JP2007173507A - 光起電力装置の製造方法および製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】装置が大型化するのを抑制するとともに、金属線が断線するのを抑制することが可能な光起電力装置の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】この光起電力装置の製造方法は、フィンガー電極部２を構成する銅線２ａを、巻付部材２６に螺旋状に巻き付ける工程と、巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａを導電性ペースト３ａを介して光電変換部１の主表面に押し付けて固定する工程とを備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、光起電力装置の製造方法および製造装置に関し、特に、光電変換部の主表面に金属線が固定される光起電力装置の製造方法および製造装置に関する。

従来、光電変換部の主表面に金属線が固定される光起電力装置の製造方法および製造装置が知られている（たとえば、特許文献１および特許文献２参照）。

上記特許文献１には、光発電素子（光起電力装置）の電極形成面に複数の銅ワイヤ（金属線）を固定する場合、電極形成面に固定する複数の銅ワイヤと同数のボビンを一直線上に等間隔に配置するとともに、それぞれのボビンから銅ワイヤを平行に引き出して、その引き出した銅ワイヤを導電性接着剤（接着材）を介して光発電素子の電極形成面に固定する光発電素子の製造方法および製造装置が開示されている。

また、上記特許文献２には、スラブ（光電変換部）上に４２本の集電ワイヤ（金属線）を固定する場合、４２本のボビン軸にそれぞれ２個ずつ合計８４個のボビンを配置するとともに、そのうちの４２個のボビンから４２本の集電ワイヤのそれぞれの端部を挟んで平行に引き出して、その引き出した集電ワイヤを導電性樹脂（接着材）を介してスラブ上に固定する太陽電池の製造装置が開示されている。

特開平３−６８６７号公報 特開平９−２５０５９号公報

しかしながら、上記特許文献１に開示された光発電素子の製造方法および製造装置では、光発電素子の電極形成面に複数の銅ワイヤを固定する場合、電極形成面に固定する複数の銅ワイヤと同数のボビンから銅ワイヤを引き出して光発電素子の電極形成面に固定するので、電極形成面に固定する銅ワイヤ（金属線）の本数が増加するとボビンの数も増加するという不都合がある。このため、ボビンを配置するためのスペースが増大するので、装置が大型化するという問題点がある。

また、上記特許文献２に開示された太陽電池の製造装置では、スラブ（光電変換部）に４２本の集電ワイヤを固定する場合、４２本にボビン軸にそれぞれ２個ずつ合計８４個のボビンを配置するとともに、そのうちの４２個のボビンから集電ワイヤを引き出してスラブ（光電変換部）上に固定するので、ボビンを配置するために広いスペースが必要である。このため、装置が大型化するという問題点がある。

また、発明者の検討の結果、上記特許文献２に開示された太陽電池の製造装置のように２つの物で挟むことによって金属線を把持する方法の場合、直径が小さいほど金属線が切れやすくなるということが判明した。全ての金属線を挟んで把持するので、金属線の本数が多くなる程、製造プロセス中に断線が発生する確率が高くなるという問題点があった。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、装置が大型化するのを抑制するとともに、金属線が断線するのを抑制することが可能な光起電力装置の製造方法および製造装置を提供することである。

課題を解決するための手段および発明の効果

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面における光起電力装置の製造方法は、集電極を構成する金属線を、巻付部材に螺旋状に巻き付ける工程と、巻付部材に巻き付けられた金属線を接着材を介して光電変換部の主表面に押し付けて固定する工程とを備える、光起電力装置の製造方法。

この第１の局面による光起電力装置の製造方法では、上記のように、集電極を構成する金属線を巻付部材に螺旋状に巻き付けた後、巻付部材に巻き付けられた金属線を接着材を介して光電変換部の主表面に押し付けて固定することによって、１つのボビンから引き出された１本の金属線を巻付部材に螺旋状に巻き付けることにより、巻付部材に巻き付けられた金属線を複数の集電極として用いることができるので、光電変換部に固定する金属線の本数が増加する場合にも、ボビンの数が増加するのを抑制することができる。これにより、ボビンを配置するためのスペースが増大するのを抑制することができるので、装置が大型化するのを抑制することができる。また、１つのボビンから引き出された１本の金属線を巻付部材に螺旋状に巻き付けることにより、巻付部材に巻き付けられた金属線を複数の集電極として用いることができるので、光電変換部に固定する金属線の本数が増加する場合にも、金属線を挟んで固定する部分が増加するのを抑制することができるので、金属線が、固定された部分で断線するのを抑制することができる。

上記第１の局面による光起電力装置の製造方法において、好ましくは、巻付部材は、互いに所定の間隔を隔てて実質的に平行に配置された複数の柱部を含み、金属線を巻付部材に螺旋状に巻き付ける工程は、集電極を構成する金属線を、巻付部材の複数の柱部に螺旋状に巻き付ける工程を含む。このように構成すれば、巻付部材に巻き付けられた金属線の部分同士を互いに実質的に平行に配置することができるので、銅線を光電変換部に取り付けやすくすることができる。

上記第１の局面による光起電力装置の製造方法において、好ましくは、金属線を巻付部材に螺旋状に巻き付ける工程は、巻付部材を回転しながら、集電極を構成する金属線を巻付部材に螺旋状に巻き付ける工程を含む。このように構成すれば、集電極を構成する金属線を容易に、巻付部材に巻き付けることができる。

上記第１の局面による光起電力装置の製造方法において、好ましくは、金属線を接着材を介して光電変換部の主表面に押し付けて固定する工程に先立って、巻付部材に巻き付けられた金属線に接着材を塗布する工程をさらに備え、金属線に接着材を塗布する工程は、光電変換部の主表面上の所定の領域に形成された集電可能な領域に対応するように、巻付部材に巻き付けられた金属線に接着材を塗布する工程を含む。このように構成すれば、巻付部材に巻き付けられた金属線の集電可能な領域のみに接着材を塗布することができるので、光電変換部上の集電可能な領域のみに金属線を固定することができる。

上記第１の局面による光起電力装置の製造方法において、好ましくは、巻付部材の金属線が巻き付けられる部分の表面は、丸形形状および面取り形状のいずれか一方を有する。このように構成すれば、巻付部材の金属線が巻き付けられた部分の表面に尖った角が形成される場合と異なり、巻付部材に巻き付けられた金属線の一部に応力が集中するのを抑制することができるので、巻付部材に巻き付けられた金属線が破断するのを抑制することができる。

この発明の第２の局面における光起電力装置の製造装置は、集電極を構成する金属線を螺旋状に巻き付けるための巻付部材と、巻付部材に巻き付けられた金属線を接着材を介して光電変換部の主表面に押し付けて固定するための押し付け手段とを備える。

この第２の局面による光起電力装置の製造装置では、上記のように、集電極を構成する金属線を螺旋状に巻き付けるための巻付部材と、巻付部材に巻き付けられた金属線を接着材を介して光電変換部の主表面に押し付けて固定するための押し付け手段とを設けることによって、１つのボビンから引き出された１本の金属線を巻付部材に螺旋状に巻き付けることにより、巻付部材に巻き付けられた金属線の部分を複数の集電極として用いることができるので、光電変換部に固定する金属線の本数が増加する場合にも、ボビンの数が増加するのを抑制することができる。これにより、ボビンを配置するためのスペースが増大するのを抑制することができるので、装置が大型化するのを抑制することができる。また、１つのボビンから引き出された１本の金属線を巻付部材に螺旋状に巻き付けることにより、巻付部材に巻き付けられた金属線を複数の集電極として用いることができるので、光電変換部に固定する金属線の本数が増加する場合にも、金属線を挟んで固定する部分が増加するのを抑制することができるので、金属線が、固定された部分で断線するのを抑制することができる。

上記第２の局面による光起電力装置の製造装置において、好ましくは、巻付部材は、互いに所定の間隔を隔てて実質的に平行に配置された複数の柱部を含み、巻付部材の複数の柱部には、集電極を構成する金属線が螺旋状に巻き付けられる。このように構成すれば、巻付部材に巻き付けられた金属線の部分同士を互いに実質的に平行に配置することができるので、銅線を光電変換部に取り付けやすくすることができる。

上記第２の局面による光起電力装置の製造装置において、好ましくは、集電極を構成する金属線に一定の張力を付与するための張力調整手段をさらに備え、巻付部材には、張力調整手段により集電極を構成する金属線に一定の張力が付与された状態で、金属線が螺旋状に巻き付けられる。このように構成すれば、金属線を、緩まず、かつ、塑性変形しないように巻付部材に巻き付けることができる。

上記第２の局面による光起電力装置の製造装置において、好ましくは、巻付部材を回転させるための回転手段をさらに備え、巻付部材は、回転手段により回転されながら、集電極を構成する金属線が螺旋状に巻き付けられる。このように構成すれば、集電極を構成する金属線を容易に、巻付部材に巻き付けることができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１は、本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置により作製される光起電力装置の構成を示した上面図である。図２は、図１の１００−１００線に沿った断面図である。図３は、図１の２００−２００線に沿った断面図である。まず、図１〜図３を参照して、本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置により作製される光起電力装置の構成について説明する。

本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置により作製される光起電力装置では、図１に示すように、光電変換部１の上面（主表面）上に、フィンガー電極部２が、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）からなる導電性の接着層３により接着されている。フィンガー電極部２は、約１００ｍｍの長さと約３５μｍの直径とを有するとともに、腐食されるのを抑制するために表面に半田メッキが施された銅線２ａからなる。なお、銅線２ａは、本発明の「金属線」の一例であり、フィンガー電極部２は、本発明の「集電極」の一例である。光電変換部１の４つの角部は、面取り形状を有している。また、フィンガー電極部２および接着層３は、光電変換部１の上面上に、図１のＡ方向に約２ｍｍのピッチ（中心間間隔）で配置されるとともに、図１のＢ方向に互いに平行に延びるように複数設けられている。

また、光電変換部１上の接着層３の両端部から約２５ｍｍ内側の位置に、フィンガー電極部２の延びる方向に対して直交する方向（Ａ方向）に延びるように、２つのバスバー電極部４が形成されている。このバスバー電極部４は、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）からなるとともに、約１．５ｍｍの幅を有している。また、フィンガー電極部２および接着層３と、バスバー電極部４とが交差する領域では、図３に示すように、フィンガー電極部２と接着層３とを覆うように、バスバー電極部４が形成されている。このバスバー電極部４により、複数のフィンガー電極部２が互いに電気的に接続されている。

また、光電変換部１では、図２に示すように、約１Ω・ｃｍの抵抗率と、約１０４ｍｍ（縦）×約１０４ｍｍ（横）の平面的な大きさと、約３００μｍの厚みとを有するｎ型単結晶シリコン基板５の上面および下面に、テクスチャ構造（凹凸形状）が形成されている。そして、ｎ型単結晶シリコン基板５の上面上に、約５ｎｍの厚みを有する実質的に真性のｉ型非晶質シリコン層６が形成されている。また、ｉ型非晶質シリコン層６の上面上には、約５ｎｍの厚みを有するｐ型非晶質シリコン層７が形成されている。また、ｐ型非晶質シリコン層７の上面上の所定の領域には、図１および図２に示すように、約１００ｎｍの厚みを有する透明導電膜８が形成されている。この透明導電膜８が形成された領域は、集電可能な領域である。また、透明導電膜８の４つの角部は、図１に示すように、面取り形状を有している。また、透明導電膜８は、約５質量％のＳｎＯ_２を含有するＩｎＯ_２からなるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）膜によって構成されている。そして、透明導電膜８の上面上には、図１および図２に示すように、接着層３を介してフィンガー電極部２が固定されている。

また、ｎ型単結晶シリコン基板５の下面上には、図２に示すように、約３０ｎｍの厚みを有する実質的に真性のｉ型非晶質シリコン層９と、約３０ｎｍの厚みを有するｎ型非晶質シリコン層１０と、約１００ｎｍの厚みを有する透明導電膜１１とが順次形成されている。また、透明導電膜１１の下面上には、所定の間隔を隔てて互いに平行な方向に延びるように形成された複数のフィンガー電極部１２ａと、フィンガー電極部１２ａにより収集された電流を集合させるバスバー電極部（図示せず）とからなる裏面電極１２が形成されている。この裏面電極１２は、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）により形成されている。

図４〜図１２は、本発明の一実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置の構造を説明するための図である。次に、図１および図４〜図１２を参照して、本発明の一実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部２の形成工程に用いる製造装置５０の構造について説明する。

本発明の一実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部２の形成工程に用いる製造装置５０は、図４および図５に示すように、フィンガー電極部２を構成する銅線２ａを巻き取るための巻取り機構２０と、銅線２ａに導電性ペースト３ａ（図９参照）を塗布するための転写機構３０と、銅線２ａを導電性ペースト３ａを介して光電変換部１の主表面に押し付けるための押し付け機構４０とを備えている。

巻取り機構２０は、図４に示すように、ボビン２１と、トルクモータ２２と、ガイド２３と、ガイド２３を移動させるための移動機構２４と、回転伝達機構２５と、ＳＵＳ製の４本の円柱部２６ａを有する巻付部材２６と、巻付部材２６を回転させるためのステッピングモータ（パルスモータ）２７とを含んでいる。なお、トルクモータ２２は、本発明の「張力調整手段」の一例であり、円柱部２６ａは、本発明の「柱部」の一例である。また、ステッピングモータ２７は、本発明の「回転手段」の一例である。このボビン２１には、光起電力装置のフィンガー電極部２（図１参照）を構成する銅線２ａが巻き付けられている。また、ボビン２１は、トルクモータ２２のモータ軸２２ａに取り付けられている。

ここで、本実施形態では、トルクモータ２２は、銅線２ａをボビン２１から巻付部材２６に巻き付ける際に、ボビン２１に加わるトルクを制御することにより、銅線２ａに所定の張力を付与する機能を有する。本実施形態では、トルクモータ２２は、巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａが緩まず、かつ、塑性変形しないように、銅線２ａに約０．１３Ｎの張力が付与されるように設定されている。

また、ガイド２３は、巻付部材２６の回転軸（Ｐ１）方向（Ｃ方向）に沿って移動しながら、銅線２ａを巻付部材２６に巻き付ける機能を有する。すなわち、ガイド２３は、銅線２ａを巻付部材２６に螺旋状に巻き付ける機能を有する。

また、移動機構２４は、ガイド２３を支持するための支持部材２４ａと、ガイド２３および支持部材２４ａを巻付部材２６の回転軸（Ｐ１）方向（Ｃ方向）に沿って移動させるためのボールネジ２４ｂと、ボールネジ２４ｂに平行に配置された支持シャフト２４ｃと、２つの移動規制部材２４ｄとを有している。この支持部材２４ａは、ボールネジ２４ｂのネジ山に対応するネジ穴２４ｅ（図６参照）を有している。これにより、支持部材２４ａは、ボールネジ２４ｂの回転に伴って、ボールネジ２４ｂの軸方向（Ｃ方向）に沿って移動することが可能となる。また、支持部材２４ａは、ボールネジ２４ｂに平行に配置された支持シャフト２４ｃが挿入される挿入穴２４ｆ（図６参照）を有する。これにより、ガイド２３および支持部材２４ａがボールネジ２４ｂの回転に伴ってボールネジ２４ｂの軸方向（Ｃ方向）に移動する際に、支持部材２４ａの挿入穴２４ｆも支持シャフト２４ｃの軸方向（Ｃ方向）に沿って移動するので、支持部材２４ａがボールネジ２４ｂの軸回りに回転するのを防止することが可能となる。また、ボールネジ２４ｂには、約２ｍｍのピッチ（間隔）を有するネジ山が形成されている。また、ボールネジ２４ｂおよび支持シャフト２４ｃには、支持部材２４ａのボールネジ２４ｂの軸方向（Ｃ方向）に沿った移動を規制するための２つの移動規制部材２４ｄが取り付けられている。

また、ボールネジ２４ｂの一方端には、回転伝達機構２５が取り付けられている。この回転伝達機構２５は、タイミングプーリ２５ａと、タイミングプーリ２５ｂと、タイミングプーリ２５ａおよびタイミングプーリ２５ｂに取り付けられたタイミングベルト２５ｃとを有している。これにより、タイミングプーリ２５ｂの回転に伴って、タイミングプーリ２５ａおよびボールネジ２４ｂを回転させることが可能となる。また、タイミングプーリ２５ａとタイミングプーリ２５ｂとの回転比は、１：１になるように構成されている。すなわち、タイミングプーリ２５ｂが１回転すると、タイミングプーリ２５ａおよびボールネジ２４ｂが１回転するとともに、支持部材２４ａが約２ｍｍ移動するように構成されている。

また、タイミングプーリ２５ｂには、ステッピングモータ２７のモータ軸２７ａが取り付けられている。また、ステッピングモータ２７のモータ軸２７ａには、巻付部材２６が取り付けられている。この巻付部材２６は、ステッピングモータ２７により、所定の角度だけ回転するように構成されている。また、巻付部材２６は、図７に示すように、回転軸（Ｐ１）を中心として等速で回転される。

また、本実施形態では、巻付部材２６の４つの円柱部２６ａは、約１０ｍｍの直径を有するとともに、互いに平行に配置されている。また、巻付部材２６の４つの円柱部２６ａは、図６に示すように、巻付部材２６の回転軸（Ｐ１）を中心とする１つの円（Ｑ１）上に配置されている。

また、本実施形態では、巻付部材２６の４つの円柱部２６ａの銅線２ａが巻き付けられる部分の表面は、丸形形状に形成されており、尖った角が無いように形成されている。また、４つの円柱部２６ａのうちの１つの円柱部２６ａには、図８に示すように、２つのピン穴２６ｂが所定の距離を隔てて形成されており、この２つのピン穴２６ｂには、２つのピン２６ｃがそれぞれ挿入されている。これにより、銅線２ａの端部が、円柱部２６ａとワッシャ２６ｄおよび弾性ゴムシート２６ｅとに挟まれた状態で円柱部２６ａの一方のピン穴２６ｂおよびピン２６ｃに固定されている。本実施形態では、銅線２ａの上側に弾性ゴムシート２６ｅを配置することによって、銅線２ａの上側に直接ワッシャ２６ｄなどの金属部材を配置して固定する場合に比べて、銅線２ａが破断するのを抑制することが可能である。

また、転写機構３０は、図４および図５に示すように、円柱状のローラ３１と、円柱状のローラ３１から所定の距離を隔てて配置される厚み調節ローラ３２と、接着材収納部材３３と、回転伝達機構３４と、モータ３５と、上下テーブル３６と、上下テーブル３６を上下させるための上下機構３７（図５参照）と、上下機構３７を巻付部材２６の回転軸に垂直な方向（Ｄ方向）に移動可能なスライドテーブル３８（図５参照）とを含んでいる。なお、ローラ３１は、本発明の「塗布手段」の一例である。

ローラ３１は、約３１．８ｍｍの直径（円周：約１００ｍｍ）を有するとともに、中心軸の延びる方向に沿って約１１０ｍｍの長さを有する。また、ローラ３１は、図９に示すように、回転することにより、ローラ３１の表面に約５０μｍの厚みを有する導電性ペースト３ａが塗布されるように構成されている。また、導電性ペースト３ａは、図４および図９に示すように、接着材収納部材３３の内側に配置されている。なお、導電性ペースト３ａは、本発明の「接着材」の一例である。

また、本実施形態では、図１０に示すように、ローラ３１には、透明導電膜８（図１参照）の４つの角部の面取り部に対応するように切欠部３１ａが形成されている。すなわち、ローラ３１は、銅線２ａの透明導電膜８に対応する領域（集電可能な領域）のみに導電性ペースト３ａが転写されるように形成されている。

また、ローラ３１の軸部３１ｂには、図４に示すように、回転伝達機構３４が取り付けられている。この回転伝達機構３４は、タイミングプーリ３４ａと、タイミングプーリ３４ｂと、タイミングプーリ３４ａおよびタイミングプーリ３４ｂに取り付けられたタイミングベルト３４ｃとを有している。これにより、タイミングプーリ３４ｂの回転に伴って、タイミングプーリ３４ａおよびローラ３１を回転させることが可能となる。また、タイミングプーリ３４ｂには、モータ３５のモータ軸３５ａが取り付けられている。このモータ３５は、ローラ３１を所定の速度で回転させる機能を有する。

また、上下テーブル３６の上面上には、図５に示すように、ローラ３１と、厚み調節ローラ３２と、接着材収納部材３３と、回転伝達機構３４と、モータ３５とが配置されている。また、上下テーブル３６は、上下機構３７により、上下方向に移動可能に構成されている。また、上下機構３７の下側には、スライドテーブル３８が配置されている。このスライドテーブル３８は、巻付部材２６の回転軸に垂直な方向（Ｄ方向）に移動可能に設けられている。

また、押し付け機構４０は、図４および図１１に示すように、光起電力装置の光電変換部１を固定するための固定台４１と、押さえ部材４２と、銅線２ａを切断するための切断機構４３と、スライドブロック４４と、上下テーブル４５と、上下テーブル４５を上下させるための上下機構４６（図１１参照）と、巻付部材２６（図４参照）の回転軸（Ｐ１）に沿った方向（Ｃ方向）に移動可能なスライドテーブル４７（図１１参照）とを含んでいる。なお、上下機構４６は、本発明の「押し付け手段」の一例である。

固定台４１は、導電性ペースト３ａが転写された銅線２ａを光電変換部１に押し付ける際に、光電変換部１を固定するために設けられている。この固定台４１には、図１２に示すように、光電変換部１を位置決めするための凸部４１ａ〜４１ｃが設けられている。また、固定台４１には、光電変換部１を加熱するためのシースヒータ４１ｄが内蔵されている。

また、押さえ部材４２は、図５に示すように、上下シャフト４２ａによりスライドブロック４４に固定されている。また、押さえ部材４２は、上下シャフト４２ａと共に、スライドブロック４４に対して上下方向に移動可能に構成されている。

また、切断機構４３は、２つの回動シャフト４３ａと、２つの回動シャフト４３ａにそれぞれ支持される２つの刃部４３ｂと、回動シャフト４３ａをスライドブロック４４に固定するための固定部４３ｃとを含んでいる。この刃部４３ｂは、図４に示すように、回動シャフト４３ａの回動に伴って、約９０°回動するように構成されている。また、スライドブロック４４は、上下テーブル４５の上を、巻付部材２６の回転軸（Ｐ１）に沿った方向（Ｃ方向）に移動可能に構成されている。また、上下テーブル４５の上面には、固定台４１およびスライドブロック４４が配置されている。また、上下テーブル４５は、図１１に示すように、上下機構４６により、上下方向に移動可能に構成されている。また、上下機構４６の下部には、スライドテーブル４７が配置されている。また、スライドテーブル４７は、巻付部材２６の回転軸に沿った方向（Ｃ方向）に移動可能に設けられている。

次に、図１〜図５および図８〜図１８を参照して、本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置５０を用いた光起電力装置の製造プロセスについて説明する。

まず、図１、図２、図４、図５および図８〜図１８を参照して、フィンガー電極部２の形成工程について説明する。

まず、図４に示すように、フィンガー電極部２（図１参照）を構成する約３５μｍの直径を有するとともに表面に半田メッキが施された銅線２ａを、ボビン２１から引き出すとともに、ガイド２３を介して、巻付部材２６の円柱部２６ａの一方のピン穴２６ｂ（図８参照）にピン２６ｃにより固定する。そして、ステッピングモータ２７を駆動することにより、平行に配置された４本の円柱部２６ａを有する巻付部材２６を等速で回転させる。このとき、タイミングプーリ２５ｂ、タイミングベルト２５ｃおよびタイミングプーリ２５ａを構成する回転伝達機構２５により、巻付部材２６が１回転するとボールネジ２４ｂも１回転するように構成されているので、ガイド２３が巻付部材２６の回転軸（Ｐ１）に沿った方向（Ｃ方向）に約２ｍｍ移動する。これにより、銅線２ａを巻付部材２６の円柱部２６ａに約２ｍｍのピッチ（間隔）に螺旋状で、かつ、平行に巻き付けることが可能となる。また、このとき、銅線２ａは、トルクモータ２２により所定の張力（約０．１３Ｎ）が付与された状態で巻付部材２６に巻き付けられる。これにより、銅線２ａは、緩まず、かつ、塑性変形しないように、巻付部材２６に巻き付けられる。

そして、銅線２ａが巻付部材２６に所定の回転数巻き付けられた場合、巻付部材２６は、銅線２ａの巻付部材２６に巻き付けられた部分が固定台４１の上面に対して平行な状態になるまで、ステッピングモータ２７により回転される。その後、巻付部材２６の回転が停止されるとともに、銅線２ａの巻付部材２６に巻き付けられた部分が固定台４１の上面に対して平行な状態で、巻付部材２６が保持される。

そして、ローラ３１が回転されて、厚み調節ローラ３２の機能により、ローラ３１の表面に約５０μｍの均一な厚みを有する導電性ペースト３ａが塗布される。その後、ローラ３１は、所定の角度で保持される。これにより、ローラ３１の切欠部３１ａを銅線２ａの透明導電膜８の４つの角部の面取り部に対応する部分に配置することが可能となる。そして、スライドテーブル３８（図５参照）により、上下機構３７（図５参照）が巻付部材２６の下方の所定の位置に移動される。その後、上下機構３７（図５参照）により、ローラ３１に塗布された導電性ペースト３ａが巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａに接触するまで、上下テーブル３６が上側に移動される。そして、銅線２ａに所定の張力（約０．１３Ｎ）を付与したまま、図９に示すように、ローラ３１の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）３ａを銅線２ａに接触させた状態で、ローラ３１を回転することにより、導電性ペースト３ａが銅線２ａに連続的に転写される。このとき、導電性ペースト３ａの転写速度と同じ速度でスライドテーブル３８（図５参照）およびローラ３１を巻付部材２６の回転軸に対して垂直な方向（Ｄ方向）に移動させる。具体的には、ローラ３１の角速度をω（ｒａｄ／ｓ）、ローラ３１の半径をｒ（ｍｍ）、銅線２ａに対するローラ３１の移動速度をｖ（ｍｍ／ｓ）とした場合に、以下に示す式（１）を満たすようにする。なお、本実施形態では、ｒ＝３１．８／２（ｍｍ）である。

ｖ（ｍｍ／ｓ）＝ｒ（ｍｍ）×ω（ｒａｄ／ｓ）・・・（１）
これにより、銅線２ａとローラ３１の表面との間で滑りが生じるのを抑制することが可能となる。このとき、本実施形態では、図１３に示すように、導電性ペースト３ａは、銅線２ａの下側部分の厚みが大きくなるように銅線２ａに塗布される。

そして、ローラ３１が１回転することにより、約１００ｍｍの長さを有する銅線２ａに導電性ペースト３ａが塗布されると、上下機構３７（図５参照）により、上下テーブル３６（図５参照）およびローラ３１が銅線２ａから引き離される方向（下方向）に移動される。なお、本実施形態では、ローラ３１の切欠部３１ａ（図１０参照）には、導電性ペースト３ａが塗布されていないので、銅線２ａのローラ３１の切欠部３１ａに対応する領域には、導電性ペースト３ａが塗布されない。これにより、透明導電膜８が形成された領域（集電可能な領域）に対応するように、銅線２ａに導電性ペースト３ａを塗布することが可能となる。その後、スライドテーブル３８（図５参照）により、転写機構３０が図５に示した位置に戻される。

次に、透明導電膜８および１１（図２参照）までが形成された光電変換部１を準備する。そして、図１２に示すように、光電変換部１を固定台４１に固定する。その後、図１４に示すように、スライドテーブル４７（図１１参照）により、上下テーブル４５が巻付部材２６の下方の所定の位置に移動される。そして、図１５に示すように、上下機構４６（図１１参照）により、光電変換部１が銅線２ａに接触する高さよりも約０．６ｍｍ高い位置まで固定台４１が上側に移動されるとともに、銅線２ａが、導電性ペースト３ａを介して光電変換部１に押し付けられる。これにより、光電変換部１にテクスチャ構造（凹凸形状）が形成されている場合にも、銅線２ａに塗布された導電性ペースト３ａにより、テクスチャ構造（凹凸形状）の凹部に導電性ペースト３ａを塗布することができるので、銅線２ａと光電変換部１との接着強度が低下するのを抑制することが可能となる。このとき、銅線２ａのローラ３１の切欠部３１ａに対応する領域には、導電性ペースト３ａが塗布されていない。すなわち、銅線２ａの透明導電膜８の４つの角部の面取り部に対応する領域には、導電性ペースト３ａが塗布されていないので、銅線２ａは、透明導電膜８の上面上（集電可能な領域上）のみに導電性ペースト３ａを介して配置される。

そして、熱硬化型の導電性ペースト３ａを透明導電膜８の上面に接触させた状態で、固定台４１のシースヒータ４１ｄ（図１２参照）により約２００℃の温度で約３０分間熱処理を行うことにより、導電性ペースト３ａを硬化させて接着層３（図１参照）を形成する。

その後、銅線２ａを、巻付部材２６の円柱部２６ａの最寄り（他方）のピン穴２６ｂ（図８参照）にピン２６ｃにより固定する。

その後、図１６に示すように、スライドブロック４４により、押さえ部材４２が光電変換部１（図１４参照）の上方に位置するまで移動される。そして、図１７に示すように、上下シャフト４２ａ（図１６参照）により、押さえ部材４２の下面が光電変換部１の透明導電膜８（図１参照）に接触してから約２ｍｍ低い位置まで押さえ部材４２が下側に移動される。

その後、回動シャフト４３ａの回動に伴って、図１６に示した状態から図１８に示した状態まで、刃部４３ｂが約９０°回動される。これにより、銅線２ａが、図１９に示すように、押さえ部材４２と刃部４３ｂとに挟まれて切断されることにより、光電変換部１の上面上に、銅線２ａからなるフィンガー電極部２が形成される。そして、巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａを切断し、取り除く。そして、上下シャフト４２ａ（図１８参照）により、押さえ部材４２が銅線２ａから引き離される方向（上方向）に移動される。その後、スライドブロック４４（図１８参照）およびスライドテーブル４７（図１８参照）により、押し付け機構４０が図４に示した位置に戻される。なお、複数の光起電力装置を引き続き製造する場合は、ステッピングモータ２７を逆回転で駆動することにより、巻付部材２６を逆回転で回転させて銅線２ａを円柱部２６ａを有する巻付部材２６に逆方向に螺旋状に巻き付けるとともに、銅線２ａを巻付部材２６に巻き付ける以降の工程を繰り返せばよい。

次に、図１および図３を参照して、バスバー電極部４および裏面電極１２の製造プロセスについて説明する。

まず、図１に示したように、スクリーン印刷法を用いて、光電変換部１上の接着層３の両端部から約２５ｍｍ内側の位置に、フィンガー電極部２および接着層３の延びる方向に対して直交する方向（Ａ方向）に延びるように、導電性ペーストを転写する。なお、この導電性ペーストとしては、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）を用いる。この後、加熱炉内で約２００℃で約１時間加熱することにより導電性ペーストを硬化させる。これにより、光電変換部１上の所定の領域に、複数のフィンガー電極部２を互いに接続するバスバー電極部４が形成される。このとき、このバスバー電極部４がフィンガー電極部２および接着層３と交差する位置では、図３に示すように、フィンガー電極部２および接着層３を覆うようにバスバー電極部４が形成される。

その後、スクリーン印刷法を用いて、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）を裏面側の透明導電膜１１の所定の領域上に転写した後、加熱炉内で約２００℃で約１時間加熱することにより導電性ペーストを硬化させて裏面電極１２を形成する。これにより、透明導電膜１１の下面上に所定の間隔を隔てて互いに平行に延びるように形成された複数のフィンガー電極部１２ａと、フィンガー電極部１２ａにより収集された電流を集合させるバスバー電極部（図示せず）とからなる裏面電極１２が形成される。このようにして、図１に示した本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置５０を用いた光起電力装置が作製される。

本実施形態では、上記のように、フィンガー電極部２を構成する銅線２ａを巻付部材２６に螺旋状に巻き付けた後、巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａを導電性ペースト３ａを介して光電変換部１の主表面に押し付けて固定することによって、１つのボビン２１から引き出された１本の銅線２ａを巻付部材２６に螺旋状に巻き付けることにより、巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａを複数のフィンガー電極部２として用いることができるので、光電変換部１に固定する銅線２ａの本数が増加する場合にも、ボビン２１の数が増加するのを抑制することができる。これにより、ボビン２１を配置するためのスペースが増大するのを抑制することができるので、装置が大型化するのを抑制することができる。また、１つのボビン２１から引き出された１本の銅線２ａを巻付部材２６に螺旋状に巻き付けることにより、巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａを複数のフィンガー電極部２として用いることができるので、光電変換部１に固定する銅線２ａの本数が増加する場合にも、銅線２ａを挟んで固定する部分は１つだけであるので、銅線２ａが、固定された部分で断線するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、４つの円柱部２６ａを互いに所定の間隔を隔てて実質的に平行に配置することによって、巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａの部分同士を互いに実質的に平行に配置することができるので、銅線２ａを光電変換部１に取り付けやすくすることができる。

また、本実施形態では、フィンガー電極部２を構成する銅線２ａに一定の張力を付与しながら、巻付部材２６に銅線２ａを螺旋状に巻き付けることによって、銅線２ａを、緩まず、かつ、塑性変形しないように巻付部材２６に巻き付けることができる。

また、本実施形態では、巻付部材２６の銅線２ａが巻き付けられる部分の表面を、丸形形状に形成し、尖った角が無いように形成することによって、巻付部材２６の銅線２ａが巻き付けられた部分の表面に尖った角が形成される場合と異なり、巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａの一部に応力が集中するのを抑制することができるので、巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａが破断するのを抑制することができる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、ｎ型単結晶シリコン基板上にｉ型非晶質シリコン層を介してｐ型非晶質シリコン層を形成した光起電力装置を例にとって説明したが、本発明はこれに限らず、光電変換部の主表面に金属線が固定される光起電力装置であれば、単結晶シリコン系、多結晶シリコン系、薄膜シリコン系、化合物半導体系、色素増感系、有機系などの種々の光起電力装置について本発明を適用することができる。

また、上記実施形態では、銅線を光電変換部の透明導電膜に固定する際に、固定台のシースヒータにより導電性ペーストを加熱して硬化させた例を示したが、本発明はこれに限らず、銅線を光電変換部の透明導電膜に固定する際に、温風を当てることにより導電性ペーストを加熱して硬化させてもよいし、ランプヒータにより導電性ペーストを加熱して硬化させてもよい。また、固定台のシースヒータと、温風またはランプヒータとを併用して導電性ペーストを加熱して硬化させてもよい。また、ランプヒータを用いる場合は、図２０および図２１に示した本発明の第１変形例のように、遠赤外セラミックヒータからなるランプヒータ６０を巻付部材２６に固定して光電変換部１の上側から加熱して硬化させてもよい。なお、遠赤外セラミックヒータからなるランプヒータを用いれば、短時間で所定の温度にすることができる。

また、上記実施形態では、巻付部材に巻き付けた銅線のうちの下側に配置された部分のみを用いて光電変換部に固定した例を示したが、本発明はこれに限らず、図２２に示した本発明の第２実施例のように、巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａのうちの下側のみならず横側に配置された部分を用いて光電変換部に固定してもよい。この場合、巻付部材に巻き付けられた銅線を有効に使用することができる。

また、上記実施形態では、巻付部材に巻き付けた銅線に１つの光電変換部を押し付けて１つずつ製造するプロセスについて示したが、本発明はこれに限らず、図２３に示した本発明の第３実施例のように、巻付部材２６に巻き付けられた銅線２ａに２つ以上の光電変換部を押し付けて２つ以上ずつ製造するようにしてもよい。

また、上記実施形態では、円筒状のローラに導電性ペーストを均一に塗布するために、ローラから所定の距離を隔てて配置される厚み調節ローラを用いた例について示したが、本発明はこれに限らず、円筒状のローラに導電性ペーストを均一に塗布するために、ローラから所定の距離を隔てて配置される板状のへらなどを用いてもよい。

また、上記実施形態では、巻付部材に銅線を巻き付けるために１つのボビンを用いた例について示したが、本発明はこれに限らず、巻付部材に銅線を巻き付けるために２つ以上のボビンを用いてもよい。この場合、巻付部材に銅線を巻き付ける時間を短縮することができる。たとえば、２つのボビンを用いて巻付部材に銅線を巻き付ける場合は、巻付部材に銅線を巻き付ける時間を半分に短縮することができる。

また、上記実施形態では、１つの光電変換部を用いて光起電力装置を作製した例について説明したが、本発明はこれに限らず、２つ以上の光電変換部を用いて光起電力装置を作製してもよい。

また、上記実施形態では、円筒状のローラの円周の長さを、透明導電膜に対する銅線の接着長さと実質的に同じ長さになるように構成した例について示したが、本発明はこれに限らず、円柱状のローラの円周の長さを、透明導電膜に対する銅線の接着長さと異なる長さにしてもよい。

また、上記実施形態では、導電性ペーストを約５０μｍの厚みでローラおよび基台に塗布した例について示したが、本発明はこれに限らず、導電性ペーストの材質、金属線の材質および光電変換部の表面の材質などにより、導電性ペーストを最適な厚みでローラに塗布すればよい。

また、上記実施形態では、接着層、バスバー電極部および裏面電極の材料として、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペーストを用いたが、本発明はこれに限らず、接着層、バスバー電極部および裏面電極の材料として、エポキシ系以外の樹脂材料を含む導電性ペーストを用いてもよい。たとえば、ポリエステル系、アクリル系、ポリビニル系、ポリウレタン系、フェノール系、ポリイミド系およびシリコーン系などの樹脂材料を含む導電性ペーストを用いてもよいし、これらの混合物からなる導電性ペーストを用いてもよい。ただし、この場合には、各樹脂に適応した硬化条件を用いることによって導電性ペーストを硬化させる必要がある。

また、上記実施形態では、金属線として銅線を用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、銅以外の材料からなる金属線を用いてもよい。この場合、ニッケル、タングステン、アルミニウム、銀または金のいずれかを主成分とする低抵抗な金属線を用いてもよいし、これらの合金からなる高強度な金属線を用いてもよい。

また、上記実施形態では、銅線を巻付部材の円柱部に約２ｍｍのピッチ（間隔）で螺旋状に巻き付けた例を示したが、本発明はこれに限らず、銅線を巻付部材の円柱部に約２ｍｍ以外のピッチ（間隔）で螺旋状に巻き付けてもよい。この場合、回転伝達機構２５を用いて、タイミングプーリ２５ａおよび２５ｂの回転比を所定の値に変更すればよい。具体的には、たとえば、銅線を巻付部材の円柱部に約４ｍｍのピッチ（間隔）で螺旋状に巻き付ける場合は、巻付部材が１回転するとボールネジが２回転するように回転伝達機構２５を設定すればよい。

また、上記実施形態では、ボビンから引き出した銅線を、巻付部材の４本の円柱部に巻き取るとともに、光電変換部に接着した例を示したが、本発明はこれに限らず、巻付部材２６の円柱部を２本以上設けるとともに、ボビンから引き出した銅線を、巻付部材２６の２本以上の円柱部に巻き取るとともに、光電変換部に接着してもよいし、図２４に示した本発明の第４実施例のように、巻付部材２６ｆに１つの柱部２６ｇを設けるとともに、ボビンから引き出した銅線を、巻付部材２６ｆの１つの柱部２６ｇに巻き取るとともに、光電変換部に接着してもよい。

また、上記実施形態では、銅線が腐食されるのを抑制するために半田メッキを施した銅線を用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、銅線が腐食されるのを抑制するために半田以外の導電性材料がメッキされた銅線を用いてもよい。

また、上記実施形態では、銅線の端部を巻付部材の円柱部に固定するために、円柱部にピン穴を設けるとともに、円柱部のピン穴にピンを挿入して固定した例を示したが、本発明はこれに限らず、銅線の端部を巻付部材の円柱部に固定するために、円柱部にネジ穴を設けるとともに、円柱部のネジ穴にネジ止めすることにより、銅線を固定してもよい。

また、上記実施形態では、巻付部材の円柱部に、ＳＵＳ製の部材を用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、巻付部材の円柱部に、表面に樹脂材料などがコーティングされたＳＵＳ製の部材を用いてもよい。この場合、巻付部材の円柱部と銅線との摩擦係数を大きくすることができるので、銅線が巻付部材の円柱部に対して滑るのを抑制することができる。

また、上記実施形態では、光起電力装置を固定台の凸部により固定した例について示したが、本発明はこれに限らず、固定台に吸着穴を形成するとともに、光起電力装置の下面を真空吸着することにより、光起電力装置を固定台に固定してもよい。この場合、光起電力装置を固定台に強固に固定することができる。

また、上記実施形態では、銅線に導電性ペーストを塗布するために円柱状のローラを用いた例について示したが、本発明はこれに限らず、図２５に示した本実施形態の第５変形例のように、銅線に導電性ペーストを塗布するために、切欠部３１ｃを有する円筒状のローラ３１ｄを用いてもよい。また、多角形の断面形状を有する基材を用いてもよい。

また、上記実施形態では、導電性ペーストの金属粒子として銀を用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、導電性を有するものであれば特に限定されるものではなく、導電性ペーストの金属粒子として、たとえば、金、銅、ニッケル、アルミニウムなどの金属を用いてもよいし、これらの合金を用いてもよい。また、２種類以上の金属を混合して用いることも可能である。

また、上記実施形態では、ｎ型単結晶シリコン基板の上面および下面にテクスチャ構造を形成した例について示したが、本発明はこれに限らず、ｎ型単結晶シリコン基板の上面および下面にテクスチャ構造（凹凸形状）を形成しなくてもよい。

本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置により作製される光起電力装置の構成を示した上面図である。 図１の１００−１００線に沿った断面図である。 図１の２００−２００線に沿った断面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置の全体構成を説明するための平面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置の全体構成を説明するための正面図である。 図４の３００−３００線に沿った断面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置の巻取り機構を詳細に説明するための斜視図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置の巻取り機構を詳細に説明するための正面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置の転写機構を詳細に説明するための断面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置の転写機構を詳細に説明するための斜視図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置の押し付け機構を詳細に説明するための側面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置の押し付け機構を詳細に説明するための平面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた光起電力装置の製造プロセスを説明するための断面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた光起電力装置の製造プロセスを説明するための平面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた光起電力装置の製造プロセスを説明するための正面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた光起電力装置の製造プロセスを説明するための平面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた光起電力装置の製造プロセスを説明するための正面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた光起電力装置の製造プロセスを説明するための平面図である。 本発明の一実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた光起電力装置の製造プロセスを説明するための正面図である。 本発明の第１変形例による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置を説明するための正面図である。 本発明の第１変形例による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置を説明するための側面図である。 本発明の第２変形例による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置を説明するための正面図である。 本発明の第３変形例による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置を説明するための側面図である。 本発明の第４変形例による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置を説明するための斜視図である。 本発明の第５変形例による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置を説明するための斜視図である。

符号の説明

１ 光電変換部
２ フィンガー電極部（集電極）
２ａ 銅線（金属線）
３ａ 導電性ペースト（接着材）
２２ トルクモータ（張力調整手段）
２６ 巻付部材
２６ａ 円柱部（柱部）
２７ ステッピングモータ（回転手段）
３１ ローラ（塗布手段）
４６ 上下機構（押し付け手段）

Claims (9)

1. 集電極を構成する金属線を、巻付部材に螺旋状に巻き付ける工程と、
   前記巻付部材に巻き付けられた前記金属線を接着材を介して光電変換部の主表面に押し付けて固定する工程とを備える、光起電力装置の製造方法。
2. 前記巻付部材は、互いに所定の間隔を隔てて実質的に平行に配置された複数の柱部を含み、
   前記金属線を巻付部材に螺旋状に巻き付ける工程は、前記集電極を構成する金属線を、前記巻付部材の前記複数の柱部に螺旋状に巻き付ける工程を含む、請求項１に記載の光起電力装置の製造方法。
3. 前記金属線を巻付部材に螺旋状に巻き付ける工程は、前記巻付部材を回転しながら、前記集電極を構成する金属線を前記巻付部材に螺旋状に巻き付ける工程を含む、請求項１または２に記載の光起電力装置の製造方法。
4. 前記金属線を接着材を介して光電変換部の主表面に押し付けて固定する工程に先立って、前記巻付部材に巻き付けられた前記金属線に前記接着材を塗布する工程をさらに備え、
   前記金属線に接着材を塗布する工程は、前記光電変換部の主表面上の所定の領域に形成された集電可能な領域に対応するように、前記巻付部材に巻き付けられた前記金属線に前記接着材を塗布する工程を含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の光起電力装置の製造方法。
5. 前記巻付部材の前記金属線が巻き付けられる部分の表面は、丸形形状および面取り形状のいずれか一方を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の光起電力装置の製造方法。
6. 集電極を構成する金属線を螺旋状に巻き付けるための巻付部材と、
   前記巻付部材に巻き付けられた前記金属線を接着材を介して光電変換部の主表面に押し付けて固定するための押し付け手段とを備える、光起電力装置の製造装置。
7. 前記巻付部材は、互いに所定の間隔を隔てて実質的に平行に配置された複数の柱部を含み、
   前記巻付部材の前記複数の柱部には、前記集電極を構成する金属線が螺旋状に巻き付けられる、請求項６に記載の光起電力装置の製造装置。
8. 前記集電極を構成する金属線に一定の張力を付与するための張力調整手段をさらに備え、
   前記巻付部材には、前記張力調整手段により前記集電極を構成する金属線に一定の張力が付与された状態で、前記金属線が螺旋状に巻き付けられる、請求項６または７に記載の光起電力装置の製造装置。
9. 前記巻付部材を回転させるための回転手段をさらに備え、
   前記巻付部材は、前記回転手段により回転されながら、前記集電極を構成する金属線が螺旋状に巻き付けられる、請求項６〜８のいずれか１項に記載の光起電力装置の製造装置。

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