JP2007169710A - 真空装置及び真空装置の電力供給方法 - Google Patents
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Abstract
異常放電防止機能が働く際には、直流電源装置から異常放電防止装置に流れる電流を最小にすること。
【解決手段】
真空装置の異常放電防止装置は、真空負荷における異常放電発生の発生を検出したときに異常放電検出信号を発生、又は異常放電発生の予兆を検出したときに異常放電予知信号を発生、あるいは前記真空負荷における異常放電の発生を予防するために周期的に発生される異常放電予防信号を発生し、インバータと制御回路との間に設けられたゲート回路は、異常放電防止装置が異常放電に関する信号を出力するときに、前記制御回路と前記インバータのスイッチング半導体素子の制御端子との間を予め設定された通過禁止期間だけ遮断して、通過禁止期間中は制御信号を前記インバータに通過させず、通過禁止期間が経過したときに制御信号を前記インバータに通過させることを特徴とする真空装置。
【選択図】 図1
Description
図1及び図2によって本発明に係る実施形態1の真空装置100について説明する。この真空装置100は、大別して直流電源装置1、異常放電防止装置30及び真空負荷50からなる。直流電源装置1は、商用三相交流入力電源10からの三相交流電力は直流電力に変換する三相全波整流装置11、その直流電力を高周波交流電力に変換するインバータ12、インバータ12に接続された1次巻線13Aと2次巻線13Bとを有するトランス13、2次巻線13Bに接続された出力側整流回路14、出力側整流回路14の出力端子間に接続された平滑用コンデンサ15、インバータ12に制御信号を与える制御回路16、インバータ12と制御回路16との間に接続されているゲート回路17、直流出力端子18と19、これら直流出力端子18と19から真空負荷50に流れる電流を検出する負荷電流検出器20、負荷電圧検出回路21、負荷電流検出器20からの負荷電流検出信号と負荷電圧検出回路21からの負荷電圧検出信号とを乗算して、真空負荷50の負荷電力に比例する負荷電力検出信号を出力する乗算回路22、その負荷電力検出信号と電力基準源23の基準電力値との誤差増幅信号を出力する誤差増幅器24などからなる。なお、交流入力電源10は単相交流電源でも勿論よい。この場合には、整流装置11は単相交流を直流に変換する回路構成のものになる。
また、従来の電源装置の場合には、直流出力端子18、19の出力側整流回路14と平滑用コンデンサ15との間に不図示の平滑用インダクタを備えており、その平滑用インダクタに蓄えられているエネルギーはインバータ12がオフしても平滑用コンデンサ15に放出され続けるので、平滑用コンデンサ15の電圧は低下せず、電流ILの増加分ΔILをより大きくするという欠点を有している。図2(E)の破線からも分かるように、半導体スイッチ32のオフ直後に真空負荷50に流れる電流はオーバーシュートするので、真空負荷50にプラズマがあるレベルで残存する状態では、再度、異常放電が発生する可能性がある。
12・・・インバータ
12A〜12D・・・スイッチング半導体素子
13・・・トランス
14・・・出力側整流回路
15・・・平滑用コンデンサ
16・・・制御回路
17・・・ゲート回路
17A〜17D・・・AND回路
18、19・・・直流出力端子
20・・・負荷電流検出器
21・・・負荷電圧検出回路
22・・・乗算回路
23・・・電力基準源
24・・・誤差増幅器
30・・・異常放電防止装置
31・・・電流安定化用インダクタンス素子
32・・・半導体スイッチ
33・・・逆極性電源
34・・・絶縁伝達回路
35・・・異常放電検知回路
36・・・パルス発生回路
50・・・真空負荷
100・・・実施形態1の真空装置
Claims (9)
- 真空負荷と、該真空負荷に給電する直流電源装置と、該直流電源装置と前記真空負荷との間に備えられて異常放電の発生を防止する異常放電防止装置とを備える真空装置において、
前記直流電源装置は、トランスと、該トランスの1次巻線に接続されていて、前記真空負荷に給電される電力を制御するスイッチング半導体素子を備えるインバータと、前記トランスの2次巻線に接続されている整流回路と、前記スイッチング半導体素子を制御する制御回路と、該制御回路と前記スイッチング半導体素子の制御端子との間に備えられているゲート回路とを備え、
前記異常放電防止装置は、前記真空負荷における異常放電の発生を検出したときに異常放電検出信号を出力、又は異常放電発生の予兆を検出したときに異常放電予知信号を出力、あるいは前記真空負荷における異常放電の発生を予防するために周期的に発生される異常放電予防信号を出力し、
前記ゲート回路は、前記異常放電防止装置が前記異常放電検出信号又は前記異常放電予知信号、あるいは前記異常放電予防信号を出力するときに、前記制御回路と前記スイッチング半導体素子の制御端子との間を予め設定された通過禁止期間だけ遮断して、該通過禁止期間中は前記制御信号を前記スイッチング半導体素子の制御端子に通過させず、前記通過禁止期間が経過したときに前記制御信号を前記スイッチング半導体素子の制御端子に通過させることを特徴とする真空装置。 - 請求項1において、
前記制御回路の前記動作応答時間は100μsよりも長く、前記通過禁止期間は10μsから100μs以下であることを特徴とする真空装置。 - 請求項1又は請求項2において、
前記通過禁止期間は、前記異常放電検出信号又は前記異常放電予知信号、あるいは前記異常放電予防信号が発生するときに形成される信号のパルス幅と実質的に等しい期間であることを特徴とする真空装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかにおいて、
前記真空負荷の負荷電力に比例する負荷電力検出信号と比較される基準電力値を有する電力基準源と、前記負荷電力検出信号と前記基準電力値との差に等しい誤差増幅信号を前記制御回路に出力する誤差増幅器とを備え、
前記電力基準源は、前記通過禁止期間中は、定常時の前記基準電力値よりも低い値の基準電力値を与えることを特徴とする真空装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかにおいて、
前記整流回路は出力端子間に平滑用コンデンサを備え、かつ実質的に平滑用インダクタを備えないコンデンサインプット型であることを特徴とする真空装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかにおいて、
前記異常放電防止装置は、前記真空負荷における異常放電の発生を検出したとき、又は異常放電発生の予兆を検出したとき、あるいは前記真空負荷における異常放電の発生を予防するために周期的に発生される異常放電予防信号を出力するとき、前記真空負荷に逆極性の電圧を印加、又は前記真空負荷の両端を短絡する半導体スイッチを備えることを特徴とする真空装置。 - 真空負荷と、前記真空負荷に給電される電力を制御するスイッチング半導体素子を備えるインバータと該インバータを制御する制御回路とを備える直流電源装置と、該直流電源装置と前記真空負荷との間に備えられている異常放電防止装置とからなる真空装置の電力供給方法において、
前記異常放電防止装置が、異常放電の発生を示す異常放電検出信号、又は異常放電発生の予兆を示す異常放電予知信号を出力するとき、あるいは異常放電の発生を未然に防止するために周期的に異常放電防止信号を出力するときでも、前記制御回路の制御機能は停止することなく動作を継続して制御信号を発生し、
前記異常放電検出信号又は前記異常放電予知信号、あるいは前記異常放電防止信号は、前記制御回路から出力された前記制御信号が予め設定された通過禁止期間だけ前記スイッチング半導体素子の制御端子に通過するのを遮断し、
前記スイッチング半導体素子は、前記制御回路の前記制御信号とは無関係に、前記通過禁止期間だけオフし、
前記通過禁止期間の経過に伴い、前記制御信号が前記スイッチング半導体素子の制御端子を通過することにより前記インバータが直ぐに定常の動作を行うことを特徴とする真空装置の電力供給方法。 - 請求項7において、
前記異常放電防止装置が動作して、前記真空負荷に逆電圧を印加している期間、又は前記真空負荷の両端を短絡している期間は前記直流電源装置が出力せず、前記通過禁止期間の経過に伴い、前記直流電源装置は直ぐに定常の直流出力電力を出力することを特徴とする真空装置の電力供給方法。 - 請求項7又は請求項8において、
前記制御機能の前記動作応答時間は100μsよりも長く、前記通過禁止期間は10μsから100μs以下であることを特徴とする真空装置の電力供給方法。
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