JP2007179874A - カソード基板及びその作製方法、並びに表示素子及びその作製方法 - Google Patents
カソード基板及びその作製方法、並びに表示素子及びその作製方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板S上に、カソード電極1、2以上のゲートホール5が形成されたゲートホール領域7を有するゲート電極6、絶縁層2及びエミッタ4を少なくとも備えたカソード基板において、エミッタ4とゲート電極6との間で形成される等電位面が、エミッタから放出された電子を収束する凸面となるようにゲート電極及びエミッタのうち少なくとも1つを構成する。
【選択図】 図1
Description
このゲート電極の加熱並びに押圧及び吹付時の加熱を、エミッタ形成時の加熱により行なってもよい。エミッタ形成時の加熱によって変形を行なうことで、プロセス時間の短縮化を図ることが可能である。
また、第2の実施の形態において、基板Sの成膜面に曲面からなる凹部を形成したが、基板Sの成膜面ではなく、基板S上のカソード電極1の上面に曲面からなる凹部を設けて、カソード電極1上に形成するエミッタを凹部を有するように構成しても良い。
このようにしてカソード基板を形成すれば、基板の凹部の形状に沿ってカソード電極及びエミッタが形成され、それぞれ凹部を有するようになる。また、基板に凹部を設けずに基板上にカソード電極を形成し、その後、カソード電極上面にフォトリソグラフィ法によりパターンを形成し、ウェットエッチングすることにより凹部を形成し、このカソード電極上にエミッタを形成して、所望の凹部を有するエミッタを形成することも可能である。
2 絶縁層 3 絶縁層ホール
4 エミッタ 5 ゲートホール
6 ゲート電極 7 ゲートホール領域
8 所定の広さの領域
Claims (19)
- 基板上に、カソード電極、2以上のゲートホールが形成されたゲートホール領域を有するゲート電極、絶縁層及びエミッタを少なくとも備えるカソード基板において、エミッタとゲート電極との間で形成される等電位面がエミッタから放出された電子を収束する凸面となるように、ゲート電極及びエミッタのうち少なくとも1つを構成することを特徴とするカソード基板。
- 前記等電位面を、ゲートホール領域全面に亘り基板側に凸の湾曲部を有するゲート電極とエミッタとの間で形成することを特徴とする請求項1記載のカソード基板。
- 前記等電位面を、成膜面に曲面からなる凹部を有する基板上に形成されたエミッタとゲート電極との間で形成することを特徴とする請求項1又は2に記載のカソード基板。
- 前記湾曲部の曲率半径が、ゲートホール領域の半径又はゲートホール領域の1辺の長さの半分の1〜3倍であることを特徴とする請求項2に記載のカソード基板。
- 前記曲面の曲率半径が、ゲートホール領域の半径又はゲートホール領域の1辺の長さの半分の1〜3倍であることを特徴とする請求項3に記載のカソード基板。
- 前記ゲートホール領域内に、所定の広さのゲートホールを形成しない領域を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のカソード基板。
- 前記エミッタが、カーボン系材料からなることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のカソード基板。
- 基板上に、カソード電極、2以上のゲートホールが形成されたゲートホール領域を有するゲート電極、絶縁層及びエミッタを少なくとも備えたカソード基板の作製方法において、エミッタとゲート電極との間で形成される等電位面がエミッタから放出された電子を収束する凸面となるように、ゲート電極及びエミッタのうち少なくとも1つを変形する変形工程を含むことを特徴とするカソード基板の作製方法。
- 前記変形工程が、ゲート電極上方から押圧してゲート電極を湾曲させる工程であることを特徴とする請求項8記載のカソード基板の作製方法。
- 前記変形工程が、ゲート電極に対して圧縮気体を吹き付けてゲート電極を湾曲させる工程であることを特徴とする請求項8記載のカソード基板の作製方法。
- 前記変形工程が、ゲート電極を加熱してゲート電極を湾曲させる工程であることを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載のカソード基板の作製方法。
- 前記加熱を、エミッタ形成時の加熱により行なうことを特徴とする請求項11記載のカソード基板の作製方法。
- 前記変形工程により形成した湾曲部の曲率半径が、ゲートホール領域の半径又はゲートホール領域の1辺の長さの半分の1〜3倍であることを特徴とする請求項9〜12のいずれかに記載のカソード基板の作製方法。
- 前記変形工程が、基板の成膜面に曲面からなる凹部を形成する工程であることを特徴とする請求項8記載のカソード基板の作製方法。
- 前記変形工程により形成した曲面の曲率半径が、ゲートホール領域の半径又はゲートホール領域の1辺の長さの半分の1〜3倍であることを特徴とする請求項14に記載のカソード基板の作製方法。
- 前記ゲートホール領域内に、所定の広さの領域を残してゲートホールを形成する工程を含むことを特徴とする請求項8〜15のいずれかに記載のカソード基板の作製方法。
- 前記エミッタを、カソード基板上に形成した触媒層にカーボン系材料原料ガスを接触させ、触媒層上に形成したカーボン系材料から形成することを特徴とする請求項8〜16のいずれかに記載のカソード基板の作製方法。
- 請求項1〜7のいずれかに記載のカソード基板と、蛍光体層、アノード用電極層及び上部基板を少なくとも含むアノード基板とを有することを特徴とする表示素子。
- 請求項8〜17のいずれかに記載のカソード基板の作製方法に従ってカソード基板を作製した後、このカソード基板と、蛍光体層、アノード用電極層及び上部基板を少なくとも含むアノード基板とを、支持体を介してはり合わせて表示素子を作製することを特徴とする表示素子の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007179874A true JP2007179874A (ja) | 2007-07-12 |
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ID=38304851
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4755898B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2005
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