがない。そのため、行側をアクセスするときにその最小位(例えば、00)がきたときにだけビット線対のプリチャージ動作を行なうように、もとのプリチャージ信号φ1とアドレスAとでAND処理を施し、新たなプリチャ-ジ信号φ1aを作成し、そのφ1aによって0・4・8・・・番地のときにだけプリチャージ動作を行なう。
特開平6−223576号公報
ところで、バースト読出しまたは書込みを行なうフラッシュメモリなどの電気的に書き換え可能な不揮発性半導体記憶装置において、フラッシュメモリからの読出しデータおよびフラッシュメモリへの書込みデータを一時的に保持するデータレジスタを備えたものがある。そして、このデータレジスタも複数のメモリセルで構成されている場合に、データレジスタ内のビット線対の消費電力を削減するために、特許文献1に記載の方法を用いることが考えられる。
しかしながら、特許文献1では、最大コラムアドレスに達するまでは、必ずビット線対のプリチャージは行なわれず、読出しまたは書込みサイクルごとにビット線対をプリチャージすることが必要となった場合には、対応できない。
それゆえに、本発明の目的は、データレジスタのメモリセルに対するアクセスのサイクルごとにビット線対をプリチャージする第1のモードと、データレジスタの特定のメモリセルに対するアクセスが行なわれたときにビット線対をプリチャージする第2のモードの2つのモードを備えた不揮発性半導体記憶装置を提供することである。
上記課題を解決するために、本発明の不揮発性半導体記憶装置は、複数のメモリセルを含む不揮発性メモリセルアレイと、不揮発性メモリセルアレイからの読出しデータおよびメモリセルアレイへの書込みデータを一時的に保持する、複数のメモリセルで構成される
データレジスタと、第1のモードにおいて、データレジスタに対する読出しまたは書込みの1サイクルごとにパルスを含む第1の信号を出力し、第2のモードにおいて、データレジスタの所定のメモリセル以外のメモリセルに対する読出しまたは書込みが指定された場合に、データレジスタに対する読出しまたは書込みの1サイクルごとにパルスを含む信号をマスクした第1の信号を生成する信号生成回路と、第1の信号の活性化に応じて、データレジスタのメモリセルと接続されるビット線対をプリチャージする第1のプリチャージ回路とを備え、信号生成回路は、第2のモードにおいて、データレジスタの所定のメモリセルに対する読出しまたは書込みが指定されたときに、マスクを解除する。
データレジスタと、第1のモードにおいて、データレジスタに対する読出しまたは書込みの1サイクルごとにパルスを含む第1の信号を出力し、第2のモードにおいて、データレジスタの所定のメモリセル以外のメモリセルに対する読出しまたは書込みが指定された場合に、データレジスタに対する読出しまたは書込みの1サイクルごとにパルスを含む信号をマスクした第1の信号を生成する信号生成回路と、第1の信号の活性化に応じて、データレジスタのメモリセルと接続されるビット線対をプリチャージする第1のプリチャージ回路とを備え、信号生成回路は、第2のモードにおいて、データレジスタの所定のメモリセルに対する読出しまたは書込みが指定されたときに、マスクを解除する。
本発明の不揮発性半導体記憶装置によれば、データレジスタのメモリセルに対するアクセスのサイクルごとにビット線対をプリチャージする第1のモードと、データレジスタの特定のメモリセルに対するアクセスが行なわれたときにビット線対をプリチャージする第2のモードの2つのモードを選択して動作させることができる。
以下、本発明に係る実施の形態について図面を参照して説明する。
(全体構成)
図1は、本発明の実施形態の不揮発性半導体記憶装置100の構成を表わす図である。
(全体構成)
図1は、本発明の実施形態の不揮発性半導体記憶装置100の構成を表わす図である。
図1を参照して、この不揮発性半導体記憶装置100は、ページアドレスバッファ11と、マルチプレクサ12と、データ入力バッファ13と、制御信号バッファ14と、読み/書き/消去制御回路15と、入力データ制御回路17と、列アドレスカウンタ16と、プリチャージ信号生成回路50と、データ出力バッファ18とを備える。
ページアドレスバッファ11は、ページアドレス信号を一時的に保存する。
マルチプレクサ12は、データ入出力端子から外部からの書込みデータを受けて、データ入力バッファ13に出力し、データ出力バッファ18から読出しデータを受けてデータ入出力端子から外部へ出力し、データ入出力端子から外部からのアドレスデータを受けて、列アドレスカウンタ16および読み/書き/消去制御回路15に出力する。
マルチプレクサ12は、データ入出力端子から外部からの書込みデータを受けて、データ入力バッファ13に出力し、データ出力バッファ18から読出しデータを受けてデータ入出力端子から外部へ出力し、データ入出力端子から外部からのアドレスデータを受けて、列アドレスカウンタ16および読み/書き/消去制御回路15に出力する。
データ入力バッファ13は、外部から入力されたデータ一時的に保存する。
制御信号バッファ14は、外部からのクロック信号および制御信号を取込んで、内部クロック信号および内部制御信号を生成して、不揮発性半導体記憶装置100内の該当する構成要素に出力する。
制御信号バッファ14は、外部からのクロック信号および制御信号を取込んで、内部クロック信号および内部制御信号を生成して、不揮発性半導体記憶装置100内の該当する構成要素に出力する。
読み/書き/消去制御回路15は、フラッシュメモリセルアレイ20からのデータの読出し処理、フラッシュメモリセルアレイ20へのデータの書込み処理、およびフラッシュメモリセルアレイ20内のデータの消去処理を制御する。
入力データ制御回路17は、データ入力バッファ13からの書込みデータのデータレジスタ23への転送を制御する。
列アドレスカウンタ16は、フラッシュメモリセルアレイ20からのデータのバースト読出しおよびフラッシュメモリセルアレイ20へのデータのバースト書込み動作のためのカウンタ値を保持し、カウンタ値に基づいて内部アドレス信号を出力する。
プリチャージ信号生成回路50は、ビット線対をプリチャージするためのプリチャージ信号を生成する。プリチャージ信号生成回路50は、第1のモードと、第2のモードで生成するプリチャージ信号を変える。第1のモードとは、読出しまたは書込みのサイクルご
とにプリチャージするモードであり、第2のモードとは、最大コラムアドレスに達したときにプリチャージするモードである。プリチャージ信号生成回路50の詳細は後述する。
とにプリチャージするモードであり、第2のモードとは、最大コラムアドレスに達したときにプリチャージするモードである。プリチャージ信号生成回路50の詳細は後述する。
データ出力バッファ18は、データレジスタ23から出力されるデータを一時的に保持して、内部クロックに従ったタイミングで保持したデータを出力する。
また、不揮発性半導体記憶装置100は、4個のバンクBank0〜Bank3を備える。各バンクには、Xデコーダ19と、フラッシュメモリセルアレイ20と、データレジスタおよび周辺回路群21とが含まれる。
Xデコーダ19は、ページアドレスバッファ11から出力されるページアドレス信号にしたがって、フラッシュメモリセルアレイ20内の複数のワード線のうちのいずれかのワード線を選択して、選択したワード線の活性化/非活性化を行なう。
Yデコーダ25は、列アドレスカウンタ16にしたがって、フラッシュメモリセルアレイ20の列およびデータレジスタ23の列を選択する。
フラッシュメモリセルアレイ20は、複数のメモリセルを含む。複数のメモリセルの各々は、半導体基板中のウエル表面に形成されたソースおよびドレインと、このソースおよびドレイン上にゲート絶縁膜(トンネル絶縁膜)を介して形成されたフローティングゲートと、フローティングゲート上にONO(Oxide-Nitride-Oxide)膜を介して設けられたコントロールゲートとを有する。各メモリセルは、2ビットのデータを記憶する。フラッシュメモリセルアレイ20内のメモリセルは、バースト(列方向に連続した)読出しまたは書込みが行なわれる。
(データレジスタおよび周辺回路群21の構成)
図2は、データレジスタおよび周辺回路群21の構成を表わす図である。
図2は、データレジスタおよび周辺回路群21の構成を表わす図である。
図2を参照して、データレジスタおよび周辺回路群21は、センスラッチ部22と、データレジスタ23と、ワード線ドライバ24と、Yゲート部26と、書込みドライバ部27と、センスアンプ部28とを含む。
センスラッチ部22は、フラッシュメモリセルアレイ20から読出したデータを増幅するとともに、フラッシュメモリセルアレイ20への書込みデータを一時的に保持する。
データレジスタ23は、8個のマットMat0〜Mat7に分かれている。各マットは、サブマットに分割される。8個のマットMat0〜Mat7に共通のワード線WLが備えられている。また、8個のマットMat0〜Mat7には、共通のプリチャージ信号/BLEQが供給される。
ワード線ドライバ24は、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化されると、ワード線WLを「L」レベルに非活性化し、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化されると、ワード線WLを「H」レベルに活性化する。
書込みドライバ部27は、サブマットごとに1個の書込みドライバWDを含む。
センスアンプ部28は、サブマットごとに1個のセンスアンプSAを含む。
センスアンプ部28は、サブマットごとに1個のセンスアンプSAを含む。
Yゲート部26は、データレジスタ23内の各メモリセルC0〜C7ごとにYゲートY0〜Y7を含む。
センスラッチ部22とデータレジスタ23との間を結ぶバスは、×64ビット構成であり、入力データ制御回路17とデータレジスタ23との間を結ぶバスおよびデータ出力バッファ18とデータレジスタ23との間を結ぶバスは、×8と、×16ビット構成である。
(データレジスタ23の構成)
図3は、データレジスタ23内の1個のマットと、そのマットと接続される回路の構成を表わす図である。
図3は、データレジスタ23内の1個のマットと、そのマットと接続される回路の構成を表わす図である。
図3を参照して、各マットは、フラッシュメモリセルアレイ20のメモリセルが記憶する2ビットに対応して、上位ビット用と下位ビット用の2つのサブマットを含む。各サブマットは、メモリセルC0〜C7、第1のプリチャージ回路PR0〜PR7を含む。
第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、プリチャージ信号/BLEQを受けて、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルとなると、接続しているビット線対BL,/BLをVDDPの電位にプリチャージする。
メモリセルC0〜C7は、SRAMセルで構成されている。
図4は、メモリセルC0および第1のプリチャージ回路PR0の構成を表わす図である。他のメモリセルC1〜C7、第1のプリチャージ回路PR1〜PR7もこれと同様である。
図4は、メモリセルC0および第1のプリチャージ回路PR0の構成を表わす図である。他のメモリセルC1〜C7、第1のプリチャージ回路PR1〜PR7もこれと同様である。
図4を参照して、メモリセルC0は、PチャネルMOSトランジスタP11〜P14と、NチャネルMOSトランジスタN11,N12とを含むSRAMセルで構成される。
第1のプリチャージ回路PR0は、PチャネルMOSトランジスタP15,P16,P17で構成されている。PチャネルMOSトランジスタP15,P16,P17は、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルになると、オン状態となり、その結果両方のビット線BLおよび/BLがVDDPの電位にプリチャージされる。
再び、図3を参照して、サブマットごとに、書込みドライバWDと、センスアンプSAとが備えられている。
メモリセルC0〜C7は、それぞれYゲートY0〜Y7がオンのときに、書込みドライバWDおよびセンスアンプSAと接続する。メモリセルC0〜C7は、コラムアドレスで指定される。メモリセルC0は、最小のコラムアドレスで指定され、メモリセルC7は、最大のコラムアドレスで指定される。
YゲートY0〜Y7は、接続されるビット線対と、センスアンプSAおよび書込みドライバWDとの間の接続/非接続を制御する。指定されたコラムアドレスに対応するビット線対BL,/BL(すなわち、指定されたコラムアドレスに対応するメモリセルに接続されるビット線対BL,/BL)に接続されるYゲートが所定時間オンとなり、それ以外のYゲートはオフである。
書込みドライバWDは、メモリセルC0〜C7と接続される8個のビット線対BL,/BLの共通接続ノードNと接続される共通配線対CL,/CLと接続される。書込みドライバWDは、センスラッチ部22または入力データ制御回路17から受けたデータを、共通配線対CL,/CLと、オン状態のYゲートと接続されるビット線対BL,/BLを通じて、データレジスタ23内のメモリセルへ転送する。
センスアンプSAは、メモリセルC0〜C7と接続される8個のビット線対BL,/BLの共通接続ノードNと接続される共通配線対CL,/CLと接続される。センスアンプSAは、データレジスタ23内のメモリセルのデータの出力時に、オン状態のYゲートに接続されたビット線対BL,/BLの電位差が伝達された1対の共通配線対CL,/CLの電位差を増幅して、データ出力バッファ18またはセンスラッチ部22へ出力する。
(SLSRAM転送の動作)
フラッシュメモリセルアレイ20からデータを読出すときには、フラッシュメモリセルの読出しデータは、センスラッチ部22で増幅された後、データレジスタ23に転送される。以下、この転送をSLSRAM転送という。その後、データレジスタ23内の読出しデータは、センスアンプSAで増幅されて、データ出力バッファ18に転送される。以下、この転送をSRAMIO転送という。
フラッシュメモリセルアレイ20からデータを読出すときには、フラッシュメモリセルの読出しデータは、センスラッチ部22で増幅された後、データレジスタ23に転送される。以下、この転送をSLSRAM転送という。その後、データレジスタ23内の読出しデータは、センスアンプSAで増幅されて、データ出力バッファ18に転送される。以下、この転送をSRAMIO転送という。
以下、SLSRAM転送について説明する。SRAMIO転送については後述する。
SLSRAM転送時には、センスラッチ部22からデータレジスタ23の各マットに同時に読出しデータが転送される。各マットへは、まず上位ビット用のサブマットのメモリセルに読出しデータが転送され、その後下位ビット用のサブマットのメモリセルに読出しデータが転送される。各サブマット内では、メモリセルC0,C1,・・・C7の順に読出しデータが転送される。
SLSRAM転送時には、センスラッチ部22からデータレジスタ23の各マットに同時に読出しデータが転送される。各マットへは、まず上位ビット用のサブマットのメモリセルに読出しデータが転送され、その後下位ビット用のサブマットのメモリセルに読出しデータが転送される。各サブマット内では、メモリセルC0,C1,・・・C7の順に読出しデータが転送される。
図5は、フラッシュメモリセルアレイ20のデータをデータレジスタ23内の全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのメモリセルC2に転送するときのデータレジスタおよび周辺回路群21の動作を説明するための図である。
図5を参照して、上位ビット用のサブマットのメモリセルC2にデータを転送するときには、上位ビット用のサブマットのYゲートY2がオンとなり、書込みドライバWDから上位ビット用のサブマットのメモリセルC2にデータが転送される。
図6は、第1のモードにおけるSLSRAM転送時のタイミングチャートの概略を表わす図である。
図6を参照して、まず、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化される。これによって、第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLのプリチャージを終了する。
また、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化したことに応じて、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「H」レベルに活性化する。
次に、全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのYゲートY0がオンとなり、書込みドライバWDからメモリセルC0にフラッシュメモリの読出しデータが出力されてデータレジスタ23にライトされる。
その後、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化される。これによって、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「L」レベルに非活性化し、その後第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLをプリチャージする。
その後、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化される。これによって、第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLのプリチャージを終了する。また、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化したことに応じて、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「H」レベルに活性化する。
次に、全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのYゲートY1がオンとなり、書込みドライバWDからメモリセルC1にフラッシュメモリの読出しデータが出力されてデータレジスタ23にライトされる。
その後、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化される。これによって、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「L」レベルに非活性化し、その後第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLをプリチャージする。
その後、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化される。これによって、第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLのプリチャージを終了する。また、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化したことに応じて、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「H」レベルに活性化する。
次に、全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのYゲートY2がオンとなり、書込みドライバWDからメモリセルC2にフラッシュメモリの読出しデータが出力されてデータレジスタ23にライトされる。このときに、図6に示すように、メモリセルC2に接続するビット線対BL2,/BL2は、フラッシュメモリの読出しデータに応じたレベルに変化する。
その後、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化される。これによって、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「L」レベルに非活性化し、その後第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLをプリチャージする。
その後、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化される。これによって、第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLのプリチャージを終了する。また、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化したことに応じて、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「H」レベルに活性化する。
以下、全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのYゲートY3〜Y7についても上記の処理が繰返される。
その後、全マットMat0〜Mat7の下位ビット用のサブマットについても以上の処理が繰返される。
なお、図6において、YゲートY2がオンされるサイクルでデータがライトされるが、その他のサイクルにおいても、ビット線対BL,/BLのデータが変化しているのは、ワード線WLが活性化するのでリードデータが出力されるからである。ただし、Y2ゲートがオフであるので、リードデータは共通配線対CL,/CLに伝達されない。
図7は、第2のモードにおけるSLSRAM転送時のタイミングチャートの概略を表わす図である。
図7を参照して、まず、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化される。これによって、第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLのプリチャージを終了する。
また、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化したことに応じて、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「H」レベルに活性化する。
次に、全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのYゲートY0がオンとなり、書込みドライバWDからメモリセルC0にフラッシュメモリの読出しデータが出力されてデータレジスタ23にライトされる。
次に、全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのYゲートY1がオンとなり、書込みドライバWDから全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのメモリセルC1にフラッシュメモリの読出しデータが出力されてデータレジスタ23にライトされる。
次に、全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのYゲートY2がオンとなり、書込みドライバWDから全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのメモリセルC2にフラッシュメモリの読出しデータが出力されてデータレジスタ23にライトされる。このときに、図7に示すように、メモリセルC2に接続するビット線対BL2,/BL2は、フラッシュメモリの読出しデータに応じたレベルに変化する。
次に、全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのYゲートY3、Y4、Y5、Y6についても上記の処理が繰返される。
最後には、全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのYゲートY7がオンとなって、全マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのメモリセルC7に読出しデータが出力された後、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化される。これによって、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「L」レベルに非活性化し、その後第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLをプリチャージする。
その後、下位ビット用のサブマットについても以上の処理が繰返される。
以上のように、第1のモードでは、データレジスタ23に対するアクセスサイクルごとにプリチャージおよびワード線の活性化/不活性化を行なうのに対して、第2のモードでは、データレジスタ23に対する8回(8コラム分)のアクセスごとにプリチャージおよびワード線の活性化/不活性化を行なうので、第2のモードでは、第1のモードよりも消費電力を削減できる。
以上のように、第1のモードでは、データレジスタ23に対するアクセスサイクルごとにプリチャージおよびワード線の活性化/不活性化を行なうのに対して、第2のモードでは、データレジスタ23に対する8回(8コラム分)のアクセスごとにプリチャージおよびワード線の活性化/不活性化を行なうので、第2のモードでは、第1のモードよりも消費電力を削減できる。
(IOSRAM転送の動作)
フラッシュメモリセルアレイ20へデータを書込むときには、外部からの書込みデータは、データ入力バッファ13、入力データ制御回路17を経てデータレジスタ23に転送される。この転送をIOSRAM転送という。その後、データレジスタ23内の書込みデータは、センスラッチ部22を経由してフラッシュメモリセルアレイ20のメモリセルへ転送される。この転送をSRAMSL転送という。
フラッシュメモリセルアレイ20へデータを書込むときには、外部からの書込みデータは、データ入力バッファ13、入力データ制御回路17を経てデータレジスタ23に転送される。この転送をIOSRAM転送という。その後、データレジスタ23内の書込みデータは、センスラッチ部22を経由してフラッシュメモリセルアレイ20のメモリセルへ転送される。この転送をSRAMSL転送という。
以下、IOSRAM転送について説明する。SRAMSL転送については後述する。
IOSRAM転送時には、入力データ制御回路17からデータレジスタ23のマットMat0、Mat1,・・・Mat7の順に書込みデータが転送される。各マットの上位ビット用のサブマットのメモリセルと、下位ビット用のサブマットのメモリセルには同時に書込みデータが転送される。各サブマット内では、メモリセルC0,C1,・・・C7の順に書込みデータが転送される。
IOSRAM転送時には、入力データ制御回路17からデータレジスタ23のマットMat0、Mat1,・・・Mat7の順に書込みデータが転送される。各マットの上位ビット用のサブマットのメモリセルと、下位ビット用のサブマットのメモリセルには同時に書込みデータが転送される。各サブマット内では、メモリセルC0,C1,・・・C7の順に書込みデータが転送される。
図8は、外部からのデータをデータレジスタ23内のあるマット(Mat2)の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのメモリセルC0に転送するときのデータレジスタおよび周辺回路群21の動作を説明するための図である。
図8を参照して、マットMat2の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のメモリセルC0にデータを転送するときには、上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのYゲートY0がオンとなり、書込みドライバWDから上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのメモリセルC0にデータが転送される。
図9は、第1のモードにおけるIOSRAM転送時のタイミングチャートの概略を表わす図である。
図9を参照して、まず、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化される。これによって、第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLのプリチャージを終了する。
また、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化したことに応じて、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「H」レベルに活性化する。
次に、マットMat0の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのYゲートY0がオンとなり、書込みドライバWDからマットMat0の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのメモリセルC0に書込みデータが出力される。その後、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化される。これによって、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「L」レベルに非活性化し、その後第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLをプリチャージする。
その後、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化される。これによって、第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLのプリチャージを終了する。また、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化したことに応じて、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「H」レベルに活性化する。
次に、マットMat1の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのYゲートY0がオンとなり、書込みドライバWDからマットMat1の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのメモリセルC0に書込みデータが出力される。その後、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化される。これによって、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「L」レベルに非活性化し、その後第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLをプリチャージする。
その後、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化される。これによって、第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLのプリチャージを終了する。また、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化したことに応じて、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「H」レベルに活性化する。
次に、マットMat2の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのYゲートY0がオンとなり、書込みドライバWDからマットMat2の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのメモリセルC0に書込みデータが出力される。このときに、図9に示すように、マットMat2の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のメモリセルC0に接続するビット線対BL0/BL0は、書込みデータに応じたレベルに変化する。
次に、残りのマットMat3〜Mat7のYゲートY0についても上記の処理が繰返され、その後さらに、マットMat0〜Mat7のYゲートY1〜Y7についても上記の処理が繰返される。
図10は、第2のモードにおけるIOSRAM転送時のタイミングチャートの概略を表わす図である。
図10を参照して、まず、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化される。これによって、第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLのプリチャージを終了する。
また、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化したことに応じて、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「H」レベルに活性化する。
次に、マットMat0の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのYゲートY0がオンとなり、書込みドライバWDからマットMat0の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのメモリセルC0に書込みデータが出力される。
次に、マットMat1の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのYゲートY0がオンとなり、書込みドライバWDからマットMat1の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのメモリセルC1に書込みデータが出力される。
次に、マットMat2の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのYゲートY0がオンとなり、書込みドライバWDからマットMat2の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのメモリセルC2に書込みデータが出力される。このときに、図10に示すように、マットMat2の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のメモリセルC0に接続するビット線対BL0/BL0は、書込みデータに応じたレベルに変化する。
次に、残りのマットMat3〜Mat7のYゲートY0についても上記の処理が繰返され、その後さらに、マットMat0〜Mat7のYゲートY1〜Y7についても上記の処理が繰返される。
最後のマットMat7の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのYゲートY7がオンとなって、マットMat7の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのメモリセルC7に書込みデータが出力された後、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化される。これによって、ワード線ドライバ24は、ワード線WLを「L」レベルに非活性化し、その後第1のプリチャージ回路PR0〜PR7は、すべてのビット線対BL,/BLをプリチャージする。
以上のように、第1のモードでは、データレジスタ23に対するアクセスサイクルごとにプリチャージおよびワード線の活性化/不活性化を行なうのに対して、第2のモードでは、データレジスタ23に対する64回(8マット×8コラム分)のアクセスごとにプリチャージおよびワード線の活性化/不活性化を行なうので、第2のモードでは、第1のモードよりも消費電力を削減できる。
(SRAMSL転送の動作)
SRAMSL転送のプリチャージのタイミングは、SLSRAM転送のプリチャージのタイミングと基本的に同様である。ただし、SLSRAM転送においては、ライトドライバWDがメモリセルにデータを出力したのに対して、SRAMSL転送では、メモリセルのデータがセンスアンプSAに出力される。
SRAMSL転送のプリチャージのタイミングは、SLSRAM転送のプリチャージのタイミングと基本的に同様である。ただし、SLSRAM転送においては、ライトドライバWDがメモリセルにデータを出力したのに対して、SRAMSL転送では、メモリセルのデータがセンスアンプSAに出力される。
SRAMSL転送時には、まず、データレジスタ23の全マットの上位ビット用のサブマットと下位ビット用のサブマットのメモリセルC0から同時にデータが読出されて、センスアンプSAに送られる。センスアンプSAでは、上位ビット用のデータと下位ビット用のデータを演算し、演算結果に応じて、フラッシュメモリにデータを書込むか、書込まないかを判断し、書込み場合のみセンスラッチにデータを出力する。その後、メモリセルC1、・・・、C7の順番で同様の処理を行なう。
(SRAMIO転送の動作)
SRAMIO転送のプリチャージのタイミングは、IOSRAM転送のプリチャージのタイミングと同様である。ただし、IOSRAM転送においては、ライトドライバWDがメモリセルにデータを出力したのに対して、SRAMIO転送では、メモリセルのデータがセンスアンプSAに出力される。
SRAMIO転送のプリチャージのタイミングは、IOSRAM転送のプリチャージのタイミングと同様である。ただし、IOSRAM転送においては、ライトドライバWDがメモリセルにデータを出力したのに対して、SRAMIO転送では、メモリセルのデータがセンスアンプSAに出力される。
(プリチャージ信号生成回路50の構成)
図11は、プリチャージ信号生成回路50の構成の概略を表わす図である。
図11は、プリチャージ信号生成回路50の構成の概略を表わす図である。
図11を参照して、プリチャージ信号生成回路50は、NAND回路51〜54と、NOR回路55,56と、NAND回路57〜59と、インバータ60,61と、NAND回路62,63と、インバータ64と、NOR回路65と、インバータ66と、インバータ67とを備える。
プリチャージ信号生成回路50は、内部アドレス信号AT<0>〜AT<5>と、内部クロック信号XEPと、モード指定信号CKE_Bと、転送元指定信号SLSRAMとを受ける。
第1のモードが指定されるときには、モード指定信号CKE_Bが「L」レベルとなる。第2のモードが指定されるときには、モード指定信号CKE_Bが「H」レベルとなる。また、SLSRAM転送およびSRAMSL転送が指定されるときには、転送元指定信号SLSRAMが「H」レベルとなる。IOSRAM転送およびSRAMIO転送が指定されたときには、転送元指定信号SLSRAMが「L」レベルとなる。
内部クロック信号XEPは、読出しまたは書込みの1サイクルごとにパルスを含む。
第1のモードが指定されたとき(モード指定信号CKE_Bが「L」レベルのとき)には、プリチャージマスク信号EQBMSKが「L」レベルに非活性化される。これによって、プリチャージマスク信号によるマスクは行なわれず、NOR回路65およびインバータ66によって、内部クロックXEPのパルスによって生成される1サイクルごとにパルスを含むプリチャージ信号/BLEQが出力される。
第1のモードが指定されたとき(モード指定信号CKE_Bが「L」レベルのとき)には、プリチャージマスク信号EQBMSKが「L」レベルに非活性化される。これによって、プリチャージマスク信号によるマスクは行なわれず、NOR回路65およびインバータ66によって、内部クロックXEPのパルスによって生成される1サイクルごとにパルスを含むプリチャージ信号/BLEQが出力される。
第2のモードが指定され(モード指定信号CKE_Bが「H」レベルのとき)、かつSLSRAM転送またはSRAMSL転送が指定されたとき(転送元指定信号SLSRAMが「H」レベルのとき)には、内部アドレス信号AT<3>〜AT<5>によって、サブマット内のコラムアドレスが指定される。指定されたコラムアドレスが最大コラムアドレスでないとき、すなわち内部アドレス信号AT<3>〜AT<5>のいずれかが「L」レベルのときには、プリチャージマスク信号EQB_MSKが「H」レベルに活性化される。これによって、プリチャージマスク信号によって、内部クロックXEPによって生成される1サイクルごとにパルスを含む信号のマスクが行なわれ、内部クロックXEPの変化に係らず、非活性化を示す「H」レベルに固定されたプリチャージ信号/BLEQが出力される。
一方、指定されたコラムアドレスが最大コラムアドレスのとき、すなわち内部アドレス
信号AT<3>〜AT<5>がすべて「H」レベルであるときには、プリチャージマスク信号EQB_MSKが「L」レベルに非活性化される。これによって、プリチャージマスク信号によるマスクが解除され、内部クロックXEPの変化によって生成される1サイクルごとにパルスを含むプリチャージ信号/BLEQが出力される。
信号AT<3>〜AT<5>がすべて「H」レベルであるときには、プリチャージマスク信号EQB_MSKが「L」レベルに非活性化される。これによって、プリチャージマスク信号によるマスクが解除され、内部クロックXEPの変化によって生成される1サイクルごとにパルスを含むプリチャージ信号/BLEQが出力される。
第2のモードが指定され(モード指定信号CKE_Bが「H」レベルのとき)、かつIOSRAM転送またはSRAMIO転送が指定されたとき(転送元指定信号SLSRAMが「H」レベルのとき)には、内部アドレス信号AT<3>〜AT<5>によって、サブマット内のコラムアドレスが指定され、内部アドレス信号AT<0>〜AT<2>によって、8個のマットMat0〜Mat7のうちのいずれか1つが指定される。指定されたマットが最後のマットMat7でないか、または指定されたコラムアドレスが最大コラムアドレスでないとき、すなわち内部アドレス信号AT<0>〜AT<5>のいずれかが「L」レベルのときには、プリチャージマスク信号EQB_MSKが「H」レベルに活性化される。これによって、プリチャージマスク信号によって、内部クロックXEPによって生成される1サイクルごとにパルスを含む信号のマスクが行なわれ、内部クロックXEPの変化に係らず、非活性化を示す「H」レベルに固定されたプリチャージ信号/BLEQが出力される。
一方、指定されたマットが最後のマットMat7であり、かつ指定されたコラムアドレスが最大コラムアドレスのとき、すなわち内部アドレス信号AT<0>〜AT<5>がすべて「H」レベルであるときには、プリチャージマスク信号EQB_MSKが「L」レベルに非活性化される。これによって、プリチャージマスク信号によるマスクが解除され、内部クロックXEPの変化によって生成される1サイクルごとにパルスを含むプリチャージ信号/BLEQが出力される。
また、プリチャージ信号生成回路50は、第1および第2のいずれのモードにおいても、スタンバイ時に、図示しない手段(スタンバイ状態を表わす信号を受ける論理回路からなる)で、活性化を示す「L」レベルのプリチャージ信号/BLEQを出力する。ここで、スタンバイ時とは、不揮発性半導体記憶装置100内で読出しまたは書込みのための処理が行なわれていない状態をいう。
(第2のモードにおけるSLSRAM転送時のタイミングチャートの詳細)
図12は、第2のモードにおけるSLSRAM転送時のタイミングチャートの詳細を表わす図である。
図12は、第2のモードにおけるSLSRAM転送時のタイミングチャートの詳細を表わす図である。
図12を参照して、まず、スタンバイ時、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化される。これによって、内部アドレス信号(AT<0>〜AT<5>以外の信号)で指定されたワード線WLが非活性化され、ビット線対BL,/BLがプリチャージされる。
次に、モード指定信号CKE_Bが「H」レベルとなり、転送元指定信号SLSRAMが「H」レベルとなる。
次に、マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットの先頭(0列目)のコラムを指定する内部アドレス信号(AT<3>〜AT<5>がすべて「L」レベル)が入力されると、プリチャージマスク信号EQB_MSKが「H」レベルに活性化される。これによって、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化される。プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化されると、内部アドレス信号(AT<0>〜AT<5>以外の信号)で指定されたワード線WLが活性化される。
さらに、内部アドレス信号(AT<3>〜AT<5>がすべて「L」レベル)によって、マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットの先頭のコラムに対応するYゲートY0がオンとなり、そのコラムのメモリセルC0にデータが転送される。
以下、順にマットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットの1列目〜6列目のコラムを指定する内部アドレス信号が入力され、そのコラムのYゲートY1〜Y6がオンとなり、そのコラムのメモリセルC1〜C6にデータが転送される。この間、プリチャージマスク信号EQB_MSKが「H」レベルのまま維持され、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化された状態のままである。
マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットのコラム(7列目)を指定する内部アドレス信号(AT<3>〜AT<5>がすべて「H」レベル)が入力されると、マットMat0〜Mat7の上位ビット用のサブマットの7列目のコラムに対応するYゲートY7がオンとなり、そのコラムのメモリセルC7にデータが転送される。
さらに、内部アドレス信号(AT<3>〜AT<5>がすべて「H」レベル)によって、プリチャージマスク信号EQB_MSKが「L」レベルに非活性化され、マスクが解除される。これによって、プリチャージ信号/BLEQは、内部クロックXEPの変化によって生成される1サイクルごとにパルスを含む信号となる。プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化されると、内部アドレス信号で指定されたワード線WLが非活性化され、ビット線対BL,/BLがプリチャージされる。
さらに、マットMat0〜Mat7の下位ビット用のサブマットのメモリセルについても上記の処理が繰返される。
(第2のモードにおけるSRAMSL転送時のタイミングチャートの詳細)
図12のタイミングチャートと同様なので、説明を繰返さない。ただし、SRAMSL転送では、メモリセルのデータがセンスアンプSAに出力される。
図12のタイミングチャートと同様なので、説明を繰返さない。ただし、SRAMSL転送では、メモリセルのデータがセンスアンプSAに出力される。
(第2のモードにおけるIOSRAM転送時のタイミングチャートの詳細)
図13は、第2のモードにおけるIOSRAM転送時のタイミングチャートの詳細を表わす図である。
図13は、第2のモードにおけるIOSRAM転送時のタイミングチャートの詳細を表わす図である。
図13を参照して、まず、スタンバイ時、プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化される。これによって、内部アドレス信号(AT<0>〜AT<5>以外の信号)で指定されたワード線WLが非活性化され、ビット線対BL,/BLがプリチャージされる。
次に、モード指定信号CKE_Bが「H」レベルとなり、転送元指定信号SLSRAMが「L」レベルとなる。
次に、先頭のマットMat0の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットの先頭(0列目)のコラムを指定する内部アドレス信号(AT<0>〜AT<5>がすべて「L」レベル)が入力されると、プリチャージマスク信号EQB_MSKが「H」レベルに活性化される。これによって、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化される。プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化されると、内部アドレス信号(AT<0>〜AT<5>以外の信号)で指定されたワード線WLが活性化される。
さらに、内部アドレス信号(AT<0>〜AT<5>がすべて「L」レベル)によって
、マットMat0の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットの先頭のコラムのYゲートY0がオンとなり、そのコラムのメモリセルC0にデータが転送される。
、マットMat0の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットの先頭のコラムのYゲートY0がオンとなり、そのコラムのメモリセルC0にデータが転送される。
以下、マットMat1、Mat2、・・・Mat7の順に上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットの先頭(0列目)のコラムに対応する内部アドレス信号が入力され、そのコラムのYゲートY0がオンとなり、そのコラムのメモリセルC0にデータが転送される。さらに、1列目のコラムに対しても、マットMat0、Mat2、・・・Mat7の順に内部アドレス信号が入力されて、上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのYゲートY1がオンとなり、上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットのメモリセルC1にデータが転送される。
2列目〜7列目のコラムに対しても、上記の処理を繰返す。この間、プリチャージマスク信号EQB_MSKが「H」レベルのまま維持され、プリチャージ信号/BLEQが「H」レベルに非活性化された状態のままである。
最後のマットMat7の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットの最後のコラム(7列目)を指定する内部アドレス信号(AT<0>〜AT<5>がすべて「H」レベル)が入力されると、マットMat7の上位ビット用のサブマットおよび下位ビット用のサブマットの7列目のコラムに対応するYゲートY7がオンとなり、そのコラムのメモリセルC7にデータが転送される。
さらに、内部アドレス信号(AT<0>〜AT<5>がすべて「H」レベル)によって、プリチャージマスク信号EQB_MSKが「L」レベルに非活性化され、マスクが解除される。これによって、プリチャージ信号/BLEQは、内部クロックXEPの変化によって生成される1サイクルごとにパルスを含む信号となる。プリチャージ信号/BLEQが「L」レベルに活性化されると、内部アドレス信号で指定されたワード線WLが非活性化され、ビット線対BL,/BLがプリチャージされる。
(第2のモードにおけるSRAMIO転送時のタイミングチャートの詳細)
図13のタイミングチャートと同様なので、説明を繰返さない。ただし、SRAMIO転送では、メモリセルのデータがセンスアンプSAに出力される。
図13のタイミングチャートと同様なので、説明を繰返さない。ただし、SRAMIO転送では、メモリセルのデータがセンスアンプSAに出力される。
以上の説明より明らかなように、本発明の実施形態の不揮発性半導体記憶装置100は、データレジスタのメモリセルに対するアクセスのサイクルごとにビット線対をプリチャージする第1のモードと、データレジスタの特定のメモリセルに対するアクセスが行なわれたときにビット線対をプリチャージする第2のモードの2つのモードを選択して動作させることができるので、フレキシブルな使用が可能となる。
(変形例)
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、たとえば以下のような変形例も含む。
本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、たとえば以下のような変形例も含む。
(1) データレジスタ23内の中途のコラムアドレスのコラムからのアクセスの開始
本発明の実施形態では、データレジスタ23のコラムアドレスが最小の先頭のコラムからコラムアドレスが最大の最後のコラムまで順番にデータの読出しおよび書込みを行なうものとして説明したが、これに限定するものではなく、データレジスタ23の中途のコラムアドレスのコラムからデータの読出しおよび書込みを開始してもよい。
本発明の実施形態では、データレジスタ23のコラムアドレスが最小の先頭のコラムからコラムアドレスが最大の最後のコラムまで順番にデータの読出しおよび書込みを行なうものとして説明したが、これに限定するものではなく、データレジスタ23の中途のコラムアドレスのコラムからデータの読出しおよび書込みを開始してもよい。
図11のプリチャージ信号生成回路50は、データレジスタ23の中途のコラムアドレ
スのコラムからデータの読出しおよび書込みを開始する場合でも、スタンバイ時に、第1および第2のいずれのモードにおいても、図示しない手段で、活性化を示す「L」レベルのプリチャージ信号/BLEQを出力する。
スのコラムからデータの読出しおよび書込みを開始する場合でも、スタンバイ時に、第1および第2のいずれのモードにおいても、図示しない手段で、活性化を示す「L」レベルのプリチャージ信号/BLEQを出力する。
また、図11のプリチャージ信号生成回路50は、データレジスタ23の中途コラムアドレスのコラムからデータの読出しおよび書込みを行なう開始する場合でも、第2のモードが指定され、かつSLSRAM転送が指定されたとき、指定されたコラムアドレスが最大コラムアドレスに達すると、プリチャージマスク信号EQB_MSKを「L」レベルに非活性化する。これによって、プリチャージマスク信号によるマスクが解除され、内部クロックXEPの変化によって生成される1サイクルごとにパルスを含むプリチャージ信号/BLEQが出力される。
また、図11のプリチャージ信号生成回路50は、データレジスタ23の中途コラムアドレスのコラムからデータの読出しおよび書込みを行なう開始する場合でも、第2のモードが指定され、かつIOSRAM転送が指定されたとき、指定されたマットが最後のマットMat7であり、指定されたコラムアドレスが最大コラムアドレスに達すると、プリチャージマスク信号EQB_MSKを「L」レベルに非活性化する。これによって、プリチャージマスク信号によるマスクが解除され、内部クロックXEPの変化によって生成される1サイクルごとにパルスを含むプリチャージ信号/BLEQが出力される。
さて、このように、データレジスタ23の中途のコラムアドレスのコラムからデータの読出しおよび書込みが行なわれるのは、どのような場合なのかを説明する。
(a)データレジスタ23内の中途のコラムアドレスのコラムからの読出しの例
図14(a)および(b)は、フラッシュメモリセルアレイ20のページ内のデータをランダムに外部に出力する動作を説明するための図である。
図14(a)および(b)は、フラッシュメモリセルアレイ20のページ内のデータをランダムに外部に出力する動作を説明するための図である。
図14(a)に示すように、まず、フラッシュメモリセルアレイ20のページM内のデータがデータレジスタ23に転送される。
次に、図14(b)に示すように、データレジスタ23内のコラムKのデータがデータ入出力端子を通じて外部へ出力され、その後コラムKと隣接していないコラムLから最後のコラムまで順番にデータをデータ入出力端子を通じて外部へ出力する。
(b) データレジスタ23内の中途のコラムアドレスのコラムへの書込みの例
図15(a)、(b)、(c)は、フラッシュメモリセルアレイ20のページ内のデータをランダムに更新する動作を説明するための図である。
図15(a)、(b)、(c)は、フラッシュメモリセルアレイ20のページ内のデータをランダムに更新する動作を説明するための図である。
図15(a)に示すように、まず、フラッシュメモリセルアレイ20のページM内のデータがデータレジスタ23に転送される。
次に、図15(b)に示すように、外部のデータ入出力端子からのデータによって、データレジスタ23内のコラムKのデータが更新され、その後コラムKと隣接してないコラムLから最後のコラムまでのデータが更新される。
その後、データレジスタ23内のデータがフラッシュメモリのページMへ書込まれる。
その後、データレジスタ23内のデータがフラッシュメモリのページMへ書込まれる。
(2) センスアンプSAに接続される共通配線対CL,/CLのプリチャージ
本発明の実施形態では、共通配線対CL,/CLはプリチャージされることはなかった。
本発明の実施形態では、共通配線対CL,/CLはプリチャージされることはなかった。
しかしながら、共通配線対CL,/CLが読出しサイクルごとにプリチャージされない場合、メモリセルの駆動能力が低いと、現在の読出し対象のメモリセルからデータを読出したときに、1回前の読出し対象のメモリセルから読出されたデータによって生じた共通配線対の電位を現在の読出し対象のメモリセルから読出したデータに応じたものに変化させることができないことがある。以下では、読出しサイクルごとに共通配線対CL,/CLをプリチャージするための構成について説明する。
図16は、変形例のプリチャージ信号生成回路51を表わす図である。
図16を参照して、変形例のプリチャージ信号生成回路51は、図11のプリチャージ信号生成回路50に含まれる回路に加えて、さらにNOR回路71と、インバータ72とを含み、プリチャージ信号/BLEQに加えて、別のプリチャージ信号/BLEQ2を出力する。読出し指定信号READは、データレジスタ23からのデータの読出し時に「L」レベルとなる。これによって、データレジスタ23からの読出し時に、内部クロックXEPの変化によって生成される1サイクルごとにパルスを含むプリチャージ信号/BLEQ2が出力される。
図16を参照して、変形例のプリチャージ信号生成回路51は、図11のプリチャージ信号生成回路50に含まれる回路に加えて、さらにNOR回路71と、インバータ72とを含み、プリチャージ信号/BLEQに加えて、別のプリチャージ信号/BLEQ2を出力する。読出し指定信号READは、データレジスタ23からのデータの読出し時に「L」レベルとなる。これによって、データレジスタ23からの読出し時に、内部クロックXEPの変化によって生成される1サイクルごとにパルスを含むプリチャージ信号/BLEQ2が出力される。
図17は、第2のプリチャージ回路PRRを表わす図である。
図17を参照して、第2のプリチャージ回路PRRは、PチャネルMOSトランジスタP30,P31,P32で構成されている。PチャネルMOSトランジスタP30,P31,P32は、プリチャージ信号/BLEQ2が「L」レベルになると、オン状態となり、その結果両方の共通配線線CLおよび/CLをVDDPの電位にプリチャージされる。
図17を参照して、第2のプリチャージ回路PRRは、PチャネルMOSトランジスタP30,P31,P32で構成されている。PチャネルMOSトランジスタP30,P31,P32は、プリチャージ信号/BLEQ2が「L」レベルになると、オン状態となり、その結果両方の共通配線線CLおよび/CLをVDDPの電位にプリチャージされる。
(3) サブマット内のメモリセルの構成
本発明の実施形態では、データレジスタ23内の各サブマットには、1行8列のメモリセルを含むものとしたが、これに限定されるものではない。各サブマットは、X行(Xは1以上の自然数)のメモリセルを含むものとしてもよく、Y列(Yは1以上の自然数)のメモリセルを含むものとしてもよい。
本発明の実施形態では、データレジスタ23内の各サブマットには、1行8列のメモリセルを含むものとしたが、これに限定されるものではない。各サブマットは、X行(Xは1以上の自然数)のメモリセルを含むものとしてもよく、Y列(Yは1以上の自然数)のメモリセルを含むものとしてもよい。
(4) サブマットの構成
本発明の実施形態では、フラッシュメモリセルアレイ20のメモリセルが2ビットのデータを記憶するのに対応して、データレジスタ23内の各マットが上位ビット用のサブマットと下位ビット用のサブマットを含むものとした。フラッシュメモリセルアレイ20のメモリセルがNビット(Nは1以上の自然数)のデータを記憶する場合には、データレジスタ23内の各マットが、フラッシュメモリセルアレイ20のメモリセルの記憶する各ビットに対応するサブマットをN個含むものとすればよい。
本発明の実施形態では、フラッシュメモリセルアレイ20のメモリセルが2ビットのデータを記憶するのに対応して、データレジスタ23内の各マットが上位ビット用のサブマットと下位ビット用のサブマットを含むものとした。フラッシュメモリセルアレイ20のメモリセルがNビット(Nは1以上の自然数)のデータを記憶する場合には、データレジスタ23内の各マットが、フラッシュメモリセルアレイ20のメモリセルの記憶する各ビットに対応するサブマットをN個含むものとすればよい。
また、本発明の実施形態では、各マットは、フラッシュメモリセルアレイ20のメモリセルが記憶する2ビットに対応して、上位ビット用と下位ビット用の1対のサブマットを含むものとしたが、このような上位ビット用と下位ビット用のサブマットの対をL個(Lは1以上の自然数)備えるものとしてもよい。この場合、データレジスタへの書込み(SLSRAM転送およびIOSRAM転送)時には、L個のサブマットに同時にデータが書込まれ、データレジスタからの読出し(SRAMSL転送およびSRAMIO転送)時には、L個のサブマットから同時にデータが読み出される。
(5) マットの数、バンクの数、バスのビット構成
本発明の実施の形態で説明したマットの数、バンクの数、センスラッチ部22とデータレジスタ23の間のバスのビット構成、入力データ制御回路17とデータレジスタ23の間のバスのビット構成、およびデータ出力バッファ18とデータレジスタ23との間のバスのビット構成は、一例であって、これに限定されるものではない。
本発明の実施の形態で説明したマットの数、バンクの数、センスラッチ部22とデータレジスタ23の間のバスのビット構成、入力データ制御回路17とデータレジスタ23の間のバスのビット構成、およびデータ出力バッファ18とデータレジスタ23との間のバスのビット構成は、一例であって、これに限定されるものではない。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
11 ページアドレスバッファ、12 マルチプレクサ、13 データ入力バッファ、14 制御信号バッファ、15 読み/書き/消去制御回路、16 列アドレスカウンタ、17 入力データ制御回路、18 データ出力バッファ、19 Xデコーダ、20 フラッシュメモリセルアレイ、21 データレジスタおよび周辺回路群、22 センスラッチ部、23 データレジスタ、24 ワード線ドライバ、25 Yデコーダ、26 Yゲート部、27 書込みドライバ部、28 センスアンプ部、100 不揮発性半導体記憶装置、PR0〜PR7 第1のプリチャージ回路、PRR 第2のプリチャージ回路、C0〜C7 メモリセル、Y0〜Y7 Yゲート、WD 書込みドライバ、SA センスアンプ、51,52,53,54,57,58,59,62,63 NAND回路、55,56,65,71 NOR回路、60,61,64,67,72 インバータ、P11,
P12,P13,P14,P15,P16,P17,P30,P31,P32 PチャネルMOSトランジスタ、N11,N12 NチャネルMOSトランジスタ。
P12,P13,P14,P15,P16,P17,P30,P31,P32 PチャネルMOSトランジスタ、N11,N12 NチャネルMOSトランジスタ。
Claims (9)
- 複数のメモリセルを含む不揮発性メモリセルアレイと、
前記不揮発性メモリセルアレイからの読出しデータおよび前記メモリセルアレイへの書込みデータを一時的に保持する、複数のメモリセルで構成されるデータレジスタと、
前記第1のモードにおいて、前記データレジスタに対する読出しまたは書込みの1サイクルごとにパルスを含む第1の信号を出力し、第2のモードにおいて、前記データレジスタの所定のメモリセル以外のメモリセルに対する読出しまたは書込みが指定された場合に、前記データレジスタに対する読出しまたは書込みの1サイクルごとにパルスを含む信号をマスクした第1の信号を生成する信号生成回路と、
前記第1の信号の活性化に応じて、前記データレジスタのメモリセルと接続されるビット線対をプリチャージする第1のプリチャージ回路とを備え、
前記信号生成回路は、前記第2のモードにおいて、前記データレジスタの前記所定のメモリセルに対する読出しまたは書込みが指定されたときに、前記マスクを解除する、不揮発性半導体記憶装置。 - 前記データレジスタ内のメモリセルの列方向の位置は、コラムアドレスで指定され、
前記所定のメモリセルは、コラムアドレスが最大のメモリセルである、請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記不揮発性半導体記憶装置は、
前記データレジスタのメモリセルと接続されるワード線の活性化を制御するワード線ドライバを備え、
前記ワード線ドライバは、前記第1の信号の活性化に応じて、前記ワード線を非活性化する、請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記データレジスタを構成するメモリセルは、SRAMセルである、請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記不揮発性半導体記憶装置は、さらに、
前記データレジスタの複数のビット線対の共通接続ノードに接続する共通配線対と接続するセンスアンプと、
指定されたコラムアドレスに対応するビット線対と、前記センスアンプとを接続するYゲートとを備えた、請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記センスアンプと接続する共通配線対をプリチャージする第2のプリチャージ回路を備え、
前記信号生成回路は、さらに第1および第2のモードにおいて、前記データレジスタに対する読出しの1サイクルごとにパルスを含む第2の信号を出力し、
前記第2のプリチャージ回路は、前記第2の信号の活性化に応じて、前記センスアンプと接続する共通配線対のプリチャージを行なう、請求項5記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記信号生成回路は、前記第2のモードにおいて、
スタンバイ時に、活性化された第1の信号を出力し、
前記データレジスタの最小のコラムアドレス以外のコラムアドレスのコラムから読出しまたは書込みのアクセスが開始されたときでも、前記指定されたコラムアドレスが最大に達した場合に前記マスクを解除する、請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記不揮発性半導体記憶装置は、さらに、
前記不揮発性メモリアレイからの読出しデータを保持するセンスラッチを備え、
前記不揮発性メモリアレイのメモリセルは、Nビット(Nは1以上の自然数)のデータを保持し、
前記データレジスタは、M個(Mは2以上の自然数)のマットに分割され、
前記各マットは、前記Nビットに対応してN個のサブマットを含み、
前記各サブマット内のメモリセルの列方向の位置は、1番目〜K番目(Kは2以上の自然数)のコラムアドレスで指定され、
前記センスラッチは、
前記センスラッチは、M個の各マット内の指定された順番のサブマット内の指定されたコラムアドレスのメモリセルに、前記読出しデータを同時に転送し、
前記所定のメモリセルは、コラムアドレスがK番目のメモリセルである、請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記不揮発性半導体記憶装置は、さらに、
外部からのNビット(Nは1以上の自然数)の書込みデータの前記データレジスタへの転送を制御する入力制御回路を備え、
前記不揮発性メモリアレイは、Nビットのデータを保持し、
前記データレジスタは、M個(Mは2以上の自然数)のマットに分割され、
前記各マットは、前記Nビットに対応してN個のサブマットを含み、
前記各サブマット内のメモリセルの列方向の位置は、1番目〜K番目(Kは2以上の自然数)のコラムアドレスで指定され、
前記入力制御回路は、指定された順番のマット内のN対のサブマット内の指定されたコラムアドレスのメモリセルに、前記書込みデータを同時に転送し、
前記所定のメモリセルは、M番目のマットのコラムアドレスがK番目のメモリセルである、請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。
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