JP2007182361A - 半絶縁性GaAsウェハ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】LEC法又は縦型融液法(VB法、VGF法)によりGaAs単結晶10を成長させる際の結晶中の温度勾配を20℃/cm以上150℃/cm以下とすることにより、ウェハ面内の転位密度(EPD)を、30,000個/cm2以上100,000個/cm2以下とする。GaAs単結晶10を成長させた後、GaAs単結晶10にアニールを実施する際に、アニール時の最高到達温度を900℃以上1150℃以下とし、かつGaAs単結晶10中の温度勾配を0℃/cm以上12.5℃/cm以下とすることにより、光弾性測定で得たウェハ面内残留歪値(|Sr-St|)を、1.8×10-5以下の範囲とする。
【選択図】図1
Description
従来、半絶縁性GaAsウェハの転位密度が電子デバイス特性に与える影響については未だ調査段階であり、単純に転位密度が低いものが良いという結論には到っていない。
本発明においてウェハ面内のEPDを3×104個/cm2以上1×105個/cm2以下の範囲とした理由は、転位があることにより、金属全般に一般的に見られる現象として、転位発生部分では塑性変形が起き、塑性変形により転位が複雑に絡まり合い加工硬化がもたらされる。これにより、アニール時にかかる熱応力に対して強くなり、スリップ転位の発生が低減出来ると考えたからである。この加工硬化については、検証実験によりEPDの値が3×104個/cm2以上から得られるという結果を得た。また、EPDの値が1×105個/cm2以下とした理由は、加工硬化が得られスリップ転位の低減効果があるものの、EPDが1×105個/cm2を超えると、結晶の亜粒界発生の可能性が高くなり、製品として使用不可となるためである。
本発明においてウェハ面内の残留歪値|Sr-St|を1.8×10-5以下とした理由は、発明者の近年の調査によりウェハ面内の残留歪値とスリップ転位の発生との間に相関があることが判ってきており、残留歪値が高いとスリップ転位の発生率が徐々に高くなる傾向が見られる。また、ウェハ面内の残留歪値がある値を超えると、アニールでのスリップ転位の発生率が一気に高くなる臨界点があることが判ってきた。その臨界点が、|Sr-St|=1.8×10-5付近であることから、残留歪値を上記の範囲としたものである。
残留歪の評価方法については、例えば、Rev.Sci. Instrum.,Vol.64,No.7,pp.1815-1821 July 1993に記載されている光弾性現象を利用した測定方法が用いられる。測定原理の概略としては、赤外光源によりウェハに光源を照射し、その透過光の偏向面の回転角度を検知する,この偏向面の回転角度はウェハの残留応力により決定されるため、これを検知する事で、ウェハの残留応力の測定が可能となる。
次に、|Sr-St|の定義について説明する。ウェハの残留歪は、円柱座標での半径方向の歪であるSrと円柱接線方向の歪であるStの差の絶対値である|Sr-St|により算出することが出来る。ここで|Sr-St|は下記に示す関係式で定義される。
d:ウェハの厚さ
n:屈折率
δ:サンプルの複屈折により生じる位相差
ψ:主振動方位角
p11、p12、p44:光弾性定数
上記の式からδ及びψを測定する事でウェハの残留応力である|Sr-St|を算出する事が出来る。
本発明においては、GaAs単結晶を成長する際の結晶中の温度勾配の範囲を20℃/cm以上150℃/cm以下としているが、この理由は以下の通りである。
結晶中に発生する転位は、一つに結晶が成長時に受ける熱応力が影響している。結晶は熱応力、つまりは結晶がある温度勾配を持った状態下におかれた場合、その応力を緩和する方向に転位が発生すると考えられている。そこで、本発明者らは、EPDの値を上記の3×104個/cm2以上1×105個/cm2以下とする為に、結晶成長時の結晶中に所定の温度勾配を設ける事でEPDの値を制御することを考えた。
このため、結晶中の温度勾配の最適範囲の決定に当っては、LEC法及びVB法(若しくはVGF法)の両手法を用いてGaAs単結晶成長を行ない、その結晶成長において、結晶中の温度勾配の設定を変え、その時のEPDの値がどうなるか実験を行なった。
この図より、結晶成長時の結晶中の温度勾配が20℃/cm以上150℃/cm以下の範囲の時、再現性良く、EPDが30,000個/cm2以上100,000個/cm2以下の範囲を満足する事が分る。
従って、本発明では、半絶縁性GaAsウェハを得る為のGaAs単結晶を成長する際の結晶中の温度勾配の範囲を20℃/cm以上150℃/cm以下に設定している。
本発明においては、上記のGaAs単結晶成長時の温度勾配により結晶成長を行なった後、アニールを実施する場合には、そのアニール条件として、最高到達温度が900℃以上1150℃以下、アニール時の結晶中の温度勾配が0℃/cm以上12.5℃/cm以下が好ましいとしているが、この理由は以下の通りである。
上記のように、GaAs単結晶を成長する際の結晶中の温度勾配の範囲を20℃/cm以上150℃/cm以下に設定することで、EPDの値を上記の3×104個/cm2以上1×105個/cm2以下に制御することが可能であるが、一方で結晶にあえて熱応力を加える事から結晶内に残留応力を発生させてしまうという一面がある。
この結果、|Sr-St|の平均値が1.93×10-5となり、|Sr-St|≦1.8×10-5を再現性良く制御する事が困難な結果となった。
そこで、本発明者らは、誠意工夫の結果、温度勾配の設定条件を20℃/cm以上150℃/cm以下に設定して結晶成長を行なった結晶においても、結晶成長後に上記したアニール処理を施す事で、熱応力によって結晶内に残留していた歪を効率良く除去する事が出来、その結果、ウェハ面内残留歪値を1.8×10-5以下の範囲内に制御する事が可能である事を見出した。
表1、2、3に各サンプル毎のアニール後の残留応力|Sr-St|の値を示す。
表1〜3の結果から、全てのサンプルにおいて、アニール前の残留応力値に対して低減が見られ、且つ|Sr-St|が1.8×10-5以下を達成出来たアニール条件は、900℃以上1150℃以下であり、かつアニール時の結晶中の温度勾配が0℃/cm以上12.5℃/cm以下という結果を得た。以上の結果より、アニール条件の最適化を決定した。
まず、LEC法を用いたGaAs単結晶製造方法について、図1に従って説明する。
原料の容器となるルツボ5としてPBN製ルツボを用い、このルツボ5にGaとAs及びAsの揮発防止材である三酸化硼素6を入れ、これをチャンバー2内にセットした。なお、チャージした重量は、Ga:15,000g、As:16,500g、三酸化硼素6:2,000gとした。また、引上軸3の先端に結晶の元となる種結晶7を取りつけた。
チャンバー2にこれらの原料をセットした後、チャンバー2内を真空にし、不活性ガスを充填した。その後、チャンバー2内に設置してある抵抗加熱ヒータ8に通電してチャンバー2内の温度を昇温させ、GaとAsを合成しGaAsを作製した。その後、更に昇温させGaAsを融液化させ、GaAs融液9とした。続いて、引上軸3、ルツボ軸4を回転方向が逆になるように回転させた。この状態で、引上軸3を先端に取り付けてある種結晶7がGaAs融液9に接触するまで下降させた。続いて、抵抗加熱ヒータ8の設定温度を徐々に下げつつ引上軸3を一定の速度で上昇させることで、種結晶7から徐々に結晶径を太らせながら結晶肩部を形成した。結晶肩部の形成後、目標とする結晶外径となったならば、外径を一定に保つように外形制御を行いつつ、GaAs単結晶10の製造を行った。ここで、この種結晶から結晶を成長する過程において、抵抗加熱ヒータ8の温度設定値や形状、更にはチャンバー2内の炉内部材構造等を調整する事で、結晶成長時のGaAs単結晶10の結晶中の温度勾配の調整を図った。
原料の容器となるルツボ25としてPBN製ルツボを用い、このルツボ25に、GaAs多結晶及びAsの揮発防止材である三酸化硼素26を入れた。なお、チャージした重量は、GaAs多結晶を20,000g、三酸化硼素26を2,000gとした。また、ルツボ25の先端に、結晶の元となる種結晶27を取りつけた。これらをチャンバー22内にセットした。続いて、チャンバー22内を真空にし、不活性ガスを充填した。その後、チャンバー22内に設置してある抵抗加熱ヒータ28に通電し、チャンバー22内の温度を下部から上部に向かって温度が高くなる様に温度勾配を設定した状態で昇温し、GaAs多結晶を融液化させ、GaAs融液29とした。なお、今回の実験では炉内の温度勾配を20℃/cm以下に設定して結晶成長を実施した。続いて、ルツボ25の先端に設置し
た種結晶27にGaAs融液29が接触するまで炉内温度を昇温し種付けを行なった。続いて、抵抗加熱ヒータ28の設定値を一定の割合で降温させる事で種結晶27からGaAs融液を固化させる事でGaAs単結晶の製造を実施した。
以上、2通りの結晶製造方法により得られたGaAs単結晶をスライス、面取り、研磨を経てGaAsウェハを準備した。
2 チャンバー
3 引上軸
4 ルツボ軸
5 PBNルツボ
6 三酸化硼素
7 種結晶
8 抵抗加熱ヒータ
9 GaAs融液
10 GaAs単結晶
14 ウェハアニール実験炉
15 チャンバー
16 ウェハ配置板
17 3ゾーン構造ヒータ
18 GaAsウェハ
21 縦型融液法(VB法、VGF法)のGaAs単結晶製造装置
22 チャンバー
24 ルツボ軸
25 PBNルツボ
26 三酸化硼素
27 種結晶
28 抵抗加熱ヒータ
29 GaAs融液
Claims (5)
- 直径10.16cm(4インチ)以上の半絶縁性GaAsウェハであって、ウェハ面内の転位密度(EPD)が、30,000個/cm2以上100,000個/cm2以下であることを特徴とする半絶縁性GaAsウェハ。
- 応力の大きさによって偏向面が回転する光弾性現象を利用した測定によるウェハ面内残留歪値(|Sr-St|)が、1.8×10-5以下の範囲にあることを特徴とする請求項1記載の半絶縁性GaAsウェハ。
- GaAs単結晶を成長させる際の結晶中の温度勾配を20℃/cm以上150℃/cm以下とすることにより、ウェハ面内の転位密度(EPD)を、30,000個/cm2以上100,000個/cm2以下とすることを特徴とする半絶縁性GaAsウェハの製造方法。
- 前記GaAs単結晶を成長させた後、更に前記GaAs単結晶にアニールを実施することを特徴とする請求項3記載の半絶縁性GaAsウェハの製造方法。
- 前記アニール時の最高到達温度を900℃以上1150℃以下とし、かつ前記GaAs単結晶中の温度勾配を0℃/cm以上12.5℃/cm以下とすることにより、ウェハ面内残留歪値(|Sr-St|)を、1.8×10-5以下の範囲とすることを特徴とする請求項4記載の半絶縁性GaAsウェハの製造方法。
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