JP2007198970A - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007198970A JP2007198970A JP2006019406A JP2006019406A JP2007198970A JP 2007198970 A JP2007198970 A JP 2007198970A JP 2006019406 A JP2006019406 A JP 2006019406A JP 2006019406 A JP2006019406 A JP 2006019406A JP 2007198970 A JP2007198970 A JP 2007198970A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- gas
- sensor element
- detection
- base metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 169
- 239000010953 base metal Substances 0.000 claims abstract description 108
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 70
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 70
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 67
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims abstract description 54
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims abstract description 54
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 80
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 37
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 36
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims description 34
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 7
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 86
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 abstract description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 119
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 68
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 37
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 21
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 16
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 15
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 14
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 11
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 7
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 6
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 4
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 3
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 2
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 2
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
【解決手段】酸素センサ2に備えられるセンサ素子4は、第1センサリード部523が卑金属部567を備えて形成されており、貴金属で形成されるセンサ素子に比べて、当該部分の材料費を抑えることができ、製造コストが安価になる。センサ素子4は、先端側緻密部566および検知側ビア導体563を備えることで、卑金属部567にガス(酸素など)が到達するのを阻止できる。これにより、第1センサリード部523が卑金属部567を備えて形成された場合でも、卑金属部567の酸を防止できる。酸素センサ2は、第1センサリード部523が安価に形成できると共に卑金属部567が酸化しがたいセンサ素子4を備えることから、コスト低減を図ることができると共に耐酸化性に優れる。
【選択図】図2
Description
このように、ガス不透過性を有する検知側メッキ部を備えることで、外部ガスが検知側取出部を介して検知側リード部に到達するのを防止できる。つまり、検知側取出部を介してガスが卑金属部に到達するのを、後端側緻密部に加えて検知側メッキ部によっても抑制できることから、卑金属部にガスが到達するのをより確実に防止できる。
このように、先端側緻密部および後端側緻密部を、卑金属および貴金属の合金で形成することで、貴金属の使用量を抑制しつつ、代わりに安価な卑金属を使用することができる。
次に、上述のガスセンサにおいては、センサ素子は、通電により発熱する発熱部と、耐酸化性を有し、少なくとも一部がセンサ素子の外部に露出する一対のヒータ取出部と、一端が発熱部に電気的に接続されると共に、他端がヒータ取出部に電気的に接続される一対のヒータリード部と、を備えており、一対のヒータリード部は、卑金属を主体に形成されると共に測定対象ガスに接触しない気密状態でセンサ素子の内部に埋設された一対のヒータ用卑金属部と、耐酸化性およびガス不透過性を有する緻密体からなり、ヒータ用卑金属部よりもヒータ取出部に近い側に形成される一対のヒータ用緻密部と、を備えるように、構成しても良い。
また、「ヒータリード部」は、その形態は特に限定されず、例えば、ヒータリード部全体が同一平面上に配設される形態でもよく、あるいは、センサ素子の内部において三次元的に配設される形態でもよい。また、「ヒータリード部」の個数は、一対に限られることはなく、二対以上を備える形態であってもよい。二対以上のヒータリード部を備える場合、それらの全てに本発明を適用してもよく、あるいは、一部に本発明を適用してもよい。
このように、ガス不透過性を有するヒータ用メッキ部を備えることで、外部ガスがヒータ取出部を介してヒータリード部に到達するのを防止できる。つまり、ヒータ取出部を介してガスがヒータ用卑金属部に到達するのを、ヒータ用緻密部に加えてヒータ用メッキ部によっても抑制できることから、ヒータ用卑金属部にガスが到達するのをより確実に防止できる。
なお、本実施形態では、ガスセンサの一種であって、自動車や各種内燃機関における各種制御(例えば、空燃比フィードバック制御など)に使用するために、測定対象ガス(排ガス)中の特定ガス(酸素)を検出する検出素子(センサ素子)が組み付けられるとともに、内燃機関の排気管に装着される酸素センサ2について説明する。
酸素センサ2は、排気管に固定するためのネジ部103が外表面に形成された筒状の主体金具102と、軸線方向(図中上下方向)に延びる板状形状をなすセンサ素子4と、センサ素子4の径方向周囲を取り囲むように配置される筒状のセラミックスリーブ6と、軸線方向に貫通するコンタクト挿通孔84の内壁面がセンサ素子4の後端部の周囲を取り囲む状態で配置される絶縁コンタクト部材82と、センサ素子4と絶縁コンタクト部材82との間に配置される4個のリードフレーム10と、を備えている。
センサ素子4は、多孔質保護層25と、第1アルミナ層513と、固体電解質層515と、第2アルミナ層517と、第3アルミナ層519とを備えて構成される。なお、多孔質保護層25、第1アルミナ層513、固体電解質層515、第2アルミナ層517、第3アルミナ層519は、この順序で積層されている。
第1アルミナ層513の先端側(図2における左側)の所定位置には、測定対象ガスを検知電極部521へ通過させるための検知用開口部514(直径約2.5mm)が形成されている。
このように、センサ素子4は、基準電極部525に汲み込まれた酸素の一部を、第2センサリード部527、基準側内部ビア導体559、基準側ビア導体564、基準側センサ電極パッド32を通じて外部に放出することが可能となる。このことから、何らかの要因により基準電極部525に対して酸素が過剰に組み込まれた場合には、過剰分の酸素を外部に放出できる。よって、センサ素子4は、基準電極部525における酸素圧力が過度に上昇するのを抑制でき、酸素圧力の上昇に伴うセンサ素子の破損が生じがたくなる。
まず、焼成後に第1〜第3アルミナ層513,517,519となる第1〜第3未焼成アルミナシートを作製する。具体的には、アルミナ粉末(純度99.99%以上、平均粒径0.3μm)97wt%と、イットリア5.4mol%共沈型ジルコニア(純度99%以上、平均粒径0.3mm)3wt%のセラミック粉末100質量部に対して、ブチラール樹脂14質量部と、ジブチルフタレート7質量部とをさらに加えて配合し、更にトルエン及びメチルエチルケトンからなる混合溶媒を混合して、スラリーとする。そして、これをドクターブレード法によりシート状とし、トルエン及びメチルエチルケトンを揮発させて、第1〜第3未焼成アルミナシートを作製する。更に、第1未焼成アルミナシートにはビアホール512および検知用開口部514をそれぞれ穿孔し、第3未焼成アルミナシートにはヒータ用ビアホール520を穿孔する。
具体的には、上記の第2導電性ペーストを、第1未焼成アルミナシートの後端側に形成した2つのビアホール512のうち検知側ビアホール561に充填印刷し、未焼成ビア導体を形成する。
具体的には、タングステン粉末100質量部と、アルミナ粉末(純度99.99%以上、平均粒径0.3μm)6質量部と、エトセルバインダー6質量部と、を配合し、更にブチルカルビトールを溶媒として混合して、第5導電性ペーストとする。そして、第5導電性ペーストを、第1未焼成アルミナシートの一方の面(表面となる面)に、検知側ビア導体563となる未焼成ビア導体を覆うように所定形状に印刷し、乾燥させて、電極パッドパターンを形成する。
具体的には、上記の第3導電性ペーストを、第3未焼成アルミナシートの一方の面(表面となる面)に印刷し、乾燥させて、発熱パターンを形成する。また、第3導電性ペーストを、第3未焼成アルミナシートの一方の面(表面となる面)に印刷し、乾燥させて、ヒータリードパターンを形成する。
具体的には、上記の第5導電性ペーストを、第3未焼成アルミナシートの一方の面(裏面となる面)に、焼成後にヒータ用ビア導体555となる未焼成ビア導体を覆うように所定形状に印刷し、乾燥させて、ヒータ電極パッドパターンを形成する。
そして、センサ素子4は、図1に示すように、先端側(図1における下方)の検出部8が排気管に固定される主体金具102の先端より突出すると共に、後端側の電極端子部30,32,34,36が主体金具102の後端より突出した状態で、主体金具102の内部に固定される。
また、第3アルミナ層519がヒータ被覆絶縁層に相当し、2つのヒータ用ビアホール520がヒータ用ビアホールに相当し、ヒータ電極パッド34,36のメッキ層569がヒータ用メッキ部に相当する。
このようにメッキ層558を備えることで、外部ガスが検知側センサ電極パッド30を介して検知側ビア導体563および第1センサリード部523に到達するのを防止できる。つまり、検知側センサ電極パッド30を介してガスが卑金属部567に到達するのを、検知側ビア導体563に加えてメッキ層558によっても抑制できることから、卑金属部567にガスが到達するのをより確実に防止できる。
このように、メッキ層569を備えることで、外部ガスがヒータ電極パッド34,36を介してヒータリード部537に到達するのを、ヒータ用ビア導体555に加えてメッキ層569によっても抑制できることから、卑金属を主体とするヒータリード部537にガスが到達するのをより確実に防止できる。
例えば、センサ素子は、上記実施形態(以下、第1実施形態とも言う)のセンサ素子4に限られることはなく、基準側電極部と基準側緻密部との間の電流経路(基準側リード部)に接続されるガス放出路を備える構成のセンサ素子を用いても良い。
第2センサ素子5の概略構造を表す分解斜視図を、図3に示す。なお、第1実施形態のセンサ素子4と同様の構成要素については、同一符号を付している。
よって、第2センサ素子5を備える酸素センサは、基準電極部525への酸素供給量が過剰となる虞がある用途においても、酸素圧力の過剰な上昇を防止することができ、センサ素子の破損を防止しつつ酸素検知が可能な構成となる。
図4に示すように、第3センサ素子7は、第1実施形態のセンサ素子4に比べて、第2センサリード部527に対してガス放出部572が付加されて形成されている。つまり、第2センサリード部527は、ガス放出部572と一体に構成されており、ガス放出部572の後端部は、第3センサ素子7の後端面で外部に露出する状態で形成されている。
Claims (8)
- 測定対象ガスに含まれる特定ガスを検出するための板状のセンサ素子を備えるガスセンサであって、
前記センサ素子は、
酸素イオン導電性を有する固体電解質体と、
耐酸化性を有し多孔質状をなすと共に、前記固体電解質体を介して対向する検知側電極部および基準側電極部と、
耐酸化性を有し、少なくとも一部が前記センサ素子の外部に露出する検知側取出部および基準側取出部と、
一端が前記検知側電極部に電気的に接続されると共に、他端が前記検知側取出部に電気的に接続される検知側リード部と、
耐酸化性を有し、一端が前記基準側電極部に電気的に接続されると共に、他端が前記基準側取出部に電気的に接続される基準側リード部と、
を有しており、
前記基準側電極部は、前記センサ素子の内部に閉塞されて、前記固体電解質体を介して酸素が組み込まれることで内部酸素基準部として機能するものであり、
前記検知側リード部は、
卑金属を主体に形成されると共に前記測定対象ガスに接触しない気密状態で前記センサ素子の内部に埋設された卑金属部と、
耐酸化性およびガス不透過性を有する緻密体からなり、前記卑金属部よりも前記検知側電極部に近い側に形成される先端側緻密部と、
耐酸化性およびガス不透過性を有する緻密体からなり、前記卑金属部よりも前記検知側取出部に近い側に形成される後端側緻密部と、を備えること、
を特徴とするガスセンサ。 - 前記センサ素子は、
前記卑金属部を覆う絶縁性材料からなる検知側絶縁層を備えており、
前記検知側取出部は、前記検知側絶縁層のうち前記卑金属部に対向する面の反対側の面に形成されており、
前記検知側絶縁層は、前記卑金属部に対向する面から前記検知側取出部が形成される面にかけて貫通するビアホールを備えており、
前記後端側緻密部は、前記ビアホールの内部に形成されること、
を特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。 - 前記基準側リード部は、ガス不透過性を有する緻密体として形成される基準側緻密部を備えており、
前記センサ素子は、
ガス透過性を有し、一端が前記基準側リード部のうち前記基準側緻密部よりも前記基準側電極部に近い部分に接続され、他端が当該センサ素子の後端部から外部に露出して形成されるガス放出路を備えること、
を特徴とする請求項1または2に記載のガスセンサ。 - 前記検知側取出部は、外表面にガス不透過性を有する検知側メッキ部を備えること、
を特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のガスセンサ。 - 前記先端側緻密部および前記後端側緻密部は、卑金属および貴金属の合金で形成されること、
を特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のガスセンサ。 - 前記センサ素子は、
通電により発熱する発熱部と、
耐酸化性を有し、少なくとも一部が前記センサ素子の外部に露出する一対のヒータ取出部と、
一端が前記発熱部に電気的に接続されると共に、他端が前記ヒータ取出部に電気的に接続される一対のヒータリード部と、
を備えており、
前記一対のヒータリード部は、
卑金属を主体に形成されると共に前記測定対象ガスに接触しない気密状態で前記センサ素子の内部に埋設された一対のヒータ用卑金属部と、
耐酸化性およびガス不透過性を有する緻密体からなり、前記ヒータ用卑金属部よりも前記ヒータ取出部に近い側に形成される一対のヒータ用緻密部と、を備えること、
を特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のガスセンサ。 - 前記センサ素子は、
前記発熱部および前記一対のヒータ用卑金属部を覆う絶縁性材料からなるヒータ被覆絶縁層を備えており、
前記一対のヒータ取出部は、前記ヒータ被覆絶縁層のうち前記一対のヒータ用卑金属部に対向する面の反対側の面に形成されており、
前記ヒータ被覆絶縁層は、前記一対のヒータ用卑金属部に対向する面から前記一対のヒータ取出部が形成される面にかけて貫通するヒータ用ビアホールを備えており、
前記一対のヒータ用緻密部は、前記ヒータ用ビアホールの内部に形成されること、
を特徴とする請求項6に記載のガスセンサ。 - 前記ヒータ取出部は、外表面にガス不透過性を有するヒータ用メッキ部を備えること、
を特徴とする請求項6または請求項7に記載のガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006019406A JP4791834B2 (ja) | 2006-01-27 | 2006-01-27 | ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006019406A JP4791834B2 (ja) | 2006-01-27 | 2006-01-27 | ガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007198970A true JP2007198970A (ja) | 2007-08-09 |
JP4791834B2 JP4791834B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=38453712
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006019406A Expired - Fee Related JP4791834B2 (ja) | 2006-01-27 | 2006-01-27 | ガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4791834B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012032380A (ja) * | 2010-07-09 | 2012-02-16 | Denso Corp | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
JP2013096888A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | スクリーン印刷用電極ペースト及びそれを用いた電極の製造方法 |
JP2013530396A (ja) * | 2010-06-04 | 2013-07-25 | デルファイ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 低コスト同時焼成センサ加熱回路 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01194282A (ja) * | 1988-01-28 | 1989-08-04 | Ngk Insulators Ltd | セラミック・ヒータ及び電気化学的素子並びに酸素分析装置 |
JP2002228625A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-08-14 | Ibiden Co Ltd | 酸素センサー |
JP2003075395A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Ibiden Co Ltd | 酸素センサー |
JP2004294455A (ja) * | 2004-07-26 | 2004-10-21 | Ngk Insulators Ltd | ガスセンサ |
JP2005005057A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Kyocera Corp | セラミックヒータ、並びにセラミックヒータ構造体 |
JP2005153449A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Kyocera Corp | セラミック成形体の接合方法およびガスセンサ素子の製造方法 |
JP2005189209A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | センサ及びセンサ素子の製造方法 |
-
2006
- 2006-01-27 JP JP2006019406A patent/JP4791834B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01194282A (ja) * | 1988-01-28 | 1989-08-04 | Ngk Insulators Ltd | セラミック・ヒータ及び電気化学的素子並びに酸素分析装置 |
JP2002228625A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-08-14 | Ibiden Co Ltd | 酸素センサー |
JP2003075395A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-12 | Ibiden Co Ltd | 酸素センサー |
JP2005005057A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Kyocera Corp | セラミックヒータ、並びにセラミックヒータ構造体 |
JP2005153449A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Kyocera Corp | セラミック成形体の接合方法およびガスセンサ素子の製造方法 |
JP2005189209A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | センサ及びセンサ素子の製造方法 |
JP2004294455A (ja) * | 2004-07-26 | 2004-10-21 | Ngk Insulators Ltd | ガスセンサ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013530396A (ja) * | 2010-06-04 | 2013-07-25 | デルファイ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 低コスト同時焼成センサ加熱回路 |
JP2012032380A (ja) * | 2010-07-09 | 2012-02-16 | Denso Corp | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
JP2013096888A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | スクリーン印刷用電極ペースト及びそれを用いた電極の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4791834B2 (ja) | 2011-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6059110B2 (ja) | センサ素子およびセンサ | |
JP4430591B2 (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP4570091B2 (ja) | 積層型ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP4897912B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP4739042B2 (ja) | ガスセンサ及びその製造方法 | |
JP6186051B1 (ja) | ガスセンサ | |
JP4383897B2 (ja) | 積層型ガスセンサ素子の製造方法 | |
JP6209126B2 (ja) | ヒータ、ガスセンサ素子およびガスセンサ | |
JP4763381B2 (ja) | セラミックヒータ素子、ヒータ付属ガスセンサ素子、温度センサ素子、およびガスセンサ | |
JP4791877B2 (ja) | ヒータ付きガスセンサ素子、ガスセンサ素子、ヒータ素子、及び、ガスセンサ | |
JP4791834B2 (ja) | ガスセンサ | |
CN109425645B (zh) | 气体传感器元件以及气体传感器 | |
JP6227300B2 (ja) | ヒータおよびガスセンサ素子 | |
JP2019158554A (ja) | センサ素子及びガスセンサ | |
JP2018004652A (ja) | ガスセンサ | |
JP4494283B2 (ja) | ガスセンサおよびガスセンサの製造方法 | |
JP6560099B2 (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP4621186B2 (ja) | センサ用ヒータおよびセンサ | |
JP7156981B2 (ja) | センサ素子およびガスセンサ | |
JP6891143B2 (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP4681519B2 (ja) | 多孔質シート製造方法 | |
JP2007232598A (ja) | 温度センサ | |
JP5115247B2 (ja) | ガスセンサ素子 | |
JP4705005B2 (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP4422581B2 (ja) | ガスセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081104 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110513 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110628 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110722 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140729 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4791834 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140729 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |