JP2007188818A - シャドウマスクの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】シャドウマスクを形成する際に、金属薄板からシャドウマスク部材をピッキング等によって切断分離しやすくするために、短辺外枠線部分をあらかじめエッチングによって貫通するように形成すると、シャドウマスク部材が垂れ下がり搬送ローラー等に引っ掛かる虞があったが、このような障害を抑制して高品位なシャドウマスクが得られるシャドウマスクの製造方法を提供する。
【解決手段】シャドウマスクの製造方法において、金属薄板の有効部１９に隣接する短辺側外枠部に、エッチングによって金属薄板の板厚よりも薄い余肉部２４を形成し、この余肉部２４部分でシャドウマスク部材を金属薄板より切断分離するようにした。
【選択図】図８

Description

本発明は、フォトエッチング法を用いたカラー陰極線管用シャドウマスクの製造方法に関する。

一般に、カラーテレビジョン受像機やカラー端末ディスプレイ等に使用されているカラー陰極線管は、図１２に示すように、画面が略矩形状を呈するフェースパネル５１と、このフェースパネル５１に一体的に接合されたファンネル５２を有する外囲器を有している。このフェースパネル５１の内面には、青、緑、赤に発光する３色蛍光体層を有するブラックマトリクス形またはブラックストライプ形の蛍光体スクリーン５３が形成されている。また、外囲器内には、この蛍光体スクリーン５３に対向して、センタービーム５４Ｇ及び一対のサイドビーム５４Ｂ，５４Ｒからなる電子ビーム５４が通過し、色選別を行うためのシャドウマスク５５が配置されている。このシャドウマスク５５は、マスクフレーム５６に固定されると共に、このマスクフレーム５６は、フェースパネル５１の内側面にスタッドピン（図示せず）を介して取着され、またマスクフレーム５６には、磁気シールド板５７も取着されている。

更に、ファンネル５２のネック５８内には、電子ビーム５４Ｂ，５４Ｇ，５４Ｒを放出する、例えばインライン型の電子銃５９が配設されている。この電子銃５９から放出された電子ビーム５４Ｂ，５４Ｇ，５４Ｒを、ファンネル５２の外側に装着された偏向ヨーク６０の発生する磁界によって偏向し、電子ビーム５４Ｂ，５４Ｇ，５４Ｒにて蛍光体スクリーン５３を水平、垂直方向に走査することによって、蛍光体スクリーン５３上にカラー画像を再生表示している。

この偏向ヨーク６０は、水平偏向コイルにて発生する水平偏向磁界をピンクッション形に、垂直偏向コイルにて発生する垂直偏向磁界をバレル形とする非斉一磁界として３電子ビーム５４Ｂ，５４Ｇ，５４Ｒを自己集中させるセルフコンバーゼンス方式が採用されている。

上記シャドウマスク５５は、図１３に示すように、略矩形状の金属薄板６１に、多数の電子ビーム通過孔６２が穿設された構成となっている。この電子ビーム通過孔６２の開孔形状には、大別して円形状のドットタイプと、矩形状のスリットタイプの２種類があり、電子銃５９側を小孔６３、蛍光体スクリーン５３側を大孔６４とする連通孔６５から構成されている。主に文字や図形を表示するディスプレイ用のカラー陰極線管には、主として円形状のドットタイプの電子ビーム通過孔６２を有するシャドウマスク５５が用いられ、カラーテレビジョン受像機等の民生用のカラー陰極線管には、主として矩形状のスリットタイプの電子ビーム通過孔６２を有するシャドウマスク５５が用いられている。

このシャドウマスク５５には、プレス成形により所定の曲面に形成した後にフレームに溶接等で固定されるプレス方式と、フラットマスクが短軸方向あるいは短軸と長軸の両方向にフレームによって張力を与えられた状態で固定されるテンション方式に大別される。

このプレス方式のシャドウマスク５５は、一般にフォトエッチング法によって製造されている。

即ち、図１４に示すように、シャドウマスク５５の基材となる金属薄板６１を脱脂処理手段に供給して、金属薄板６１の表面を脱脂洗浄した後に水洗し、その両面に感光剤を塗布して膜厚７〜８μｍ程度のフォトレジスト被膜を形成する。

次に、この両面のフォトレジスト被膜にシャドウマスク５５を構成する大孔６４及び小孔６３に対応するパターンが形成された一対のフォトマスクを、真空密着焼付装置を用いて装着するとともに露光して、両面のフォトレジスト被膜にフォトマスクのパターンを焼付ける。

次いで、このパターンの焼付けられたフォトレジスト被膜を温水で現像して未感光部を除去し、連通孔６５を形成しようとする部分のマスク素材面が露出したレジストパターンを形成する。

次に、このレジストパターンを約２００℃でベーキングして、その後に行われるエッチングの耐蝕性を高める。次にレジストパターンの形成された金属薄板６１素材面の両面に、６０℃以上に加熱された塩化第２鉄溶液からなるエッチング液をスプレーして、金属薄板６１の一方の面から大孔６４を、他方の面から小孔６３をエッチングし、これら大孔６４と小孔６３とが連通した連通孔６５を形成する。

その後、金属薄板６１の両面に残存するレジスト被膜を剥離除去して、所定の形状にプレス成形することにより、シャドウマスクが製造される。

これらシャドウマスク５５のいずれも、図１３に示すように、基本的には、電子ビーム通過孔６２を形成する開孔部分の断面形状は、金属薄板６１の蛍光体スクリーン５３と対向する面側に形成された大孔６４と、電子銃５９と対向する反対面側に形成された小孔６３を有し、これら大孔６４及び小孔６３が連通した連通孔６５として電子ビーム通過孔６２が構成されており、この電子ビーム通過孔６２は、その大孔６４と小孔６３との互いの底部が繋がる合致点６６が、実質的に電子ビーム通過孔６２としての開孔径を決定している。

カラー陰極線管の蛍光体スクリーン５３は、シャドウマスク５５をフォトマスクとしてフォトリソグラフィー法によって形成されるため、この蛍光体スクリーン５３を構成するブラックマトリクスのマトリクスホールやドット状の３色蛍光体層の寸法や形状が、シャドウマスク５５の開孔寸法や形状に大きく依存している。シャドウマスク５５の開孔寸法や形状のばらつきが、そのまま表示される画像の斑として現れ、画像品位を損なうために、高精細化及び高品質化への強い要求に伴ってシャドウマスク５５の開孔寸法の微細化や開孔寸法のばらつきの低減化が計られている。特にカラーディスプレイ用のカラー陰極線管において、このような要求が強い。

また、カラーテレビジョン受像機等の民生用のカラー陰極線管では、画面の大形化が進み、且つ外光の反射が少なく画像歪の少ない平坦な画面を有するフラットスクエア（Ｆｌａｔ Ｓｑｕａｒｅ）管が、現在の主流をなしている。しかも最近では、画像を表示するフェースパネル５１の外表面を、板ガラスと同様の略完全なフラット形状とした完全フラット管がカラー陰極線管の主流をなしている。

一般に、蛍光体スクリーン５３と対向するシャドウマスク５５の有孔面は、フェースパネル５１の内面形状に対応した形状に形成され、フラットスクエア管のシャドウマスク５５は、従来のカラー陰極線管のシャドウマスク５５よりもマスク曲率が小さい（曲率半径が大きい）が、完全フラット管では、更にその曲率を小さくすることによってフラット化を達成している。

これらのシャドウマスク５５は、板厚０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ程度の非常に薄い金属薄板６１から製造されている。このような金属薄板６１で大画面対応のシャドウマスク５５を形成するためには、電子ビーム通過孔６２の配列状態、及びフェースパネル５１の内面形状等を考慮しながら、可能な限りシャドウマスク５５の曲面を球面に近づけるように設計する等して、長期間に亘りシャドウマスク５５の曲面が維持できるように種々の工夫がなされている。

更に、このようなシャドウマスク５５を２枚の金属薄板６１を全面に、あるいは中央部等に部分的に重ね合わせたプレス方式重畳型シャドウマスクが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

この方式によれば、シャドウマスクの機械的強度を維持したままで重畳される各々の金属薄板を薄肉化することにある。また、主シャドウマスクに重畳される補助マスクの長軸端外枠部は、重畳させる主シャドウマスクの電子ビームに干渉しないようにする必要があり、このため、補助マスクの長軸端外枠部の端面エッチング（ピッキング）時の板厚方向の突部を少なくなるように形成することが望ましい。

しかしながら、主シャドウマスクの長軸方向がシャドウマスク形成時における搬送ローラー上の進行方向（通板方向）とが平行となる場合において、補助マスクも主シャドウマスクと同じ向きとして電子ビーム通過孔をエッチング処理等によって形成する必要があるが、外枠線部分全体をエッチング除去しておくと、補助マスクのマスク部分が垂れ下がり、この部分が製造工程の搬送ローラー等に引っ掛かって製品不良となったり製品を製造することができない等の問題があった。

これを改善するためには、外枠線部分に保持部材を設けるようにすることが考えられるが、開孔と外枠線までは開孔間の距離（１ピッチ）の半分の距離（１／２ピッチ）しかなく、保持部の強度が強過ぎるとピッキング（破り取り）時に有孔部を破損させてしまうという問題があった。

一方、テンション方式のシャドウマスクは、シャドウマスク自身では曲面を保持する必要がないため、金属薄板の板厚が一般的なプレス方式に対して薄くすることが可能である。また、一般にはフレームへの固定は長辺のみで行なわれるために、プレス方式のようにシャドウマスクの全周に同じような長さのスカート部を持たず、短辺の長軸方向最外列のスロット列と外枠部の距離が短く形成されている。

このようにシャドウマスクを形成する際には、帯状の金属薄板に複数のシャドウマスクをパターニングしてエッチング処理を行なうことにより、有孔部の開孔やシャドウマスク部剤を金属薄板に保持しておくための保持部分を除いた外枠線部分はエッチングによって貫通させておき、シャドウマスク形成工程の最後に保持部をピッキング等の方法によって帯状の金属薄板から分離させることによってシャドウマスク部材を得ている。

しかしながら、金属薄板の板厚が薄い場合、ピッキングによる金属薄板からのシャドウマスク部材の分離作業時に、シャドウマスク部材にシワが発生したり、シャドウマスク部材の有孔部を破損させる虞があり、歩留まりが悪くなる問題があった。
特開２００２−３０４９５３号公報

従来のプレス方式重畳型シャドウマスクの補助マスクやテンション方式シャドウマスクの短辺部は、電子ビーム通過孔が形成されている有孔部と外枠線までの距離が短いため、帯状の金属薄板帯からのシャドウマスク部材の保持部をピッキングする際に、電子ビーム通過孔を変形させてしまう虞があるために外枠線部分を貫通させておく方が望ましい。

しかしながら、金属薄板帯の通板方向とシャドウマスク部材の短辺が略垂直な配置となっているような場合には、外枠線部分を完全に貫通させてしまうとシャドウマスク部材が金属薄板帯から下方に垂れ下がり、コンベア等の通板ローラー等に引っ掛かって途中で金属薄板帯が切れてしまうという問題が発生した。

このため、短辺の一部にエッチングされない保持部を設けても、保持部の肉厚が厚ければ有孔部がピッキング時に変形し、有孔部を変形させない程度の肉厚にした場合でも、保持部に力が集中して、この部分から切断が発生するという事態が発生していた。

本発明は、これらの課題に対処してなされたものであり、有孔部に変形が発生することを抑制し、製造段階においてもシャドウマスク部材が金属薄板帯部分からローラー等に接触するほどには垂れ下がらないように形成することができるシャドウマスクの製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、帯状の金属薄板に感光剤を塗布してレジストを形成する工程と、このレジスト面を露光、現像して電子ビーム通過孔を設けた有孔部及びこれに連接する外枠部を備えた所定のレジストパターンを形成する工程と、このレジストパターンが形成された金属薄板をエッチングする工程と、このエッチングされた金属薄板をレジスト剥離用の溶液を用いてレジストを除去する除去処理工程からなるシャドウマスクの製造方法において、金属薄板の通板方向と直交する短辺側外枠部に、エッチングによって金属薄板の板厚よりも薄い余肉部を形成し、この余肉部部分でシャドウマスク部材を金属薄板から切断分離することを特徴とする。

本発明のシャドウマスクの製造方法によれば、帯状の金属薄板にシャドウマスク部材を形成しても、シャドウマスク部材の有孔部や外枠部が垂れ下がり、搬送ローラーに引っ掛かるような事態を回避することが可能となり、このためシャドウマスク部材の異常切断やシャドウマスク部材の有孔面にムラが発生する虞がなく、品位の高いシャドウマスクを歩留まりよく製造することができる。

以下、本発明に係るシャドウマスクの製造方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、カラー陰極線管及びシャドウマスクの全体的な構成は、従来の構成と同様な構成を採るので、ここではその詳細な説明は省略する。

図１乃至図３は、本発明に係るシャドウマスクの製造方法によって形成されたプレス方式重畳型のシャドウマスクを示す。

先ず主シャドウマスク１１は、鉄材またはインバー材等の板厚０．１〜０．２５ｍｍ程度の金属材料で構成され、パネルの内面と対向して配置されると共に所定の曲面形状に形成された略矩形状のマスク主面１２と、マスク主面１２の周縁から管軸方向に沿って電子銃側に延出したスカート部１３を備えている。マスク主面１２は電子ビーム通過孔として機能する多数の開孔１４が形成された矩形状の有孔部１５と、この有孔部１５を囲むように位置していると共に、開孔を持たない略矩形枠状の無孔部１６とを有している。

主シャドウマスク１１の各開孔１４は、有孔部１５の長軸方向を幅方向とする略矩形状に形成されている。そして複数個の開孔１４が有孔部１５の短軸方向にブリッジを介して直線状に配置されてなる開孔列が長軸方向に所定の配列ピッチＰＨで多数列設けられている。

一方、補助マスク１７は、主シャドウマスク１１と同じく板厚０．２５ｍｍ程度のインバー材から細長い短冊状に形成され、主シャドウマスク１１の電子銃側の表面上で有孔部１５の短軸近傍の領域に重ねて固定されている。そして補助マスク１７は、その長軸方向が主シャドウマスク１１の短軸と一致して設けられ、長軸方向に沿った幅が主シャドウマスク１１の有孔部１５の長軸方向長よりも小さく形成されている。

補助マスク１７は、電子ビーム通過孔として機能する多数の開孔１８が設けられた有孔部１９と、この有孔部１９の外側で補助マスク１７の長手方向両端部に位置した無孔部２０と、各無孔部２０から両端方向へ延出した一対のスカート部２１を一体に備えている。

この補助マスク１７は、その有孔部１９及び無孔部２０とスカート部２１とが主シャドウマスク１１の夫々の部位に合致した状態で主シャドウマスク１１に固定されるので、主シャドウマスク１１の短軸上の領域は主シャドウマスク１１と補助マスク１７との２重構造となっている。このように主シャドウマスク１１と補助マスク１７とを重ねて２重構造とすることにより、シャドウマスク２２全体としての強度、特に短軸付近の強度が向上し、マスク曲面強度を上げることが可能となる。

このような主シャドウマスク１１及び補助マスク１７からなるシャドウマスク２２は、図４に示す工程によって形成される。

まず、例えば板厚が約０．１５ｍｍのアンバー材等からなる帯板状の金属薄板を搬送ローラーを介して脱脂処理装置に供給し、金属薄板の両面を脱脂用の処理液をノズルから金属薄板にスプレーして、金属薄板の両面を洗浄し（工程Ａ）、次いで水洗して処理液を洗い流す（工程Ｂ）。その後、この金属薄板の両面にカゼインを主成分として、これを重クロム酸アンモニウムで増感した感光剤を塗布し、この塗布された感光剤を約１００℃で乾燥して、厚さが約５μｍのレジスト被膜を形成する（工程Ｃ）。

次に、そのレジスト被膜上に大孔に対応するスリット状のパターン、及び小孔に対応するスリット状のパターン並びに外枠線に対応するパターンが形成された一対のフォトマスクを形成するネガ原版を密着し、例えばこれらから約１ｍ離して配置された５ｋｗの水銀ランプによって約３０秒間露光して、その両面のレジスト被膜にネガ原版のパターンを焼付ける（工程Ｄ）。

そして、その後にレジスト被膜に約４０℃の温水をスプレーして現像し、未感光部を除去することによって、一対のネガ原版のスリット状パターンに対応するパターン及び外枠部を持つレジスト被膜を形成する（工程Ｅ）。更に、このレジスト被膜を約１５０℃で乾燥し、次いで約２００℃でベーキングする（工程Ｆ）。

しかる後に、大孔のスリット状パターンのネガ原版に対応する大径のパターンが形成されたレジスト被膜側及び反対面側の小孔のスリット状パターンが形成されたレジスト被膜側並びに外枠部にエッチング液をスプレーし、スリット状パターンに対応する孔並びに外枠部側端に余肉部を形成する（工程G）。

次いで、そのレジスト被膜に水酸化ナトリウムからなる処理液をスプレーして、レジスト被膜を剥離し水洗する（工程H）。

その後、水洗及び乾燥させることにより、大孔と小孔とが連通した連通孔からなる所定の形状及び大きさの電子ビーム通過孔が形成された主シャドウマスク用のシャドウマスク部材（フラットマスク）を得る。この後に帯状の金属薄板からシャドウマスク部材をピッキング等の手段を用いて金属薄板から切断分離して取り出すようにしている。

一方で、補助マスクも同様な工程で形成され、補助マスク用のシャドウマスク部材（フラットマスク）を得ている。次いで、この補助マスク用のシャドウマスク部材を主シャドウマスク用シャドウマスク部材の短軸上に正確に位置を合わせて、両者を拡散接合やレーザー、抵抗溶接等の手段にて密着固定した後に、両者を同時にプレス成形することによって所定の曲面形状に形成し、表面に酸化膜を形成するマスク黒化処理を施してシャドウマスクを完成させる。このシャドウマスクをマスクフレームと組合せてカラー陰極線管用のシャドウマスクとして内蔵させることになる。

このように補助マスク１７を設けることにより、シャドウマスク２２の最も変形し易い画面中央近傍の変形を抑制することが可能となり、結果的にマスク曲面強度を向上させることができ、シャドウマスク２２の変形を防止したカラー陰極線管を得ることができる。

このように本発明に係る製造方法にて補助マスク１７を製造した場合の鉄板切れと有孔部の変形を測定した評価結果を表１に示す。

なお、ここでは板厚０．１８ｍｍの帯状の金属薄板にエッチング工程通板時の進行方向とスロット列が垂直に補助マスク１７をパターニングした場合に、有孔部１９に隣接する短辺外枠部２３部分を金属薄板の両面からエッチングを施して０．０１５ｍｍの余肉部２４を形成した場合を実施例１としている。この余肉部２４の厚さは金属薄板の板厚の約８．３％に相当している。

この実施例１に対応させるために、図５に示すように、有孔部１９に隣接する短辺外枠部２３部分をエッチングにより余肉部２４を形成することなく全て貫通させた場合を比較例１として記載している。同様に、図６に示すように、有孔部１９に隣接する短辺外枠部２３に幅５ｍｍの保持部２６を４ヶ所持たせた場合を比較例２として記載しており、これら実施例１及び比較例１，２を測定している。

この表１からも解るように、鉄板切れせずに、しかも有孔部１９の変形もなくサンプルを取得できたのは実施例１のみである。比較例１の場合には、短辺外枠部２３を貫通させた部分が通板中にエッチングマシンのローラーに引っ掛かってしまい鉄板切れが発生し製品を得るまでに至らなかった。比較例２の場合には、鉄板切れは発生しなかったものの、ピッキング工程において有孔部１９の最外列が破損して製品を得ることができなかった。

ここで実施例１のピッキング後の外枠部２３部分の断面は、図３（ｂ）に示すように、余肉部２４を設けている関係で、外枠部２３の板厚方向中断部分が外側方向に向けて突出した突部２５を有する形状となっている。これは余肉部２４を金属薄板の両面側方向から同じエッチングスピードでエッチングをして金属薄板の厚さ方向の中央部分に余肉部２４を形成しているからに他ならない。仮に何れか一方側からだけしかエッチングを行なわなかった場合には、余肉部２４はエッチングの進行方向とは反対側の面に連接して形成されるようになる。このため、余肉部２４を所定の厚さで残すための板厚のコントロールが難しく、またサイドエッチングも進行してしまう等の問題があり、更にピッキング時に開孔が引っ張られて破れる虞が強いという問題がある。このために、余肉部２４は可能な限り板厚の中央付近に存在するように設定した方が好都合であり、余肉部２４の厚さや位置は金属薄板表面のエッチング用線幅を変えることによってコントロールすることが可能である。

この結果、本発明に係る製造方法によって製造することが有利で大きな効果を発揮していることが判る。

ここで、余肉部２４について考察すると、板厚０．２５ｍｍの金属薄板に対して余肉部２４を０．０９ｍｍ以上となるように設定した場合に、外部エッジ部が波打ったようになる状態、いわゆる耳波が発生することが判明したので、この余肉部２４の厚さは金属薄板の板厚の３５％以下（但し、０％は含まない）となるように設定すると好適である。

次いでテンション方式シャドウマスクについて説明する。

図７はスロットテンション方式シャドウマスクの平面図を示しているもので、板厚０．１３〜０．１５ｍｍの金属薄板で形成され、外枠部２３は６〜８ｍｍ程度の幅を有している。電子ビーム通過孔２７のピッチは１．０ｍｍで外枠部２３と最外側の電子ビーム通過孔２７との間隔は０．３〜０．４ｍｍ程度に形成されている。

ここで、板厚０．１５ｍｍのスロットテンション方式シャドウマスクを本発明に係る製造方法によって製造した実施例２及び３と、比較例３及び４との測定結果を表２に示す。

ここでの実施例２は、図８に示すように、有孔部に隣接する短辺外枠部２３に０．０４ｍｍ厚の余肉部２４を設けた場合を示し、また実施例３は、図９に示すように、有孔部１９に隣接する短辺外枠部２３の４ヶ所に幅５ｍｍで厚さが０．０８ｍｍの余肉部２４を設けると共に、残余の部分を厚さ０．０４ｍｍとした余肉部２４として形成した場合を示している。

一方、比較例３は、図１０に示すように、有孔部１９に隣接する短辺外枠部２３を全て貫通させた場合を示し、比較例４は、図１１に示すように、短辺外枠部２３の４ヶ所に幅５ｍｍで厚さが金属薄板と同じ厚さの０．１５ｍｍに設定された保持部２６を持たせた場合を示している。

実施例２及び３共に鉄板切れ及び有孔部１９変形も発生せず良好な製品を得ることができた。これに対して比較例３及び４は、両者共に鉄板切れは発生しなかったものの比較例３では有孔面１９にシワが発生してしまい良好な製品が得られなかった。

一方、比較例４の場合には、有孔面１９でのシワの発生と併せてピッキング時のスロット列の一部に破損が発生し、良好な製品を得ることがならなかった。

また、ピッキング後の外枠部２３の断面は、図３に示す実施例１の場合と同様に板厚の中間に外側に向かう突部２５が形成された形状となる。

なお、上記説明では、補助マスク１７を主シャドウマスク１１の電子銃側に配置した場合について説明しているが、補助マスク１７は主シャドウマスク１１の蛍光体スクリーン側に配置された構成としても同様な効果を発揮することができる。

本発明に係るシャドウマスクの製造方法によって形成されたプレス方式重畳型シャドウマスクを示す概略斜視図。 同じくプレス方式重畳型シャドウマスクを示す平面図。 同じく実施例１としての補助マスクを示す平面図及び断面図。 本発明に係るシャドウマスクの製造方法を説明するための工程説明図。 本発明と比較して説明するための補助マスクの比較例１を示す平面図。 同じく本発明と比較して説明するための補助マスクの比較例２を示す平面図。 本発明をテンション方式シャドウマスクに実施した場合を説明するための概略平面図。 同じく実施例２としてのシャドウマスクを示す平面図。 同じく実施例３としてのシャドウマスクを示す平面図。 発明と比較して説明するためのシャドウマスクの比較例３を示す平面図。 発明と比較して説明するためのシャドウマスクの比較例４を示す平面図。 一般的に使用されているカラー陰極線管を示す断面図。 同じくシャドウマスクを示す平面図。 同じくシャドウマスクの製造方法を説明するための工程説明図。

符号の説明

１１：主シャドウマスク
１２：マスク主面
１７：補助マスク
２３：外枠部
２４：余肉部
２５：突部

Claims (3)

1. 帯状の金属薄板に感光剤を塗布してレジストを形成する工程と、このレジスト面を露光、現像して電子ビーム通過孔を設けた有孔部及びこれに連接する外枠部を備えた所定のレジストパターンを形成する工程と、このレジストパターンが形成された金属薄板をエッチングする工程と、このエッチングされた金属薄板をレジスト剥離用の溶液を用いてレジストを除去する除去処理工程からなるシャドウマスクの製造方法において、
   前記金属薄板の通板方向と直交する短辺側外枠部に、エッチングによって金属薄板の板厚よりも薄い余肉部を形成し、この余肉部部分でシャドウマスク部材を金属薄板から切断分離することを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
2. 前記余肉部は、金属薄板の両側からエッチングして形成することを特徴とする請求項１記載のシャドウマスクの製造方法。
3. 前記余肉部は、金属薄板の板厚の３５％以下となるように設定されていることを特徴とする請求項１または２記載のシャドウマスクの製造方法。

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