JP2007180272A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】耐湿性を低下させずに、コレクタ電極とベース電極パッド間の寄生容量(帰還容量)を小さくし、高周波特性を劣化させないようにする。
【解決手段】低抵抗のN型半導体基板101の上に絶縁層102を形成し、バイポーラトランジスタのベース107,エミッタ108上に表面保護膜104を形成する。この表面保護膜104の開口はボンディングパッド103よりも大きくし、ボンディングパッド103の側壁には側壁保護膜106を形成する。
【選択図】図1
【解決手段】低抵抗のN型半導体基板101の上に絶縁層102を形成し、バイポーラトランジスタのベース107,エミッタ108上に表面保護膜104を形成する。この表面保護膜104の開口はボンディングパッド103よりも大きくし、ボンディングパッド103の側壁には側壁保護膜106を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置およびその製造方法に係り、特に基板自体をコレクタ電極とするバイポーラトランジスタを含む半導体装置に関するものである。
半導体デバイスは、1つの半導体基板上に多くの能動素子を集積することが可能である。しかしながら、携帯電話用の高周波デバイスにおいては、高性能で、かつ、ばらつきが小さいデバイスが求められるため、単体のバイポーラトランジスタのような個別半導体素子が用いられることが多い。
前記のような半導体デバイスは、半導体素子部と外部端子を接続するためのボンディングパッドを有している。従来の半導体デバイスでは耐湿性を向上させるために、ボンディングパッドは保護膜で覆われ、ワイヤボンディング用の開口部のみが露出した構造であった。
図5は従来のボンディングパッド構造を示す図であって、図5(a)は平面図、図5(b)は図5(a)のX−X’断面図である。
図5において、半導体基板501上に絶縁膜502が形成され、絶縁膜502の上に金属からなるボンディングパッド503と、ボンディングパッド503の端部を覆うように表面保護膜504が形成されている。
前記のような構造によって、絶縁膜502とボンディングパッド503の界面から水分が侵入することを防止し、耐湿性を高めている。水分の浸入は半導体デバイスの信頼性不良原因になる。このため、例えば特許文献1に記載されているように、水分の浸入を防止する構造のものが提案されている。
図6(a),(b)はそれぞれ従来の半導体装置におけるワイヤとボンディングパッドとの関係を示す図であって、601はN型半導体基板、602は絶縁層、603はボンディングパッド、604は表面保護膜、605はワイヤを示す。
従来では、ワイヤボンディング時には工程のバラツキにより、図6(a)に示すように、ワイヤ605がボンディングパッド603の中央に形成される場合、あるいは図6(b)に示すように、ワイヤ605がボンディングパッド603の中央からずれて形成される場合がある。
図6(b)に示すように、ワイヤボンディングがずれた場合に、ワイヤ605が表面保護膜604に接触すると、表面保護膜604にクラックが発生し、水分の浸入の原因となる。
したがって、クラックを発生させないために、特許文献1などの従来の構造では表面保護膜604の開口部分は、ワイヤ径とボンディングアライメントズレ量とを考慮した大きさにする必要がある。
特開平6−45316号公報
前記従来の構造の半導体装置では、ボンディングパッドのサイズは、保護膜の開口部サイズよりも大きくする必要がある。しかしながら、通常の半導体デバイスではパッド自体の大きさは、電気特性に影響しないため、水分の浸入を防ぐことを考慮すれば何等問題なかった。
一方、基板自体をコレクタ電極とするバイポーラトランジスタでは、パッドの大きさが電気特性に強い影響を与える。特にVCO用などの高周波用の半導体素子では、ベース電極に接続されたパッドと、コレクタ電極である半導体基板との間に生ずる寄生容量が、fT,fmaxなどの高周波特性を劣化させるという問題がある。
本発明は、前記従来の問題を解決し、耐湿性を維持したままで基板−ボンディングパッド間の寄生容量を低減することを可能にする半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
前記目的を達成するため、第1の発明は、コレクタ電極を兼用する第1導電型の半導体基板と、半導体基板上に形成された絶縁膜と、絶縁膜上に形成され、かつ金属からなるボンディングパッドと、ボンディングパッドに接続する配線上に形成され、かつ開口部分が前記ボンディングパッドよりも大きい表面保護膜と、ボンディングパッド側壁に形成され、かつ表面保護膜と同一の組成からなる側壁保護膜とを備えた構成とする。
この半導体装置によれば、ボンディングパッド側壁の側壁保護膜によって水分の浸入を防止すると共に、ボンディングパッドサイズを表面保護膜の開口部サイズに対して小さくすることが可能になるため、コレクタ電極である半導体基板とベース電極パッド間の寄生容量(帰還容量)を従来のバイポーラトランジスタに比べて小さくすることができる。
第1の発明に係る半導体装置の製造方法は、コレクタ電極を兼用する第1導電型の半導体基板の上に、絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に金属からなるボンディングパッドと配線とを形成する工程と、表面保護膜を形成する工程と、表面保護膜をエッチングするためのレジストパターンを形成する工程と、異方性エッチングにより表面保護膜を除去し、かつボンディングパッド側壁に側壁保護膜を形成する工程を有するものである。
第1の発明の半導体装置の製造方法によれば、耐湿性を低下させるボンディングパッド電極下面からの水分の浸入を側壁保護膜により防止することができるので、表面保護膜開口部サイズに対してボンディングパッドサイズを小さくすることができ、コレクタ電極とベース電極パッド間の寄生容量(帰還容量)を従来のバイポーラトランジスタと比べて小さくすることができる。
また、前記の目的を達成するため、第2の発明は、コレクタ電極を兼用する第1導電型の半導体基板と、半導体基板上に形成された絶縁膜と、絶縁膜上に形成され、かつ金属からなるボンディングパッドと、ボンディングパッドに接続する配線上に形成され、開口部分が前記ボンディングパッドよりも大きい第1の保護膜と、ボンディングパッド側壁および前記第1の保護膜の側壁に形成され、かつ第1の保護膜とは組成が異なる第2の保護膜とを備えた構成とする。
この半導体装置によれば、第2の保護膜はボンディングパッド側壁にのみ形成されるため、第2の保護膜は応力が著しく強くとも問題にならない。したがって、第1の保護膜に比べ、より緻密な膜を用いることが可能である。よって、水分の浸入防止能力を一層高めることが可能となると共に、ボンディングパッドサイズを保護膜の開口部サイズに対して小さくすることが可能になるため、コレクタ電極である半導体基板とベース電極パッド間の寄生容量(帰還容量)を従来のバイポーラトランジスタに比べて小さくすることができる。
第2の発明に係る半導体装置の製造方法は、コレクタ電極を兼用する第1導電型の半導体基板の上に、絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜上に金属からなるボンディングパッドと配線とを形成する工程と、ボンディングパッド上に第1の保護膜を形成する工程と、第1の保護膜をエッチングするためのレジストパターンを形成する工程と、第1の保護膜を除去工程と第2の保護膜を形成する工程と、異方性エッチングにより第2の保護膜を除去する工程(h)とを有するものである。
第2の発明の半導体装置の製造方法によれば、耐湿性を低下させるボンディングパッド電極下面からの水分の浸入を第1の保護膜より緻密な第2の側壁保護膜により防止することができるため、耐湿性をさらに高めることができる。さらに、第1の保護膜の開口部サイズに対してボンディングパッドサイズを小さくすることができ、コレクタ電極とベース電極パッド間の寄生容量(帰還容量)を従来のバイポーラトランジスタと比べて小さくすることができる。
本発明に係る半導体装置およびその製造方法によれば、耐湿性を低下させるボンディングパッド電極と絶縁膜界面からの水分の浸入を、側壁保護膜により防止することができるため、従来に比べてボンディングパッドサイズを小さくすることができる。
したがって、基板からなるコレクタ電極とベース電極パッド間の寄生容量(帰還容量)を、基板をコレクタ電極とする従来型バイポーラトランジスタと比べて小さくすることができ、高周波特性を向上することができる。
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
(実施形態1)
図1は本発明の実施形態1に係る半導体装置であって、図1(a)は平面図、図1(b)は図1(a)のX−X’断面図である。
図1は本発明の実施形態1に係る半導体装置であって、図1(a)は平面図、図1(b)は図1(a)のX−X’断面図である。
図1に示すように、比抵抗が例えば0.01Ωcm以下のシリコン単結晶からなる支持基板としての低抵抗のN型半導体基板101の上に、厚さが0.1μm〜5.0μmの絶縁層102が形成されている。
絶縁層102には、ベース電極に接続されたボンディングパッド103が形成されている。ボンディングパッド103はバイポーラトランジスタのベース107に接続されている。また、バイポーラトランジスタのエミッタ108にも、同様のボンディングパッドが接続されている。
バイポーラトランジスタのベース107,エミッタ108上には、厚みが例えば0.5μm〜3μmのプラズマSiN膜からなる表面保護膜104が形成されている。さらにボンディングパッド103の側壁には、前記保護膜104と同時に形成された、厚みが例えば0.5μm〜3μmのプラズマSiN膜からなる側壁保護膜106が形成されている。
次に、前記のように構成された実施形態1に係る半導体装置の製造方法について、図2(a)〜図2(f)を参照しながら説明する。
まず、図2(a)に示す比抵抗が例えば0.01Ωcm以下のシリコン(Si)の単結晶からなるN型半導体基板101の上に、図2(b)に示すように、例えば化学的気相堆積(CVD)法により、厚さが0.1μm〜5.0μmの絶縁層102を成長させる。
さらに、バイポーラトランジスタを形成する工程の後に、図2(c)に示すように、絶縁膜102上に金属からなるボンディングパッド103を形成する。その後、図2(d)に示すように、ボンディングパッド103上に表面保護膜104を形成し、図2(e)に示すように、表面保護膜104をエッチングするためのレジスト膜105のパターンを形成し、図2(f)に示すように、異方性エッチング後、レジスト膜105を除去することにより、ボンディングパッド103上の表面保護膜104を除去し、かつ前記ボンディングパッド側壁に側壁保護膜106を形成する。
実施形態1では、耐湿性を低下させるボンディングパッド103と絶縁膜102との界面からの水分の浸入を、側壁保護膜106により防止することができるため、従来に比べてボンディングパッドサイズを小さくすることができる。
(実施形態2)
図3は本発明の実施形態2に係る半導体装置であって、図3(a)は平面図、図3(b)は図3(a)のX−X’断面図である。
図3は本発明の実施形態2に係る半導体装置であって、図3(a)は平面図、図3(b)は図3(a)のX−X’断面図である。
図3に示すように、比抵抗が例えば0.01Ωcm以下のシリコン単結晶からなる支持基板としての低抵抗のN型半導体基板301の上に、厚さが0.1μm〜5.0μmの絶縁層302が形成されている。
絶縁層302には、ベース電極に接続されたボンディングパッド303が形成されている。ボンディングパッド303はバイポーラトランジスタのベース307に接続されている。またバイポーラトランジスタのエミッタ308にも同様のボンディングパッドが接続されている。
バイポーラトランジスタのベース307,エミッタ308上には、厚みが例えば0.5μm〜3μmのプラズマSiN膜からなる第1の保護膜304が形成されている。さらにボンディングパッド303および第1の保護膜304の側壁には、第1の保護膜304と膜質が異なり、より緻密で、かつ厚みが例えば0.5μm〜3μmの減圧SiN膜からなる第2の保護膜306が形成されている。
以下、前記のように構成された実施形態2に係る半導体装置の製造方法について図4(a)〜図4(f)を参照しながら説明する。
まず、図4(a)に示す比抵抗が例えば0.01Ωcm以下のシリコン(Si)の単結晶からなるN型半導体基板301の上に、図4(b)に示すように、例えば化学的気相堆積(CVD)法により、厚さが0.1μm〜5.0μmの絶縁層302を成長させる。
さらに、バイポーラトランジスタを形成する工程の後に、図4(c)に示すように、絶縁膜上に金属からなるボンディングパッド303を形成する。次に、図4(d)に示すように、ボンディングパッド303上に第1の保護膜304を形成し、図4(e)に示すように、第1の保護膜304をエッチングするためのレジスト膜305のパターンを形成し、図4(f)に示すように、第1の保護膜304をエッチングした後、レジスト膜305を除去する。
さらに、図4(g)に示すように、第1の保護膜304よりも緻密な第2の保護膜306を形成する。最後に図4(h)に示すように、全面を異方性エッチングすることにより、第1の保護膜304の側壁およびボンディングパッド303の側壁に第2の保護膜306を形成する。
第2の保護膜306となる緻密な保護膜は、水分の浸入の防止能力が高いため、より高い信頼性を得ることが可能である。しかしながら膜の応力が大きいため、半導体チップ全面に形成するとリーク電流が増加するなどの特性劣化を招く。よって、本実施形態では、緻密な保護膜をパッド電極側壁にのみ形成する構成とすることにより、実施形態1に比べて、より信頼性の高い素子を提供することができる。
本発明に係る半導体装置およびその製造方法は、基板自体をコレクタ電極とするバイポーラトランジスタを含む半導体装置に実施して有効であり、特に信頼性を低下させるボンディングパッド電極下面からの水分の浸入を保護膜によって防止することができ、従来に比べてボンディングパッドサイズを小さくすることができるため、基板からなるコレクタ電極とベース電極パッド間の寄生容量(基幹容量)を、基板をコレクタ電極とする従来のバイポーラトランジスタと比べて小さくすることができ、高周波特性を向上することが要求される半導体装置に有用である。
101 N型半導体基板
102 絶縁層
103 ボンディングパッド
104 表面保護膜
105 レジスト膜
106 側壁保護膜
107 ベース
108 エミッタ
301 N型半導体基板
302 絶縁層
303 ボンディングパッド
304 第1の保護膜
305 レジスト膜
306 第2の保護膜
307 ベース
308 エミッタ
102 絶縁層
103 ボンディングパッド
104 表面保護膜
105 レジスト膜
106 側壁保護膜
107 ベース
108 エミッタ
301 N型半導体基板
302 絶縁層
303 ボンディングパッド
304 第1の保護膜
305 レジスト膜
306 第2の保護膜
307 ベース
308 エミッタ
Claims (4)
- コレクタ電極を兼用する第1導電型の半導体基板と、前記半導体基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され、かつ金属からなるボンディングパッドと、前記ボンディングパッドに接続する配線上に形成され、かつ開口部分が前記ボンディングパッドよりも大きい表面保護膜と、前記ボンディングパッド側壁に形成され、かつ前記表面保護膜と同一の組成からなる側壁保護膜とを備えたことを特徴とする半導体装置。
- コレクタ電極を兼用する第1導電型の半導体基板の上に絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に金属からなるボンディングパッドと配線とを形成する工程と、表面保護膜を形成する工程と、前記表面保護膜をエッチングするためのレジストパターンを形成する工程と、異方性エッチングにより前記表面保護膜を除去し、かつ前記ボンディングパッド側壁に側壁保護膜を形成する工程とからなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- コレクタ電極を兼用する第1導電型の半導体基板と、前記半導体基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され、かつ金属からなるボンディングパッドと、前記ボンディングパッドに接続する配線上に形成され、かつ開口部分が前記ボンディングパッドよりも大きい第1の保護膜と、前記ボンディングパッド側壁および前記第1の保護膜の側壁に形成され、かつ第1の保護膜とは組成が異なる第2の保護膜とを備えたことを特徴とする半導体装置。
- コレクタ電極を兼用する第1導電型の半導体基板の上に絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に金属からなるボンディングパッドと配線とを形成する工程と、前記ボンディングパッド上に第1の保護膜を形成する工程と、前記第1の保護膜をエッチングするためのレジストパターンを形成する工程と、前記第1の保護膜を除去工程と第2の保護膜を形成する工程と、異方性エッチングにより第2の保護膜を除去する工程とからなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005377051A Pending JP2007180272A (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007180272A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010268010A (ja) * | 2010-08-31 | 2010-11-25 | Sony Chemical & Information Device Corp | 電子部品、並びに、接合体及びその製造方法 |
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2005
- 2005-12-28 JP JP2005377051A patent/JP2007180272A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010268010A (ja) * | 2010-08-31 | 2010-11-25 | Sony Chemical & Information Device Corp | 電子部品、並びに、接合体及びその製造方法 |
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