JP2007184382A - 整流ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 2種類以上の半導体を、少なくとも2個以上の半導体のヘテロ接合を形成するように3層以上積層した積層構造を有し、上記ヘテロ接合の界面に分極により発生する正及び負の固定電荷により、第一の導電型のキャリア及び第二の導電型のキャリアを同時に発生させるようにした分極接合を有する整流ダイオードにおいて、該積層構造の一方の側端に上記第一の導電型のキャリアに対してショットキー特性を有する第一の電極と、他方の側端に上記第一の導電型のキャリアに対してオーミック特性を有する第二の電極とを備えた整流ダイオードである。
【選択図】 図3
Description
この電力の変換・制御を扱う半導体の分野は、パワーエレクトロニクスと呼ばれる。中でも半導体を用いた整流ダイオードは、その中心的な役割を担っている。整流ダイオードの逆方向耐圧、及び順方向のオン抵抗は、変換・制御の効率に大きな影響を与える。そのため、より高い耐圧をもち、かつ、より低いオン抵抗をもつ整流ダイオードが必要とされている。これらの特性を向上させることで、電力の変換・制御における損失を低減することができる。ただし、耐圧とオン抵抗の間には、一般にトレードオフの関係が存在するため、一つの特性を向上させると、他方の特性が劣化してしまう傾向にある。
第二に、ドーピング技術では不可能な高濃度の固定電荷を空間的に集中させて発生させることができる。例えばIII族窒化物半導体のヘテロ接合では、1013cm−2程度の面密度で分極電荷が得られる。このとき、界面の急峻性を1nmと仮定すると、固定電荷密度は約1020cm−3となり、非常に高密度になる。これによりドーピング技術のみでは困難なキャリアの空間的な分布を実現することができる。
(1)2種類以上の半導体を、少なくとも2個以上の半導体のヘテロ接合を形成するように3層以上積層した積層構造を有し、上記ヘテロ接合の界面に分極により発生する正及び負の固定電荷により、第一の導電型のキャリア及び第二の導電型のキャリアを同時に発生させるようにした分極接合を有する整流ダイオードにおいて、
該積層構造の一方の側端に上記第一の導電型のキャリアに対してショットキー特性を有する第一の電極と、
他方の側端に上記第一の導電型のキャリアに対してオーミック特性を有する第二の電極とを備えた整流ダイオード。
(2)上記第一の電極は、上記第二の導電型のキャリアに対してオーミック特性を有することを特徴とする整流ダイオード。
(3)2種類以上の半導体を、少なくとも2個以上の半導体のヘテロ接合を形成するように3層以上積層した積層構造を有し、上記ヘテロ接合の界面に分極により発生する正及び負の固定電荷により、第一の導電型のキャリア及び第二の導電型のキャリアを同時に発生させるようにした分極接合を有する整流ダイオードにおいて、
該積層構造の一方の側端に、上記第一の導電型のキャリアに対してショットキー特性を有する第一の電極、及び上記第二の導電型のキャリアに対してオーミック特性を有するとともに第一の電極と電気的に接続された第三の電極と、
他方の側端に上記第一の導電型のキャリアに対してオーミック特性を有する第二の電極とを備えた整流ダイオード。
(4)上記積層構造の他方の側端に隣接する半導体の一部は、高濃度にドープされていることを特徴とする整流ダイオード。
(5)上記2種類以上の半導体は、組成の異なるIII−V族化合物半導体である整流ダイオード。
(6)上記III−V族化合物半導体は、III族窒化物半導体であり、その化学式はBxAlyGazIn1−x−y−zNで表される整流ダイオード。
(式中x、y及びzは、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z≦1を満足させる数値を持つものとする。)
(7)上記III族窒化物半導体は、c軸方向に積層されていることを特徴とする整流ダイオード。
(8)上記2種類以上の半導体は、組成の異なるII−VI族酸化物半導体である整流ダイオード。
(9)上記2種類以上の半導体は、結晶構造の異なるSiC化合物半導体である整流ダイオード。
(10)上記整流ダイオードは、半導体基板上に集積化されていることを特徴とする整流ダイオード。
また分極による正又は負の固定電荷により発生する、少なくとも第一の導電型のキャリア又は第二の導電型のキャリアの高い移動度を用いることにより上記整流ダイオードのオン抵抗がさらに低減され、高周波特性も向上させることができる。
さらに上記(4)記載の整流ダイオードでは、上記第二の電極付近の分極接合にドーピングを行うことにより、コンタクト抵抗を低減することが出来るため、これにより上記整流ダイオードのオン抵抗をさらに向上させることが出来る。
さらに上記(10)記載の整流ダイオードでは、同一基板上に本発明による整流ダイオードを集積化させることで、電子回路の体積を低減することが出来る。
2 i−AlyGa1−yN層
3 n―GaN層
4 n+GaN層
5 アノード電極
6 カソード電極
7 分極接合領域
8 n型化分極接合領域
9 アノード電極
10 カソード電極
11 分極接合領域
12 アノード電極
13 アノード電極12と種類の違う金属を用いたアノード電極
14 カソード電極
Claims (10)
- 2種類以上の半導体を、少なくとも2個以上の半導体のヘテロ接合を形成するように3層以上積層した積層構造を有し、上記ヘテロ接合の界面に分極により発生する正及び負の固定電荷により、第一の導電型のキャリア及び第二の導電型のキャリアを同時に発生させるようにした分極接合を有する整流ダイオードにおいて、
該積層構造の一方の側端に上記第一の導電型のキャリアに対してショットキー特性を有する第一の電極と、
他方の側端に上記第一の導電型のキャリアに対してオーミック特性を有する第二の電極とを備えた整流ダイオード。 - 上記第一の電極は、上記第二の導電型のキャリアに対してオーミック特性を有することを特徴とする請求項1に記載の整流ダイオード。
- 2種類以上の半導体を、少なくとも2個以上の半導体のヘテロ接合を形成するように3層以上積層した積層構造を有し、上記ヘテロ接合の界面に分極により発生する正及び負の固定電荷により、第一の導電型のキャリア及び第二の導電型のキャリアを同時に発生させるようにした分極接合を有する整流ダイオードにおいて、
該積層構造の一方の側端に、上記第一の導電型のキャリアに対してショットキー特性を有する第一の電極、及び上記第二の導電型のキャリアに対してオーミック特性を有するとともに第一の電極と電気的に接続された第三の電極と、
他方の側端に上記第一の導電型のキャリアに対してオーミック特性を有する第二の電極とを備えた整流ダイオード。 - 上記積層構造の他方の側端に隣接する半導体の一部は、高濃度にドープされていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の整流ダイオード。
- 上記2種類以上の半導体は、組成の異なるIII−V族化合物半導体である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の整流ダイオード。
- 上記III−V族化合物半導体は、III族窒化物半導体であり、その化学式はBxAlyGazIn1−x−y−zNで表される請求項5に記載の整流ダイオード。
(式中x、y及びzは、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z≦1を満足させる数値を持つものとする。) - 上記III族窒化物半導体は、c軸方向に積層されていることを特徴とする請求項6に記載の整流ダイオード。
- 上記2種類以上の半導体は、組成の異なるII−VI族酸化物半導体である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の整流ダイオード。
- 上記2種類以上の半導体は、結晶構造の異なるSiC化合物半導体である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の整流ダイオード。
- 上記整流ダイオードは、半導体基板上に集積化されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の整流ダイオード。
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