JP6314316B2 - 窒化物半導体デバイス - Google Patents
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本発明の第一の実施の形態における窒化物半導体デバイスの断面図を図1に示す。図1に示すように、本実施の形態の窒化物半導体デバイスでは、主面をC面((0001)面)とする300μm厚のn+型GaNよりなる基板1の上に、8μm厚のn型GaNよりなるドリフト層2、400nm厚のp型GaNよりなる第1下地層3、200nm厚のアンドープAl0.2Ga0.8Nよりなる第2下地層4がこの順に形成されており、第2下地層4の上に各GaN系半導体層を貫通してドリフト層2にまで達する第1開口部5が形成されている。ドリフト層2にはSiが添加されており、ドナー濃度は例えば1×1016cm-3としている。また、第1下地層3にはMgが添加されており、アクセプタ濃度は例えば1×1019cm-3としている。
本発明の第一の実施の形態における窒化物半導体デバイスの第1変形例に関する断面図を図4に示す。
本発明の第一の実施の形態における窒化物半導体デバイスの第2変形例に関する断面図を図5に示す。
本発明の第二の実施の形態における窒化物半導体デバイスの断面図を図6に示す。これは第一の実施の形態において第1再成長層6の(0001)面に沿う方向の層厚が非常に大きい場合と考えることができる。第1再成長層6の成長時間を十分に長くすることで第1開口部5を第1再成長層6により埋め込まれ、第1再成長層6がほぼ平坦になっている。
本発明の第二の実施の形態における窒化物半導体デバイスの第1変形例に関する断面図を図7に示す。
本発明の第二の実施の形態における窒化物半導体デバイスの第2変形例に関する断面図を図8に示す。
第一の実施の形態、および第二の実施の形態ではチャネルは1つであったが、ここでは複数のチャネルを有する窒化物半導体デバイスについて説明する。
本発明の第三の実施の形態における窒化物半導体デバイスの第1変形例に関する断面図を図10に示す。
2 ドリフト層
3 第1下地層
4 第2下地層
5 第1開口部
6 第1再成長層
7 第3再成長層
8 2次元電子ガス層
9 第2開口部
10 アノード電極
11 カソード電極
12 第4再成長層
Claims (7)
- 基板と、
前記基板の上に形成された、n型の導電性を有する第1の窒化物半導体層と、
前記第1の窒化物半導体層の上に形成された、p型の導電性を有する第2の窒化物半導体層と、
前記第2の窒化物半導体層から前記第1の窒化物半導体層にまで達する第1の開口部と、
前記第2の窒化物半導体層の上に形成され、かつ前記第1の開口部を覆うように順に形成された、第3の窒化物半導体層および前記第3の窒化物半導体層よりバンドギャップが大きい第4の窒化物半導体層と、
前記第1の開口部とは異なる位置で、かつ前記第2の窒化物半導体層に達する第2の開口部と、
前記第1の開口部と前記第2の開口部とを覆うように形成され、前記第3の窒化物半導体層および前記第4の窒化物半導体層とショットキー接触するアノード電極と、
前記基板の裏面に形成されたカソード電極と、を備えることを特徴とする窒化物半導体デバイス。 - 前記第1の窒化物半導体層と前記第2の窒化物半導体層とによって形成されるダイオードの耐圧が、前記第3の窒化物半導体層及び前記第4の窒化物半導体層と前記アノード電極とによって形成されるダイオードの耐圧よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体デバイス。
- 前記アノード電極と前記第4の窒化物半導体層層との間にp型の導電性を有する第5の窒化物半導体層が設けられたことを特徴とする請求項1または2に記載の窒化物半導体デバイス。
- 前記第5の窒化物半導体層は、前記第2の開口部の近傍に設けられたことを特徴とする請求項3に記載の窒化物半導体デバイス。
- 前記第1の開口部が前記第3の窒化物半導体層によって充填されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の窒化物半導体デバイス。
- 前記第3の窒化物半導体層と前記第4の窒化物半導体層とが2組以上形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の窒化物半導体デバイス。
- 前記第2の窒化物半導体層と前記第3の窒化物半導体層との間で、かつ前記第2の開口部の近傍に、前記第1の窒化物半導体層よりバンドギャップが大きい第6の窒化物半導体層を有することを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の窒化物半導体デバイス。
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